CN114812431B - 应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，系统包括：激光光源系统、相位调制系统、图像采集系统、计算机控制系统、非偏振分束器和光学衰减片；激光光源系统包括固体激光器、可旋转偏振镜和准直扩束镜；相位调制系统包括带通滤光片和液晶空间光调制器；图像采集系统包括成像透镜和CCD图像采集装置；固体激光器、可旋转偏振镜、准直扩束镜、非偏振分束器、带通滤光片和液晶空间光调制器依次排布；检测试件、光学衰减片、非偏振分束器、成像透镜和CCD图像采集装置依次排布。本发明的一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，整体系统鲁棒性强、相位调制过程响应迅速、检测装置灵敏度高。
Description
技术领域
本发明涉及干涉度量学中的相移干涉测量技术领域，尤其涉及一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法。
背景技术
随着科学技术的发展与生产制造水平的提高，超精密光学检测仪器具有极高的整体系统集成，并且被广泛应用于各领域检测环节，直接推动干涉度量学进入发展的黄金时期。相移干涉测量技术(PSI)是该领域中极具代表性的技术手段，这种方法通过使用不同的光学元件搭建各类型光路系统，达到获取待测试件与参考镜间波前相位信息的目的，并基于获取相位值求解拟合试件表面真实形貌，是一种波长量级的超高精度的检测手段。
这项技术的核心内容之一是有效相位信息提取的装置和方法，由于检测精度等级非常高，因此，测量过程中周围环境导致的任何微小扰动(例如空气震动、外界杂光信息被采集、激光器信号输出不稳定等)都会造成明显的测量误差，甚至出现光束去相干现象。解决此类问题的最有效手段是加快相位提取速度、减小相位调制时间及CCD阵列图像采集时间，使系统整体测量灵敏度及鲁棒性增强，减少受扰动影响的时间。目前的干涉检测装置移相器通常应用压电陶瓷装置(PZT)，其主要依据机械能与电能的转化过程进行信息传递，虽然这种技术手段发展较为成熟且应用广泛，但是该装置依靠机械器件对电信号响应进行移相，因此，相位调制的响应速度较慢、调制时间较长，进而导致整体系统对干涉图像有效相位提取时间较长，测试过程可能出现新的环境扰动问题；此外，其波前相位求解过程使用近似代换的手段引入步进相移量，确定调制相位具有一定不准确性；同时，PZT移相过程中，由于机械运动导致的微小震动对整个系统检测过程的影响不可忽略。
另一项PSI技术手段为空间域移相，这种方法依赖于微偏振阵列制造技术的发展，虽然现有的微偏振阵列调制精度已经达到像素级别，但是其制造过程复杂缓慢，制造成本极高，难于被广泛应用；同时，此类器件制作完成后，阵列内各工作单元偏振方向确定，这种不可变化的特性导致其应用灵活性极差，假如少部分区域的偏振单元受损，就会导致整个微偏振阵列无法使用；最后，基于微偏振阵列所搭建的相位提取装置，其光路通常在迈克尔逊干涉仪或泰曼-格林干涉仪的基础上进行改进，为保证干涉图像具有较好的调制度，在光路前端通常需要装配多个偏振片进行光路修正，因此，以微偏振阵列为相位提取核心组件的干涉检测装置的配适性较差。
现有的干涉测量设备，其系统光路均需设置光学参考镜，用以产生相干光束并被CCD记录。但是，参考镜并非绝对平整，该元件的引入本身就存在一定误差，同时，也使光路搭建具有一定复杂性。综上，设计无参考镜干涉系统，减少相位调制时间，增强系统测量响应灵敏度，实现相位信息快速提取对高精度干涉检测装置至关重要。同时，系统搭建光路应简单便捷，相位调制器件应具备良好适配性。迄今为止，还没有理想的干涉检测装置可以满足上述要求。
发明内容
针对上述现有技术中的不足，本发明提供一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统与方法，整体系统鲁棒性强、相位调制过程响应迅速、检测装置灵敏度高。
为了实现上述目的，本发明提供一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统，包括：一激光光源系统、一相位调制系统、一图像采集系统、一计算机控制系统、一非偏振分束器和一光学衰减片；所述激光光源系统包括一固体激光器、一可旋转偏振镜和一准直扩束镜；所述相位调制系统包括一带通滤光片和一液晶空间光调制器；所述图像采集系统包括一成像透镜和一CCD图像采集装置；所述固体激光器、所述可旋转偏振镜、所述准直扩束镜、所述非偏振分束器、所述带通滤光片和所述液晶空间光调制器依次排布于一第一光路；一检测试件、所述光学衰减片、所述非偏振分束器、所述成像透镜和所述CCD图像采集装置依次排布于一第二光路；所述液晶空间光调制器和所述CCD图像采集装置连接所述计算机控制系统；所述计算机控制系统设置有一干涉形貌检测系统，所述干涉形貌检测系统用于在测量过程中，通过获取所述液晶空间光调制器和所述CCD图像采集装置的干涉图像序列，解析出相位信息，获得所述检测试件的表面形貌。
优选地，所述干涉形貌检测系统无需设置光学参考镜元件，用于相位提取计算的干涉图像序列由所述液晶空间光调制器和所述CCD图像采集装置采集。
优选地，所述固体激光器产生的平行光先经过所述可旋转偏振片，再通过所述非偏振分束器向所述液晶空间光调制器投射；通过调节入射激光的偏振方向与所述液晶空间光调制器的液晶分子长轴方向一致，保证所述液晶空间光调制器始终处于纯相位调制模式。
优选地，控制所述液晶空间光调制器的相位调制量是采用数字矩阵控制方法，所述数字矩阵的每一个矩阵元素对应一个所述液晶空间光调制器的液晶微透镜，同时在所述数字矩阵的左上方，设置长宽均为100元素的0阶灰度子区域，验证相位提取有效性。
优选地，所述图像采集系统在检测前，对所述液晶空间光调制器进行标定，利用标准的参考件，获取所述液晶空间光调制器加载0阶灰度图像调控后的干涉相位矩阵，相位提取值是所述CCD图像采集装置采集相位与标定相位的差值，提取相位消除误差影响。
优选地，所述干涉形貌检测系统采集的相干光束波前相位差是被分离的，耦合相位差被分为提取相位、调制相位和误差相位三部分；所述调制相位为已知可调参量，所述误差相位利用标定矩阵消除，所述提取相位仅包含所述检测试件的表面形貌信息。
本发明的一种基于本发明所述的应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统的快速相位获取方法，包括步骤：
S1：将所述检测试件安装于检测位置，绘制相位调制灰度图，调整所述光学衰减片控制进光能量，调整所述带通滤光片控制入射光束波长；
S2：开启所述固体激光器和所述CCD图像采集装置，调整所述可旋转偏振片控制入射光线偏振方向与所述液晶空间光调制器的液晶分子长轴方向平行，观测所述CCD图像采集装置拍摄干涉图无液晶双折射效应导致的干涉图重叠现象；
S3：标定所述液晶空间光调制器的误差相位，获得误差标定相位矩阵；
S4：所述液晶空间光调制器加载0阶灰度图像，记录所述CCD图像采集装置的第一帧干涉图像I1；
S5：所述液晶空间光调制器加载64阶灰度图像，记录所述CCD图像采集装置的第二帧干涉图像I2；
S6：所述液晶空间光调制器加载128阶灰度图像，记录所述CCD图像采集装置的第三帧干涉图像I3；
S7：所述液晶空间光调制器加载192阶灰度图像，记录所述CCD图像采集装置的第四帧干涉图像I4；
S8：综合考量参考区域干涉图像，判定测量结果准确性，结合所述液晶空间光调制器的相位调制量，通过所述第一帧干涉图像I1、所述第二帧干涉图像I2、所述第三帧干涉图像I3和所述第四帧干涉图像I4与未调制干涉图像I0的相位差值提取有效相位信息。
本发明由于采用了以上技术方案，使其具有以下有益效果：
目前的干涉检测装置移相器通常应用压电陶瓷装置(PZT)，其主要依据机械能与电能转化过程进行信息传递，虽然这种技术手段发展较为成熟且应用广泛，但是该装置依靠机械器件对电信号响应进行移相；因此，相位调制的响应速度较慢、调制时间较长，进而导致整体系统对四帧或六帧干涉图像有效相位提取时间较长，测试过程可能出现新的环境扰动问题；此外，其波前相位求解过程使用近似代换的手段引入步进相移量，确定调制相位具有一定的不准确性；同时，PZT移相过程中，由于机械运动导致的微小震动对整个系统检测过程的影响不可忽略。
本发明所涉及系统相位调制时间短，检测灵敏度高，受外界影响较小，在相位计算阶段，采用耦合相位分离的方式避免了近似计算带来的误差。
另一项PSI技术手段为空间域移相，这种方法依赖于微偏振阵列制造技术的发展，虽然目前已有的微偏振阵列调制精度已经达到像素级别，但是其制造过程复杂缓慢，制造成本极高，难于被广泛应用；同时，此类器件制作完成后，阵列内各工作单元偏振方向确定，这种不可变化的特性导致其应用灵活性极差，假如少部分区域的偏振单元受损，就会导致整个微偏振阵列无法使用；最后，基于微偏振阵列所搭建的相位提取装置，其光路通常在迈克尔逊干涉仪或泰曼-格林干涉仪的基础上进行改进，为保证干涉图像具有较好的调制度，在光路前端通常需要装配多个偏振片进行光路修正，因此，以微偏振阵列为相位提取核心组件的干涉检测装置的配适性较差。本发明所使用相位调制器件使用灵活性强，且调制精度达到像素量级，系统光路设计简单，检测过程方便快捷。
本发明通过一种相位快速提取的高精度干涉系统设计，提升相位提取过程敏锐度。该发明特别适合应用于移相干涉测量仪，对生产、科研、教学等领域具有重要的实际应用价值。
附图说明
图1为本发明实施例的应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统的结构示意图；
图2为本发明实施例的快速相位获取方法的流程图。
具体实施方式
下面根据附图图1和图2，给出本发明的较佳实施例，并予以详细描述，使能更好地理解本发明的功能、特点。
请参阅图1，本发明实施例的一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统，包括：一激光光源系统、一相位调制系统、一图像采集系统、一计算机控制系统11、一非偏振分束器4和一光学衰减片5；激光光源系统包括一固体激光器1、一可旋转偏振镜2和一准直扩束镜3；相位调制系统包括一带通滤光片7和一液晶空间光调制器8；图像采集系统包括一成像透镜9和一CCD图像采集装置10；固体激光器1、可旋转偏振镜2、准直扩束镜3、非偏振分束器4、带通滤光片7和液晶空间光调制器8依次排布于一第一光路；一检测试件6、光学衰减片5、非偏振分束器4、成像透镜9和CCD图像采集装置10依次排布于一第二光路；液晶空间光调制器8和CCD图像采集装置10连接计算机控制系统11；计算机控制系统11设置有一干涉形貌检测系统，干涉形貌检测系统用于在测量过程中，通过获取液晶空间光调制器8和CCD图像采集装置10的干涉图像序列，解析出相位信息，获得检测试件6的表面形貌。
干涉形貌检测系统无需设置光学参考镜元件，用于相位提取计算的干涉图像序列由液晶空间光调制器8和CCD图像采集装置10采集。
固体激光器1产生的平行子光列经过第一光路后，投射至液晶空间光调制器8(LC-SLM)的激光子列被作为参考路光束。入射光束经过非偏振分束器4分别向测试镜及LC-SLM投射，沿原路返回的两路激光子列相干后被CCD图像采集装置10采集。固体激光器1与LC-SLM具有良好的作业适配性，固体激光器1工作波长必须与LC-SLM调制光束波长一致，同时，保证固体激光器1功率选择适中，功率过大容易造成CCD图像采集装置10及LC-SLM损坏，功率过低导致干涉图像条纹调制不足，不利于计算。
固体激光器1产生的平行光先经过可旋转偏振片，再通过非偏振分束器4向液晶空间光调制器8投射；通过调节入射激光的偏振方向与液晶空间光调制器8的液晶分子长轴方向一致，保证液晶空间光调制器8始终处于纯相位调制模式。
控制液晶空间光调制器8的相位调制量是采用数字矩阵控制方法，数字矩阵的每一个矩阵元素对应一个液晶空间光调制器8的液晶微透镜，同时在数字矩阵的左上方，设置长宽均为100元素的0阶灰度子区域，验证相位提取有效性。
图像采集系统在检测前，对液晶空间光调制器8进行标定，利用标准的参考件，获取液晶空间光调制器8加载0阶灰度图像调控后的干涉相位矩阵，相位提取值是CCD图像采集装置10采集相位与标定相位的差值，提取相位消除误差影响。
干涉形貌检测系统采集的相干光束波前相位差是被分离的，耦合相位差被分为提取相位、调制相位和误差相位三部分；调制相位为已知可调参量，误差相位利用标定矩阵消除，提取相位仅包含检测试件6的表面形貌信息。
基于第一光路与LC-SLM工作适配性，入射激光子列偏振方向是在第一光路前端被调制，且整个检测过程中，投射光束偏振方向仅被调制一次。调制器内部由向列相液晶分子组成，波长为λ的线偏振光穿过这种单轴双折射材料后出现双折射效应，产生的非常光(e光)与寻常光(o光)之间的等效折射率ne(θ)及相位延迟δ为：
其中；ne为液晶分子长轴非常光折射率；no为短轴方向寻常光折射率；θ为未加电场时液晶分子长轴与外加电场时液晶分子长轴的夹角。在随时间变化的电驱动信号控制下，液晶分子倾角θ会相应改变，θ与驱动电压V转化关系如公式(3)；与e光等效折射率ne(θ)之间的关系如式(4)所示：
同时，入射光束波前琼斯矩阵可表示为式(5)：
式(5)中，表示入射光线偏振方向与液晶光轴方向的夹角。出射光束透过率T及相位延迟量δ可表示为式(6)、(7)：
式(7)中，β表示双折射系数，表示偏振器件相对液晶光轴方向夹角。
这种电光特性可实现对入射光束波前相位、光强(振幅)、偏振方向的有效调制。当入射光束偏振方向平行于液晶分子长轴方向时，强度反射率与相位延迟量分别为：
T＝1 δ＝2πd(ne(θ)-no)/λ (8)
式(8)表明，该条件下LC-SLM不对光束强度(振幅)进行调制，为纯相位调制工作模式。同时，基于LC-SLM对入射光束偏振方向的敏感性，为保证测量过程中其偏振方向始终与液晶分子长轴方向平行，系统光路仅设置唯一偏振调制器件(可旋转偏振片)，入射光束偏振方向在光路前端被确定后用以完成全部检测过程，系统内不再另设其他起偏及检偏器件。
LC-SLM前端安放带通滤光片7，为消除测试环境中自然光对检测结果的影响，带通滤光片7峰值波长的选择与光源系统投射波长一致，入射激光子列在滤除外界杂光影响后相位才可被调制；同时，检测试镜前端放置可调衰减片，控制测试路进光能量。测试路激光束投射至检测试件6前经过光强调制后，其能量值与参考路光束基本相同，保证干涉条纹具有较好对比度；此外，避免LC-SLM、CCD图像采集装置10出现因曝光量过载而损坏的情况。
相位信息提取过程，是利用不同阶数灰度图实现对LC-SLM的电控效应。分别利用0阶、64阶、128阶、192阶灰度图像实现对波前相位差0，π，/>的调制，经调制后的4帧干涉图像被CCD图像采集装置10采集后用于相位提取计算(相干光强分别用I1，I2，I3，I4表示)；同时，灰度图像在左上方设置长宽均为100px的0阶灰度区域，实现对相位提取确切性的验证；此外，测试前CCD图像采集装置10采集一帧不对LC-SLM加载任何灰度图的干涉图像(利用I0表示)，对反射镜面误差相位进行补偿。
通常，干涉装置中参考波前和被测波前的关系式为：
式(9)，(10)中，ar(x,y)和at(x,y)为波前振幅，和/>为波前相位，δ(t)为调制相移量。发生干涉后，相干光波前光强表达式为：
其中；I′(x,y)＝ar 2(x,y)+at 2(x,y)表示平均光强，I″(x,y)＝2ar(x,y)at(x,y)表示条纹或光强调制度。同时，相干光束波前的耦合相位差实现有效分离，分为提取相位、调制相位、误差相位三部分，其表达式为：
图像采集系统在检测前，对LC-SLM进行标定。采用标准参考件，获取LC-SLM加载0阶灰度图像调控后的干涉相位γ0，其表达式为：
I0(x,y,t)＝I′(x,y)+I″(x,y)cosγ0 (13)
加载不同灰度图像调制后，四帧干涉图像表达式分别为：
令则四帧干涉干涉图像表达式变为：
通过求解四帧修正干涉图，可提取相位信息：
如图1所示，光源系统由固体激光器1投射平行激光子列，通过可旋转偏振镜2后，其偏振方向与液晶分子长轴方向一致，经准直扩束镜3扩束准直后投射至非偏振分束器4；光束分成两路分别向检测试件6及液晶空间光调制器8投射，测试路光束先经过光学衰减片5确定入射光强，后经检测试件6后沿原路返回；参考路光束通过带通滤光片7后照射至液晶空间光调制器8并沿原路放回；两路返回光束发生干涉并经过成像透镜9后被CCD图像采集装置10记录。通过对CCD图像采集装置10采集的四帧干涉图像计算，可提取出被测试件相位信息值。
请参阅图1和图2，本发明实施例的一种基于本实施例的应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统的快速相位获取方法，包括步骤：
S1：将检测试件6安装于检测位置，绘制相位调制灰度图，调整光学衰减片5控制进光能量，调整带通滤光片7控制入射光束波长；
S2：开启固体激光器1和CCD图像采集装置10，调整可旋转偏振片控制入射光线偏振方向与液晶空间光调制器8的液晶分子长轴方向平行，观测CCD图像采集装置10拍摄干涉图无液晶双折射效应导致的干涉图重叠现象；
S3：标定液晶空间光调制器8的误差相位，获得误差标定相位矩阵；
S4：液晶空间光调制器8加载0阶灰度图像，记录CCD图像采集装置10的第一帧干涉图像I1；
S5：液晶空间光调制器8加载64阶灰度图像，记录CCD图像采集装置10的第二帧干涉图像I2；
S6：液晶空间光调制器8加载128阶灰度图像，记录CCD图像采集装置10的第三帧干涉图像I3；
S7：液晶空间光调制器8加载192阶灰度图像，记录CCD图像采集装置10的第四帧干涉图像I4；
S8：综合考量参考区域干涉图像，判定测量结果准确性，结合液晶空间光调制器8的相位调制量，通过第一帧干涉图像I1、第二帧干涉图像I2、第三帧干涉图像I3和第四帧干涉图像I4与未调制干涉图像I0的相位差值I′1，I′2，I′3，I′4，利用公式提取有效相位信息。
本发明在实施方式中，可采用以下器材：
1、计算机控制系统11：计算机型号为OptiPlex 7070；处理器为酷睿TMi5-9500；支持JPEG硬件编解码，内存为8GB 1x8GB 2666MHz DDR4。支持RGB 24Bit接口及TVOUT视频输出；
2、显示器：显示器连接计算机，型号为戴尔U2417H，分辨率1920*1080；
3、固体激光器1：波长532nm，200mw固体激光器1，单纵模；
4、可旋转偏振镜2：直径10mm；旋转角90°(型号：QPR5110-90)；波长532nm；旋转公差<0.5°；表面质量S/D＝20/10；
5、扩束镜：f＝16mm，
6、准直镜：f＝100mm，
7、非偏振分束器4：GCC-4011系列宽带分光棱镜，透射率/反射率：50/50；材料K9；外形尺寸：25.4mm*25.4mm*25.4mm；
8、光学衰减片5：带通滤光片7：型号MAN-25-0.1；带框直径φ25mm；有效直径φ17mm；平均投射率0.1±0.07％；工作波长500nm～600nm
9、液晶空间光调制器8(LC-SLM)：800*600px像素；帧频64Hz；DVI型8bits、256灰阶；
10、成像透镜9：Φ25.4K9双凸透镜，f＝100mm，通光孔径：90％；
11、CCD图像采集装置10：采用巴斯勒acA2400-50gm面阵CCD，2048*1536像素，成像区域大小为3626μm x 2709μm，像素大小为1.75μm x 1.75μm，最高速度可达24帧每秒；
12、系统光路加载支架等。
以上结合附图实施例对本发明进行了详细说明，本领域中普通技术人员可根据上述说明对本发明做出种种变化例。因而，实施例中的某些细节不应构成对本发明的限定，本发明将以所附权利要求书界定的范围作为本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统，其特征在于，包括：一激光光源系统、一相位调制系统、一图像采集系统、一计算机控制系统、一非偏振分束器和一光学衰减片；所述激光光源系统包括一固体激光器、一可旋转偏振镜和一准直扩束镜；所述相位调制系统包括一带通滤光片和一液晶空间光调制器；所述图像采集系统包括一成像透镜和一CCD图像采集装置；所述固体激光器、所述可旋转偏振镜、所述准直扩束镜、所述非偏振分束器、所述带通滤光片和所述液晶空间光调制器依次排布于一第一光路；一检测试件、所述光学衰减片、所述非偏振分束器、所述成像透镜和所述CCD图像采集装置依次排布于一第二光路；所述液晶空间光调制器和所述CCD图像采集装置连接所述计算机控制系统；所述计算机控制系统设置有一干涉形貌检测系统，所述干涉形貌检测系统用于在测量过程中，通过获取所述液晶空间光调制器和所述CCD图像采集装置的干涉图像序列，解析出相位信息，获得所述检测试件的表面形貌；
控制所述液晶空间光调制器的相位调制量是采用数字矩阵控制方法，所述数字矩阵的每一个矩阵元素对应一个所述液晶空间光调制器的液晶微透镜，同时在所述数字矩阵的左上方，设置长宽均为100元素的0阶灰度子区域，验证相位提取有效性；
所述干涉形貌检测系统采集的相干光束波前相位差是被分离的，耦合相位差被分为提取相位、调制相位和误差相位三部分；所述调制相位为已知可调参量，所述误差相位利用标定矩阵消除，所述提取相位仅包含所述检测试件的表面形貌信息。
2.根据权利要求1所述的应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统，其特征在于，所述干涉形貌检测系统无需设置光学参考镜元件，用于相位提取计算的干涉图像序列由所述液晶空间光调制器和所述CCD图像采集装置采集。
3.根据权利要求1所述的应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统，其特征在于，所述固体激光器产生的平行光先经过所述可旋转偏振片，再通过所述非偏振分束器向所述液晶空间光调制器投射；通过调节入射激光的偏振方向与所述液晶空间光调制器的液晶分子长轴方向一致，保证所述液晶空间光调制器始终处于纯相位调制模式。
4.根据权利要求1所述的应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统，其特征在于，所述图像采集系统在检测前，对所述液晶空间光调制器进行标定，利用标准的参考件，获取所述液晶空间光调制器加载0阶灰度图像调控后的干涉相位矩阵，相位提取值是所述CCD图像采集装置采集相位与标定相位的差值，提取相位消除误差影响。
5.一种基于权利要求1所述的应用于相位快速提取的高精度干涉检测系统的快速相位获取方法，包括步骤：
S1：将所述检测试件安装于检测位置，绘制相位调制灰度图，调整所述光学衰减片控制进光能量，调整所述带通滤光片控制入射光束波长；
S2：开启所述固体激光器和所述CCD图像采集装置，调整所述可旋转偏振片控制入射光线偏振方向与所述液晶空间光调制器的液晶分子长轴方向平行，观测所述CCD图像采集装置拍摄干涉图无液晶双折射效应导致的干涉图重叠现象；
S3：标定所述液晶空间光调制器的误差相位，获得误差标定相位矩阵；
S4：所述液晶空间光调制器加载0阶灰度图像，记录所述CCD图像采集装置的第一帧干涉图像I1；
S5：所述液晶空间光调制器加载64阶灰度图像，记录所述CCD图像采集装置的第二帧干涉图像I2；
S6：所述液晶空间光调制器加载128阶灰度图像，记录所述CCD图像采集装置的第三帧干涉图像I3；
S7：所述液晶空间光调制器加载192阶灰度图像，记录所述CCD图像采集装置的第四帧干涉图像I4；
S8：综合考量参考区域干涉图像，判定测量结果准确性，结合所述液晶空间光调制器的相位调制量，通过所述第一帧干涉图像I1、所述第二帧干涉图像I2、所述第三帧干涉图像I3和所述第四帧干涉图像I4与未调制干涉图像I0的相位差值提取有效相位信息。
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