CN114871197B - 一种半导体精密部件超声波振荡清洗机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，属于超声波振荡清洗机技术领域，以往清洗机内液面上的污渍通过水流冲洗，取出半导体精密部件时会附带部分污渍，且不同的规格的半导体精密部件分开夹持，增加工作量，包括超声波清洗机，通过按动弧形拨片使第一齿轮带动第二齿轮、丝杆转动，带动十字滑轴套移动，从而使弧形夹块脱离第四矩形槽，便于安装，且矩形盒体为中空状，通过扭力弹簧轴的弹力能同时安装多个不同规格的半导体精密板件进行清洗；封门通过转轴带动大齿轮、小齿轮以及收卷轴转动，通过导轮对钢线导向而收卷钢线，使滑板能沿凸形滑槽滑动，从而通过矩形框刮除液面上表面的污渍，并排出至集污盒内。

Description

一种半导体精密部件超声波振荡清洗机

技术领域

本发明涉及超声波振荡清洗机技术领域，具体为一种半导体精密部件超声波振荡清洗机。

背景技术

半导体精密部件在生产过程中表面会附着大量的游离物或者氧化物，通过超声波振荡清洗机进行清洗时，以往清洗后清洗机内液面上的污渍通过水流冲洗，但是常因污渍清理不全，在取出半导体精密部件时会附带部分污渍，从而使清洗不够彻底，并且，当需要对不同的规格的半导体精密部件进行清洗时，以往的夹持装置需要分开设置，增加工作量，为此我们提出一种半导体精密部件超声波振荡清洗机用于解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，包括超声波清洗机，所述超声波清洗机内固定设有内箱组件，所述超声波清洗机上表面一端转动连接有封门，所述封门上固定安装有联动组件，所述联动组件与内箱组件固定连接，所述内箱组件内滑动安装有除污组件，所述除污组件与联动组件固定连接，所述超声波清洗机两侧固定安装有集污盒，所述内箱组件内活动放置有安装盒，所述安装盒内滑动安装有多个夹持组件，所述夹持组件内夹设有半导体精密板件。

作为本发明的一种优选技术方案，所述超声波清洗机底面固定设有多个支撑腿，所述超声波清洗机两侧开设有Z形排污槽，所述超声波清洗机的一侧固定安装有排液管，所述超声波清洗机前面固定安装有控制面板，所述超声波清洗机上表面一端开设有第一矩形槽，所述超声波清洗机后面上端处固定安装有第一转块，所述第一转块内壁处转动安装封门。

作为本发明的一种优选技术方案，所述封门底端固定安装有第二转块，所述第二转块内转动卡接有转轴，所述转轴两端与第一转块内壁转动连接，所述转轴中段处外表面固定连接联动组件。

作为本发明的一种优选技术方案，所述联动组件包括有大齿轮，所述大齿轮固定安装于转轴中段处外表面，所述大齿轮啮合连接有小齿轮，所述小齿轮内设有收卷轴，所述收卷轴的一端转动安装于第一矩形槽内壁处，所述收卷轴外缠绕有钢线，所述钢线活动贯穿超声波清洗机、内箱组件，且所述钢线另一端固定连接除污组件，所述钢线外转动贴合连接有第一导轮、第二导轮，所述第一导轮固定安装于第一矩形槽内壁处，所述钢线外活动套接有多个导块，所述导块、第二导轮固定安装于内箱组件内。

作为本发明的一种优选技术方案，所述内箱组件包括有上框板、清洗箱，所述上框板固定安装于清洗箱上表面，所述上框板底面贴合超声波清洗机上表面，所述清洗箱外表面固定安装于超声波清洗机内壁处，所述清洗箱两侧内壁开设有矩形排污槽，所述矩形排污槽与Z形排污槽贯通连接，所述清洗箱前后侧内壁开设有凸形滑槽，所述凸形滑槽内滑动安装除污组件，所述清洗箱后侧内壁上端处开设有线槽，所述线槽内活动贯穿钢线，所述清洗箱后侧内壁上端处固定安装导块、第二导轮，所述清洗箱内底面活动放置安装盒。

作为本发明的一种优选技术方案，所述除污组件包括有滑板，所述滑板两端滑动设于凸形滑槽内，所述滑板两侧固定设有矩形框，所述滑板两端的一侧固定安装有第一弹簧，所述第一弹簧的另一端固定安装于凸形滑槽的一端内壁处，所述滑板的一端侧面固定连接钢线的另一端。

作为本发明的一种优选技术方案，所述集污盒数量为两个，所述集污盒内侧开设有第三矩形槽，所述第三矩形槽处的内底面与Z形排污槽内底面叠合连接，所述集污盒内底面密封安装有堵头。

作为本发明的一种优选技术方案，所述安装盒包括有矩形盒体，所述矩形盒体前后侧均固定设有支架，所述支架上表面固定设有把手，所述矩形盒体两侧内壁固定设有工形滑轨，所述工形滑轨内滑动安装夹持组件。

作为本发明的一种优选技术方案，所述夹持组件包括有多个凹形夹板，所述凹形夹板后侧表面固定设有两个L形滑块，两个所述L形滑块与工形滑轨滑动连接，所述凹形夹板两侧开设有多个第四矩形槽，所述凹形夹板两侧固定安装有第三转块，所述第三转块内壁处转动安装有弧形夹块，所述弧形夹块卡接于第四矩形槽内，所述弧形夹块内壁贴合连接半导体精密板件外表面，所述凹形夹板后侧表面固定设有两个第一固定块与两个第二固定块，所述第一固定块之间转动安装有弧形拨片，所述弧形拨片与第一固定块之间安装有扭力弹簧轴，所述扭力弹簧轴的一端外固定设有第一齿轮，所述第一齿轮底端啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮内侧固定连接有丝杆，所述丝杆转动卡接于第一固定块内，并螺纹贯穿第二固定块，所述丝杆另一端外螺纹连接有十字滑轴套，所述十字滑轴套外固定设有导向杆，所述导向杆另一端活动贯穿第二固定块，所述弧形夹块内开设有腰型槽，所述十字滑轴套滑动连接于腰型槽内。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1.通过按动弧形拨片使第一齿轮带动第二齿轮、丝杆转动，带动十字滑轴套移动，从而使弧形夹块脱离第四矩形槽，便于安装，且矩形盒体为中空状，通过扭力弹簧轴的弹力能同时安装多个不同规格的半导体精密板件进行清洗；

2.封门通过转轴带动大齿轮、小齿轮以及收卷轴转动，通过导轮对钢线导向而收卷钢线，使滑板能沿凸形滑槽滑动，从而通过矩形框刮除液面上表面的污渍，并排出至集污盒内。

附图说明

图1为本发明结构示意图。

图2为本发明结构超声波清洗机示意图。

图3为本发明结构封门和联动组件示意图。

图4为本发明结构图3中A处放大示意图。

图5为本发明结构图3中B处放大示意图。

图6为本发明结构超声波清洗机和内箱组件连接示意图。

图7为本发明结构安装盒示意图。

图8为本发明结构半导体精密板件安装示意图。

图9为本发明结构夹持组件与工形滑轨连接示意图。

图10为本发明结构夹持组件示意图。

图中：1、超声波清洗机；11、支撑腿；12、排液管；13、控制面板；14、Z形排污槽；15、第一矩形槽；16、第一转块；2、封门；22、第二转块；23、转轴；3、联动组件；31、大齿轮；32、小齿轮；34、收卷轴；35、第一导轮；36、钢线；37、导块；38、第二导轮；4、除污组件；41、滑板；42、矩形框；43、第一弹簧；5、内箱组件；51、上框板；52、清洗箱；521、矩形排污槽；522、凸形滑槽；523、线槽；6、集污盒；61、第三矩形槽；62、堵头；7、安装盒；71、矩形盒体；72、支架；73、把手；74、工形滑轨；8、夹持组件；81、凹形夹板；811、第四矩形槽；812、第三转块；82、L形滑块；83、弧形拨片；831、扭力弹簧轴；832、第一齿轮；833、第二齿轮；84、第一固定块；85、第二固定块；86、丝杆；861、十字滑轴套；862、导向杆；87、弧形夹块；871、腰型槽；9、半导体精密板件。

具体实施方式

下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

实施例：如图1-10所示，本发明提供了一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，包括超声波清洗机1，所述超声波清洗机1内固定设有内箱组件5，内箱组件5设置有清洗液，所述超声波清洗机1上表面一端转动连接有封门2，所述封门2上固定安装有联动组件3，封门2带动联动组件3工作，所述联动组件3与内箱组件5固定连接，所述内箱组件5内滑动安装有除污组件4，联动组件3带动除污组件4移动，从而能使液面上的污渍刮除，所述除污组件4与联动组件3固定连接，所述超声波清洗机1两侧固定安装有集污盒6，集污盒6用于收集污渍，所述内箱组件5内活动放置有安装盒7，安装盒7便于放置，所述安装盒7内滑动安装有多个夹持组件8，所述夹持组件8内夹设有半导体精密板件9，从而通过夹持组件8能同时安装多个半导体精密板件9进行清洗。

进一步的，所述超声波清洗机1底面固定设有多个支撑腿11，所述超声波清洗机1两侧开设有Z形排污槽14，用于排出污渍使用，所述超声波清洗机1的一侧固定安装有排液管12，所述超声波清洗机1前面固定安装有控制面板13，所述超声波清洗机1上表面一端开设有第一矩形槽15，所述超声波清洗机1后面上端处固定安装有第一转块16，所述第一转块16内壁处转动安装封门2，从而封门2能与超声波清洗机1转动连接。

进一步的，所述封门2底端固定安装有第二转块22，所述第二转块22内转动卡接有转轴23，所述转轴23两端与第一转块16内壁转动连接，所述转轴23中段处外表面固定连接联动组件3，从而封门2通过转轴23实现与超声波清洗机1转动连接。

进一步的，所述联动组件3包括有大齿轮31，所述大齿轮31固定安装于转轴23中段处外表面，转轴23带动大齿轮31转动，所述大齿轮31啮合连接有小齿轮32，所述小齿轮32内设有收卷轴34，大齿轮31带动小齿轮32、收卷轴34转动，所述收卷轴34的一端转动安装于第一矩形槽15内壁处，所述收卷轴34外缠绕有钢线36，所述钢线36活动贯穿超声波清洗机1、内箱组件5，且所述钢线36另一端固定连接除污组件4，从而钢线36带动除污组件4移动，所述钢线36外转动贴合连接有第一导轮35、第二导轮38，所述第一导轮35固定安装于第一矩形槽15内壁处，所述钢线36外活动套接有多个导块37，所述导块37、第二导轮38固定安装于内箱组件5内，通过第一导轮35、第二导轮38对钢线36进行导向，然后通过收卷轴34缠绕钢线36，从而使除污组件4移动。

进一步的，所述内箱组件5包括有上框板51、清洗箱52，所述上框板51固定安装于清洗箱52上表面，所述上框板51底面贴合超声波清洗机1上表面，所述清洗箱52外表面固定安装于超声波清洗机1内壁处，所述清洗箱52两侧内壁开设有矩形排污槽521，所述矩形排污槽521与Z形排污槽14贯通连接，所述清洗箱52前后侧内壁开设有凸形滑槽522，所述凸形滑槽522内滑动安装除污组件4，所述清洗箱52后侧内壁上端处开设有线槽523，所述线槽523内活动贯穿钢线36，钢线36经超声波清洗机1外侧穿入，并通过清洗箱52开设的线槽523穿进清洗箱52内，所述清洗箱52后侧内壁上端处固定安装导块37、第二导轮38，所述清洗箱52内底面活动放置安装盒7。

进一步的，所述除污组件4包括有滑板41，所述滑板41两端滑动设于凸形滑槽522内，滑板41能沿凸形滑槽522滑动，所述滑板41两侧固定设有矩形框42，通过滑板41带动矩形框42滑动，从而能刮除液面上表面的污渍，所述滑板41两端的一侧固定安装有第一弹簧43，从而滑板41能通过第一弹簧43的作用力实现反向移动，所述第一弹簧43的另一端固定安装于凸形滑槽522的一端内壁处，所述滑板41的一端侧面固定连接钢线36的另一端，从而钢线36带动滑板41移动。

进一步的，所述集污盒6数量为两个，所述集污盒6内侧开设有第三矩形槽61，所述第三矩形槽61处的内底面与Z形排污槽14内底面叠合连接，所述集污盒6内底面密封安装有堵头62，从而当滑板41往返滑动时，能分别通过两侧的矩形框42刮除液面的污渍，并通过矩形排污槽521以及Z形排污槽14排出至集污盒6内。

进一步的，所述安装盒7包括有矩形盒体71，所述矩形盒体71前后侧均固定设有支架72，所述支架72上表面固定设有把手73，便于放置安装盒7于清洗箱52内，并且通过支架72使矩形盒体71处于清洗液的中段处，使清洗效果更佳，所述矩形盒体71两侧内壁固定设有工形滑轨74，所述工形滑轨74内滑动安装夹持组件8，从而能实现同时滑动安装多个夹持组件8。

进一步的，所述夹持组件8包括有多个凹形夹板81，所述凹形夹板81后侧表面固定设有两个L形滑块82，两个所述L形滑块82与工形滑轨74滑动连接，从而凹形夹板81通过两个L形滑块82能沿工形滑轨74滑动安装，所述凹形夹板81两侧开设有多个第四矩形槽811，所述凹形夹板81两侧固定安装有第三转块812，所述第三转块812内壁处转动安装有弧形夹块87，两个弧形夹块87分别转动安装于与凹形夹板81两侧，所述弧形夹块87卡接于第四矩形槽811内，所述弧形夹块87内壁贴合连接半导体精密板件9外表面，从而通过弧形夹块87安装于第四矩形槽811内，并夹持半导体精密板件9，所述凹形夹板81后侧表面固定设有两个第一固定块84与两个第二固定块85，所述第一固定块84之间转动安装有弧形拨片83，所述弧形拨片83与第一固定块84之间安装有扭力弹簧轴831，所述扭力弹簧轴831的一端外固定设有第一齿轮832，所述第一齿轮832底端啮合连接有第二齿轮833，所述第二齿轮833内侧固定连接有丝杆86，所述丝杆86转动卡接于第一固定块84内，并螺纹贯穿第二固定块85，所述丝杆86另一端外螺纹连接有十字滑轴套861，所述十字滑轴套861外固定设有导向杆862，所述导向杆862另一端活动贯穿第二固定块85，从而丝杆86带动十字滑轴套861移动时，十字滑轴套861不会转动，所述弧形夹块87内开设有腰型槽871，所述十字滑轴套861滑动连接于腰型槽871内，从而安装半导体精密板件9时，按动弧形拨片83使第一齿轮832带动第二齿轮833转动，使丝杆86与十字滑轴套861螺纹连接，从而通过十字滑轴套861带动弧形夹块87转动脱离第四矩形槽811，松动弧形拨片83后，通过扭力弹簧轴831的作用使第一齿轮832反转，从而实现弧形夹块87转动安装于第四矩形槽811内。

工作原理：安装半导体精密板件9时，矩形盒体71两侧通过设置支架72与把手73，便于放置安装盒7于清洗箱52内，并且通过支架72使矩形盒体71处于清洗液的中段处，使清洗效果更佳，然后凹形夹板81通过两个L形滑块82能沿工形滑轨74滑动安装，两个弧形夹块87分别转动安装于与凹形夹板81两侧，通过弧形夹块87安装于第四矩形槽811内，并夹持半导体精密板件9，按动弧形拨片83使第一齿轮832带动第二齿轮833转动，使丝杆86与十字滑轴套861螺纹连接，从而通过十字滑轴套861带动弧形夹块87转动脱离第四矩形槽811，然后安装半导体精密板件9，之后松动弧形拨片83，通过扭力弹簧轴831的作用使第一齿轮832反转，从而实现弧形夹块87转动安装于第四矩形槽811内，因矩形盒体71为中空矩形状，从而能同时安装多个不同规格的半导体精密板件9进行清洗，封门2通过转轴23实现与超声波清洗机1转动连接，当封门2转动时，转轴23带动大齿轮31转动，大齿轮31带动小齿轮32、收卷轴34转动，因钢线36经超声波清洗机1外侧穿入，并通过清洗箱52开设的线槽523穿进清洗箱52内，然后通过第一导轮35、第二导轮38对钢线36进行导向，从而能够通过收卷轴34缠绕钢线36，并通过钢线36带动滑板41沿凸形滑槽522滑动，从而滑板41带动矩形框42滑动，继而能够刮除液面上表面的污渍，并且滑板41能通过第一弹簧43的作用力实现反向移动恢复初始状态，实现滑板41能够往返滑动，并且分别通过两侧的矩形框42刮除液面的污渍，并通过矩形排污槽521以及Z形排污槽14排出至集污盒6内收集污渍。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本发明的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本发明的较佳实施例，但本发明不以图面所示限定实施范围，凡是依照本发明的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本发明的保护范围内。

Claims (4)

1.一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，包括超声波清洗机（1），其特征在于：所述超声波清洗机（1）内固定设有内箱组件（5），所述超声波清洗机（1）上表面一端转动连接有封门（2），所述封门（2）上固定安装有联动组件（3），所述联动组件（3）与内箱组件（5）固定连接，所述内箱组件（5）内滑动安装有除污组件（4），所述除污组件（4）与联动组件（3）固定连接，所述超声波清洗机（1）两侧固定安装有集污盒（6），所述内箱组件（5）内活动放置有安装盒（7），所述安装盒（7）内滑动安装有多个夹持组件（8），所述夹持组件（8）内夹设有半导体精密板件（9）；

所述安装盒（7）包括有矩形盒体（71），所述矩形盒体（71）前后侧均固定设有支架（72），所述支架（72）上表面固定设有把手（73），所述矩形盒体（71）两侧内壁固定设有工形滑轨（74），所述工形滑轨（74）内滑动安装夹持组件（8）；

所述夹持组件（8）包括有多个凹形夹板（81），所述凹形夹板（81）后侧表面固定设有两个L形滑块（82），两个所述L形滑块（82）与工形滑轨（74）滑动连接，所述凹形夹板（81）两侧开设有多个第四矩形槽（811），所述凹形夹板（81）两侧固定安装有第三转块（812），所述第三转块（812）内壁处转动安装有弧形夹块（87），所述弧形夹块（87）卡接于第四矩形槽（811）内，所述弧形夹块（87）内壁贴合连接半导体精密板件（9）外表面，所述凹形夹板（81）后侧表面固定设有两个第一固定块（84）与两个第二固定块（85），所述第一固定块（84）之间转动安装有弧形拨片（83），所述弧形拨片（83）与第一固定块（84）之间安装有扭力弹簧轴（831），所述扭力弹簧轴（831）的一端外固定设有第一齿轮（832），所述第一齿轮（832）底端啮合连接有第二齿轮（833），所述第二齿轮（833）内侧固定连接有丝杆（86），所述丝杆（86）转动卡接于第一固定块（84）内，并螺纹贯穿第二固定块（85），所述丝杆（86）另一端外螺纹连接有十字滑轴套（861），所述十字滑轴套（861）外固定设有导向杆（862），所述导向杆（862）另一端活动贯穿第二固定块（85），所述弧形夹块（87）内开设有腰型槽（871），所述十字滑轴套（861）滑动连接于腰型槽（871）内；

所述超声波清洗机（1）底面固定设有多个支撑腿（11），所述超声波清洗机（1）两侧开设有Z形排污槽（14），所述超声波清洗机（1）的一侧固定安装有排液管（12），所述超声波清洗机（1）前面固定安装有控制面板（13），所述超声波清洗机（1）上表面一端开设有第一矩形槽（15），所述超声波清洗机（1）后面上端处固定安装有第一转块（16），所述第一转块（16）内壁处转动安装封门（2）；

所述封门（2）底端固定安装有第二转块（22），所述第二转块（22）内转动卡接有转轴（23），所述转轴（23）两端与第一转块（16）内壁转动连接，所述转轴（23）中段处外表面固定连接联动组件（3）；

所述联动组件（3）包括有大齿轮（31），所述大齿轮（31）固定安装于转轴（23）中段处外表面，所述大齿轮（31）啮合连接有小齿轮（32），所述小齿轮（32）内设有收卷轴（34），所述收卷轴（34）的一端转动安装于第一矩形槽（15）内壁处，所述收卷轴（34）外缠绕有钢线（36），所述钢线（36）活动贯穿超声波清洗机（1）、内箱组件（5），且所述钢线（36）另一端固定连接除污组件（4），所述钢线（36）外转动贴合连接有第一导轮（35）、第二导轮（38），所述第一导轮（35）固定安装于第一矩形槽（15）内壁处，所述钢线（36）外活动套接有多个导块（37），所述导块（37）、第二导轮（38）固定安装于内箱组件（5）内。

2.如权利要求1所述的一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，其特征在于，所述内箱组件（5）包括有上框板（51）、清洗箱（52），所述上框板（51）固定安装于清洗箱（52）上表面，所述上框板（51）底面贴合超声波清洗机（1）上表面，所述清洗箱（52）外表面固定安装于超声波清洗机（1）内壁处，所述清洗箱（52）两侧内壁开设有矩形排污槽（521），所述矩形排污槽（521）与Z形排污槽（14）贯通连接，所述清洗箱（52）前后侧内壁开设有凸形滑槽（522），所述凸形滑槽（522）内滑动安装除污组件（4），所述清洗箱（52）后侧内壁上端处开设有线槽（523），所述线槽（523）内活动贯穿钢线（36），所述清洗箱（52）后侧内壁上端处固定安装导块（37）、第二导轮（38），所述清洗箱（52）内底面活动放置安装盒（7）。

3.如权利要求2所述的一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，其特征在于，所述除污组件（4）包括有滑板（41），所述滑板（41）两端滑动设于凸形滑槽（522）内，所述滑板（41）两侧固定设有矩形框（42），所述滑板（41）两端的一侧固定安装有第一弹簧（43），所述第一弹簧（43）的另一端固定安装于凸形滑槽（522）的一端内壁处，所述滑板（41）的一端侧面固定连接钢线（36）的另一端。

4.如权利要求1所述的一种半导体精密部件超声波振荡清洗机，其特征在于，所述集污盒（6）数量为两个，所述集污盒（6）内侧开设有第三矩形槽（61），所述第三矩形槽（61）处的内底面与Z形排污槽（14）内底面叠合连接，所述集污盒（6）内底面密封安装有堵头（62）。

Images