CN114953228A - 棒体切割系统 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供了一种棒体切割系统，包括：棒体固定机构，用于固定待切割的棒体；线切割机构，所述线切割机构具有环形的切割线，所述切割线在运动中用于对棒体进行切割的部分为切割段；进电机构，所述进电机构包括脉冲电源，所述脉冲电源的正极连接棒体，所述脉冲电源的负极连接切割线；其中，所述线切割机构和所述棒体固定机构能够相对运动，以使所述切割段沿所述棒体的轴向方向进行切割，且所述脉冲电源、切割段和棒体形成一个放电回路对棒体进行电火花放电切割。本申请实施例的棒体切割系统对棒体进行的切割是复合切割，既包括切割段切割又包括电火花放电切割，棒体的切割方式得到改善，切割效率较高。
Description
技术领域
本申请涉及棒体切割技术领域，具体地，涉及一种棒体切割系统。
背景技术
目前，随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放，光伏太阳能发电领域越来越得到重视和发展。光伏发电领域中，通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的，这种硅片从提拉或浇铸的棒体后通过线锯切割而成，即线切割技术。
线切割技术是目前世界上比较先进的开方加工技术，它的原理是通过高速运动的金刚线对待加工工件(例如：棒体、蓝宝石、或其他半导体硬脆材料)进行摩擦，切出方棒，从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比具有效率高、产能高、精度高等优点。
现有的棒体切割系统已经无法满足光伏行业对硅片的要求。
在背景技术中公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此其可能包含没有形成为本领域普通技术人员所知晓的现有技术的信息。
发明内容
本申请实施例提供了一种新结构的棒体切割系统。
本申请实施例提供了一种棒体切割系统，包括：
棒体固定机构，用于固定待切割的棒体；
线切割机构，所述线切割机构具有环形的切割线，所述切割线在运动中用于对棒体进行切割的部分为切割段；
进电机构，所述进电机构包括脉冲电源，所述脉冲电源的正极连接棒体，所述脉冲电源的负极连接切割线；
其中，所述线切割机构和所述棒体固定机构能够相对运动，以使所述切割段沿所述棒体的轴向方向进行切割，且所述脉冲电源、切割段和棒体形成一个放电回路对棒体进行电火花放电切割。
本申请实施例由于采用以上技术方案，具有以下技术效果：
在线切割机构和棒体固定机构相对运动，带动切割段沿棒体的轴向方向进行切割时，带负极电的切割段和带正极电的棒体相接触，形成放电回路。放电回路在棒体上切割段的位置会出现电火花放电，由于电火花放电对棒体进行刻蚀去除，即产生了电火花放电切割。在切割段和棒体未接触时，放电电路处于断开状态，不进行放电。本申请实施例的棒体切割系统对棒体进行的切割是复合切割，既包括切割段切割又包括电火花放电切割，棒体的切割方式得到改善，切割效率较高，对线切割机构的切割段的切割力要求较低，棒体切割表面质量较高。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1为本申请实施例的具有一根环形的切割线的棒体切割系统的切割示意图；
图2为图1所示的棒体切割系统的另一角度的示意图；
图3为图1所示的棒体切割系统的原理示意图；
图4为本申请实施例的具有两根环形的切割线的棒体切割系统的切割示意图；
图5为本申请实施例的具有四根环形的切割线的棒体切割系统的切割示意图。
附图标记：
棒体11，切割线12，切割段121，
脉冲电源21，
切割轮32，张力轮33，主动导轮34。
具体实施方式
为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
实施例一
如图1，图2和图3所示，本申请实施例的一种棒体切割系统，包括：
棒体固定机构，用于固定待切割的棒体11；
线切割机构，所述线切割机构具有环形的切割线12，所述切割线12在运动中用于对棒体进行切割的部分为切割段121；
进电机构，所述进电机构包括脉冲电源21，所述脉冲电源21的正极连接棒体11，所述脉冲电源21的负极连接切割线12；
其中，所述线切割机构和所述棒体固定机构能够相对运动，带动所述切割段121沿所述棒体11的轴向方向进行切割，且所述脉冲电源21、切割段121和棒体11形成一个放电回路对棒体11进行电火花放电切割。
本申请实施例的棒体切割系统，包括棒体固定机构，线切割机构和进电机构。棒体固定机构将待切割的棒体进行固定，线切割机构是环形的切割线，切割线在运动中对棒体进行切割的部分为切割段。进电机构的脉冲电源的正极连接棒体，脉冲电源的负极连接切割线，这样，切割段本身也与脉冲电源的负极连接。线切割机构和棒体固定机构相对运动，带动切割段沿棒体的轴向方向进行切割时，带负极电的切割段和带正极电的棒体相接触，形成一个放电回路。放电回路在棒体上切割段的位置会出现电火花放电，由于电火花放电对棒体进行刻蚀去除，即产生了电火花放电切割。在切割段和棒体未接触时，放电电路处于断开状态，不进行放电。本申请实施例的棒体切割系统对棒体进行的切割是复合切割，既包括切割段切割又包括电火花放电切割，棒体的切割方式得到改善，切割效率较高，对线切割机构的切割段的切割力要求较低，棒体切割表面质量较高。环形的切割线无换向和加减速环节，线速更高，加工效率更高，无换向条纹，加工表面一致性更好。
传统的金刚线开方技术已经产生很久，通过加工工艺优化获得提效的空间有限，急需通过另外思路获得提效能力。本申请实施例的棒体切割系统不再沿用单独的金刚线开方的方式，而是突破性的采用了是复合切割的方式。复合切割的方式既包括切割段切割又包括电火花放电切割，复合切割的放电作用对电镀金刚线的磨粒有自锐作用，切割线的切割能力可以充分发挥，使得本申请实施例与传统的金刚线切割相比，切割效率更高，切割精度更高。
传统的金刚线切割方式在硅锭开方的过程中存在明显的鼓型误差，造成尺寸精度缺失。现阶段为了避免鼓型误差造成的硅料加工损失，通常留有一定的加工余量，造成后道磨削工序材料去除量过大，不仅影响磨削加工效率，也会造成经济性损失。本申请实施例的复合切割的放电作用对电镀金刚线的磨粒有自锐作用，切割线的切割能力可以充分发挥，加工余量可以留得更小。
传统的金刚线开方是硅锭切割的一种粗加工方式，为了满足效率需要，通常金刚线上载荷很大，造成线的张力数值过大，并且张力波动较大，需要有办法实现张力的优化。本申请实施例的复合切割的放电作用对电镀金刚线的磨粒有自锐作用，切割线的切割能力更强，使得对切割线的张力要求大大降低，切割的张力稳定性更好。
传统的线开方工序通常使用较大直径和规格的金刚线，线痕较重，虽然在开方工序线痕不是主要的评定指标，但过大的线痕同样对后续磨削余量有影响，同时，线痕会影响后续磨削和切片工序的良品率。本申请实施例的复合切割的放电作用对电镀金刚线的磨粒有自锐作用，切割线的切割能力更强，进而使得切割精度更高。
本申请实施例采用环线，环线无换向和加减速环节，无换向条纹，加工表面一致性更好。
具体的，如图1所示，切割段121的切割方向与所述棒体11的轴向方向平行。
这样，切割段沿棒体的轴向方向进行切割，能够对棒体进行切割，形成一个切割面和边皮料。
实施中，所述线切割机构包括：
线锯安装架；
一段所述切割段对应一对切割轮，一对所述切割轮间隔固定在所述线锯安装架处，所述切割线在一对切割轮之间形成一段所述切割段；
其中，所述切割轮为绝缘的切割轮，如图1和图2所示，一对所述切割轮32的轴向方向和所述棒体11的轴向方向垂直，在图1中，一对切割轮的轴向方向为垂直于纸面的方向。
这样，在切割段对棒体进行切割时，棒体会对切割段施加向切割轮方向推动力，但是切割轮会对切割段施加反向的作用力。
实施中，所述进电机构还包括：
导电的进电导轮，所述进电导轮与所述脉冲电源的负极；
其中，所述进电导轮固定在所述线锯安装架处且与所述切割轮位于相同一侧，且与所述切割线接触。
脉冲电源可以设置在静止的棒体切割系统机座上。脉冲电源的负极连接进电导轮，进电导轮与切割线接触即可实现切割线带负极电。
实施中，如图1和图2所示切割轮32复用为进电导轮。
这样，切割轮和进电导轮为同一部件，使得线切割机构和导电机构的部件总数较少，方便各个部件的排列。
实施中，如图1所示，所述线切割机构还包括：
张力轮33和主动导轮34，两个所述切割轮32、张力轮33和主动导轮34位于长方形的四个顶点处，且两个所述切割轮32位于相邻的两个顶点处；
其中，环形的切割线12绕在两个所述切割轮32、张力轮33和主动导轮34的外缘。
环形的切割线绕在两个所述切割轮、张力轮和主动导轮的外缘，形成了结构简单，走线简洁的线切割机构。
实施中，所述切割线为金刚线。
实施例二
本申请实施例的棒体切割系统，与实施例一相比，还具有以下特点。
实施中，如图1和图2所示，所述切割轮32仅为一对，设置在所述线锯安装架处；
所述线切割机构和所述棒体固定机构相对运动，带动一段所述切割段沿所述棒体的轴向方向进行切割。
使用本申请实施例的棒体切割系统对棒体进行切割，一段切割段沿棒体的轴向方向进行一次切割，即一段切割段开方一次，完成一个面的开方切割。一根棒体需要四次切割完成四个面的开方。
实施例三
本申请实施例的棒体切割系统，与实施例一相比，还具有以下特点。
实施中，如图4所示，所述切割轮32为两对，设置在所述线锯安装架处，环形的切割线为两根，两段切割段的平行且间隔设置；
所述线切割机构和所述棒体固定机构相对运动，带动两段所述切割段沿所述棒体的轴向方向进行切割。
使用本申请实施例的棒体切割系统对棒体进行切割，两段切割段沿棒体的轴向方向进行一次切割，即两段切割段开方一次，完成相互平行的两个面的开方切割。一根棒体需要两次切割完成四个面的开方。
实施例四
本申请实施例的棒体切割系统，与实施例一相比，还具有以下特点。
实施中，如图5所示，所述切割轮32为四对，设置在所述线锯安装架处；
四段切割段121两两平行设置形成井字形，所述线切割机构和所述棒体固定机构相对运动，带动四段所述切割段沿所述棒体的轴向方向进行切割。
使用本申请实施例的棒体切割系统对棒体进行切割，四段切割段沿棒体的轴向方向进行一次切割，即四段切割段开方一次，完成四个面的开方切割。如图5所示，一根棒体需要一次切割完成四个面的开方。
实施例五
实施例一中的棒体切割系统，一对所述切割轮的轴向方向和所述棒体的轴向方向垂直。
实施例五中的棒体切割系统，所述线切割机构包括：
线锯安装架；
至少一对切割轮，一段所述切割段对应一对切割轮，一对所述切割轮间隔固定在所述线锯安装架处，所述切割线在一对切割轮之间形成一段所述切割段。即实施例五的棒体切割系统，对切割轮的轴向方向和所述棒体的轴向方向不进行限定，不限于一对所述切割轮的轴向方向和所述棒体的轴向方向垂直的方式。
在本申请及其实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶”、“底”、“高度”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
在本申请及其实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请及其实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
上文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，上文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。
显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (9)
1.一种棒体切割系统，其特征在于，包括：
棒体固定机构，用于固定待切割的棒体；
线切割机构，所述线切割机构具有环形的切割线，所述切割线在运动中用于对棒体进行切割的部分为切割段；
进电机构，所述进电机构包括脉冲电源，所述脉冲电源的正极连接棒体，所述脉冲电源的负极连接切割线；
其中，所述线切割机构和所述棒体固定机构能够相对运动，以使所述切割段沿所述棒体的轴向方向进行切割，且所述脉冲电源、切割段和棒体形成放电回路对棒体进行电火花放电切割。
2.根据权利要求1所述的棒体切割系统，其特征在于，所述线切割机构包括：
线锯安装架；
一段所述切割段对应一对切割轮，一对所述切割轮间隔固定在所述线锯安装架处，所述切割线在一对切割轮之间形成一段所述切割段；
其中，一对所述切割轮的轴向方向和所述棒体的轴向方向垂直。
3.根据权利要求1所述的棒体切割系统，其特征在于，所述线切割机构包括：
线锯安装架；
至少一对切割轮，一段所述切割段对应一对切割轮，一对所述切割轮间隔固定在所述线锯安装架处，所述切割线在一对切割轮之间形成一段所述切割段。
4.根据权利要求2或3所述的棒体切割系统，其特征在于，所述进电机构还包括：
进电导轮，所述进电导轮与所述脉冲电源的负极相连接；
其中，所述进电导轮固定在所述线锯安装架处且与所述切割轮位于相同一侧，且与所述切割线接触。
5.根据权利要求4所述的棒体切割系统，其特征在于，所述切割轮复用为进电导轮。
6.根据权利要求5所述的棒体切割系统，其特征在于，所述线切割机构还包括：
张力轮和主动导轮，两个所述切割轮、张力轮和主动导轮位于长方形的四个顶点处，且两个所述切割轮位于相邻的两个顶点处；
其中，环形的切割线绕在两个所述切割轮、张力轮和主动导轮的外缘。
7.根据权利要求5所述的棒体切割系统，其特征在于，所述切割轮为两对，设置在所述线锯安装架处，环形的切割线为两根，两段切割段平行且间隔设置；
所述线切割机构和所述棒体固定机构相对运动，带动两段所述切割段沿所述棒体的轴向方向进行切割。
8.根据权利要求5所述的棒体切割系统，其特征在于，所述切割轮为四对，设置在所述线锯安装架处，环形的切割线为四根；
四段切割段两两平行设置形成井字形，所述线切割机构和所述棒体固定机构相对运动，带动四段所述切割段沿所述棒体的轴向方向进行切割。
9.根据权利要求8所述的棒体切割系统，其特征在于，所述切割线为金刚线。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150027990A1 (en) * | 2013-07-25 | 2015-01-29 | Canon Marketing Japan Kabushiki Kaisha | Holding apparatus, holding method thereof, wire electrical discharge machining apparatus, and machining method thereof |
| CN109773293A (zh) * | 2019-03-30 | 2019-05-21 | 华侨大学 | 电火花线切割-金刚石线锯复合加工装置 |
| CN110539413A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-06 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种金刚石单线电火花复合加工方法与装置 |
| CN113320038A (zh) * | 2021-05-10 | 2021-08-31 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种井字形切割运行机构 |
| CN216578651U (zh) * | 2021-11-01 | 2022-05-24 | 青岛高测科技股份有限公司 | 硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统 |
-
2022
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150027990A1 (en) * | 2013-07-25 | 2015-01-29 | Canon Marketing Japan Kabushiki Kaisha | Holding apparatus, holding method thereof, wire electrical discharge machining apparatus, and machining method thereof |
| CN109773293A (zh) * | 2019-03-30 | 2019-05-21 | 华侨大学 | 电火花线切割-金刚石线锯复合加工装置 |
| CN110539413A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-06 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种金刚石单线电火花复合加工方法与装置 |
| CN113320038A (zh) * | 2021-05-10 | 2021-08-31 | 福州天瑞线锯科技有限公司 | 一种井字形切割运行机构 |
| CN216578651U (zh) * | 2021-11-01 | 2022-05-24 | 青岛高测科技股份有限公司 | 硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
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| 徐峰等: "数控加工实用手册", vol. 1, 合肥：安徽科学技术出版社, pages: 531 - 532 * |
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