CN114860338A - 一种半导体设备参数配置方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种半导体设备参数配置方法和装置，该方法包括：根据半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；每个参数的参数信息包括参数名称、参数范围、参数值、参数值类型；根据输入文件标准模板，生成针对半导体设备的输入文件；检测输入文件参数信息是否符合要求；在检测结果为符合要求的情况下，根据输入文件生成配置文件。实现自动生成配置文件，节约手工配置成本，同时可以实现将多台设备同名配置文件进行一次性比对，自动检测配置参数是否正确，保证配置文件准确性；通过自动检测对比，保证生产线客户端同类型机台匹配，确保产品各批次之间的一致性。

Description

一种半导体设备参数配置方法和装置

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种半导体设备参数配置方法和一种半导体设备参数配置装置。

背景技术

现有技术中，通常由配置工程师人工收集半导体设备的硬件参数、气路参数、炉体温度参数、报警参数、互锁参数、工艺参数等参数，再由配置检测工程师手工检查参数是否正确，无法一次确认所有参数正确性。

通过人工在设备的上位机与下位机的硬盘固定路径以及对应的配置文件中修改对应参数，以及配置完成后，部署到设备出厂后出现参数变更，采用人工在对应计算机特定配置文件中修改参数，无法保证参数的合法性；而且人工手动搜集参数，设备配置部署完成之后，无法保证参数的完整性。

客户现场多台设备配置参数比对，通过人工逐个检查配置文件参数，出现参数异常，按照标准装备逐个修改参数，无法一次确认所有机台每个配置文件中的参数正确性，同时无法一次性与标准机台参数值匹配。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体设备参数配置方法和相应的一种半导体设备参数配置装置。

为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种半导体设备参数配置方法，所述方法包括：

根据所述半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，所述输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；每个参数的参数信息包括参数名称、参数范围、参数值、参数值类型；

根据所述输入文件标准模板，生成针对所述半导体设备的输入文件；

检测所述输入文件参数信息是否符合要求；

在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。

可选地，还包括：

若所述设备类型对应的输入文件标准模板不存在，则创建新的输入文件标准模板，并检测所述新的输入文件标准模板的正确性。

可选地，所述检测所述新的输入文件标准模板的正确性，包括：

获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0，以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符串数组S1；

将新的文件标准模板字符串数组S1中的每一个字符，与所述预设文件标准模板字符串数组S0中的每一个字符串进行对比；

若所述S1与S0相同字符串的个数大于或等于所述S0字符串的个数，则确定所述新的输入文件标准模板正确，输入文件标准模板创建成功；

否则，确定所述新的输入文件标准模板创建失败。

可选地，所述获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0，以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符串数组S1，包括：

读取所述预设输入文件模板的模块名称集合，将所述预设输入文件模板的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将所述预设输入文件模板的模块名称对应字符串的集合，作为模块字符串数组S0；以及读取所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合，将新的输入文件标准模板中的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将所述新的输入文件标准模板中的模块名称对应字符串的集合，作为模块字符串数组S1。

可选地，所述检测所述输入文件参数信息是否符合要求，包括：

提取所述输入文件标准模板的参数信息，作为所述输入文件标准模板的特征向量，以及提取所述输入文件的参数信息，作为所述输入文件的特征向量；

计算所述文件标准模板的特征向量与所述输入文件的特征向量的余弦值；

根据余弦值的大小，判断所述输入文件参数信息的检测结果是否符合要求。

可选地，所述提取所述输入文件标准模板的参数信息，作为所述输入文件标准模板的特征向量，以及提取所述输入文件的参数信息，作为所述输入文件的特征向量，包括：

提取所述输入文件标准模板的参数信息，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件标准模板的特征向量；以及提取所述输入文件的参数信息，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件的特征向量。

可选地，还包括：

若所述输入文件参数信息的检测结果不符合要求，则提示所述输入文件参数不匹配，并重新上传输入文件参数信息。

可选地，所述在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件，包括：

在检测结果为符合要求的情况下，获取所述输入文件中的参数，将所述参数存入对应数据库的数据表中；由所述数据库生成对应的配置文件，以及将所述数据表中与所述配置文件中的参数名称对应的参数，导入所述配置文件。

可选地，还包括：

获取与所述半导体设备相同类型的参照设备的参考配置文件；

将所述参照设备的参考配置文件与所述半导体设备的配置文件进行对比，判断所述半导体设备的配置文件与所述参照设备的参考配置文件是否匹配；

在所述半导体设备的配置文件，与所述参照设备的参考配置文件不匹配的情况下，提示配置文件参数不匹配的出错信息，并将错误的参数修改为所述参考配置文件中对应的参数。

可选地，还包括：

将不同设备类型的输入文件标准模板，预先存放到固定路径；其中，每个设备类型对应一个输入文件标准模板，每个模板中包含一个或多个输入文件；

根据填写的输入文件名称信息，动态生成针对所述一个或多个输入文件的文件名称；

所述根据半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，包括：

根据选择的设备类型信息，从所述固定路径中获取对应文件名称的输入文件标准模板。

本发明实施例还公开了一种半导体设备参数配置装置，所述装置包括：

第一获取模块，用于根据所述半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，所述输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；每个参数包括参数名称、参数范围、参数值、参数值类型参数信息；

第一生成模块，用于根据所述输入文件标准模板，生成针对所述半导体设备的输入文件；

第一检测模块，用于检测所述输入文件参数信息是否符合要求；

第二生成模块，用于在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。

可选地，还包括：

第二检测模块，用于若所述设备类型对应的输入文件标准模板不存在，则创建新的输入文件标准模板，并检测所述新的输入文件标准模板的正确性。

可选地，所述第二检测模块，包括：

生成子模块，用于获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0，以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符串数组S1；

对比子模块，用于将新的文件标准模板字符串数组S1中的每一个字符，与所述预设文件标准模板字符串数组S0中的每一个字符串进行对比；

确定子模块，用于若所述S1与S0相同字符串的个数大于或等于所述S0字符串的个数，则确定所述新的输入文件标准模板正确，输入文件标准模板创建成功；

否则，确定所述新的输入文件标准模板创建失败。

可选地，所述生成子模块，包括：

模块字符串转化单元，用于读取所述预设输入文件模板的模块名称集合，将所述预设输入文件模板的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将所述预设输入文件模板的模块名称对应字符串的集合，作为模块字符串数组S0；以及读取所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合，将新的输入文件标准模板中的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将所述新的输入文件标准模板中的模块名称对应字符串的集合，作为模块字符串数组S1。

可选地，所述第一检测模块，包括：

提取子模块，用于提取所述输入文件标准模板的参数信息，作为所述输入文件标准模板的特征向量，以及提取所述输入文件的参数信息，作为所述输入文件的特征向量；

计算子模块，用于计算所述文件标准模板的特征向量与所述输入文件的特征向量的余弦值；

判断子模块，用于根据余弦值的大小，判断所述输入文件参数信息的检测结果是否符合要求。

可选地，所述提取子模块，包括：

参数信息转化单元，用于提取所述输入文件标准模板的参数信息，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件标准模板的特征向量；以及提取所述输入文件的参数信息，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件的特征向量。

可选地，还包括：

提示模块，用于若所述输入文件参数信息的检测结果不符合要求，则提示所述输入文件参数不匹配，并重新上传输入文件参数信息。

可选地，所述第二生成模块，包括：

获取子模块，用于在检测结果为符合要求的情况下，获取所述输入文件中的参数，将所述参数存入对应数据库的数据表中；由所述数据库生成对应的配置文件，以及将所述数据表中与所述配置文件中的参数名称对应的参数，导入所述配置文件。

可选地，还包括：

第二获取模块，用于获取与所述半导体设备相同类型的参照设备的参考配置文件；

对比模块，用于将所述参照设备的参考配置文件与所述半导体设备的配置文件进行对比，判断所述半导体设备的配置文件与所述参照设备的参考配置文件是否匹配；

修改模块，用于在所述半导体设备的配置文件，与所述参照设备的参考配置文件不匹配的情况下，提示配置文件参数不匹配的出错信息，并将错误的参数修改为所述参考配置文件中对应的参数。

可选地，还包括：

存放模块，用于将不同设备类型的输入文件标准模板，预先存放到固定路径；其中，每个设备类型对应一个输入文件标准模板，每个模板中包含一个或多个输入文件；

动态生成模块，用于根据填写的输入文件名称信息，动态生成针对所述一个或多个输入文件的文件名称；

所述第一获取模块，包括：

第一获取子模块，用于根据选择的设备类型信息，从所述固定路径中获取对应文件名称的输入文件标准模板。

本发明实施例包括以下优点：根据半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；根据输入文件标准模板，生成针对半导体设备的输入文件；检测所述输入文件参数信息是否符合要求；在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。实现自动生成配置文件，节约手工配置成本，同时可以实现将多台设备同名配置文件进行一次性比对，自动检测配置参数是否正确，保证配置文件准确性；通过自动检测对比，保证生产线客户端同类型机台匹配，确保产品各批次之间的一致性。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种半导体设备参数配置方法的步骤流程图；

图2是本发明实施例提供的另一种半导体设备参数配置方法的步骤流程图；

图3是本发明实施例提供的一种半导体设备参数配置装置的结构框图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

现有技术客户现场人工修改半导体设备配置参数，速度慢并且易出错，且半导体设备参数配置完成但设备未出厂前，如果此时设备参数修改，会造成配置工程师手工修改人工时间与次数增加，影响工程师人效及设备参数的正确性。

基于此，本发明拟提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体设备参数配置方法和相应的一种半导体设备参数配置装置。

本发明实施例的半导体设备参数配置方法，可以应用于多种类型的半导体设备，本发明以半导体集成电路专用设备，立式炉为例进行说明。立式炉按不同工艺产品可分为Diffusion(扩散)、LPCVD(Low-Pressure Chemical Vapor Deposition低压化学气相淀积)、ALD(Atomic Layer Depositon原子层淀积)等三种类型设备；Diffusion(扩散)工艺应用分为Oxide(氧化)和Anneal(退火)；LPCVD工艺应用分为Poly(多晶硅)、HTO(HighTemperature Oxide高温氧化)、SiN(氮化硅)；ALD工艺应用分为Oxide(氧化)和SiN(氮化硅)。立式炉按不同细分领域可以分为Logic(逻辑器件)、Power IC(功率器件)、3D-NAND(立体闪存)、DRAM(动态存储器)四类；每种产品按产能可分为小产能(<91片)、正常产能(<145片)及大产能(<216片)；每种产品根据硅片尺寸分为12寸和8寸两种。

对于相同类型的产品由于硬件结构不同、满舟的装载硅片数量不同以及是否具有RCU(快速冷却单元)、PTC(Pipe Temperature Controller管路温度控制)等，可分不同的机型。立式炉具有小批量、多品种、客户定制的特点，其在不同客户需求下，具有不同的硬件结构及工艺参数，可以通过不同客户自动化生产线运行工艺，生产出适用于不同领域的产品。同时，相同类型的设备在不同的客户适应不同领域生产线具有不同的设备配置参数。任何一个配置参数的变化均会导致设备出现产品报废的可能性以及设备生产的产品均匀性。

相同类型的产品设备是指硬件结构不同，装载硅片数量不同，是否具有RCU、PTC等，能生产相同工艺产品的设备。如LPCVD产品类型、ALD产品类型、氧化产品类型等。

本发明实施例的核心构思之一在于，根据半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；根据输入文件标准模板，生成针对半导体设备的输入文件；检测所述输入文件参数信息是否符合要求；在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。实现自动生成配置文件，节约手工配置成本，同时可以实现将多台设备同名配置文件进行一次性比对，自动检测配置参数是否正确，保证配置文件准确性；通过自动检测对比，保证生产线客户端同类型机台匹配，确保产品各批次之间的一致性。

参照图1，示出了本发明实施例提供的一种半导体设备参数配置方法的步骤流程图，所述方法具体可以包括如下步骤：

步骤101，根据所述半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，所述输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；每个参数的参数信息包括参数名称、参数范围、参数值、参数值类型。

在本发明实施例中，输入文件标准模板(INPUT文件标准模板)可以是能生产相同类型的产品设备的参数组合成的一个或多个文件。其中，INPUT文件标准模板可以分两类，一类为有默认参数值的INPUT文件标准模板，另一类为无参数值的INPUT文件标准模板。

示例性地，可以根据半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板。

例如，立式炉可以包括LPCVD产品类型、ALD产品类型、氧化产品类型等类型设备。上位机可以根据LPCVD产品类型设备，获取LPCVD产品类型设备的输入文件标准模板；可以根据ALD产品类型设备，获取ALD产品类型设备的输入文件标准模板；可以根据氧化产品类型设备，获取氧化产品类型设备的输入文件。

示例性地，输入文件标准模板可以包括针对半导体设备的多个参数。例如，可以包括模块参数、气路参数、工艺参数、电气参数、超时参数、塔灯参数等等。每个参数可以包括参数名称、参数范围、参数值、参数值类型等多个参数信息。

步骤102，根据所述输入文件标准模板，生成针对所述半导体设备的输入文件。

输入文件(INPUT文件)可以指用户在INPUT文件标准模板中的一个或多个文件内填写完参数值后保存生成的文件。INPUT文件中的参数个数与INPUT文件标准模板的参数个数相同。

示例性地，用户可以在上位机获取INPUT文件标准模板，填写INPUT文件参数信息，生成对应的INPUT文件。

此外，输入文件也可以是复制INPUT文件标准模板，并把INPUT文件标准模板名称修改为带有设备号，针对具体设备的文件，本领域技术人员可以根据实际需要进行设置，本发明实施例在此不做限制。

步骤103，检测所述输入文件参数信息是否符合要求。

示例性地，在生成对应的INPUT文件后，上位机可以将INPUT文件参数信息与对应的INPUT文件标准模板的参数信息进行比对，检测填写的INPUT文件参数信息是否符合要求。

作为一种示例，用户可以通过上位机的手动或自动按钮，选择是否自动检测INPUT文件参数信息是否正确，在选择“是”的情况下，上位机开始自动检测INPUT文件参数信息。

步骤104，在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。

示例性地，在检测结果为符合要求的情况下，上位机根据该输入文件生成对应的配置文件。

其中，配置文件是格式上，可以被设备正确识别并读取的文件。配置文件与输入文件的参数以及参数信息相同，根据输入文件生成格式不同的配置文件，可以便于客户现场设备正确识别并读取。

在本发明的实施例中，根据半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；根据输入文件标准模板，生成针对半导体设备的输入文件；检测所述输入文件参数信息是否符合要求；在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。实现自动生成配置文件，节约手工配置成本，同时可以实现将多台设备同名配置文件进行一次性比对，自动检测配置参数是否正确，保证配置文件准确性；通过自动检测对比，保证生产线客户端同类型机台匹配，确保产品各批次之间的一致性。

参照图2，示出了本发明实施例提供的另一种半导体设备参数配置方法的步骤流程图，应用于上位机，所述方法具体可以包括如下步骤：

步骤201，将不同设备类型的输入文件标准模板，预先存放到固定路径；其中，每个设备类型对应一个输入文件标准模板，每个模板中包含一个或多个输入文件；根据填写的输入文件名称信息，动态生成针对所述一个或多个输入文件的文件名称。

示例性地，用户可以预先在上位机上传所有产品类型的输入文件标准模板，到服务器的固定路径。其中，每个设备类型对应一个输入文件标准模板，每个模板中包含一个或多个输入文件。

输入文件可以分为固化文件和非固化文件。固化文件是指生产相同类型产品的不同设备的输入文件，与其对应的输入文件标准模板的参数信息相同；固化文件的参数、存放路径是固定的，若参数有变动，则需要新的文件版本。非固化文件是指生产相同类型产品的不同设备，对应的每个参数的参数值中，除无特殊情况下的默认参数值之外，每个参数的参数值都不同。固化输入文件标准模板可以将所有生产相同类型产品的不同设备中具有共性与通用性的特性一次性提取出，进而可以一次性制定通用配置并确认版本号。

作为一种示例，用户可以预先固化并上传输入文件标准模板至固定路径，便于输入文件标准模板管控，如搜索输入文件标准模板及查询输入文件标准模板参数名称等。

其中，固定路径可以是服务器的固定路径，也可以是其它设备的固定路径，本领域技术人员可以根据实际需求进行设置，本发明实施例在此不做限制。

示例性地，输入文件名称可以是动态生成的。可以通过用户在上位机的软件界面填写的项目信息、基础产品信息、版本号信息、制造设备软件部署信息等，动态生成输入文件名称。

作为一种示例，动态生成可以指根据填写的信息，由“产品类型+配置类型+参数类型+项目号+版本记录”生成字符串作为文件名称。

例如：

产品类型：A301

配置类型：I/II/III/IV(可以根据气路图、机械手等类型不同分类)

参数类型：V1/V2/V3/V4(可以根据报闸，塔灯或其它配置参数不同分类)

项目号：J1-1234

版本记录：V1.0/V2.0

动态生成文件名为：A301_I_J1-1234_V1.0

另外，输入文件名称还可以包括设备号，便于用户根据设备号，查找具体设备对应的输入文件。

步骤202，根据选择的设备类型信息，从所述固定路径中获取对应文件名称的输入文件标准模板。

示例性地，用户可以在上位机软件界面选择设备类型，查找对应的输入文件标准模板；在对应的输入文件标准模板存在的情况下，可以从固定路径中获取对应的输入文件标准模板。例如，用户在上位机软件界面选择LPCVD产品类型设备，查找LPCVD产品类型设备对应的输入文件标准模板，若固定路径中存在LPCVD产品类型设备对应的输入文件标准模板，则可以获取LPCVD产品类型设备的输入文件标准模板。

其中，固定路径可以为服务器中的固定路径，也可以为其它设备中的固定路径，本发明实施例在此不做限制。

步骤203，若所述设备类型对应的输入文件标准模板不存在，则创建新的输入文件标准模板，并检测所述新的输入文件标准模板的正确性。

示例性地，若固定路径中不存在用户选择的设备类型对应的输入文件标准模板，则可以创建新的输入文件标准模板，填写新的输入文件模板中的参数信息，并检测新的输入文件标准模板的正确性。

作为一种示例，若新的输入文件标准模板检测结果为正确，则可以将该创建的新的输入文件标准模板存入到存储输入文件标准模板的固定路径，便于输入文件标准模板的管控。

在一种实施例中，所述检测所述新的输入文件标准模板的正确性，包括：获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0，以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符串数组S1；将新的文件标准模板字符串数组S1中的每一个字符，与所述预设文件标准模板字符串数组S0中的每一个字符串进行对比；若所述S1与S0相同字符串的个数大于或等于所述S0字符串的个数，则确定所述新的输入文件标准模板正确，输入文件标准模板创建成功；否则，确定所述新的输入文件标准模板创建失败。

作为一种示例，可以分别提取预设输入文件标准模板和新的输入文件标准模板的特征向量，其中，特征向量可以由设备的模块名称、模块对应参数、参数的值、参数值类型等参数信息构成，如输入文件模块特征向量＝[模块，参数范围，值，值类型]。

其中，预设标准模板可以为机台设备通用参数组合成的文件。模块名称可以为所有设备的模块组成的集合；参数可以为模块对应的参数；参数值可以为模块对应参数的值范围；值类型可以为参数值的类型，例如，可以具有整数、字符串、浮点数三种类型。设备的模块可以由组成设备的运动系统模块(如：机械手、片盒传输装置、晶圆传输装置)、气路模块(如：阀、压力传感器、液位传感器)、控制模块(报闸，塔灯)组成。

示例性地，上位机可以读取创建的新输入文件标准模板中的模块名称集合，将创建的新输入文件模块名称集合中的每个元素的值，转化为设备模块字符串数组S1；可以读取预设输入文件模板的模块名称集合，并将预设输入文件模板的模块名称集合中的每个元素的值，转化为设备模块字符串数组S0。

示例性地，上位机可以将创建的新文件标准模板字符串数组S1中的每一个字符，与预设输入文件模板字符串数组S0中的每一个字符串进行对比，确认S1与S0相同字符串的个数。若相同字符串的个数大于或等于S0中字符串个数，则确定新输入文件标准模板正确，新的输入文件标准模板创建成功。否则，确定新的输入文件标准模板创建失败。

此外，在检测文件标准模板模块的同时，上位机也可以对模块对应参数、参数的值、参数值类型等进行比对，以确定相同模块对应的模块对应参数、参数的值、参数值类型也是相同的。

在一种实施例中，所述获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0，以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符串数组S1，包括：读取所述预设输入文件模板的模块名称集合，将所述预设输入文件模板的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将所述预设输入文件模板的模块名称对应字符串的集合，作为模块字符串数组S0；以及读取所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合，将新的输入文件标准模板中的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将所述新的输入文件标准模板中的模块名称对应字符串的集合，作为模块字符串数组S1。

示例性地，上位机可以读取预设输入文件模板的模块名称集合，将预设输入文件模板的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将对应字符串的集合作为模块字符串数组S0；以及读取新的输入文件标准模板中的模块名称集合，将新的输入文件标准模板中的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将对应字符串的集合作为模块字符串数组S1，以便于将新的输入文件标准模板中的模块名称集合与预设输入文件模板的模块名称集合进行比对。

例如：

设备预设INPUT文件模块名称集合为＝{塔灯，机械手，阀，泵}。则设备预设INPUT文件特征向量＝{[塔灯，4，3，INT]，[机械手，5，1，INT]，[阀，125，56，INT]，[泵，2，1，INT]}，其中塔灯参数取值可以为3或4(塔灯参数的物理意义为：3色灯与4色灯；其中3色灯为红，黄，绿；4色灯为红，黄，绿，蓝；设备塔灯一般不会选1色灯和2色灯)，表示3色灯或4色灯；参数值为3表示该设备的塔灯为3色灯；机械手参数取值可以为{5,4,3,2,1}，表示5至1个臂，值为1表示为1个臂；阀参数取值可以为从1至125个，值56表示为56个阀；泵参数为1个或2个泵，值为表示为1个泵。INT表示整数。

INPUT文件模块字符串数组可以为模块名称集合中每个元素的拼音组成，如塔灯为TADEND；机械手为JIXIESHOU。则设备预设INPUT文件模块字符串数组S0＝{TADEND,JIXIESHOU,FA,BENG}，S0的字符串个数为4。

设备新的INPUT文件模块名称集合为＝{塔灯，机械手，阀，泵，报闸}。则新的INPUT文件模块字符串数组S1＝{TADEND,JIXIESHOU,FA,BENG，BAOZHA}，S1的字符串个数为5。

S1与S0相同的字符串个数为4，且大于或等于S0字符串个数4，因此检查成功，确定新的INPUT文件模块正确。

步骤204，根据所述输入文件标准模板，生成针对所述半导体设备的输入文件。

步骤205，检测所述输入文件参数信息是否符合要求。

在具体实现中，可以获取输入文件标准模板，填写输入文件参数信息，生成对应的输入文件，再将输入文件参数信息与对应的输入文件标准模板的参数信息进行比对，检测输入文件参数信息是否符合要求的过程，与前述实施例中步骤102-步骤103类似，可以相互参照，本实施例对此不再赘述。

在一种实施例中，所述检测所述输入文件参数信息是否符合要求，包括：提取所述输入文件标准模板的参数信息，作为所述输入文件标准模板的特征向量，以及提取所述输入文件的参数信息，作为所述输入文件的特征向量；计算所述文件标准模板的特征向量与所述输入文件的特征向量的余弦值；根据余弦值的大小，判断所述输入文件参数信息的检测结果是否符合要求。

示例性地，用户可以将填写完参数信息的输入文件，上传到固定路径。在上传的过程中，上位机可以分别从输入文件标准模板和输入文件内容中，提取文本特征向量，将标准文件特征向量与上传输入文件特征向量求内积，若内积为0，则重新上传输入文件参数信息。

示例性地，若内积不为0，则计算文件标准模板的特征向量与输入文件的特征向量的余弦值间夹角θ余弦值，根据余弦值的大小，判断输入文件参数信息的检测结果是否符合要求。例如，当θ∈[0,60]，即余弦值大于或等于0.5且小于或等于1时，则输入文件符合要求。

需要解释的是，当两个特征向量之间夹角为90°直角，即为正交，即两个特征向量之间为线性无关。正交向量组是指一组两两正交的非零向量。若n维向量a1,a2,…,ar是一组两两正交的非零向量，则线性无关。因此，可以通过从求两个特征向量的夹角余弦值，得出两个特征向量的相似度。当余弦值为0，则两个特征向量正交，线性无关没有任何关联；当余弦值为1时，则两个特征向量相同。当余弦值在0.5至1之间，则表示两个特征向量具有较高相似度。

例如，输入文件标准模板特征向量矩阵为A＝[X1,X2,X3,X4]，输入文件特征向量矩阵AU＝[Y1,Y2,Y3,Y4]。

设备文件特征向量内积值计算公式：

A×AU＝[X1×Y1，X2×Y2，X3×Y3，X4×Y4]

设备文件特征向量间夹角余弦值计算公式：

其中，如果输入文件标准模板与输入文件的特征向量维度不同时，可以分别提取相同数目的输入文件标准模板的特征向量子集，与输入文件中的特征向量子集作为特征向量，完成夹角θ余弦值计算。

例如，A输入文件标准模板特征向量[模块，参数，值，值类型]的特征向量维度为4。

B文件特征向量[模块，参数，值，值类型，配置文件，文件路径，参数字段]的特征向量维度为7。

以上两个特征向量维度不同，提取方法为：将两个文件中模块，参数，值,值类型相同的类型形成特征向量维度为4的子集。即：INPUT文件特征向量为[模块，参数，值，值类型]；B文件特征向量为[模块，参数，值，值类型]。

公式1：当特征向量的维数为n时，则

输入文件标准模板特征向量A＝[X1，X2，X3，X4，X5，X6，X7，…，Xn]

输入文件特征向量B＝[Y1，Y2，Y3，Y4，Y5，Y6，Y7，…，Yn]

特征向量内积值计算公式：

A×B＝[X1×Y1，X2×Y2，X3×Y3，X4×Y4，X5×Y5，…，Xn×Yn]

特征向量间夹角余弦值：

在一种实施例中，若所述输入文件参数信息的检测结果不符合要求，则提示所述输入文件参数不匹配，并重新上传输入文件参数信息。

作为一种示例，若文件标准模板的特征向量与输入文件的特征向量的余弦值，不满足余弦值大于或等于0.5且小于或等于1，则确定输入文件参数信息不符合要求，上位机提示输入文件参数不匹配，用户需要重新上传输入文件参数信息。

在一种实施例中，所述提取所述输入文件标准模板的参数信息，作为所述输入文件标准模板的特征向量，以及提取所述输入文件的参数信息，作为所述输入文件的特征向量，包括：提取所述输入文件标准模板的参数信息，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件标准模板的特征向量；以及提取所述输入文件的参数信息，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件的特征向量。

例如，模块名称可以按汉字拼音形成字符串，由字符串转化为数字。

将参数信息转化为对应的数字信息，生成对应的特征向量，便于求取文件标准模板的特征向量与输入文件的特征向量的余弦值。

步骤206，在检测结果为符合要求的情况下，获取所述输入文件中的参数，将所述参数存入对应数据库的数据表中；由所述数据库生成对应的配置文件，以及将所述数据表中与所述配置文件中的参数名称对应的参数，导入所述配置文件。

示例性地，在检测结果为符合要求的情况下，上位机可以从固定路径中获取设备类型对应的已填完所有参数的输入文件，读取输入文件参数，存入对应数据库中的数据表中。数据库可以固定字段及记录生成对应的配置文件，以及将数据表中与配置文件中的参数名称对应的参数，导入配置文件。

作为一种示例，生成的配置文件，可以为与输入文件格式不同的文件，生成的配置文件可以只有参数名称没有参数值，可以从数据库中的数据表中获取对应的参数值。

作为一种示例，上位机在将产品配置文件导入数据库的同时，可以检测数据库中是否存在对应配置文件版本号；在不存在对应配置文件版本号的情况下，可以读取配置文件版本号并创建版本号对应数据库表，并检测产品配置文件正确后导入对应标准产品配置文件到数据库表中。

其中，数据库可以用于实现输入文件的导入与导出，实现所有输入文件分类管理，以及文件与数据库同步，达到方便，快捷搜索及检索。输入文件对应的数据库可以包括模块表、工艺表、电气表、软件表、输入输出表、系统表等数据表。

作为一种示例，输入文件标准模板可以存储在固定路径的固定文件夹内，每个输入文件标准模板具有版本号定义规则。每个产品类型设备都对应一个输入文件标准模板。每个输入文件名称可以对应一个或多个数据库，一个数据库可以对应一个或多个数据表。

作为一种示例，上位机可以根据数据库中不同类别配置参数，自动生成标准产品配置文件，并保存到本地固定路径。其中，本地固定路径中可以有产品配置单号文件夹，文件夹中包括上位机配置文件和下位机配置文件。

在本发明的实施例中，用户可以选择产品类型和设备类型和设备配置号对应的标准产品配置文件模板。如果标准产品配置文件模板为新设备类型对应的设备配置号，则可以创建新设备配置号文件夹，用于存放新设备类型的标准产品配置文件模板，并将新设备类型的标准产品配置文件分别导入到配置文件固定路径和对应的数据库。

如果导入的新设备类型的标准产品配置文件在数据库已存在，则上位机软件界面可以弹出导入出现差异的内容；如果导入的新设备类型的标准产品配置文件在数据库中不存在对应配置文件版本号，则可以读取配置文件版本号并创建版本号对应数据库表，检测新设备类型的标准产品配置文件正确后，导入到数据库表中。

在一种实施例中，获取与所述半导体设备相同类型的参照设备的参考配置文件；将所述参照设备的参考配置文件与所述半导体设备的配置文件进行对比，判断所述半导体设备的配置文件与所述参照设备的参考配置文件是否匹配；在所述半导体设备的配置文件，与所述参照设备的参考配置文件不匹配的情况下，提示配置文件参数不匹配的出错信息，并将错误的参数修改为所述参考配置文件中对应的参数。

作为一种示例，参照设备可以为所有公司出厂不同客户现场中相同设备类型及相同版本号机台工艺运行晶片工艺指标最优的机台。可以将参照设备的参考配置文件作为出场客户现场的标准配置文件。其中，参照设备配置文件可以与目标机台配置文件内容中配置格式相同，仅配置参数名称与参数值不相同。

示例性地，可以通过选择设备号以及设备软件版本号，获取与目标半导体设备相同类型的参照设备的参考配置文件；可以将半导体设备的配置文件与对应的参照设备的参考配置文件进行对比，判断半导体设备的配置文件与参照设备的参考配置文件是否匹配；若不匹配，则可以提示配置文件参数不匹配的出错信息，并将错误的参数修改为参考配置文件中对应的参数。若匹配，则提示用户配置文件对比完成，并导出该半导体设备的配置文件。

例如，数值类型可以为整型或浮点型，当数值类型为整型Int时，则参照设备的参考配置文件与目标机台配置文件相同参数名称的参数值相减为0，确定半导体设备的配置文件与参照设备的参考配置文件匹配，否则，不匹配；当数值类型为浮点float或Double时，则参照设备的参考配置文件与目标机台配置文件相同参数名称的参数值相减为[0,1]之间，确定半导体设备的配置文件与参照设备的参考配置文件匹配，否则，不匹配。数值类型为字符串类型时，则参照设备的参考配置文件与目标机台配置文件相同参数名称的参数值相同，确定半导体设备的配置文件与参照设备的参考配置文件匹配，否则，不匹配。

例如，当目标机台的配置文件相同的参数名称，对应的参数值不匹配时，可以提示是否将目标机台的配置文件参数值，替换为参照设备参考配置文件中的参数值。当目标机台的配置文件参数个数与参照设备的参考配置文件的参数个数不相同时，若参照设备的参考配置文件的参数名称多，则可以将多出的参数添加到目标机台的配置文件中；若参照设备的参考配置文件参数少，则可以提示用户是否将参数从目标机台配置文件中删除。

在本发明的实施例中，可以直接从预先存入的输入文件标准模板中提取模块参数，若不存在对应的半导体设备输入文件标准模板，则创建新的文件标准模板，进而保证输入文件参数的完整性；输入文件标准模板固化，可以提取多台同类型设备的输入文件的特征向量，以及同类型设备对应的标准模板的特征向量矩阵，计算余弦值，根据余弦值大小确定参数的正确性，可以一次确认参数的正确性，即可以实现将多台设备同名配置文件进行一次性比对，自动检测配置参数是否正确，保证配置文件准确性；同时，以输入文件标准模板中的参数为依据，将修改参数后文件的参数与文件标准模板中的参数进行比对，可以保证用户修改参数值后，参数的合法性；通过自动检测对比，保证生产线客户端同类型机台匹配，确保产品各批次之间的一致性。

需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。

参照图3，示出了本发明实施例提供的一种半导体设备参数配置装置的结构框图，具体可以包括如下模块：

第一获取模块301，用于根据所述半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，所述输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；每个参数包括参数名称、参数范围、参数值、参数值类型参数信息；

第一生成模块302，用于根据所述输入文件标准模板，生成针对所述半导体设备的输入文件；

第一检测模块303，用于检测所述输入文件参数信息是否符合要求；

第二生成模块304，用于在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。

可选地，还可以包括：

第二检测模块，用于若所述设备类型对应的输入文件标准模板不存在，则创建新的输入文件标准模板，并检测所述新的输入文件标准模板的正确性。

可选地，所述第二检测模块，可以包括：

生成子模块，用于获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0，以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符串数组S1；

对比子模块，用于将新的文件标准模板字符串数组S1中的每一个字符，与所述预设文件标准模板字符串数组S0中的每一个字符串进行对比；

确定子模块，用于若所述S1与S0相同字符串的个数大于或等于所述S0字符串的个数，则确定所述新的输入文件标准模板正确，输入文件标准模板创建成功；

否则，确定所述新的输入文件标准模板创建失败。

可选地，所述生成子模块，可以包括：

模块字符串转化单元，用于读取所述预设输入文件模板的模块名称集合，将所述预设输入文件模板的模块名称集合中的每个模块名称，转化为所述预设输入文件模板的模块名称对应的字符串，将所述对应字符串的集合作为模块字符串数组S0；以及读取所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合，将新的输入文件标准模板中的模块名称集合中的每个模块名称，转化为所述新的输入文件标准模板中的模块名称对应的字符串，将所述对应字符串的集合作为模块字符串数组S1。

可选地，所述第一检测模块303，可以包括：

提取子模块，用于提取所述输入文件标准模板的参数信息，作为所述输入文件标准模板的特征向量，以及提取所述输入文件的参数信息，作为所述输入文件的特征向量；

计算子模块，用于计算所述文件标准模板的特征向量与所述输入文件的特征向量的余弦值；

判断子模块，用于根据余弦值的大小，判断所述输入文件参数信息的检测结果是否符合要求。

可选地，所述提取子模块，可以包括：

参数信息转化单元，用于提取所述输入文件标准模板的参数信息，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件标准模板的特征向量；以及提取所述输入文件的参数信息，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件的特征向量。

可选地，还可以包括：

提示模块，用于若所述输入文件参数信息的检测结果不符合要求，则提示所述输入文件参数不匹配，并重新上传输入文件参数信息。

可选地，所述第二生成模块304，可以包括：

获取子模块，用于在检测结果为符合要求的情况下，获取所述输入文件中的参数，将所述参数存入对应数据库的数据表中；由所述数据库生成对应的配置文件，以及将所述数据表中与所述配置文件中的参数名称对应的参数，导入所述配置文件。

可选地，还可以包括：

第二获取模块，用于获取与所述半导体设备相同类型的参照设备的参考配置文件；

对比模块，用于将所述参照设备的参考配置文件与所述半导体设备的配置文件进行对比，判断所述半导体设备的配置文件与所述参照设备的参考配置文件是否匹配；

修改模块，用于在所述半导体设备的配置文件，与所述参照设备的参考配置文件不匹配的情况下，提示配置文件参数不匹配的出错信息，并将错误的参数修改为所述参考配置文件中对应的参数。

可选地，还可以包括：

存放模块，用于将不同设备类型的输入文件标准模板，预先存放到固定路径；其中，每个设备类型对应一个输入文件标准模板，每个模板中包含一个或多个输入文件；

动态生成模块，用于根据填写的输入文件名称信息，动态生成针对所述一个或多个输入文件的文件名称；

所述第一获取模块301，可以包括：

第一获取子模块，用于根据选择的设备类型信息，从所述固定路径中获取对应文件名称的输入文件标准模板。

在本发明的实施例中，根据半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；根据输入文件标准模板，生成针对半导体设备的输入文件；检测所述输入文件参数信息是否符合要求；在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。实现自动生成配置文件，节约手工配置成本，同时可以实现将多台设备同名配置文件进行一次性比对，自动检测配置参数是否正确，保证配置文件准确性；通过自动检测对比，保证生产线客户端同类型机台匹配，确保产品各批次之间的一致性。

对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

本发明实施例还提供了一种电子设备，包括：

包括处理器、存储器及存储在所述存储器上并能够在所述处理器上运行的计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述半导体设备参数配置方法实施例的各个过程，且能达到相同的技术效果，为避免重复，这里不再赘述。

本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质上存储计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现上述半导体设备参数配置方法实施例的各个过程，且能达到相同的技术效果，为避免重复，这里不再赘述。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种半导体设备参数配置方法和一种半导体设备参数配置装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (11)

1.一种半导体设备参数配置方法，其特征在于，所述方法包括：

根据所述半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，所述输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；每个参数的参数信息包括参数名称、参数范围、参数值、参数值类型；

根据所述输入文件标准模板，生成针对所述半导体设备的输入文件；

检测所述输入文件参数信息是否符合要求；

在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

若所述设备类型对应的输入文件标准模板不存在，则创建新的输入文件标准模板，并检测所述新的输入文件标准模板的正确性。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述检测所述新的输入文件标准模板的正确性，包括：

获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0，以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符串数组S1；

将新的文件标准模板字符串数组S1中的每一个字符，与所述预设文件标准模板字符串数组S0中的每一个字符串进行对比；

若所述S1与S0相同字符串的个数大于或等于所述S0字符串的个数，则确定所述新的输入文件标准模板正确，输入文件标准模板创建成功；

否则，确定所述新的输入文件标准模板创建失败。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述获取预设输入文件模板中的模块名称集合对应的字符串数组S0，以及所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合对应的字符串数组S1，包括：

读取所述预设输入文件模板的模块名称集合，将所述预设输入文件模板的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将所述预设输入文件模板的模块名称对应字符串的集合，作为模块字符串数组S0；以及读取所述新的输入文件标准模板中的模块名称集合，将新的输入文件标准模板中的模块名称集合中的每个模块名称，转化为对应的字符串，将所述新的输入文件标准模板中的模块名称对应字符串的集合，作为模块字符串数组S1。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测所述输入文件参数信息是否符合要求，包括：

提取所述输入文件标准模板的参数信息，作为所述输入文件标准模板的特征向量，以及提取所述输入文件的参数信息，作为所述输入文件的特征向量；

计算所述文件标准模板的特征向量与所述输入文件的特征向量的余弦值；

根据余弦值的大小，判断所述输入文件参数信息的检测结果是否符合要求。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述提取所述输入文件标准模板的参数信息，作为所述输入文件标准模板的特征向量，以及提取所述输入文件的参数信息，作为所述输入文件的特征向量，包括：

提取所述输入文件标准模板的参数信息，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件标准模板的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件标准模板的特征向量；以及提取所述输入文件的参数信息，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型分别转化为数字，将所述输入文件的参数信息中的参数名称、参数范围、参数值、参数值类型对应的数字组成矩阵，作为所述输入文件的特征向量。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

若所述输入文件参数信息的检测结果不符合要求，则提示所述输入文件参数不匹配，并重新上传输入文件参数信息。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件，包括：

在检测结果为符合要求的情况下，获取所述输入文件中的参数，将所述参数存入对应数据库的数据表中；由所述数据库生成对应的配置文件，以及将所述数据表中与所述配置文件中的参数名称对应的参数，导入所述配置文件。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

获取与所述半导体设备相同类型的参照设备的参考配置文件；

将所述参照设备的参考配置文件与所述半导体设备的配置文件进行对比，判断所述半导体设备的配置文件与所述参照设备的参考配置文件是否匹配；

在所述半导体设备的配置文件，与所述参照设备的参考配置文件不匹配的情况下，提示配置文件参数不匹配的出错信息，并将错误的参数修改为所述参考配置文件中对应的参数。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

将不同设备类型的输入文件标准模板，预先存放到固定路径；其中，每个设备类型对应一个输入文件标准模板，每个模板中包含一个或多个输入文件；

根据填写的输入文件名称信息，动态生成针对所述一个或多个输入文件的文件名称；

所述根据半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，包括：

根据选择的设备类型信息，从所述固定路径中获取对应文件名称的输入文件标准模板。

11.一种半导体设备参数配置装置，其特征在于，所述装置包括：

第一获取模块，用于根据所述半导体设备的设备类型，获取对应的输入文件标准模板，所述输入文件标准模板包括针对所述半导体设备的多个参数；每个参数包括参数名称、参数范围、参数值、参数值类型参数信息；

第一生成模块，用于根据所述输入文件标准模板，生成针对所述半导体设备的输入文件；

第一检测模块，用于检测所述输入文件参数信息是否符合要求；

第二生成模块，用于在检测结果为符合要求的情况下，根据所述输入文件生成配置文件。

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