CN115121808A - 一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构，其特征在于，包括：纳米多层膜组分一和纳米多层膜组分二；所述纳米多层膜组分一具有凹凸结构的单层薄膜、所述纳米多层膜组分二具有凸凹结构的单层薄膜；所述纳米多层膜组分一和纳米多层膜组分二构成榫卯交叠结构。通过本发明的实施，可以利用榫卯结构提高纳米多层膜自蔓延反应产热能量的方法及装置，榫卯结构中多组分交叠排列增加反应接触面积，装置中的多点同时反应有助于缩短传热路径，从而提高纳米多层膜自蔓延反应产热能量，扩展纳米多层膜在微纳器件封装、瞬态器件制备等领域的应用。

Description

一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构
技术领域
本发明涉及纳米多层膜领域，尤其涉及一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构。
背景技术
纳米多层膜是由两种及以上的金属材料，以纳米级厚度交替排布形成的层状结构薄膜。在激光、电火花等外加能场的作用下，纳米多层膜达到临界诱发能量密度即可形成自蔓延反应产热，在局部迅速释放大量热量。近年来，作为高位热源在微纳连接、材料合成、芯片封装等领域广泛应用。然而，以锂电池封装为代表的多层、高热导率金属箔片连接等应用场景，仍需要纳米多层膜产热能量的进一步提升。因此，提高纳米多层膜自蔓延反应产热能量有助于扩展其在锂电池封装等领域的应用。
纳米多层膜自蔓延反应产热由化合反应的化学过程的纳米层传热的物理过程两部分组成。产热能量由原子扩散速率与传热速率共同决定。为进一步提高纳米多层膜自蔓延反应产热能量，近年来，国内外研究学者提出纳米多层膜调制比与周期数等参数调控方法，以Al/Ni纳米多层膜为例，通过增加调制比、减少周期数等方法，能将产热速度提高至15m/s，产热温度提高至2000℃。然而，上述方法高度依赖于纳米多层膜组分材料、试错成本高。如能通过设计纳米多层膜结构特征，增加反应过程的原子扩散程度、缩短传热路径，将能显著提高纳米多层膜的产热能量。
因此，本领域的技术人员致力于开发一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构，纳米多层膜新结构中交叠穿插排列的不同组分有助于增加自蔓延反应区域面积，从而促进原子扩散、提高纳米多层膜产热能量，扩展纳米多层膜等含能材料在瞬态器件制备、微纳器件封装等领域的应用。
发明内容
有鉴于现有技术的上述缺陷，本发明所要解决的技术问题是：如何通过合理的纳米多层膜结构设计，增加纳米多层膜反应过程异种组分接触面积、缩短传热路径，提高自蔓延反应产热能量，扩展纳米多层膜在微纳器件领域的应用。
为实现上述目的，本发明提供了一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构，包括：纳米多层膜组分一和纳米多层膜组分二；所述纳米多层膜组分一具有凹凸结构的单层薄膜、所述纳米多层膜组分二具有凸凹结构的单层薄膜；所述纳米多层膜组分一和纳米多层膜组分二构成榫卯交叠结构。
进一步地，所述纳米多层膜组分一和纳米多层膜组分二选自Al、Ni、Ti、B、Cu、W、Pt的任意不同的一种。
进一步地，所述凹凸结构和凸凹结构为长方形、正方形、梯形、菱形的任一种。
进一步地，所述单层薄膜的层数为4至100层。
进一步地，本发明提供了一种利用多点诱发榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热的装置，包括：三相交流电、电源、初级电缆、变压器、次级电缆、上压头、下压头、榫卯结构纳米多层膜、带表面凸点结构的上/下金属箔片、气动压力装置。
进一步地，所述榫卯结构纳米多层膜通过磁控溅射方法制备而成；所述金属箔片表面凸点通过激光选取熔化方法对应榫卯结构尺寸特征预置；预置凸点与榫卯结构纳米多层膜对应位置的接触过程需要的压力由所述气动压力装置产生，通过所述上压头、下压头作用在所述榫卯结构纳米多层膜和所述金属箔片的接触界面上；所述榫卯结构纳米多层膜与所述金属箔片表面接触电阻在所述次级电缆输出的电流作用下通过电阻热效应累积，达到榫卯结构纳米多层膜临界诱发能量密度即可发生自蔓延反应产热。
进一步地，所述预置凸点的材质选自Ni、Cu、Al、Ti及其合金材料的任一种；所述金属箔片的材质选自Si、Cu、Ti、Al、Ni及其合金材料的任一种；所述上压头与所述下压头的材质选自铝、钢、钨铜、铬锆铜、钼的任一种。
进一步地，所述预置凸点的形状为球形、圆柱体的任一种；所述上压头和所述下压头的端面形状可配置为球面、圆弧面、正圆、正方形、长方形的任一种。
进一步地，所述压力装置为气动装置、伺服装置、弹簧阻尼的任一种。
进一步地，本发明提供了一种利用榫卯结构提高纳米多层膜自蔓延反应产热能量的方法，包括如下步骤：
步骤1、基于榫卯结构交叠排布特征布置纳米多层膜双分子层结构形式，通过磁控溅射技术将榫卯结构纳米多层膜制备在Si基底上；
步骤2、通过化学去除的方式，将榫卯结构纳米多层膜从Si基底上剥脱；
步骤3、检查榫卯结构纳米多层膜尺寸及厚度，确保其尺寸在所述范围之内；
步骤4、对金属箔片表面进行化学清洗和打磨，保证表面无油污、平整、光洁；
步骤5、通过激光选区熔化技术将凸点预置在金属箔片表面；
步骤6、调整金属箔片表面凸点的位置，确保其与榫卯结构纳米多层膜同种金属区域位置对应，检查凸点长度、高度，确保其尺寸在所述范围之内；
步骤7、按照所述带表面凸点上金属箔片、榫卯结构纳米多层膜、带表面凸点下金属箔片的顺序放置在所述上压头、下压头之间；
步骤8、调整所述带表面凸点上金属箔片、榫卯结构纳米多层膜、带表面凸点下金属箔片，确保榫卯结构纳米多层膜同种金属区域位置与凸点位置相同；
步骤9、通过所述压力装置向所述上压头、下压头施加压力；
步骤10、通过所述变压器设置榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应过程通电电压、通电电流、通电时间；
步骤11、调整通电电流等参数，确保所述榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热过程发生；
步骤12、开启所述电源，通过高速摄像系统测量所述榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应速度、通过红外热成像仪测量所述榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应温度。
与现有技术相比，本发明至少具有如下有益技术效果：
本发明利用榫卯结构提高纳米多层膜。榫卯结构中多组分交叠排列增加反应接触面积，装置中的多点同时反应有助于缩短传热路径，从而提高纳米多层膜自蔓延反应产热能量，扩展纳米多层膜在微纳器件封装、瞬态器件制备等领域的应用。
以下将结合附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本发明的目的、特征和效果。
附图说明
图1是本发明的一个较佳实施例的具有榫卯结构的交叠纳米多层膜结构示意图；
图2是本发明一个较佳实施例的榫卯结构纳米多层膜铺层方式示意图；
图3是本发明一个较佳实施例的榫卯结构纳米多层膜铺层过程示意图；
图4是本发明一个较佳实施例的多点诱发榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热装置示意图；
图5是本发明一个较佳实施例的榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热过程流程图；
图6是本发明一个较佳实施例的Al/Ni榫卯结构纳米多层膜结构图；
图7是本发明一个较佳实施例的Al/Ni榫卯结构纳米多层膜尺寸参数图；
图8-9是本发明一个较佳实施例的Al/Ni榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应过程的观测结果图；
其中：1-纳米多层膜组分一，2-纳米多层膜组分二，3-三相交流电，4-电源，5-初级电缆，6-变压器，7-次级电缆，8-上金属箔片，9-预置凸点，10-纳米多层膜，11-压头，12-气动压力装置，13-Ni,14-Al。
具体实施方式
以下参考说明书附图介绍本发明的优选实施例，使其技术内容更加清楚和便于理解。本发明可以通过许多不同形式的实施例来得以体现，本发明的保护范围并非仅限于文中提到的实施例。
在附图中，结构相同的部件以相同数字标号表示，各处结构或功能相似的组件以相似数字标号表示。附图所示的每一组件的尺寸和厚度是任意示出的，本发明并没有限定每个组件的尺寸和厚度。为了使图示更清晰，附图中有些地方适当夸大了部件的厚度。
如图1所示，本发明的一个较佳实施例的榫卯结构Al/Ni纳米多层膜，包括纳米多层膜组分一1即Al金属1、纳米多层膜组分二2即Ni金属，两种不同金属成分，基于Al-Ni-Al-Ni-Al的顺序、结合如图2所示的凹凸结构特征，按照图3所示的交叠排列过程，形成5层榫卯结构Al/Ni纳米多层膜(如图6所示)。基于磁控溅射技术形成的榫卯结构Al/Ni纳米多层膜尺寸如图7所示，本发明的一个较佳实施例的所采用的榫卯结构Al/Ni纳米多层膜的总长度为35mm，凹凸结构为正方形，长、宽分别为5mm；单层纳米膜厚度为5um，总厚度为25um。
如图2所示，本发明的一个较佳实施例的利用电阻热诱发榫卯结构Al/Ni纳米多层膜自蔓延反应的装置，Cu凸点通过激光选区熔化技术预置在上、下两个金属箔片表面。预置凸点数量为30个，分5列排列。凸点间行、列间距相同，均为5mm，本实施例中采用的凸点形状为半椭球形，长轴10um，短轴5um。
如图4所示，本发明的一个较佳实施例的利用多点诱发榫卯结构Al/Ni纳米多层膜自蔓延反应的装置，包括三相交流电3、电源4、初级电缆5、变压器6、次级电缆7、金属箔片8、表面凸点9、榫卯结构纳米多层膜10、压头11、气动压力装置12。气动压力装置12产生的压力通过压头11作用于带表面凸点的金属箔片8上，在榫卯结构纳米多层膜10的表面的Ni金属区域形成多点接触。诱发过程所需要的电阻热由带预置凸点的金属箔片8与榫卯结构纳米多层膜10接触界面产生的电阻在次级电缆7形成的通电电流下产生。接触点累积的电阻热使榫卯结构纳米多层膜10表面能量达到临界诱发能量密度即可诱发自蔓延反应。
如图5所示，本发明的一个较佳实施例的榫卯结构Al/Ni纳米多层膜自蔓延反应产热过程的流程示意图：
步骤1、利用磁控溅射技术制备榫卯结构Al/Ni纳米多层膜10；
步骤2、利用激光选区融化技术在铜金属箔片8上制备表面凸点结构9；
步骤3、检查凸点结构9位置是否与榫卯结构Al/Ni纳米多层膜10表面Ni金属所在位置保持一致；如不是，重新制备表面凸点结构9，直至与榫卯结构Al/Ni纳米多层膜10表面Ni金属所在位置保持一致；
步骤4、按照带表面凸点上金属箔片8、榫卯结构纳米多层膜10、带表面凸点下金属箔片8的顺序放置在上、下两个压头11之间；
步骤5、通过气动压力装置12向上、下两个压头11施加压力；
步骤6、通过变压器6设置榫卯结构纳米多层膜10自蔓延反应过程通电电流为4kA、通电时间20ms；
步骤7、开启电源，通过高速摄像、红外热成像仪观察榫卯结构Al/Ni纳米多层膜10的自蔓延反应过程；
步骤8、榫卯结构纳米多层膜10自蔓延反应产热过程的结果的高速摄像结果如图8所示，自蔓延反应结束的时间为430us，计算榫卯结构纳米多层膜的反应速度为81m/s；
步骤9、基于红外热成像仪测量榫卯结构纳米多层膜的产热温度为2400℃，产热能量为22.2×107℃/mm2×s。
以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术无需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构，其特征在于，包括：纳米多层膜组分一和纳米多层膜组分二；所述纳米多层膜组分一具有凹凸结构的单层薄膜、所述纳米多层膜组分二具有凸凹结构的单层薄膜；所述纳米多层膜组分一和纳米多层膜组分二构成榫卯交叠结构。
2.如权利要求1所述的一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构，其特征在于，所述纳米多层膜组分一和纳米多层膜组分二选自Al、Ni、Ti、B、Cu、W、Pt的任意不同的一种。
3.如权利要求1所述的一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构，其特征在于，所述凹凸结构和凸凹结构为长方形、正方形、梯形、菱形的任一种。
4.如权利要求1所述的一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构，其特征在于，所述单层薄膜的层数为4至100层。
5.一种利用多点诱发榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热的装置，制备如权利要求1-4任一项所述的一种具有榫卯交叠特征的纳米多层膜结构，其特征在于，包括：三相交流电、电源、初级电缆、变压器、次级电缆、上压头、下压头、榫卯结构纳米多层膜、带表面凸点结构的上/下金属箔片、气动压力装置。
6.如权利要求5所述的利用多点诱发榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热的装置，其特征在于，所述榫卯结构纳米多层膜通过磁控溅射方法制备而成；所述金属箔片表面凸点通过激光选取熔化方法对应榫卯结构尺寸特征预置；预置凸点与榫卯结构纳米多层膜对应位置的接触过程需要的压力由所述气动压力装置产生，通过所述上压头、下压头作用在所述榫卯结构纳米多层膜和所述金属箔片的接触界面上；所述榫卯结构纳米多层膜与所述金属箔片表面接触电阻在所述次级电缆输出的电流作用下通过电阻热效应累积，达到榫卯结构纳米多层膜临界诱发能量密度即可发生自蔓延反应产热。
7.如权利要求6所述的利用多点诱发榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热的装置，其特征在于，所述预置凸点的材质选自Ni、Cu、Al、Ti及其合金材料的任一种；所述金属箔片的材质选自Si、Cu、Ti、Al、Ni及其合金材料的任一种；所述上压头与所述下压头的材质选自铝、钢、钨铜、铬锆铜、钼的任一种。
8.如权利要求6所述的利用多点诱发榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热的装置，其特征在于，所述预置凸点的形状为球形、圆柱体的任一种；所述上压头和所述下压头的端面形状可配置为球面、圆弧面、正圆、正方形、长方形的任一种。
9.如权利要求6所述的利用多点诱发榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热的装置，其特征在于，所述压力装置为气动装置、伺服装置、弹簧阻尼的任一种。
10.一种利用榫卯结构提高纳米多层膜自蔓延反应产热能量的方法，用于如权利要求6所述的利用多点诱发榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热的装置，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、基于榫卯结构交叠排布特征布置纳米多层膜双分子层结构形式，通过磁控溅射技术将榫卯结构纳米多层膜制备在Si基底上；
步骤2、通过化学去除的方式，将榫卯结构纳米多层膜从Si基底上剥脱；
步骤3、检查榫卯结构纳米多层膜尺寸及厚度，确保其尺寸在范围之内；
步骤4、对金属箔片表面进行化学清洗和打磨，保证表面无油污、平整、光洁；
步骤5、通过激光选区熔化技术将凸点预置在金属箔片表面；
步骤6、调整金属箔片表面凸点的位置，确保其与榫卯结构纳米多层膜同种金属区域位置对应，检查凸点长度、高度，确保其尺寸在范围之内；
步骤7、按照所述带表面凸点上金属箔片、榫卯结构纳米多层膜、带表面凸点下金属箔片的顺序放置在所述上压头、下压头之间；
步骤8、调整所述带表面凸点上金属箔片、榫卯结构纳米多层膜、带表面凸点下金属箔片，确保榫卯结构纳米多层膜同种金属区域位置与凸点位置相同；
步骤9、通过所述压力装置向所述上压头、下压头施加压力；
步骤10、通过所述变压器设置榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应过程通电电压、通电电流、通电时间；
步骤11、调整通电电流等参数，确保所述榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应产热过程发生；
步骤12、开启所述电源，通过高速摄像系统测量所述榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应速度、通过红外热成像仪测量所述榫卯结构纳米多层膜自蔓延反应温度。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6553911B1 (en) * 1997-04-30 2003-04-29 Erico International Corporation Exothermic reactions and methods
CN104985185A (zh) * 2015-06-16 2015-10-21 宋冠弘 自蔓延反应合成工艺的工件表面处理方法
CN207736857U (zh) * 2017-12-21 2018-08-17 扬州万润光电科技有限公司 防火型离型膜
CN112207424A (zh) * 2020-09-04 2021-01-12 上海交通大学 一种提高含能材料自蔓延反应速度的装置及方法
CN113206267A (zh) * 2021-04-30 2021-08-03 南京工业职业技术大学 一种燃料电池金属极板涂层制备方法
CN113277856A (zh) * 2021-05-26 2021-08-20 西安交通大学 一种陶瓷与高温合金复合构件及其制造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6553911B1 (en) * 1997-04-30 2003-04-29 Erico International Corporation Exothermic reactions and methods
CN104985185A (zh) * 2015-06-16 2015-10-21 宋冠弘 自蔓延反应合成工艺的工件表面处理方法
CN207736857U (zh) * 2017-12-21 2018-08-17 扬州万润光电科技有限公司 防火型离型膜
CN112207424A (zh) * 2020-09-04 2021-01-12 上海交通大学 一种提高含能材料自蔓延反应速度的装置及方法
CN113206267A (zh) * 2021-04-30 2021-08-03 南京工业职业技术大学 一种燃料电池金属极板涂层制备方法
CN113277856A (zh) * 2021-05-26 2021-08-20 西安交通大学 一种陶瓷与高温合金复合构件及其制造方法

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