CN115142027A - 阴极杆调节机构及其控制方法和弧斑扫描方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种阴极杆调节机构，包括中空的阳极筒以及安装于阳极筒一端的基座，基座上设有通孔，通孔内滑动安装有阴极杆，阴极杆的一端位于阳极筒的内侧且安装有靶材，阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，阴极杆与基座滑动密封连接，基座朝向外侧的一侧还设有电机，电机的电机轴上连接有齿轮，阴极杆上连接有与齿轮啮合的传动齿条以带动阴极杆沿轴向前后运动，阴极杆调节机构还包括控制器，控制器用于控制电机轴的转动以带动齿轮转动。本发明通过在基座上设置与基座密封滑动连接阴极杆，并设置电机、齿轮以及与阴极杆连接的传动齿条，从而调节靶材在阳极筒中的位置，确保最佳烧蚀位点，实现靶材烧蚀的时时稳定。

Description

阴极杆调节机构及其控制方法和弧斑扫描方法

技术领域

本发明涉及电弧镀膜设备领域，尤其涉及一种阴极杆调节机构及其控制方法和弧斑扫描方法。

背景技术

在当前设备上，阴极杆及其靶材位置固定，磁场位型由电磁场决定，一般对于某一工艺而言，其参数基本固定，这些硬件缺乏灵活性，在生产过程中，容易造成不良的影响：另外，现有弯管磁过滤技术应用于生产中，由于弯管外部电、磁场等基本参数可调范围有限，靶材烧蚀不能长时间稳定，特别是对于石墨靶材，经常发生灭弧，趋稳时间长；在固定外部线圈条件下，其磁力线位型固定，存在一定的磁场范围保障弧源稳定烧蚀，随着烧蚀时间增长，靶材高度越来越小，导致弧斑在靶面上的控制变弱，利用率不足50％，且换靶及维护次数及时间较长；弧源阴极烧蚀经常发生跑弧与引弧针发生短路，导致生产中断且易造成机械件烧融化，维修成本大大增加。

发明内容

本发明的目的在于提供一种阴极杆调节机构及其控制方法和弧斑扫描方法，以解决靶材烧蚀不稳定、利用率不高的问题。

为了实现上述目的，第一方面，本发明提供的一种阴极杆调节机构，包括中空的阳极筒以及安装于所述阳极筒一端的基座，所述基座上设有通孔，所述通孔内滑动安装有阴极杆，所述阴极杆的一端位于阳极筒的内侧且安装有靶材，所述阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，所述阴极杆与所述基座滑动密封连接，所述基座朝向外侧的一侧还设有电机，所述电机的电机轴上连接有齿轮，所述阴极杆上连接有与所述齿轮啮合的传动齿条以带动所述阴极杆沿轴向前后运动，所述阴极杆调节机构还包括控制器，所述控制器用于控制电机轴的转动以带动所述齿轮转动。

优选地，所述传动齿条位于所述阴极杆上且沿所述阴极杆的轴向布置。

优选地，所述电机为步进电机。

优选地，所述阴极杆调节机构还包括真空磁流体密封装置，所述真空磁流体密封装置包括密封座体以及凸设于所述密封座体上的磁流体密封件，所述磁流体密封件包括中空的密封壳体以及安装于所述密封壳体内部的永磁体、极靴和磁流体，所述永磁体为至少一个，所述永磁体和极靴均安装在所述密封壳体的内侧壁上，所述永磁体在阴极杆的轴向方向上的两侧分别设有所述极靴，所述极靴朝向阴极杆的一侧设有磁液槽，所述磁液槽上设有磁流体，所述永磁体、极靴的中部设有密封通孔，所述阴极杆穿设于所述密封通孔中，所述磁流体密封件设于所述密封座体的下部，所述密封座体安装于基座朝向外侧的一侧上，所述磁流体密封件嵌设于所述基座内并向下延伸进阳极筒的内部。

第二方面，本发明还提供一种阴极杆调节机构的控制方法，包括上述阴极杆调节机构，所述控制方法包括如下步骤：利用控制器控制电机逆时针转动或顺时针转动以带动所述齿轮逆时针转动或顺时针转动，所述齿轮逆时针转动或顺时针转动带动所述传动齿条向前或向后运动；控制电机逆时针转动或顺时针转动的位移以控制所述传动齿条移动至预设位置。

优选地，所述电机为步进电机，利用控制器控制电机逆时针转动或顺时针转动以带动所述齿轮逆时针转动或顺时针转动步骤包括：控制器发出方向信号控制所述电机逆时针转动或顺时针转动以带动齿轮逆时针转动或顺时针转动。

优选地，控制电机逆时针转动或顺时针转动的位移以控制所述传动齿条移动至预设位置步骤包括：通过控制电源脉冲信号来控制电机逆时针转动或顺时针转动的位移量以控制传动齿条移动至预设位置。

优选地，利用控制器控制电机逆时针转动或顺时针转动以带动齿轮逆时针转动或顺时针转动步骤之前，还包括：调节电机电源输出的脉冲信号；所述电机还包括编码器，所述编码器与所述控制器电性连接，设定电机编码器中的步距角，以将电机电源脉冲信号转变为转动矢量，得到不同靶材位置与脉冲信号的关系式；将所述关系式转换成软件程式并输入控制器中。

第三方面，本发明还提供一种阴极杆调节机构的弧斑扫描方法，包括上述阴极杆调节机构，所述控制方法包括如下步骤：利用控制器控制电机进行规律性地逆时针、顺时针交替转动以带动齿轮逆时针、顺时针交替转动；所述齿轮逆时针、顺时针交替转动带动传动齿条规律性地向前、向后运动；所述传动齿条规律性地向前、向后运动带动所述靶材规律性地向前、向后运动。

优选地，所述靶材规律性地向前、向后运动步骤包括：所述靶材以三角波形或矩形波形规律性地向前、向后运动，以到达预设位置及实现快慢运动。

与现有技术相比，本发明通过在基座上设置与基座密封滑动连接阴极杆，并设置电机、齿轮以及与阴极杆连接的传动齿条，使得靶材可以沿着阴极杆的轴向运动，从而调节靶材在阳极筒中的位置，确保最佳烧蚀位点，实现靶材烧蚀的时时稳定，避免了手动调节阴极杆，调节效率更高；另外，通过灵活调节阴极靶材位置，避免弧斑出现异常烧蚀、阴极异常放电，元器件烧损，从而提高涂层设备安全性，涂层的品质有保障；通过使靶材最大程度地运行在最佳磁场位型中，改变磁力线穿透靶面的角度，原靶材利用率约为50％，现可提升至80％，大大提高了靶材的利用率。

附图说明

图1是本发明实施例阴极杆调节机构的结构示意图。

图2是本发明实施例阴极杆调节机构的真空磁流体密封装置的结构示意图。

图3是图2中A处的放大图。

图4是本发明实施例阴极杆调节机构的弧斑扫描方法的流程图。

图5是本发明实施例阴极杆调节机构的弧斑扫描方法中的阴极杆往复运动的位置示意图。

图6是本发明实施例阴极杆调节机构的弧斑扫描方法中弧斑随靶材位置变化的结构示意图。

具体实施方式

为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所实现的效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。

如图1所示，本发明提供的一种阴极杆调节机构，包括中空的阳极筒1以及安装于所述阳极筒1一端的基座2，所述基座2上设有通孔，所述通孔内滑动安装有阴极杆3，所述阴极杆3的一端位于阳极筒1的内侧且安装有靶材4，所述阴极杆3的另一端位于阳极筒1的外侧，所述阴极杆3与所述基座2滑动密封连接，所述基座2朝向外侧的一侧还设有电机5，所述电机5的电机轴51上连接有齿轮6，所述阴极杆3上连接有与所述齿轮6啮合的传动齿条7以带动所述阴极杆3沿轴向前后运动，所述阴极杆3调节机构还包括控制器8，所述控制器8用于控制电机轴51的转动以带动所述齿轮6转动。

具体的，如图1所示，所述阳极筒1可以为弯管结构，也可以为直管结构，所述阳极筒1内抽真空并充入惰性气体，所述齿轮6固定在电机轴51上，所述阴极杆3通过电机5驱动沿轴向前后移动，从而改变靶材4在阳极筒1中的位置，进而改变阳极筒1中电磁场磁力线穿过靶材4的角度以达到最佳的磁场位型。

本实施例通过设置电机5、齿轮6以及传动齿条7，使得靶材4可以沿着阴极杆3的轴向运动，以调节靶材4在阳极筒1中的位置，避免手动移动阴极杆3，确保最佳烧蚀位点，实现靶材4烧蚀的时时稳定；另外，通过灵活调节阴极靶材4位置，避免弧斑出现异常烧蚀、阴极异常放电，元器件烧损，从而提高涂层设备安全性，涂层的品质有保障；通过使靶材4最大程度地运行在最佳磁场位型中，改变磁力线穿透靶面的角度，原靶材4利用率约为50％，现可提升至80％，大大提高了靶材4的利用率。

本发明实施例中，如图1所示，所述传动齿条7位于所述阴极杆3上且沿所述阴极杆3的轴向布置。

具体的，如图1所示，所述传动齿条7为围设于所述阴极杆3上的空心柱状，所述传动齿条7的周壁上均设有与所述齿轮6啮合的齿，所述传动齿条7的长度大于所述阴极杆3所要移动的范围。由于所述传动齿条7的周壁上均设有与所述齿轮6啮合的齿，因此，可以根据基座2的空间任意布置电机5的位置，灵活性较强。

在一些其它实施例中，所述传动齿条7也可以为片状体，所述片状体沿阴极杆3的长度方向布置且对应齿轮6设置，所述片状体焊接于所述阴极杆3上，所述片状体的一侧或两侧设有与所述齿轮6啮合的齿。

本发明实施例中，所述电机5为步进电机5，步距角可选，在一些其它实施例中，也可以为其它类型的电机5，具体的电机5的类型不限。

本发明实例中，如图1至图3所示，所述阴极杆3调节机构还包括真空磁流体密封装置9，所述真空磁流体密封装置9包括密封座体91以及凸设于所述密封座体91上的磁流体密封件92，所述磁流体密封件92包括中空的密封壳体93以及安装于所述密封壳体93内部的永磁体94、极靴95和磁流体，所述永磁体94为至少一个，所述永磁体94和极靴95均安装在所述密封壳体93的内侧壁上，所述永磁体94在阴极杆3的轴向方向上的两侧分别设有所述极靴95，所述极靴95朝向阴极杆3的一侧设有磁液槽96，所述磁液槽96上设有磁流体，所述永磁体94、极靴95的中部设有密封通孔97，所述阴极杆3穿设于所述密封通孔97中，所述磁流体密封件92设于所述密封座体91的下部，所述密封座体91安装于基座2朝向外侧的一侧上，所述磁流体密封件92嵌设于所述基座2内并向下延伸进阳极筒1的内部。通过真空磁流体密封装置9可以有效保证阴极杆3与基座2的滑动密封连接，保持阳极筒1中的真空度。在一些其它实施例中，也可以采用其它的密封结构，只要能够保证阴极杆3与基座2之间的滑动密封连接即可。

本发明实施例中，如图1所示，所述阴极杆3位于阳极筒1内的一端的端部设有靶材座31，所述靶材座31上安装有靶材4，所述靶材座31上还设有冷却腔道311，所述阴极杆3位于阳极筒1外侧的一端上设有进液口32和出液口33，所述阴极杆3的内部设有进液腔道和出液腔道，所述进液口32、进液腔道、出液腔道、出液口33以及冷却腔道311连通。从进液口32导入冷却液，所述冷却液流经进液腔道、冷却腔道311、出液腔道并从出液口33导出从而对阴极杆3和靶材4进行冷却，延长阴极杆3和靶材4的使用寿命。所述阳极筒1的侧壁上内置有冷却流道以用于给阳极筒1实时降温，延长阳极筒1的寿命。

本发明实施例中，如图1所示，所述阳极筒1的外侧壁上还围设有稳弧线圈11和聚焦线圈12，所述聚焦线圈12设于稳弧线圈11的外侧，所述稳弧线圈11用于控制靶材4烧蚀的稳定，所述聚焦线圈12促使带电粒子41居中收缩聚焦，使得带电粒子41沿着阳极筒1中心轴线运动，所述基座2上还安装有引弧组件10，引弧组件10击中靶材4的侧壁产生弧斑，在稳弧线圈11磁场作用下，弧斑迅速旋转向靶材4表面运动，带电粒子41在聚焦线圈12的作用下轨迹向阳极筒1的中心轴线收拢聚焦。

以上是本发明实施例中阴极杆调节机构的具体结构，下面图1至图3具体介绍本发明实施例一种阴极杆调节机构的控制方法，包括上述实施例中的阴极杆调节机构，所述控制方法包括如下步骤：

S1、利用控制器8控制电机5逆时针转动或顺时针转动以带动齿轮6逆时针转动或顺时针转动，所述齿轮6逆时针转动或顺时针转动带动传动齿条7向前或向后运动；

S2、控制电机5逆时针转动或顺时针转动的位移以控制传动齿条7移动至预设位置。

本实施例通过通过控制器8控制电机5逆时针转动或顺时针转动并通过控制转动的位移以将传动齿条7移动至预设位置，使得靶材4可以沿着阴极杆3的轴向运动，以调节靶材4在阳极筒1中的位置，避免手动移动阴极杆3，确保最佳烧蚀位点，实现靶材4烧蚀的时时稳定；另外，通过灵活调节阴极靶材4位置，避免弧斑出现异常烧蚀、阴极异常放电，元器件烧损，从而提高涂层设备安全性，涂层的品质有保障；通过使靶材4最大程度地运行在最佳磁场位型中，改变磁力线穿透靶面的角度，原靶材4利用率约为50％，现可提升至80％，大大提高了靶材4的利用率。

本发明实施例中，所述电机5为步进电机5，所述控制器8为PLC控制器，步骤S1中，利用控制器8控制电机5逆时针转动或顺时针转动以带动齿轮6逆时针转动或顺时针转动步骤包括：

S10、控制器8发出方向信号控制电机5逆时针转动或顺时针转动以带动齿轮6逆时针转动或顺时针转动，具体的，该方向信号可以是正、负脉冲信号，例如，当控制器8发出正脉冲信号时，电机5逆时针转动，阴极杆3沿朝向基座2的方向移动，当控制器8发出负脉冲信号时，电机5顺时针转动，阴极杆3沿远离基座2的方向移动。当然也可以通过其它的方式来控制电机5的转动方向，例如，改变接线的方向等。

步骤S2中，控制电机5逆时针转动或顺时针转动的位移以控制传动齿条7移动至预设位置步骤包括：

S20、通过控制电源脉冲信号来控制电机5逆时针转动或顺时针转动的位移量以控制传动齿条7移动至预设位置。通过利用控制器8控制电机5的位移量来控制传动齿条7移动至预设位置，从而控制阴极杆3上的靶材4移动至预设位置，操作简单，自动化程度高，所述脉冲信号为脉冲个数或频率。

本发明实施例中，步骤S1，利用控制器8控制电机5逆时针转动或顺时针转动以带动齿轮6逆时针转动或顺时针转动步骤之前，还包括：

S01、调节电机5电源输出的脉冲信号，例如，脉冲个数或频率；

S02、所述电机5还包括编码器，所述编码器与所述控制器8电性连接，设定电机5编码器中的步距角(即电源输出的脉冲信号和齿轮6转动圈数关系)，将电机5电源脉冲信号转变为转动矢量，得到不同靶材位置。

具体的，电源输出的脉冲个数为a；电机5编码器步距角为360°/N，即单圈编码器旋转一圈360°，对应脉冲数N个；由于步进电机的齿轮6转一圈360°(齿轮6的直径d)，传动齿条7的点位移与齿轮6的点位移相等，靶材4上下运动的位移L＝πd，即πd对应N个脉冲，单个脉冲位移为πd/N；靶材4初始位置H₀，到达位置H，需要设定脉冲数：a＝N*(H-H₀)/πd，将该关系式转换成软件语言输入控制器8中，所述控制器8连接人机界面14，可以在人机界面14给控制器8下发指令，使得步进电机5驱动齿轮6转动，达到智能化控制靶材4位置的目的。

在本发明实施例阴极杆调节机构工作过程中，基座2需安装在阳极筒1的一端，阳极筒1内部抽真空并充入惰性气体，靶材4安装于阴极杆3上，靶材座31和阳极筒1分别通入固定温度的冷却液；引弧组件10电性连接引弧电路，靶材座31和阳极筒1电性连接引弧电路，稳弧线圈11和聚焦线圈12绕设于阳极筒1的外壁且分别电性连接稳弧电路和聚焦电路；引弧组件10击中靶材4的侧壁产生弧斑，在稳弧线圈11磁场作用下，弧斑迅速旋转向靶材4表面运动，带电粒子41在聚焦电磁力的作用下轨迹向阳极筒1的中心轴线收拢聚焦；本实施例靶材4为石墨靶材4，正常烧蚀时间为20小时，每次烧蚀0.5小时，每次烧蚀高度为0.6-0.7mm；在实际操作中，可以通过PLC控制器8中预设的程序实时控制阴极杆3的位置，例如烧蚀3小时后，使阴极杆3向阳极筒1的内部移动的距离为2mm，重新回到最佳烧蚀位置。

本发明实施例阴极杆调节机构的控制方法通过实验获得电源脉冲个数和频域与靶材4位置的关系式，编成工控电脑程式，由PLC控制器8自动实时控制，使得靶材4上下运动，靶材4始终处于最佳烧蚀位点，进而获得最佳烧蚀的状态，实现时时稳定，解决靶材4引弧不稳，频发灭弧，靶材4利用率低、弧源机械安全性等问题。

本发明实施例还公开一种阴极杆调节机构的弧斑扫描方法，如图1至图6所示，包括上述实施例中的阴极杆调节机构，所述控制方法包括如下步骤：

S10、利用控制器8控制电机5进行规律性地逆时针、顺时针交替转动以带动齿轮6逆时针、顺时针交替转动，所述齿轮6逆时针、顺时针交替转动带动传动齿条7规律性地向前、向后运动；

S20、所述传动齿条7规律性地向前、向后运动带动所述靶材4规律性地向前、向后运动。

具体的，所述控制器8为PLC控制器8，所述电机5为步进电机5，通过编写波形代码控制PLC控制器8，使得步进电机5进行规律性的顺时针或逆时针驱动，齿轮6同步逆时针或顺时针转动，使得阴极杆3前后运动，从而带动靶材4在磁流体中进行波形往复运动，与稳弧线圈11和聚焦线圈12等形成的耦合磁场磁力线做切割运动，促使弧斑在靶材4表面进行多轨迹、快速、均匀的扫描式运动。

本发明实施例中，所述靶材4规律性地向前、向后运动包括：所述靶材4以三角波形规律性地向前、向后运动。

具体的，如图1、图4和图5所示，通过通过人机界面14，例如电脑，给控制器8发送让靶材4以三角波形进行往复运动的指令，PLC控制器8输出二进制代码给电机5，例如二进制代码为1，-1，1，-1......，或1，1，-1，1，1，-1......，或1，-1，-1，1，-1，-1......，对应的电机5输出为N，S，N，S......，或N，N，S，N，N，S，......，或N，S，S，N，S，S......，电机5通过控制齿轮6带动阴极杆3上的靶材4进行往复运动，对应的波形如图4中的15、16、17所示，对应的靶材4的往复运动状态如图5所示，靶材4由状态1前移到状态3再后移到状态5，如此反复。

如图6所示，靶材4烧蚀时，弧斑会在靶材4表面会形成近圆圈的轨迹，当靶材4和磁力线来回切割运动时，弧斑在靶材4表面会形成直径变化的轨迹；当靶材4远离基座2运动时，弧斑在靶材4表面会形成较大直径、向边缘扩散的轨迹，如状态a所示；当靶材4朝向基座2运动时，弧斑在靶材4表面会形成较小直径、向中心扩散的轨迹，如状态b、状态c所示；当靶材4和磁力线来回切割运动时，弧斑在靶材4表面会形成内外来回扫描运动的轨迹。PLC程式控制靶材4位置呈现某种波形变化，实现靶面弧斑的微区扫描烧蚀，快速变化，避免靶面在固定位置异常烧蚀，喷射大颗粒而停机；靶材4上下运动使靶材4快速切割磁力线，弧斑运动速度加快，产生的粒子更小，单位能量密度下降，避免异常放电，烧损设备元器件，提高涂层设备安全性，涂层的品质有保障。

以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属于本发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种阴极杆调节机构，包括中空的阳极筒以及安装于所述阳极筒一端的基座，其特征在于：所述基座上设有通孔，所述通孔内滑动安装有所述阴极杆，所述阴极杆的一端位于阳极筒的内侧且安装有靶材，所述阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，所述阴极杆与所述基座滑动密封连接，所述基座朝向外侧的一侧还设有电机，所述电机的电机轴上连接有齿轮，所述阴极杆上连接有与所述齿轮啮合的传动齿条以带动所述阴极杆沿轴向前后运动，所述阴极杆调节机构还包括控制器，所述控制器用于控制电机轴的转动以带动所述齿轮转动。

2.如权利要求1所述的阴极杆调节机构，其特征在于：所述传动齿条位于所述阴极杆上且沿所述阴极杆的轴向布置。

3.如权利要求1所述的阴极杆调节机构，其特征在于：所述电机为步进电机。

4.如权利要求1所述的阴极杆调节机构，其特征在于：所述阴极杆调节机构还包括真空磁流体密封装置，所述真空磁流体密封装置包括密封座体以及凸设于所述密封座体上的磁流体密封件，所述磁流体密封件包括中空的密封壳体以及安装于所述密封壳体内部的永磁体、极靴和磁流体，所述永磁体为至少一个，所述永磁体和极靴均安装在所述密封壳体的内侧壁上，所述永磁体在阴极杆的轴向方向上的两侧分别设有所述极靴，所述极靴朝向阴极杆的一侧设有磁液槽，所述磁液槽上设有磁流体，所述永磁体、极靴的中部设有密封通孔，所述阴极杆穿设于所述密封通孔中，所述磁流体密封件设于所述密封座体的下部，所述密封座体安装于基座朝向外侧的一侧上，所述磁流体密封件嵌设于所述基座内并向下延伸进阳极筒的内部。

5.一种阴极杆调节机构的控制方法，其特征在于，包括权利要求1-4任一项所述的阴极杆调节机构，所述控制方法包括如下步骤：

利用控制器控制电机逆时针转动或顺时针转动以带动所述齿轮逆时针转动或顺时针转动，所述齿轮逆时针转动或顺时针转动带动所述传动齿条向前或向后运动；

控制电机逆时针转动或顺时针转动的位移以控制所述传动齿条移动至预设位置。

6.如权利要求5所述的阴极杆调节机构的控制方法，其特征在于，所述电机为步进电机，利用控制器控制电机逆时针转动或顺时针转动以带动所述齿轮逆时针转动或顺时针转动步骤包括：

控制器发出方向信号控制所述电机逆时针转动或顺时针转动以带动齿轮逆时针转动或顺时针转动。

7.如权利要求6所述的阴极杆调节机构的控制方法，其特征在于，控制电机逆时针转动或顺时针转动的位移以控制所述传动齿条移动至预设位置步骤包括：

通过控制电源的脉冲信号来控制电机逆时针转动或顺时针转动的位移量以控制传动齿条移动至预设位置。

8.如权利要求6所述的阴极杆调节机构的控制方法，其特征在于，利用控制器控制电机逆时针转动或顺时针转动以带动齿轮逆时针转动或顺时针转动步骤之前，还包括：

调节电机电源输出的脉冲信号；

所述电机还包括编码器，所述编码器与所述控制器电性连接，设定电机编码器中的步距角，以将电机电源脉冲信号转变为转动矢量，得到不同靶材位置与脉冲信号的关系式；

将所述关系式转换成软件程式并输入控制器中。

9.一种阴极杆调节机构的弧斑扫描方法，其特征在于，包括权利要求1-4任一项所述的阴极杆调节机构，所述控制方法包括如下步骤：

利用控制器控制电机进行规律性地逆时针、顺时针交替转动以带动齿轮逆时针、顺时针交替转动；

所述齿轮逆时针、顺时针交替转动带动传动齿条规律性地向前、向后运动；

所述传动齿条规律性地向前、向后运动带动所述靶材规律性地向前、向后运动。

10.如权利要求9所述的阴极杆调节机构的弧斑扫描方法，其特征在于，所述靶材规律性地向前、向后运动步骤包括：

所述靶材以三角波形或矩形波形规律性地向前、向后运动，以到达预设位置及实现快慢运动。

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