CN115011931A - 蒸发源装置及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种蒸发源装置及蒸镀设备，其中，所述蒸发源装置包括：坩埚，所述坩埚包括坩埚壳体和用于输出蒸镀材料的开口，所述坩埚盖可拆卸安装于所述开口；材料承载组件，所述材料承载组件包括安装架和至少一个承载平台，所述安装架安装于所述坩埚内部，所述安装架自所述开口向所述坩埚壳体的底部延伸，所述承载平台可拆卸安装于所述安装架上，所述承载平台用于承载所述蒸镀材料。通过上述方式，本申请能够减少蒸镀材料的浪费，增加坩埚的使用寿命。

Description

蒸发源装置及蒸镀设备

技术领域

本申请涉及显示技术领域，尤其是涉及一种蒸发源装置及蒸镀设备。

背景技术

目前具有可折叠柔性AMOLED(有源矩阵有机发光二极体)显示屏幕的手机，逐渐成为年轻人喜爱的产品。其中AMOLED发光原理即在期间的阴阳极施加电压，使得器件结构中的电子和空穴向中间的发光层传输并在发光层位置结合产生激子，激子从激发态转变至基态，并辐射出光子。而目前所有AMOLED生产线中，作为阴极膜层的注入层，Yb(金属镱)材料几乎在所有的生产线中都会进行蒸镀成膜。而关于蒸镀金属镱，Yb表面一般会存在致密的氧化膜，在蒸镀过程中氧化膜因温度不够，残留在坩埚内，在实际生产中，为减少Yb氧化膜的量，提高生产良率，一般会使用锭状Yb材料(同质量下，锭状比颗粒状表面积小很多)，而一个坩埚一般可装多个锭状Yb材料，直接放置在坩埚内，在生产结束后，坩埚内剩余的金属Yb材料会烧结在一起，且也会与坩埚底部连接，因处理Yb存在危险性且也会损坏坩埚，故一般是将剩余Yb材料和坩埚送去清洗，这样就会存在生产浪费和坩埚的使用寿命降低等风险。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种蒸发源装置及蒸镀设备，能够减少蒸镀材料的浪费，增加坩埚的使用寿命。

为解决上述技术问题，本申请采用的第一技术方案是提供一种蒸发源装置，所述蒸发源装置包括：坩埚，所述坩埚包括坩埚壳体和用于输出蒸镀材料的开口；材料承载组件，所述材料承载组件包括安装架和至少一个承载平台，所述安装架安装于所述坩埚内部，所述安装架自所述开口向所述坩埚壳体的底部延伸，所述承载平台可拆卸安装于所述安装架上，所述承载平台用于承载所述蒸镀材料。

其中，所述安装架包括平行且间隔设置的第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱自所述开口向所述坩埚壳体的底部延伸；所述第一支撑柱和所述第二支撑柱远离所述坩埚壳体的侧壁的一侧上均设置有若干个支撑槽，若干个所述支撑槽沿所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的延伸方向布置，所述第一支撑柱上的若干个支撑槽与所述第二支撑柱上的若干个支撑槽一一对应，所述承载平台的两端能够插置于对应的所述第一支撑柱的支撑槽与所述第二支撑柱的支撑槽内；优选的，所述蒸发源装置还包括过滤组件，所述过滤组件设置于所述坩埚壳体内且靠近所述开口一侧，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的一端固定设置于所述过滤组件上，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的另一端向所述坩埚壳体的底部延伸；优选的，所述安装架还包括设置于所述第一支撑柱和所述第二支撑柱靠近所述开口一端的支撑外沿，所述支撑外沿套设在所述开口上。

其中，距离所述过滤组件最远的所述承载平台与所述坩埚壳体的底部之间具有间隙；所述第一支撑柱和所述第二支撑柱朝向所述坩埚壳体的侧壁的一侧与所述坩埚壳体的侧壁之间具有间隙。

其中，所述承载平台包括两个相对设置的第一侧边，两个所述第一侧边之间具有两个相对设置的第二侧边；所述承载平台的两个所述第一侧边之间的最大长度大于对应的所述第一支撑柱的支撑槽与所述第二支撑柱的支撑槽之间的最小距离，所述承载平台的两个第二侧边之间的最大长度小于对应的所述第一支撑柱的支撑槽与所述第二支撑柱的支撑槽之间的最小距离。

其中，所述第一侧边为曲线形边，两个所述第二侧边之间具有两个切口，形成两个所述第二侧边，所述第二侧边为直边；所述支撑槽在与所述安装架的延伸方向相垂直的方向上的截面为与所述第一侧边的形状相匹配的弓形。

其中，所述承载平台的两个所述第一侧边处设置有卡扣，所述支撑槽内设置有与所述卡扣相配合的卡槽。

其中，所述承载平台的厚度小于所述支撑槽的高度，且所述承载平台的厚度与所述支撑槽的高度之间的差值小于0.5mm。

其中，所述承载平台上具有沿所述安装架的延伸方向开设的至少一个镂空区，所述至少一个镂空区对称设置于所述承载平台上；和/或，所述承载平台上具有沿所述安装架的延伸方向开设的通孔；所述承载平台的通透率大于等于75％。

为解决上述技术问题，本申请采用的第二技术方案是提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括上述任意一种蒸发源装置。

本申请的有益效果是：区别于现有技术，本申请提供一种蒸发源装置及蒸镀设备，蒸发源装置包括坩埚以及材料承载组件，坩埚包括坩埚壳体和用于输出蒸镀材料的开口，材料承载组件包括安装架和至少一个承载平台，安装架安装于坩埚内部，安装架自开口向坩埚壳体的底部延伸，承载平台可拆卸安装于安装架上，承载平台用于承载蒸镀材料。通过在坩埚内部设置材料承载组件，可以在不影响材料蒸镀的前提下避免蒸镀材料与坩埚连接，在生产结束后不需要将剩余的蒸镀材料和坩埚进行清洗，这样可以减少蒸镀材料的浪费，并避免影响坩埚的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请蒸发源装置的一实施例的结构示意图；

图2是本申请蒸发源装置的另一实施例的结构示意图；

图3a是图2中的第一支撑柱和第二支撑柱的一实施方式的侧视结构示意图；

图3b是图2中的第一支撑柱和第二支撑柱的一实施方式的俯视结构示意图；

图4是图2中的承载平台的一实施方式的俯视结构示意图；

图5是图2中的承载平台安装于支撑槽中的一实施方式的安装示意图；

图6是图2中的承载平台安装于支撑槽中的另一实施方式的安装示意图；

图7是本申请蒸发源装置的再一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本申请保护的范围。

在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种，但是不排除包含至少一种的情况。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

应当理解，本文中使用的术语“包括”、“包含”或者其他任何变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

本申请提供一种蒸发源装置。请参阅图1，其中，图1是本申请蒸发源装置的一实施例的结构示意图。在本实施例中，蒸发源装置10包括坩埚11以及材料承载组件13，坩埚11包括坩埚壳体110和用于输出蒸镀材料20的开口1100，材料承载组件13包括安装架130和至少一个承载平台131，安装架130安装于坩埚11内部，安装架130自开口1100向坩埚壳体110的底部延伸，承载平台131可拆卸安装于安装架130上，承载平台131用于承载蒸镀材料20。

本申请实施例的蒸发源装置10中，材料承载组件13包括安装于坩埚11内部的安装架130和可拆卸安装于安装架130上的至少一个承载平台131，安装架130自开口1100向坩埚壳体110的底部延伸，承载平台131用于承载蒸镀材料20，通过在坩埚11内部设置材料承载组件13，可以在不影响材料蒸镀的前提下避免蒸镀材料20与坩埚11连接，在生产结束后不需要将剩余的蒸镀材料20和坩埚11进行清洗，并且可以将剩余的蒸镀材料20直接取出再使用，这样可以减少蒸镀材料20的浪费，并避免影响坩埚11的使用寿命。

在一优选实施例中，承载平台131的数量为多个，多个承载平台131沿安装架130的延伸方向平行且间隔设置于安装架130上。可以理解的是，通过在安装架130上间隔设置多个承载平台131，每个承载平台131均可以放置蒸镀材料20，且相邻的承载平台131之间形成放置空间并形成隔断，于是可以同时蒸镀多个锭状的蒸镀材料20，且每个锭状的蒸镀材料20之间可以避免相互接触烧结，在蒸镀结束后，可直接将剩余的蒸镀材料20取出以再使用，减少了生产材料的浪费。

请参阅图2和图3a，其中，图2是本申请蒸发源装置的另一实施例的结构示意图，图3a是图2中的第一支撑柱和第二支撑柱的一实施方式的侧视结构示意图。在本实施例中，蒸发源装置10包括坩埚11以及材料承载组件13，坩埚11包括坩埚壳体110和用于输出蒸镀材料20的开口1100，材料承载组件13包括安装架130和多个承载平台131，安装架130安装于坩埚11内部，安装架130自开口1100向坩埚壳体110的底部延伸，多个承载平台131沿安装架130的延伸方向平行且间隔设置于安装架130上，承载平台131用于承载蒸镀材料20。具体地，安装架130包括平行且间隔设置的第一支撑柱1301和第二支撑柱1302，第一支撑柱1301和第二支撑柱1302自开口1100向坩埚壳体110的底部延伸；第一支撑柱1301和第二支撑柱1302远离坩埚壳体110的侧壁的一侧上均设置有若干个支撑槽1300，若干个支撑槽1300沿第一支撑柱1301和第二支撑柱1302的延伸方向布置，第一支撑柱1301上的若干个支撑槽1300与第二支撑柱1302上的若干个支撑槽1300一一对应，承载平台131的两端能够插置于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300内。可以理解的是，通过在相对设置的第一支撑柱1301和第二支撑柱1302上设置若干个支撑槽1300，第一支撑柱1301上的若干个支撑槽1300与第二支撑柱1302上的若干个支撑槽1300一一对应，于是可以将承载平台131的两端分别插置于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300内，以实现将承载平台131可拆卸安装在安装架130上；另外，根据承载平台131上所要放置的蒸镀材料20的尺寸，可以调节相邻的承载平台131插置在不同的支撑槽1300上，以使承载平台131所形成的放置空间适应于蒸镀材料20的尺寸；并且，根据需要进行蒸镀的蒸镀材料20的数量，可以选择各承载平台131所对应的支撑槽1300的位置，通过调整承载平台131在第一支撑柱1301和第二支撑柱1302上的高度，使安装架130上可以布置与蒸镀材料20的数量相匹配的多个承载平台131。

在一实施例中，承载平台131的厚度小于支撑槽1300的高度，且承载平台131的厚度与支撑槽1300的高度之间的差值小于0.5mm。可以理解的是，通过设置承载平台131的厚度小于支撑槽1300的高度，但保证承载平台131的厚度与支撑槽1300的高度之间的差值小于0.5mm，使得承载平台131可以轻易安装在支撑槽1300内，且能保证承载平台131在安装架130上的稳定性。本实施例中，支撑槽1300的高度为支撑槽1300在第一支撑柱1301的延伸方向上的尺寸。

在一实施例中，距离过滤组件12最远的承载平台131与坩埚壳体110的底部之间具有间隙；第一支撑柱1301和第二支撑柱1302朝向坩埚壳体110的侧壁的一侧与坩埚壳体110的侧壁之间具有间隙。可以理解的是，由于承载平台131与坩埚壳体110的底部不接触，第一支撑柱1301和第二支撑柱1302与坩埚壳体110的侧壁也不接触，于是承载平台131与坩埚壳体110的底部和侧壁均存在一定的间隙空间，以及保护坩埚壳体110不与承载平台131上的蒸镀材料20接触，避免蒸镀材料20与坩埚壳体110粘结。

在一实施例中，材料承载组件13的制作材料包括钽金属、石墨、钛金属、不锈钢中的一种或多种。具体地，安装架130和承载平台131可以根据生产需要，使用钽金属、石墨、钛金属和不锈钢等材料进行制作。

请结合图2至图4，其中，图3b是图2中的第一支撑柱和第二支撑柱的一实施方式的俯视结构示意图，图4是图2中的承载平台131的一实施方式的俯视结构示意图。在一实施例中，承载平台131包括两个相对设置的第一侧边1310，两个第一侧边1310之间具有两个相对设置的第二侧边1312；承载平台131的两个第一侧边1310之间的最大长度大于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300之间的最小距离，承载平台131的两个第二侧边1312之间的最大长度小于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300之间的最小距离。由于承载平台131的两个第一侧边1310之间的最大长度大于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300之间的最小距离，使得承载平台131的两个第一侧边1310可以分别插置于相对应的两个支撑槽1300中，实现将承载平台131安装在安装架130上。

在一实施例中，承载平台131的两个相对设置的第一侧边1310为曲线形边，两个第一侧边1310之间具有两个切口1311，形成两个第二侧边1312，第二侧边1312为直边；支撑槽1300在与安装架130的延伸方向相垂直的方向上的截面为与第一侧边1310的形状相匹配的弓形。可选的，第一侧边1310的形状可以为弧线形，也可以为折线形。可以理解的是，请结合图3a至图5，其中，图5是图2中的承载平台安装于支撑槽中的一实施方式的安装示意图，承载平台131具有相对的两个切口1311，形成两个相平行的第二侧边1312，第二侧边1312为直边，将独立的承载平台131具有切口1311的两个第二侧边1312沿支撑槽1300方向推入第一支撑柱1301和第二支撑柱1302中，由于承载平台131的两个直边之间的距离小于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300之间的最小距离，第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300之间的最小距离为相对的两个支撑槽1300的槽口之间的距离，故承载平台131推入后无法固定在第一支撑柱1301和第二支撑柱1302上，此时需要将承载平台131平台旋转一定角度，如10°-170°，优选的，90°，由于承载平台131的两个第一侧边1310之间的最大长度大于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300之间的最小距离，使得承载平台131无切口1311的第一侧边1310可以插置于支撑槽1300中，使得承载平台131的第一侧边1310可以搭在支撑槽1300上或卡在支撑槽1300中。另外，通过将支撑槽1300在与安装架130的延伸方向相垂直的方向上的截面设置为弓形，即支撑槽1300的形状与承载平台131的第一侧边1310相匹配，以保证承载平台131在第一支撑柱1301和第二支撑柱1302上的稳定性，此时，如图4所示，第一支撑柱1301和第二支撑柱1302在与安装架130的延伸方向相垂直的方向上的截面可以设置为与支撑槽1300相匹配的弓形，另外，为了保证承载平台131固定的稳定性，第一支撑柱1301和第二支撑柱1302具有一定的宽度，可增加与承载平台131的接触面积，增加稳定性。

请继续结合图2至图5，在一实施例中，承载平台131的两个第一侧边1310搭接于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300内。由于承载平台131的两个第一侧边1310之间的最大长度大于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300之间的最小距离，使得承载平台131的第一侧边1310可以搭接于对应的第一支撑柱1301的支撑槽1300与第二支撑柱1302的支撑槽1300内。

请结合图2至图4、图6，图6是图2中的承载平台安装于支撑槽中的另一实施方式的安装示意图，在一实施例中，承载平台131的两个第一侧边1310处设置有卡扣1313，支撑槽1300内设置有与卡扣1313相配合的卡槽1303。通过在承载平台131的两个第一侧边1310的位置设计卡扣1313，在支撑槽1300内部设计卡槽1303，在按照上述方式将承载平台131的第一侧边1310旋转并插置于支撑槽1300中后，承载平台131上的卡扣1313刚好被安装在支撑槽1300的卡槽1303内，这样可以进一步地提高承载平台131的稳固性。

在一实施方式中，卡扣1313可以设置成图6所示的条状结构，也可以设置成沿承载平台131的第一侧边1310延伸的弧板状结构。进一步地，当卡扣1313设置成沿承载平台131的第一侧边1310延伸的弧板状结构时，弧板状的卡扣1313插置于卡槽1303的一端还可以设置有锯齿结构，而卡槽1303的对应位置设置有与该锯齿结构配合的凹陷结构，在卡扣1313安装在支撑槽1300的卡槽1303内时，卡扣1313的锯齿结构与卡槽1303的凹陷结构相啮合。

请继续参阅图4，在一实施例中，承载平台131上具有沿安装架130的延伸方向开设的至少一个镂空区1314，至少一个镂空区1314对称设置于承载平台131上。在另一实施例中，承载平台131上具有沿安装架130的延伸方向开设的通孔1315。在其他实施例中，承载平台131可以同时设置有沿安装架130的延伸方向开设的至少一个镂空区1314以及通孔1315。具体地，在承载平台131上开设镂空区1314和/或通孔1315，使得承载平台131的通透率大于等于75％。可以理解的是，通过在承载平台131上开设镂空区1314和/或通孔1315，镂空区1314和/或通孔1315的形状和位置可以根据设计需求进行调整，镂空区1314的设置不能影响蒸镀材料20的放置，可以增加承载平台131的通透性，例如使承载平台131的通透率大于等于75％，从而可以保证承载平台131上的蒸镀材料20向开口1100一侧蒸镀的路径通畅。

请继续参阅图2，在一实施例中，蒸发源装置10还包括过滤组件12，过滤组件12设置于坩埚壳体110内且靠近开口1100一侧，第一支撑柱1301和第二支撑柱1302的一端固定设置于过滤组件12上，第一支撑柱1301和第二支撑柱1302的另一端向坩埚壳体110的底部延伸。具体地，将第一支撑柱1301和第二支撑柱1302通过焊接或者卡扣连接的方式固定安装在过滤组件12上，可以将整个材料承载组件13连同过滤组件12一起安装在坩埚11内。

请参阅图7，图7是本申请蒸发源装置的再一实施例的结构示意图，与上一实施例的区别在于，本实施例中，安装架130还包括设置于第一支撑柱1301和第二支撑柱1302靠近开口1100一端的支撑外沿1304，支撑外沿1304套设在开口1100上。此时材料承载组件13与过滤组件12未进行物理/机械性的连接，两个部件是独立地可搭配进行使用，通过在第一支撑柱1301和第二支撑柱1302靠近开口1100一端设计支撑外沿1304结构，使得材料承载组件13可以通过支撑外沿1304套设在坩埚壳体110的开口1100上来实现独立固定在坩埚11上，之后再将过滤组件12和坩埚盖111依次安装在坩埚11上。本实施例的方案避免对现有的过滤组件12进行改造，材料承载组件13可直接制作成独立的部件安装在坩埚11上。

本申请还提供了一种蒸镀设备(未图示)，蒸镀设备包括上述任意一种蒸发源装置10。

综上所述，在本申请的蒸镀设备的蒸发源装置10中，通过在坩埚11内部设置材料承载组件13，材料承载组件13包括安装于坩埚11内部的安装架130和可拆卸安装于安装架130上的至少一个承载平台131，安装架130自开口1100向坩埚壳体110的底部延伸，承载平台131用于承载蒸镀材料20，于是可以在不影响材料蒸镀的前提下避免蒸镀材料20与坩埚11连接，在生产结束后不需要将剩余的蒸镀材料20和坩埚11进行清洗，并且可以将剩余的蒸镀材料20直接取出再使用，这样可以减少蒸镀材料20的浪费，并避免影响坩埚11的使用寿命。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置包括：

坩埚，所述坩埚包括坩埚壳体和用于输出蒸镀材料的开口；

材料承载组件，所述材料承载组件包括安装架和至少一个承载平台，所述安装架安装于所述坩埚内部，所述安装架自所述开口向所述坩埚壳体的底部延伸，所述承载平台可拆卸安装于所述安装架上，所述承载平台用于承载所述蒸镀材料。

2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述承载平台的数量为多个，多个所述承载平台沿所述安装架的延伸方向平行且间隔设置于所述安装架上。

3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述安装架包括平行且间隔设置的第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱自所述开口向所述坩埚壳体的底部延伸；

所述第一支撑柱和所述第二支撑柱远离所述坩埚壳体的侧壁的一侧上均设置有若干个支撑槽，若干个所述支撑槽沿所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的延伸方向布置，所述第一支撑柱上的若干个支撑槽与所述第二支撑柱上的若干个支撑槽一一对应，所述承载平台的两端能够插置于对应的所述第一支撑柱的支撑槽与所述第二支撑柱的支撑槽内；

优选的，所述蒸发源装置还包括过滤组件，所述过滤组件设置于所述坩埚壳体内且靠近所述开口一侧，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的一端固定设置于所述过滤组件上，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的另一端向所述坩埚壳体的底部延伸；

优选的，所述安装架还包括设置于所述第一支撑柱和所述第二支撑柱靠近所述开口一端的支撑外沿，所述支撑外沿套设在所述开口上。

4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，距离所述过滤组件最远的所述承载平台与所述坩埚壳体的底部之间具有间隙；

所述第一支撑柱和所述第二支撑柱朝向所述坩埚壳体的侧壁的一侧与所述坩埚壳体的侧壁之间具有间隙。

5.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述承载平台包括两个相对设置的第一侧边，两个所述第一侧边之间具有两个相对设置的第二侧边；

所述承载平台的两个所述第一侧边之间的最大长度大于对应的所述第一支撑柱的支撑槽与所述第二支撑柱的支撑槽之间的最小距离，所述承载平台的两个第二侧边之间的最大长度小于对应的所述第一支撑柱的支撑槽与所述第二支撑柱的支撑槽之间的最小距离。

6.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一侧边为曲线形边，两个所述第二侧边之间具有两个切口，形成两个所述第二侧边，所述第二侧边为直边；

所述支撑槽在与所述安装架的延伸方向相垂直的方向上的截面为与所述第一侧边的形状相匹配的弓形。

7.根据权利要求5所述的蒸发源装置，其特征在于，所述承载平台的两个所述第一侧边处设置有卡扣，所述支撑槽内设置有与所述卡扣相配合的卡槽。

8.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述承载平台的厚度小于所述支撑槽的高度，且所述承载平台的厚度与所述支撑槽的高度之间的差值小于0.5mm。

9.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述承载平台上具有沿所述安装架的延伸方向开设的至少一个镂空区，所述至少一个镂空区对称设置于所述承载平台上；和/或，所述承载平台上具有沿所述安装架的延伸方向开设的通孔；

所述承载平台的通透率大于等于75％。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括权利要求1至9任一项所述的蒸发源装置。

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