CN115026701A - 检测补偿机构、抛光设备及抛光加工检测补偿方法 - Google Patents
检测补偿机构、抛光设备及抛光加工检测补偿方法 Download PDFInfo
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Abstract
本申请涉及一种检测补偿机构，包括基座、压力传感器、第一压力组件、第二压力组件以及第三压力组件。压力传感器能够检测工件夹持装置在第一方向、第二方向及第三方向所受到的压力。第一压力组件、第二压力组件及第三压力组件分别在第一方向、第二方向以及第三方向上连接工件夹持装置，第一压力组件、第二压力组件、第三压力组件能够分别在第一方向、第二方向、第三方向上对工件夹持装置施加压力。通过采用上述技术方案，通过压力传感器检测工件夹持装置在x、y、z三个轴方向上的受力情况，并分别从抛光设备的x、y、z轴三个方向上同时补偿压力，保证工件在各个方向上均能够受到合适的切削力，从而提高工件抛光加工的抛光精度和产品质量。
Description
技术领域
本申请涉及抛光技术领域，特别是涉及一种检测补偿机构、抛光设备及一种抛光加工检测补偿方法。
背景技术
随着人们对产品外形和表面质量要求的提高，在产品精加工过程中，经常采用抛光加工技术。
在进行抛光加工时，需要在保持抛光轮与工件之间保持稳定的抛光压力，才能保证工件抛光的精度和质量。但是，随着抛光轮不断的磨损和工件表面的变化，造成抛光压力很难保持稳定，进而严重影响工件抛光精度和质量。
目前，为了保持抛光压力稳定，往往是只对抛光加工的一个方向进行检测，因此只能实现一个方向上的压力补偿，导致另外两个垂直方向上受力不均匀，由此产生的磨损同样影响工件的抛光精度和质量，限制了对抛光精度有更高要求的产品质量。
发明内容
基于此，有必要针对抛光精度不足的问题，提供一种检测补偿机构。
一种检测补偿机构，包括基座、压力传感器、第一压力组件、第二压力组件以及第三压力组件。所述基座上设置有工件夹持装置的安装位，所述压力传感器设置于所述工件夹持装置上，所述压力传感器能够检测所述工件夹持装置在第一方向、第二方向及第三方向所受到的压力。所述第一压力组件、所述第二压力组件及所述第三压力组件分别在所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向上连接所述工件夹持装置，所述第一压力组件能够在所述第一方向上对所述工件夹持装置施加压力，所述第二压力组件能够在所述第二方向上对所述工件夹持装置施加压力，所述第三压力组件能够在所述第三方向上对所述工件夹持装置施加压力。
通过采用上述技术方案，通过压力传感器检测工件夹持装置在x、y、z三个轴方向上的受力情况，并分别从抛光设备的x、y、z轴三个方向上同时补偿压力，保证工件在各个方向上均能够受到合适的切削力，从而提高工件抛光加工的抛光精度和产品质量。
在其中一个实施例中，所述第一压力组件包括第一驱动件及与所述基座连接的第一连接件，所述第一驱动件传动连接于所述第一连接件远离所述基座的一侧，所述第一驱动件被构造为能够施加驱动所述第一连接件在第一方向上移动的力。
通过采用上述技术方案，第一驱动件能够向第一连接件施加在第一方向上的压力，由于第一连接件相对第一驱动件的另一侧连接于基座，基座对第一连接件产生限位作用，因此第一连接件不会在第一方向上移动，而是将压力传递至基座上，进而传递至工件夹持装置和工件上，以补偿抛光轮在第一方向上对工件产生的压力偏差。
在其中一个实施例中，所述第一压力组件还包括第一配重件，所述第一配重件设置于所述第一连接件远离所述基座的一侧。
通过采用上述技术方案，第一配重件设置于第一连接件远离基座的一侧，能够分担第一连接件上所受到的部分压力，以防止第一驱动件对基座补偿的压力过大或过小时，第一连接件承受的压力过大产生倾倒或者形变，影响工件的抛光精度和加工质量，并且降低检测补偿机构的使用寿命。
在其中一个实施例中，所述基座包括基座底板及垂直连接于所述基座底板的基座侧板，所述基座侧板连接所述第一压力组件，所述基座底板连接所述第二压力组件及所述第三压力组件。
通过采用上述技术方案，基座侧板用于连接第一压力组件，基座底板用于连接第二压力组件及第三压力组件，各个方向上的压力组件均能够与基座有较大的接触面积，从而提高了压力传递的稳定性，提高压力组件工作的可靠性。
在其中一个实施例中，所述基座侧板及所述基座底板之间设置有加强件。
通过采用上述技术方案，加强件连接基座侧板及基座底板，以提高基座整体的结构稳定性，防止当各个压力组件传递的压力差距较大时，基座侧板及基座底板产生分离的问题。
在其中一个实施例中，所述压力传感器设置于所述基座与所述工件夹持装置之间。
通过采用上述技术方案，传统的压力传感器设置于工件夹持装置与工件之间，通过将压力传感器设置于基座与工件夹持装置之间，能够节约工件夹持装置与工件之间的空间，提高工件夹持的牢靠性。同时，压力传感器能够避免由于工件夹持不稳而产生振动对压力传感器造成的损伤，从而保证压力传感器的数据可靠性。
本申请实施例还提供一种抛光设备，包括抛光轮、工件夹持装置以及如上所述的检测补偿机构。
通过采用上述技术方案，抛光设备能够提高工件加工的抛光精度和工件的产品质量。
本申请实施例还提供一种抛光加工检测补偿方法，抛光加工检测补偿方法，包括以下步骤：
获取数据，获取所述压力传感器的压力数据；
分析受力，根据所述压力数据分析所述工件夹持装置的受力情况；
补偿压力，根据所述受力情况对所述工件夹持装置施加压力。
通过采用上述技术方案，根据压力传感器获取的压力数据，分析工件夹持装置及工件在三个方向上的受力情况，在三个方向上补偿相应的所需压力，以使得工件在三个方向上受到合适的压力，从而提高工件的抛光精度和产品质量。
在其中一个实施例中，所述分析受力步骤具体包括：
根据工件类型选取匹配的物理模型；
结合所述物理模型及所述压力数据计算所需补偿压力；
结合所述物理模型、所述压力数据及所述补偿压力更新所述物理模型；
重复以上步骤，直至所述物理模型迭代至误差小于标准值。
通过采用上述技术方案，由于三个方向上的受力情况并非是完全独立，而是相互关联影响的，因此不能直接将压力数据与标准值的差值作为补偿压力，需要在合适的物理模型内进行不断地数据迭代，以使工件在三个方向上受到补偿压力的共同作用后，三个方向上受到的压力符合标准值。
在其中一个实施例中，在所述补偿压力步骤之后，还包括步骤：
修正误差，根据所述压力传感器的压力数据判断是否需要再次执行所述分析受力步骤及所述补偿压力步骤。
通过采用上述技术方案，能够防止工件受到补偿压力后，其受到的工作压力仍然不符合标准，从而再次进行分析受力与补偿压力以修正误差，提高工件的抛光精度与产品质量。
本申请提供的血压测量组件至少包括以下一种有益效果：
1.通过压力传感器检测工件夹持装置在x、y、z三个轴方向上的受力情况，并分别从抛光设备的x、y、z轴三个方向上同时补偿压力，保证工件在各个方向上均能够受到合适的切削力，从而提高工件抛光加工的抛光精度和产品质量。
2.通过将压力传感器设置于基座与工件夹持装置之间，能够节约工件夹持装置与工件之间的空间，提高工件夹持的牢靠性。同时，压力传感器能够避免由于工件夹持不稳而产生振动对压力传感器造成的损伤，从而保证压力传感器的数据可靠性。
3.通过受力分析迭代物理模型，由于三个方向上的受力情况并非是完全独立，而是相互关联影响的，因此不能直接将压力数据与标准值的差值作为补偿压力，需要在合适的物理模型内进行不断地数据迭代，以使工件在三个方向上受到补偿压力的共同作用后，三个方向上受到的压力符合标准值，从而提高抛光精度。
附图说明
图1为本申请一实施例中检测补偿机构的第一视角的结构示意图；
图2为本申请一实施例中检测补偿机构的第二视角的结构示意图；
图3为本申请一实施例中抛光加工检测补偿方法的流程示意图。
附图标记说明：
100、基座；200、压力传感器；300、第一压力组件；400、第二压力组件；500、第三压力组件；600、工件夹持装置；110、基座底板；120、基座侧板；130、加强件；310、第一驱动件；320、第一连接件；330、第一配重件；321、导轨；322、滑块；323、支撑板。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
现有技术中，抛光设备在对工件进行抛光加工的过程中，往往只对抛光轮的转动方向进行压力补偿，以保证工件在抛光轮的工作面上受到稳定的标准压力。然而，随着产品对抛光精度要求的不断提高，只控制工件在一个方向上的压力稳定已经不足以支撑制取符合加工要求的产品。因此，如何在工件的多个方向同时控制压力稳定以提高工件的抛光加工精度是合乎情理的技术升级发展路线。
然而，在多个方向上同时控制压力稳定并非是简单的将不同方向的压力补偿进行线性地叠加，因为抛光运动的特性，工件在各个方向上受到的压力并非是独立的，而是相互影响的。举例而言，在工件的z轴方向上施加作用力，导致工件在z轴上轻微地偏离了原有的加工位置，与抛光轮之间的加工面积、加工位置产生了变化，从而导致工件在x轴和y轴上的受力情况也因此发生了变化。如果简单地剥离x、y、z轴上的压力，分别进行单独地分析和压力补偿，则模拟的情况与工件真实的抛光受力情况相去甚远，导致生产的产品并不能达到需求的抛光精度。
请参阅图1，图1示出了本申请一实施例中的检测补偿机构的第一视角的结构示意图，本申请一实施例提供的检测补偿机构，包括基座100、压力传感器200、第一压力组件300、第二压力组件400以及第三压力组件500。基座100用于设置工件夹持装置600，压力传感器200能够检测工件夹持装置600上受到的压力，压力传感器200将压力数据传递至外界的控制中心进行分析并计算出在第一方向、第二方向以及第三方向上所需要补偿的压力数值，将各个方向上的补偿压力数值传递至对应的压力组件上并且由压力组件输出相应数值大小的压力，从而保持工件在各个方向上受到合适且恒定的压力，以提高工件的抛光加工精度和产品质量。其中，第一方向、第二方向以及第三方向两两垂直。
基座100上设置有用于安装工件夹持装置600的安装位，工件夹持装置600用于夹持工件，通过对基座100施加压力，能够间接控制工件与抛光轮之间的压力，同时能够避免压力直接作用于工件上，导致工件受到的压力过大而产生挤压变形。
具体地，基座100包括基座底板110和基座侧板120。基座侧板120垂直设置于基座底板110上，基座侧板120用于连接第一压力组件300，以增加第一压力组件300与基座100之间的接触面积。基座底板110则用于连接第二压力组件400及第三压力组件500，以增加第二压力组件400及第三压力组件500与基座100之间的接触面积。由于第一压力组件300、第二压力组件400以及第三压力组件500的施加压力的方向相互垂直，如果均设置于基座底板110上，则会导致其中的一个压力组件与基座100的接触面积较小，对于连接处的连接强度则会有更高的要求，导致基座100的加工成本增加。通过在基座底板110上设置垂直的基座侧板120，第一压力组件300能够通过基座侧板120将压力传递至基座100上，并且增加了第一压力组件300与基座100之间的接触面积，从而提高了压力传递的稳定性，提高压力组件工作的可靠性。
具体到实施例中，基座底板110和基座侧板120之间还设置有加强件130，加强件130同时垂直于基座底板110和基座侧板120设置，以提高基座100整体的结构稳定性。加强件130被构造为垂直三角形，加强件130的两条相对短边通过螺栓结构固定于基座底板110和基座侧板120上以提高连接强度。加强件130的中心被设置为中空以减少材料成本。
压力传感器200设置于工件夹持装置600上，用于检测工件夹持装置600在第一方向、第二方向以及第三方向上的压力，压力传感器200与外界的控制中心通讯连接，以将所获取的压力数据传递至控制中心进行分析计算。
具体地，压力传感器200设置于基座100与工件夹持装置600之间，能够节约工件夹持装置600与工件之间的空间，提高工件夹持的牢靠性。同时能够避免由于工件夹持不稳而产生振动而对压力传感器200造成损伤，从而保证压力传感器200的数据可靠性和使用寿命。
具体到实施例中，压力传感器200被设置为长方体结构,以便于安装于基座100上。压力传感器200为三维力传感器，其上设置有传感器主体和应变片。通过应变片的变形引起电阻变化，最后对应变片电路输出的电压进行解耦计算得到三维力的大小与方向。
需要说明的是，压力传感器200的具体结构并非本申请的重点，在此不作赘述。本领域技术人员能够根据压力传感技术领域的公知常识和常规技术手段进行适应性调整。
第一压力组件300在第一方向上连接基座侧板120，从而间接连接工件夹持装置600及工件，以将补偿压力传递至工件上，使得工件在第一方向上受到设定范围内且稳定的压力。
需要说明的是，在本实施例中，第一方向为垂直于水平面的z轴方向。在其他一些实施例中，本领域技术人员能够根据工件和抛光轮的相对位置选择合适的方向作为第一方向。
请结合参阅图2，图2示出了本申请一实施例中的检测补偿机构的第二视角的结构示意图。具体地，第一压力组件300包括第一驱动件310及第一连接件320。第一驱动件310设置于外界的底板上且能够在第一方向上自由移动。第一驱动件310传动连接于第一连接件320，第一连接件320还与基座侧板120固定连接，当第一驱动件310在第一方向上移动时，带动第一连接件320同步移动，从而带动基座100在第一方向上移动。由于基座100上的工件夹持装置600夹持有工件，工件由于抵接于抛光轮被限制了在第一方向上的移动，因此只能受到在第一方向上传递的补偿压力。
具体到实施例中，第一驱动件310包括电动推杆结构及伺服电机，伺服电机电连接于电动推杆结构并控制电动推杆结构在第一方向上的移动。第一连接件320包括分别设置于第一驱动件310相对两侧的滑块322导轨321结构，导轨321设置于相对远离基座侧板120的支撑板上。滑块322可滑动地设置于导轨321上，滑块322朝向电动推杆结构的一侧与电动推杆结构固定连接，滑块322背离导轨321的另一侧与基座侧板120固定连接，从而通过滑块322导轨321结构，实现第一驱动件310的补偿压力传递至滑块322导轨321结构，进而传递至基座100、工件夹持装置600以及工件上。
需要说明的是，第一驱动件310的结构不局限于本实施例中所述的电动推杆结构及伺服电机，还可以是丝杆传动结构、气缸活塞推杆结构等本领域常见的驱动结构，本领域技术人员能够根据实际需要进行常规技术手段地替换并进行适应性地调整。
在其他一些实施例中，为了降低成本和节约空间，减少导轨321滑块322结构的使用。导轨321滑块322结构的数量被限定为一个，导轨321设置于第一驱动件310与基座侧板120之间，滑块322设置于导轨321上且滑块322背离导轨321的一侧与基座侧板120固定连接。
还需要说明的是，第一连接件320的结构也不局限于本实施例中所述的滑块322导轨321结构，本领域技术人员能够根据实际需要将其替换为诸如曲柄连杆结构、凸轮连杆结构等，只要能够实现力传递的技术效果即可。
在其他一些实施例中，第一连接件320远离基座侧板120的一侧还设置有第一配重件330，以提高第一连接件320的整体结构强度。
第二压力组件400在第二方向上连接基座底板110，从而间接连接工件夹持装置600及工件，以将补偿压力传递至工件上，使得工件在第二方向上受到设定范围内且稳定的压力。
需要说明的是，在本实施例中，第二方向为三维坐标系的y轴方向。在其他一些实施例中，本领域技术人员能够根据工件和抛光轮的相对位置选择合适的方向作为第二方向。
第二压力组件400与第一压力组件300的工作原理、结构以及与基座100的连接方式类似或相同，区别仅在于由于第二方向与第一方向的差异而产生的与基座100的相对位置关系不同。因而在此不再对第二压力组件400的结构进行赘述，本领域技术人员能够根据上文对第一压力组件300的结构、位置关系、连接关系的描述合理设置第二压力组件400。
第三压力组件500在第三方向上连接基座底板110，从而间接连接工件夹持装置600及工件，以将补偿压力传递至工件上，使得工件在第三方向上受到设定范围内且稳定的压力。
需要说明的是，在本实施例中，第三方向为三维坐标系的x轴方向。在其他一些实施例中，本领域技术人员能够根据工件和抛光轮的相对位置选择合适的方向作为第三方向。
第三压力组件500与第一压力组件300及第二压力组件400的工作原理、结构以及与基座100的连接方式类似或相同，区别仅在于由于第三方向与第一方向、第二方向的差异而产生的与基座100的相对位置关系不同。因而在此不再对第三压力组件500的结构进行赘述，本领域技术人员能够根据上文对第一压力组件300的结构、位置关系、连接关系的描述合理设置第三压力组件500。
本申请实施例还提供一种抛光设备，包括抛光轮、工件夹持装置600以及如上文所述的检测补偿机构。工价夹持装置设置于检测补偿机构的基座100上，用于夹持工件。工件被夹持工件装置固定时处于抛光轮的加工位，抛光轮能够转动以对工件进行抛光加工。当工件进行抛光加工时，检测补偿机构能够检测工件在各个方向上受到的压力并根据需要在各个方向上对工件补偿压力，以使工件能够保持稳定，提高抛光精度和产品加工质量。
请参阅图3，图3示出了本申请一实施例中抛光加工检测补偿方法的流程示意图。本申请实施例还提供一种抛光加工检测补偿方法，包括以下步骤：
S100:获取数据，压力传感器200获取的压力数据传递至外界的控制中心，控制中心对数据进行解耦计算并还原工件在第一方向、第二方向以及第三方向上受到的压力。
S200:分析受力，根据还原得到的各个方向上的压力数据分析工件的受力情况，并计算所需要补偿的压力数值，具体包括以下步骤：
S210:根据抛光设备加工的工件类型选取匹配的物理模型。具体地，由于加工的工件类型不同，抛光设备的加工方式、加工压力以及加工位置等参数都有所不同。当参数变化较大时，需要选取合适的物理模型进行受力分析，以防止模拟结果与真实情况有较大差距产生系统误差，导致工件的加工精度不足、加工工件产品质量不达标。
具体到本实施例中，加工工件为手机壳体，手机壳体的上下边缘处均被设置为圆角结构，抛光轮在水平方向转动的同时，在竖直方向上还有随动运动。其抛光运动模型则需要同时考量工件转动角度的误差以及工件水平位移的误差，并且选择合理的参考权重。
S220:结合物理模型及压力数据计算所需补偿压力。具体地，将工件在抛光加工过程中所受到的实际压力，即压力传感器200所获取的第一方向、第二方向以及第三方向上的压力数据填入选取的物理模型中，并计算各个方向上的压力数据分别与对应方向上设定的标准压力值之间的差值作为补偿压力。
S230:结合物理模型、压力数据及补偿压力更新所述物理模型。具体地，由于三个方向上所受到的补偿压力共同作用于工件上后，会由于轻微地偏离而相互影响。因此，在填入补偿后的压力数据后需要对物理模型进行重新修正。
S240：重复以上步骤，直至物理模型迭代至误差小于标准值。具体地，在更新物理模型之后，需要重新将压力数据代入更新后的物理模型计算补偿压力。每次迭代物理模型后计算得到的补偿压力都不同，当前后两次计算得到的补偿压力的差值小于设定的误差值时，能够认为补偿压力后的物理模型趋于稳定且符合真实情况。
S300:补偿压力，根据受力情况对工件施加压力。具体地，控制中心根据计算得到的补偿压力数据分别向第一压力组件300、第二压力组件400以及第三压力组件500发送指令，以使工件在各个方向上所受到的压力处于设定压力范围内。
S400:修正误差，根据压力传感器200的压力数据判断是否需要再次执行分析受力步骤及补偿压力步骤。具体地，压力传感器200将压力数据再次发送至控制中心，控制中心判断工件在补偿压力后在第一方向、第二方向以及第三方向上所受到的压力是否处于设定压力范围内。若工件的至少一个方向上的压力数据仍不处于设定压力范围内，则需要重新分析受力情况并进行补偿压力。若工件的三个方向上的压力数据均处于设定压力范围内，则能够认为工件的抛光精度达到加工标准。
最后，本申请实施例中检测补偿机构的工作原理为：通过压力传感器200检测工件夹持装置600在第一方向、第二方向以及第三方向上的受力情况并产生压力数据发送至外界控制中心，通过建立物理模型、分析受力以及迭代模型计算出符合要求标准的补偿压力数据，分别通过第一压力组件300、第二压力组件400以及第三压力组件500对工件的三个方向上同时补偿压力，保证工件在各个方向上均能够受到合适的切削力，从而提高工件抛光加工的抛光精度和产品质量。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种检测补偿机构，其特征在于，包括：
基座(100)，设置有工件夹持装置(600)的安装位；
压力传感器(200)，设置于所述工件夹持装置(600)上，所述压力传感器(200)能够检测所述工件夹持装置(600)在第一方向、第二方向及第三方向所受到的压力；
第一压力组件(300)，在所述第一方向上连接所述工件夹持装置(600)，所述第一压力组件(300)能够在所述第一方向上对所述工件夹持装置(600)施加压力；
第二压力组件(400)，在所述第二方向上连接所述工件夹持装置(600)，所述第二压力组件(400)能够在所述第二方向上对所述工件夹持装置(600)施加压力；及
第三压力组件(500)，在所述第三方向上连接所述工件夹持装置(600)，所述第三压力组件(500)能够在所述第三方向上对所述工件夹持装置(600)施加压力。
2.根据权利要求1所述的检测补偿机构，其特征在于，所述第一压力组件(300)包括第一驱动件(310)及与所述基座(100)连接的第一连接件(320)，所述第一驱动件(310)传动连接于所述第一连接件(320)，所述第一驱动件(310)被构造为能够施加驱动所述第一连接件(320)在第一方向上移动的力。
3.根据权利要求2所述的检测补偿机构，其特征在于，所述第一压力组件(300)还包括第一配重件(330)，所述第一配重件(330)设置于所述第一连接件(320)远离所述基座(100)的一侧。
4.根据权利要求1所述的检测补偿机构，其特征在于，所述基座(100)包括基座底板(110)及垂直连接于所述基座底板(110)的基座侧板(120)，所述基座侧板(120)连接所述第一压力组件(300)，所述基座底板(110)连接所述第二压力组件(400)及所述第三压力组件(500)。
5.根据权利要求4所述的检测补偿机构，其特征在于，所述基座(100)侧板及所述基座底板(110)之间设置有加强件（130）。
6.根据权利要求1所述的检测补偿机构，其特征在于，所述压力传感器(200)设置于所述基座(100)与所述工件夹持装置(600)之间。
7.一种抛光设备，其特征在于，包括抛光轮、工件夹持装置(600)以及如权利要求1-6任一项所述的检测补偿机构。
8.一种基于权利要求7所述的抛光设备的抛光加工检测补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：
获取数据，获取所述压力传感器(200)的压力数据；
分析受力，根据所述压力数据分析所述工件的受力情况并计算所需要补偿的压力数值；
补偿压力，根据所述受力情况对所述工件施加压力。
9.根据权利要求8所述的抛光加工检测补偿方法，其特征在于，所述分析受力步骤具体包括：
根据工件类型选取匹配的物理模型；
结合所述物理模型及所述压力数据计算所需补偿压力；
结合所述物理模型、所述压力数据及所述补偿压力更新所述物理模型；
重复以上步骤，直至所述物理模型迭代至误差小于标准值。
10.根据权利要求8所述的抛光加工检测补偿方法，其特征在于，在所述补偿压力步骤之后，还包括步骤：
修正误差，根据所述压力传感器(200)的压力数据判断是否需要再次执行所述分析受力步骤及所述补偿压力步骤。
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