CN115025521B - 一种液晶面板刻蚀液的再生设备与方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及蚀刻技术领域，尤其涉及一种液晶面板刻蚀液的再生设备，包括设备主体，所述设备主体的下端设置有流道，所述流道的内侧设置有承接板，所述承接板下端面中间位置处与流道内底面相转动配合，所述承接板的前后端与流道的内部相插装配合，所述承接板的下端面靠近前后端处与流道的内底面间设置有抖动机构，所述承接板的上端面固定连接有若干根连接杆，还提出了一种液晶面板刻蚀液的再生方法，本方案可以促进沉降物的稳定沉降，并同时协助沉降物在较为稳定的状态下进行传送，以便于后续上下液层间的分隔，也利于了后续沉降物的再生利用，有效降低了生产成本，回收液的处理也更为便捷。

Description

一种液晶面板刻蚀液的再生设备与方法

技术领域

本发明涉及蚀刻技术领域，尤其涉及一种液晶面板刻蚀液的再生设备与方法。

背景技术

在液晶面板的生产过程中，需要对其电路板基板料进行蚀刻处理，在工业生产线上采用流水线设备进行蚀刻步骤，经过输送带传送的电路板经过蚀刻液的持续淋洒进行蚀刻，再由下方的内底板进行蚀刻液的回收再利用；而现有工艺中的回收利用过程较为不便，需要进行杂质沉淀过滤，通常的对于回收液中的Cu(NH₃)₂CI等杂质需要加入NH₄Cl进行络合，从而实现回收液的再生利用，由于回收时原本沉淀的杂质会发生翻动，需要等待沉降后再进行上下层液的分离，耗时长，且需要额外多个设备辅助进行，颇为不便，针对这些问题，我们提出了一种液晶面板刻蚀液的再生设备与方法。

发明内容

本发明的目的是为了解决背景技术中存在的缺点，而提出的一种液晶面板刻蚀液的再生设备与方法。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种液晶面板刻蚀液的再生设备，包括设备主体，所述设备主体的下端设置有流道，所述流道的内侧设置有承接板，所述承接板下端面中间位置处与流道内底面相转动配合，所述承接板的前后端与流道的内部相插装配合，所述承接板的下端面靠近前后端处与流道的内底面间设置有抖动机构，所述承接板的上端面固定连接有若干根连接杆，若干个所述连接杆的上端共同固定连接有导流板，所述导流板的两边朝向斜下方延伸，所述设备主体的两侧壁对应导流板的下边处分别固定安装有朝向斜上方延伸的缓冲板，所述缓冲板的上边连接有侧斜板，所述侧斜板的下边固定连接在流道的上端端口，所述设备主体的前端设置有排出部。

优选的，所述承接板的下端面中间位置处通过安装块固定连接有连接块，所述流道的内底面固定安装有固定座，所述连接块活动卡入固定座的内侧，所述连接块的一侧延伸出转轴，所述转轴与流道的侧壁间转动配合。

优选的，所述转轴的一端延伸至流道的外侧并固定连接有限位盘，所述限位盘的外表面凸设有若干个等距分别的限位齿，所述流道的侧表面通过弹性机构沿前后方向上活动设置有卡块，所述卡块活动卡在其中一个限位齿的外表面。

优选的，所述弹性机构包括固定安装在流道侧表面的固定壳，所述固定壳的内侧开设有插槽，所述卡块从插槽的后端滑动插入，所述卡块的前端与插槽的内侧间设置有压缩弹簧，所述固定壳的侧表面开设有滑槽，所述卡块的侧表面固定连接有滑块，所述滑块滑动卡入滑槽的内侧，所述滑块的端部固定连接有拨动杆，所述限位盘的侧表面固定安装有手轮。

优选的，所述抖动机构包括固定连接在承接板下端面靠近拐角处的抖动弹簧，所述抖动弹簧的下端固定连接在流道的内底面，所述抖动弹簧的数量设置为四个且呈阵列排布，所述承接板的两侧边沿分别固定连接有侧边板，所述侧边板与流道的内壁活动贴合。

优选的，所述承接板的前后端分别固定连接有弧形板，所述流道的内侧底面对应弧形板的下方处设置有加厚部，所述加厚部的上端面开设有弧形槽，所述弧形板的下端滑动插入弧形槽的内侧。

优选的，所述排出部包括固定连接在设备主体前端的排出道、固定连接在流道下端面且靠近前端的沉降机构。

优选的，从所述排出道的上表面滑动插装有外框，所述外框的内侧固定安装有挡网，所述外框的侧边与下边均与排出道的内表面活动接触，所述外框的上端固定安装有拉拽把手。

优选的，所述沉降机构包括固定连接在流道下端面的沉降池，所述沉降池的下端连接有收拢斗，所述收拢斗的下端连接有排出口，所述排出口的端口处设置有阀门，所述沉降池的后表面设置有进液管与进气管，所述沉降池的前端面倾斜插装有相互转动配合的驱动轴，所述驱动轴的下端安装有搅动叶，所述驱动轴的上端连接电机的输出轴，所述电机通过安装座固定安装在沉降池的前表面，所述搅动叶延伸至收拢斗的内侧。

还提出了一种液晶面板刻蚀液的再生方法，采用上述的设备进行，步骤如下：

S1、将设备主体置于淋蚀设备下，收集下落的蚀刻液；

S2、将设备主体朝向前下方倾斜布置，随着液体的下降触碰导流板，使得承接板摆动，促进承接板表面的杂质朝向前下方流走；

S3、在排出部将上层清夜与杂质较多的底层液分隔处理；

S4、将杂质较多的底层液进行再生处理以循环利用。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、本方案可以促进沉降物的稳定沉降，并同时协助沉降物在较为稳定的状态下进行传送，以便于后续上下液层间的分隔，也利于了后续沉降物的再生利用，有效降低了生产成本，回收液的处理也更为便捷。

2、蚀刻液落在导流板表面后，进行分流从两侧滑走，落在缓冲板的表面，再之后顺应着侧斜板的表面下滑，由于顺应着侧斜板表面下滑，因此下滑的液体较为平稳，有效降低了对流道内底面沉降物搅动的现象；相比于没有导流板与缓冲板的状态下，液体直接下落会扰动流道内底面的沉降物，从而影响后续液体的分隔。

3、而在液体下落时，撞击时的部分动能会传递至导流板，使得导流板以转轴为轴摆动，此过程中，承接板同步摆动，促使表面沉降物朝向前下方滑走，避免堆积的问题发生，而承接板会挤压或者拉拽抖动弹簧，此过程中动势能多次转化，有效提升了承接板的摆动次数，促进沉降物的移走效果，而承接板摆动时幅度较小，因此沉降物虽然会被扰动，但扰动时上下翻动包含的范围较小，不会对后续的液体分隔产生实质性影响。

4、随着液体的移动，上层液直接经过排出道排走，下层含有较多沉降物的液体流入至沉降池的内侧，通过进气管通入氧气、进液管通入NH₄Cl，来进行内侧沉降物的再生反应步骤，以实现蚀刻液体再利用，可以显著提升蚀刻液的回收利用效率，减少额外设备的设置使用，降低生产成本。

附图说明

图1为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的结构示意图；

图2为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的剖视图；

图3为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的图2中A处放大图；

图4为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的沉降池处剖视图；

图5为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的局部剖视图；

图6为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的排出道处剖视图；

图7为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的外框架抽出时示意图；

图8为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的另一视角示意图；

图9为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的内侧局部结构示意图；

图10为本发明一种液晶面板刻蚀液的再生设备的转轴处示意图。

1、设备主体；2、流道；3、侧斜板；4、缓冲板；5、承接板；6、连接杆；7、导流板；8、侧边板；9、弧形板；10、加厚部；11、弧形槽；12、安装块；13、连接块；14、固定座；15、转轴；16、限位盘；17、限位齿；18、固定壳；19、插槽；20、滑槽；21、压缩弹簧；22、卡块；23、滑块；24、拨动杆；25、手轮；26、沉降池；27、收拢斗；28、排出口；29、阀门；30、进液管；31、进气管；32、电机；33、驱动轴；34、搅动叶；35、安装座；36、排出道；37、外框；38、挡网；39、拉拽把手；40、抖动弹簧。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。

如图1-图10所示的一种液晶面板刻蚀液的再生设备，包括设备主体1，设备主体1的下端设置有流道2，流道2的内侧设置有承接板5，承接板5下端面中间位置处与流道2内底面相转动配合，承接板5的前后端与流道2的内部相插装配合，承接板5的下端面靠近前后端处与流道2的内底面间设置有抖动机构，承接板5的上端面固定连接有若干根连接杆6，若干个连接杆6的上端共同固定连接有导流板7，导流板7的两边朝向斜下方延伸，设备主体1的两侧壁对应导流板7的下边处分别固定安装有朝向斜上方延伸的缓冲板4，缓冲板4的上边连接有侧斜板3，侧斜板3的下边固定连接在流道2的上端端口，设备主体1的前端设置有排出部。

本方案可以促进沉降物的稳定沉降，并同时协助沉降物在较为稳定的状态下进行传送，整个设备在使用时可以保持前下方向倾斜，以协助内侧沉降物的移动，以便于后续上下液层间的分隔，也利于了后续沉降物的再生利用，有效降低了生产成本，回收液的处理也更为便捷。

对于后续分层液体处理部分，上述方案可以进行结构增加：排出部包括固定连接在设备主体1前端的排出道36、固定连接在流道2下端面且靠近前端的沉降机构。

如图6与图7所示，从排出道36的上表面滑动插装有外框37，外框37的内侧固定安装有挡网38，外框37的侧边与下边均与排出道36的内表面活动接触，外框37的上端固定安装有拉拽把手39，以便于取出外框37，对挡网38进行清洁，挡网38起到再度过滤的效果，视实际上对上层液中杂质量的允许程度，液可以不涉及该部分机构。

如图4所示，沉降机构包括固定连接在流道2下端面的沉降池26，沉降池26的下端连接有收拢斗27，收拢斗27的下端连接有排出口28，排出口28的端口处设置有阀门29，在开启阀门29后，可以将内侧反应后的液体排出，沉降池26的后表面设置有进液管30与进气管31，沉降池26的前端面倾斜插装有相互转动配合的驱动轴33，驱动轴33的下端安装有搅动叶34，驱动轴33的上端连接电机32的输出轴，电机32通过安装座35固定安装在沉降池26的前表面，搅动叶34延伸至收拢斗27的内侧，电机32驱动搅动叶34转动，促进沉降物的反应，该再生基于以下原理：

4Cu(NH₃)₂CI+O₂+ 4NH₄OH + 4NH₄CI -→4Cu(NH₃)₄Cl₂+ 6H₂0

对于上述的Cu(NH₃)₂CI沉淀物，是蚀刻中常存在的杂质，蚀刻原理如下：

Cu+Cu(NH₃)₄Cl₂→2Cu(NH₃)₂CI

其中，伴随副反应如下：

Cu+Cu²⁺→2Cu⁺

如图2、图3与图5所示，抖动机构包括固定连接在承接板5下端面靠近拐角处的抖动弹簧40，抖动弹簧40的下端固定连接在流道2的内底面，抖动弹簧40的数量设置为四个且呈阵列排布，承接板5的两侧边沿分别固定连接有侧边板8，侧边板8与流道2的内壁活动贴合，增加贴合程度，减少水下渗的问题发生，实际过程中水会下渗，但沉淀物基本不会，因此，对本设备的使用不带了实质性影响。

如图9所示，承接板5的前后端分别固定连接有弧形板9，流道2的内侧底面对应弧形板9的下方处设置有加厚部10，加厚部10的上端面开设有弧形槽11，弧形板9的下端滑动插入弧形槽11的内侧，在承接板5摆动时，弧形板9沿着弧形槽11的内侧滑动，起到封堵的作用，防止沉淀物移动至流道2与承接板5的空隙间。

如图8、图9与图10所示，在进行如下设计后，该设备使用时可以不朝向前下方倾斜布置：承接板5的下端面中间位置处通过安装块12固定连接有连接块13，流道2的内底面固定安装有固定座14，连接块13活动卡入固定座14的内侧，连接块13的一侧延伸出转轴15，转轴15与流道2的侧壁间转动配合；转轴15的一端延伸至流道2的外侧并固定连接有限位盘16，限位盘16的外表面凸设有若干个等距分别的限位齿17，流道2的侧表面通过弹性机构沿前后方向上活动设置有卡块22，卡块22活动卡在其中一个限位齿17的外表面；弹性机构包括固定安装在流道2侧表面的固定壳18，固定壳18的内侧开设有插槽19，卡块22从插槽19的后端滑动插入，卡块22的前端与插槽19的内侧间设置有压缩弹簧21，固定壳18的侧表面开设有滑槽20，卡块22的侧表面固定连接有滑块23，滑块23滑动卡入滑槽20的内侧，滑块23的端部固定连接有拨动杆24，限位盘16的侧表面固定安装有手轮25，通过拨动杆24向前方推动，使得滑块23沿着滑槽20的内侧前移，卡块22沿着插槽19的内侧前移，挤压内侧压缩弹簧21，卡块22会脱离限位齿17，之后可以转动手轮25来将限位盘16转动，即使得内侧的承接板5转动，转动使其朝向前下方状态时，松开拨动杆24，在压缩弹簧21的弹力作用下，卡块22再次卡住限位齿17，从而保障限位盘16的稳定，来限制住承接板5的倾斜程度。

基于上述的设备，可以提出一种液晶面板刻蚀液的再生方法，步骤如下：

S1、将设备主体1置于淋蚀设备下，收集下落的蚀刻液；

S2、将设备主体1朝向前下方倾斜布置，随着液体的下降触碰导流板7，使得承接板5摆动，促进承接板5表面的杂质朝向前下方流走；

S3、在排出部将上层清夜与杂质较多的底层液分隔处理；

S4、将杂质较多的底层液进行再生处理以循环利用。

蚀刻液落在导流板7表面后，进行分流从两侧滑走，落在缓冲板4的表面，再之后顺应着侧斜板3的表面下滑，由于顺应着侧斜板3表面下滑，因此下滑的液体较为平稳，有效降低了对流道2内底面沉降物搅动的现象；相比于没有导流板7与缓冲板4的状态下，液体直接下落会扰动流道2内底面的沉降物，从而影响后续液体的分隔；而在液体下落时，撞击时的部分动能会传递至导流板7，使得导流板7以转轴15为轴摆动，此过程中，承接板5同步摆动，促使表面沉降物朝向前下方滑走，避免堆积的问题发生，而承接板5会挤压或者拉拽抖动弹簧40，此过程中动势能多次转化，有效提升了承接板5的摆动次数，促进沉降物的移走效果，而承接板5摆动时幅度较小，因此沉降物虽然会被扰动，但扰动时上下翻动包含的范围较小，不会对后续的液体分隔产生实质性影响；随着液体的移动，上层液直接经过排出道36排走，下层含有较多沉降物的液体流入至沉降池26的内侧，通过进气管31通入氧气、进液管30通入NH₄Cl，来进行内侧沉降物的再生反应步骤，以实现蚀刻液体再利用，可以显著提升蚀刻液的回收利用效率，减少额外设备的设置使用，降低生产成本。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (9)

1.一种液晶面板刻蚀液的再生设备，包括设备主体（1），其特征在于：所述设备主体（1）的下端设置有流道（2），所述流道（2）的内侧设置有承接板（5），所述承接板（5）下端面中间位置处与流道（2）内底面相转动配合，所述承接板（5）的前后端与流道（2）的内部相插装配合，所述承接板（5）的下端面靠近前后端处与流道（2）的内底面间设置有抖动机构，所述承接板（5）的上端面固定连接有若干根连接杆（6），若干个所述连接杆（6）的上端共同固定连接有导流板（7），所述导流板（7）的两边朝向斜下方延伸，所述设备主体（1）的两侧壁对应导流板（7）的下边处分别固定安装有朝向斜上方延伸的缓冲板（4），所述缓冲板（4）的上边连接有侧斜板（3），所述侧斜板（3）的下边固定连接在流道（2）的上端端口，所述设备主体（1）的前端设置有排出部；

所述承接板（5）的前后端分别固定连接有弧形板（9），所述流道（2）的内侧底面对应弧形板（9）的下方处设置有加厚部（10），所述加厚部（10）的上端面开设有弧形槽（11），所述弧形板（9）的下端滑动插入弧形槽（11）的内侧。

2.根据权利要求1所述的一种液晶面板刻蚀液的再生设备，其特征在于：所述承接板（5）的下端面中间位置处通过安装块（12）固定连接有连接块（13），所述流道（2）的内底面固定安装有固定座（14），所述连接块（13）活动卡入固定座（14）的内侧，所述连接块（13）的一侧延伸出转轴（15），所述转轴（15）与流道（2）的侧壁间转动配合。

3.根据权利要求2所述的一种液晶面板刻蚀液的再生设备，其特征在于：所述转轴（15）的一端延伸至流道（2）的外侧并固定连接有限位盘（16），所述限位盘（16）的外表面凸设有若干个等距分别的限位齿（17），所述流道（2）的侧表面通过弹性机构沿前后方向上活动设置有卡块（22），所述卡块（22）活动卡在其中一个限位齿（17）的外表面。

4.根据权利要求3所述的一种液晶面板刻蚀液的再生设备，其特征在于：所述弹性机构包括固定安装在流道（2）侧表面的固定壳（18），所述固定壳（18）的内侧开设有插槽（19），所述卡块（22）从插槽（19）的后端滑动插入，所述卡块（22）的前端与插槽（19）的内侧间设置有压缩弹簧（21），所述固定壳（18）的侧表面开设有滑槽（20），所述卡块（22）的侧表面固定连接有滑块（23），所述滑块（23）滑动卡入滑槽（20）的内侧，所述滑块（23）的端部固定连接有拨动杆（24），所述限位盘（16）的侧表面固定安装有手轮（25）。

5.根据权利要求1所述的一种液晶面板刻蚀液的再生设备，其特征在于：所述抖动机构包括固定连接在承接板（5）下端面靠近拐角处的抖动弹簧（40），所述抖动弹簧（40）的下端固定连接在流道（2）的内底面，所述抖动弹簧（40）的数量设置为四个且呈阵列排布，所述承接板（5）的两侧边沿分别固定连接有侧边板（8），所述侧边板（8）与流道（2）的内壁活动贴合。

6.根据权利要求1所述的一种液晶面板刻蚀液的再生设备，其特征在于：所述排出部包括固定连接在设备主体（1）前端的排出道（36）、固定连接在流道（2）下端面且靠近前端的沉降机构。

7.根据权利要求6所述的一种液晶面板刻蚀液的再生设备，其特征在于：从所述排出道（36）的上表面滑动插装有外框（37），所述外框（37）的内侧固定安装有挡网（38），所述外框（37）的侧边与下边均与排出道（36）的内表面活动接触，所述外框（37）的上端固定安装有拉拽把手（39）。

8.根据权利要求6所述的一种液晶面板刻蚀液的再生设备，其特征在于：所述沉降机构包括固定连接在流道（2）下端面的沉降池（26），所述沉降池（26）的下端连接有收拢斗（27），所述收拢斗（27）的下端连接有排出口（28），所述排出口（28）的端口处设置有阀门（29），所述沉降池（26）的后表面设置有进液管（30）与进气管（31），所述沉降池（26）的前端面倾斜插装有相互转动配合的驱动轴（33），所述驱动轴（33）的下端安装有搅动叶（34），所述驱动轴（33）的上端连接电机（32）的输出轴，所述电机（32）通过安装座（35）固定安装在沉降池（26）的前表面，所述搅动叶（34）延伸至收拢斗（27）的内侧。

9.一种液晶面板刻蚀液的再生方法，其特征在于：采用如权利要求1-8任意一条所述的设备进行，步骤如下：

S1、将设备主体（1）置于淋蚀设备下，收集下落的蚀刻液；

S2、将设备主体（1）朝向前下方倾斜布置，随着液体的下降触碰导流板（7），使得承接板（5）摆动，促进承接板（5）表面的杂质朝向前下方流走；

S3、在排出部将上层清夜与杂质较多的底层液分隔处理；

S4、将杂质较多的底层液进行再生处理以循环利用。