CN114807868B - 不同腔长巴条的镀膜方法及夹具 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种不同腔长巴条的镀膜方法及夹具，涉及激光器腔面镀膜的技术领域，方法包括步骤：将多个巴条进行依次排列，其中，多个所述巴条的待镀膜的腔面朝向相同，且多个所述巴条中，至少存在两个巴条的腔长不同；根据各个巴条的腔长，调整对应巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离，以使每个巴条在调整后的位置处蒸镀的薄膜反射率与该巴条的腔长对应。

Description

不同腔长巴条的镀膜方法及夹具

技术领域

本发明涉及激光器腔面镀膜技术领域，尤其是涉及一种不同腔长巴条的镀膜方法及夹具。

背景技术

激光器的制备过程中，需要对巴条的一个腔面镀AR膜（增透膜），而AR膜的反射率与巴条的腔长有关，而反射率又与AR膜的厚度对应，因此，批量镀膜时，均是采用腔长相等的巴条一起镀膜，从而得到的薄膜厚度均一，反射率均一；不同腔长的巴条需要分批次的镀膜，显然，需要对不同腔长的巴条进行镀膜时，效率比较低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种不同腔长巴条的镀膜方法及夹具，以缓解了现有技术中对于不同腔长的巴条进行分批次镀膜所带来的镀膜效率低的技术问题。

第一方面，本发明实施例提供的一种不同腔长巴条的镀膜方法，包括步骤：

将多个巴条进行依次排列，其中，多个所述巴条的待镀膜的腔面朝向相同，且多个所述巴条中，至少存在两个巴条的腔长不同；

根据各个巴条的腔长，调整对应巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离，以使每个巴条在调整后的位置处蒸镀的薄膜反射率与对应巴条的腔长对应。

进一步的，在将多个巴条进行依次排列的步骤中，在巴条的衬底面一侧和脊结构面一侧均设置陪条，巴条与其相邻的两个陪条相对固定并形成巴陪组件，相邻两个巴陪组件的陪条彼此接触。

进一步的，所述陪条中靠近巴条的待镀膜的腔面的一端向巴条的投影落在巴条内。

进一步的，在一个巴陪组件中，两个陪条之间的巴条的数量为两个，且两个巴条的腔长相同，两个巴条的衬底面完全对齐并贴合，所述陪条位于巴条的脊结构面一侧。

进一步的，相邻两个巴陪组件之间设置抗磨损板，用于降低摩擦。

第二方面，本发明实施例提供的一种夹具，所述夹具包括升降装置和依次排列的多个连接座，所述连接座用于固定巴条；

每个连接座均与升降装置连接，所述升降装置能够带动任意一个连接座单独地进行升降运动。

进一步的，所述连接座包括第一支撑部以及位于第一支撑部两侧的第二支撑部，所述第一支撑部的顶面低于所述第二支撑部的顶面，所述第一支撑部的顶面用于支撑巴陪组件中的巴条，所述第二支撑部的顶面用于支撑巴陪组件中的陪条。

进一步的，所述升降装置包括第一升降单元和第二升降单元，所述第一升降单元与所述第二支撑部或者第一支撑部连接，用于改变第一支撑部的顶面与第二支撑部的顶面之间的竖向距离；

所述第二升降单元分别与第一支撑部、第二支撑部和第一升降单元连接，用于带动第一支撑部、第二支撑部和第一升降单元一起运动。

进一步的，所述第一支撑部的顶面的宽度至少能够容纳衬底面彼此贴合的两个相同腔长的巴条。

进一步的，所述夹具包括远离连接座的距离检测装置，所述距离检测装置与升降装置电连接，所述距离检测装置用于检测连接座上的巴条的顶端端面与距离检测装置之间的距离；

或者，所述夹具包括与升降装置电连接的输入装置，所述输入装置用于向升降装置输入每个连接座内的巴条腔长信息。

本发明实施例提供的不同腔长巴条的镀膜方法包括步骤：将多个巴条进行依次排列，其中，多个所述巴条的待镀膜的腔面朝向相同，且多个巴条中，至少存在两个巴条的腔长不同；根据各个巴条的腔长，调整对应巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离，以使每个巴条在调整后的位置处蒸镀的薄膜反射率与该巴条的腔长对应。通过调整巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离，可以改变蒸镀源在镀膜过程中对该巴条的蒸镀程度，离蒸镀源越远，相同时间下镀膜的厚度越薄，而薄膜的薄厚又直接影响反射率的高低，巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离、巴条的腔长和最后镀膜的反射率是存在对应关系的，因此，根据巴条的腔长，按照腔长-距离-反射率的对应关系提前调整各个巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离，可以利用一个蒸镀源同时对多个不同腔长的巴条进行镀膜，且各个巴条上的镀膜的反射率能够与其腔长对应，从而完成对多个不同腔长的巴条进行同时镀膜。

本发明实施例提供的夹具包括升降装置和依次排列的多个连接座，所述连接座用于固定巴条；每个连接座均与升降装置连接，所述升降装置能够带动任意一个连接座单独地进行升降运动。可以在多个连接座上固定均固定上巴条，且至少有两个连接座上的巴条的腔长不同，因为每个连接座可以进行单独的升降运动，因此，不同腔长的巴条的待镀膜的腔面可以在连接座的带动下处于不同的高度位置上。通过升降装置调整各个连接座上的巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离，可以改变蒸镀源在镀膜过程中对该巴条的蒸镀程度，离蒸镀源越远，相同时间下镀膜的厚度越薄，而薄膜的薄厚又直接影响反射率的高低，巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离、巴条的腔长和最后镀膜的反射率是存在对应关系的，因此，根据巴条的腔长，按照腔长-距离-反射率的对应关系提前调整各个巴条的待镀膜的腔面与蒸镀源之间的距离，可以利用一个蒸镀源同时对多个不同腔长的巴条进行镀膜，且各个巴条上的镀膜的反射率能够与其腔长对应，从而完成对多个不同腔长的巴条进行同时镀膜。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的夹具的示意图；

图2为本发明实施例提供的夹具中巴陪组件的示意图；

图3为本发明实施例提供的夹具中连接座的示意图。

图标：100-连接座；110-第一支撑部；120-第二支撑部；

210-巴条；211-脊结构面；212-腔面；220-陪条；230-脊结构；

300-抗磨损板；

410-第一升降单元；420-第二升降单元。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供的不同腔长巴条的镀膜方法包括步骤：

将多个巴条210进行依次排列，其中，多个所述巴条210的待镀膜的腔面212朝向相同，且多个巴条210中，至少存在两个巴条210的腔长不同。

可以利用夹具固定巴条210，多个巴条210可以沿左右方向依次排列，巴条210彼此之间相互平行且待镀膜的腔面212朝向相同，其中，待镀膜的腔面212为镀AR薄膜的面，巴条210的待镀膜的腔面212可以朝向上方，蒸镀源可以位于巴条210的上方。

可以先利用夹具将每一个巴条210进行固定，然后调整与蒸镀源之间的距离，然后在相邻两个巴条210之间放置一个陪条220；或者，将巴条210与其相邻的陪条220连接成一个整体，共同进行升降运动。

根据各个巴条210的腔长，调整对应巴条210的待镀膜的腔面212与蒸镀源之间的距离，以使每个巴条210在调整后的位置处蒸镀的薄膜厚度与该巴条210的腔长对应。

如图1所示，巴条210的腔长是可以测量的，本申请中默认为已知量。可以将每个巴条210均与一个能够升降的连接座100进行连接，通过连接座100带动其上的巴条210进行升降运动，从而改变巴条210与蒸镀源之间的距离。需要说明的，在调整巴条210的待镀膜的腔面212的位置的时候可以利用一个目标位置（在该位置设置激光距离检测装置）代替蒸镀源位置，提前调整各个巴条210的位置，然后将调整后的所有巴条210平移到蒸镀位置，再整体调整所有巴条210距离蒸镀源的位置。

利用蒸镀源对多个巴条210进行镀膜。因为，巴条210的待蒸镀端面与蒸镀源之间的距离不同，所以，可以在巴条210上蒸镀不同反射率的薄膜。

综上，通过调整巴条210的待镀膜的腔面212与蒸镀源之间的距离，可以改变蒸镀源在镀膜过程中对该巴条210的蒸镀程度，离蒸镀源越远，相同时间下镀膜的厚度越薄，薄膜薄厚又直接影响薄膜的反射率，巴条210的待蒸镀面与蒸镀源之间的距离、巴条210的腔长和最后镀膜的反射率是存在对应关系的，因此，根据巴条210的腔长，按照腔长-距离-反射率的对应关系提前调整各个巴条210的待镀膜的腔面212与蒸镀源之间的距离，可以利用一个蒸镀源同时对多个不同腔长的巴条210进行镀膜，且各个巴条210上的镀膜的反射率能够与其腔长对应，从而完成对多个不同腔长的巴条210进行同时镀膜。

在将多个巴条210进行依次排列的步骤中，在巴条210的衬底面一侧和脊结构面211一侧均设置陪条220，巴条210与其相邻的两个陪条220相对固定并形成巴陪组件，相邻两个巴陪组件的陪条220彼此接触。

通过设置与巴条210连接的陪条220，相邻两个巴陪组件中陪条220与陪条220接触并发生相对滑动，可以避免升降过程中，巴条210脊结构面211或者衬底面磨损。

所述陪条220中靠近巴条210的待镀膜的腔面212的一端向巴条210的投影落在巴条210内。

巴陪组件中，陪条220可以比对应的巴条210要短，从而可以使巴条210的腔面212一端可以露出，避免蒸镀时陪条220遮挡巴条210的脊结构面211和衬底面，在进行蒸镀时，可以使巴条210的脊结构面211的一部分、衬底面的一部分和腔面212都被镀上薄膜，避免封装时从脊结构230上回流的金属损坏腔面212的薄膜。

在一个巴陪组件中，两个陪条220之间的巴条210的数量为两个，且两个巴条210的腔长相同，两个巴条210的衬底面完全对齐并贴合，所述陪条220位于巴条210的脊结构面211一侧。

排巴过程中，相邻两个巴条210按照衬底面与衬底面朝向相对且彼此对齐的方式贴合在一起，巴条210的衬底面被另外的巴条210的衬底面完全遮挡，因此，在镀膜时，仅有暴露在外侧的腔面212和脊结构面211的一小部分被镀膜，而衬底面上没有被镀膜，使用这种排列方式进行镀膜既可以在脊结构面211和腔面212之间形成连续的薄膜避免从脊结构230上回流的金属损坏腔面212的薄膜，又避免了在衬底面附着薄膜，导致衬底面上的薄膜脱落连带与其连接的腔面212的薄膜脱落。

相邻两个巴陪组件之间设置抗磨损板300，抗磨损板300的表面光滑，摩擦系数小，用于降低升降过程中巴陪组件受到的摩擦，减少陪条220的磨损，使巴陪组件顺畅升降。

采用折射率为1.8的材料进行镀膜，腔长分别为5mm 、4mm 、3mm、2mm、1mm的巴条210蒸镀不同厚度的AR薄膜后的反射率分别为4%、5%、6%、7%、8%。其中，已知反射率的情况下，能够通过矩阵计算得出蒸镀薄膜厚度。待镀膜的腔面212距离蒸镀源越远，薄膜厚度相对较薄，不同腔长的巴条210的待蒸镀面与蒸镀源之间的距离差相差1mm，镀膜的厚度相差3nm，因此，在已知腔长后，可以得到对应的反射率，通过反射率可以得到薄膜厚度，最后根据薄膜厚度推导得到待蒸镀面与蒸镀源之间的距离。

如图1-图3所示，本发明实施例提供的夹具包括升降装置和依次排列的多个连接座100，所述连接座100用于固定巴条210；每个连接座100均与升降装置连接，所述升降装置能够带动任意一个连接座100单独地进行升降运动。

可以在多个连接座100上均固定巴条210，多个所述巴条210的待镀膜的腔面212朝向相同，且至少有两个连接座100上的巴条210的腔长不同，因为每个连接座100可以进行单独的升降运动，因此，不同腔长的巴条210的待镀膜的腔面212可以在连接座100的带动下处于不同的高度位置上，其中，巴条210的待镀膜的腔面212可以为图1中所示的巴条210的底端的腔面212也可以为顶端的腔面212，待镀膜的腔面212为镀AR薄膜的面，本实施例中，如图1所示，采用巴条210的底端的腔面212为待镀膜的腔面212，排巴完成后，撤去夹具，使巴条210的底端的腔面212的暴露。

通过调整巴条210的待镀膜的腔面212与蒸镀源之间的距离，可以改变蒸镀源在镀膜过程中对该巴条210的蒸镀程度，离蒸镀源越远，相同时间下镀膜的厚度越薄，巴条210的待蒸镀面与蒸镀源之间的距离、巴条210的腔长和最后镀膜的反射率是存在对应关系的，因此，根据巴条210的腔长，按照腔长-距离-反射率的对应关系提前调整各个巴条210的待镀膜的腔面212与蒸镀源之间的距离，可以利用一个蒸镀源同时对多个不同腔长的巴条210进行镀膜，且各个巴条210上的镀膜的反射率能够与其腔长对应，从而完成对多个不同腔长的巴条210进行同时镀膜。

夹具中的连接座100的高度可以调整，从而改变排列好的多个巴条210的顶面的位置，以使其更好的对应腔长，从而在蒸镀过程中得到对应反射率的薄膜。巴条210可以单独的固定在连接座100上，也可以与陪条220一起固定在连接座100上。

所述连接座100包括第一支撑部110以及位于第一支撑部110两侧的第二支撑部120，所述第一支撑部110的顶面低于所述第二支撑部120的顶面，所述第一支撑部110的顶面用于支撑巴陪组件中的巴条210，所述第二支撑部120的顶面用于支撑巴陪组件中的陪条220。

第一支撑部110和第二支撑部120可以围成凹槽结构，巴条210的待镀膜的腔面212位于凹槽内并与第一支撑部110的顶面贴合，陪条220位于凹槽的两端的端面上，第一支撑部110与第二支撑部120之间存在高度差，从而使位于陪条220的底端端面与待镀膜的腔面212之间存在高度差，当将排列好的巴条210与陪条220一起夹持拿出后，巴条210上带有待镀膜的腔面212的一端凸出于旁边的陪条220，从而可以使巴条210的腔面212一端可以露出，避免陪条220遮挡巴条210的脊结构面211和衬底面，在进行蒸镀时，使巴条210的脊结构面211的一部分、衬底面的一部分和腔面212都被镀上薄膜，避免封装时从脊结构230上回流的金属损坏腔面212的薄膜。其中，第一支撑部110与第二支撑部120之间的高度差可以为20微米。

所述升降装置包括第一升降单元410和第二升降单元420，所述第一升降单元410与所述第二支撑部120或者第一支撑部110连接，用于改变第一支撑部110的顶面与第二支撑部120的顶面之间的竖向距离；所述第二升降单元420分别与第一支撑部110、第二支撑部120和第一升降单元410连接，用于带动第一支撑部110、第二支撑部120和第一升降单元410一起运动。

例如，可以使第二支撑部120相对于第二升降单元420固定不同，然后让第一升降单元410与第一支撑部110连接，因为第一支撑部110位于两个第二支撑部120之间，两个第二支撑部120可以形成导向通道，对第一支撑部110起到限位作用。通过升降第一支撑部110，可以改变巴条210底端的腔面212与陪条220底端端面之间的竖向距离，改变了镀膜时陪条220对巴条210的遮挡程度，从而改变了脊结构面211和衬底面上的镀膜面积。而通过第二升降单元420可以带动整个连接座100进行升降，第二升降单元420的数量与连接座100的数量一致。第一升降单元410和第二升降单元420可以均为丝杆电机模组、齿轮齿条模组或者气缸等，本实施例中采用的是气缸。

在一种实施方式中，所述第一支撑部110上可以支撑一个巴条210，位于该第一支撑部110两侧的第二支撑部120上分别支撑一个陪条220。

如图1所示，在本实施例中，所述第一支撑部110的顶面的宽度至少能够容纳衬底面彼此贴合的两个相同腔长的巴条210。

可以利用连接座100同时支撑两个背对背贴合的巴条210，相邻两个巴条210按照衬底面与衬底面朝向相对且彼此对齐的方式贴合在一起，巴条210的衬底面被另外的巴条210的衬底面完全遮挡，因此，在镀膜时，仅有暴露在外侧的腔面212和脊结构面211的一小部分被镀膜，而衬底面上没有被镀膜，使用这种排列方式进行镀膜既可以在脊结构面211和腔面212之间形成连续的薄膜避免从脊结构230上回流的金属损坏腔面212的薄膜，又避免了在衬底面附着薄膜，导致衬底面上的薄膜脱落连带与其连接的腔面212的薄膜脱落。

在一种可以实施的方式中，所述夹具包括远离连接座100的距离检测装置，距离检测装置的位置可以为蒸镀源的位置，所述距离检测装置与升降装置电连接，所述距离检测装置用于检测连接座100上的巴条210的顶端端面与距离检测装置之间的距离。

初始时，各个连接座100位于同一竖向位置处，然后将巴条210分别放置在夹具的连接座100上，对于需要蒸镀的腔面212为巴条210的顶端的腔面212的方案而言，直接利用距离检测装置，例如激光距离检测机构，分别检测巴条210的顶部端面与距离检测装置之间的距离，然后将距离信息反馈给升降装置，升降装置按照其内存储的距离-腔长-薄膜反射率表内记载的内容，调整对应连接座100的位置，以使该连接座100内的巴条210的腔长与检测的距离值匹配。

因为腔长是可以直接测量的，所以，对于巴条210的底端的腔面212为待镀膜的腔面212时，还是利用距离检测装置检测其距离巴条210顶端的腔面212的距离，将距离检测装置检测的结果结合预先测量的腔长数据即可得到待镀膜的腔面212与距离检测装置之间的距离。

在另外一种实施方式中，所述夹具包括与升降装置电连接的输入装置，所述输入装置用于向升降装置输入每个连接座100内的巴条210腔长信息。

初始时，各个连接座100位于同一竖向位置处，并且连接座100与蒸镀源之间的距离是固定且已知的，通过直接测量巴条210的腔长，然后将腔长信息输入到升降装置内，升降装置内具有能够进行运行的控制器，控制器可以为PLC或者单片机，通过巴条210的腔长，可以得到待镀膜的腔面212与蒸镀源之间理论上应该设置的距离，通过连接座100初始位置与蒸镀源的距离、巴条210的腔长和待镀膜的腔面212与蒸镀源之间的距离可以得到连接座100上升的高度。从而做到可以预先调整连接座100的高度位置，然后再将对应的巴条210固定在连接座100上，可以避免升降过程中对巴陪组件的磨损。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种不同腔长巴条的镀膜方法，其特征在于，包括步骤：

将多个巴条（210）进行依次排列，其中，多个所述巴条（210）的待镀膜的腔面（212）朝向相同，且多个所述巴条（210）中，至少存在两个巴条（210）的腔长不同；

根据各个巴条（210）的腔长，调整对应巴条（210）的待镀膜的腔面（212）与蒸镀源之间的距离，以使每个巴条（210）在调整后的位置处蒸镀的薄膜反射率与该巴条（210）的腔长对应；

在将多个巴条（210）进行依次排列的步骤中，在巴条（210）的衬底面一侧和脊结构面（211）一侧均设置陪条（220），所述巴条（210）与其相邻的两个陪条（220）相对固定并形成巴陪组件，相邻两个巴陪组件的陪条（220）彼此接触。

2.根据权利要求1所述的不同腔长巴条的镀膜方法，其特征在于，所述陪条（220）中靠近巴条（210）的待镀膜的腔面（212）的一端向巴条（210）的投影落在巴条（210）内。

3.根据权利要求2所述的不同腔长巴条的镀膜方法，其特征在于，在一个巴陪组件中，两个陪条（220）之间的巴条（210）的数量为两个，且两个巴条（210）的腔长相同，两个巴条（210）的衬底面完全对齐并贴合，所述陪条（220）位于巴条（210）的脊结构面（211）一侧。

4.根据权利要求1所述的不同腔长巴条的镀膜方法，其特征在于，相邻两个巴陪组件之间设置抗磨损板（300），用于降低摩擦。

5.一种夹具，其特征在于，所述夹具用于实施权利要求1-4任意一项所述的不同腔长巴条的镀膜方法，所述夹具包括升降装置和依次排列的多个连接座（100），所述连接座（100）用于固定巴条（210）；

每个连接座（100）均与升降装置连接，所述升降装置能够带动任意一个连接座（100）单独地进行升降运动。

6.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述连接座（100）包括第一支撑部（110）以及位于第一支撑部（110）两侧的第二支撑部（120），所述第一支撑部（110）的顶面低于所述第二支撑部（120）的顶面，所述第一支撑部（110）的顶面用于支撑巴陪组件中的巴条（210），所述第二支撑部（120）的顶面用于支撑巴陪组件中的陪条（220）。

7.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述升降装置包括第一升降单元（410）和第二升降单元（420），所述第一升降单元（410）与所述第二支撑部（120）或者第一支撑部（110）连接，用于改变第一支撑部（110）的顶面与第二支撑部（120）的顶面之间的竖向距离；

所述第二升降单元（420）分别与第一支撑部（110）、第二支撑部（120）和第一升降单元（410）连接，用于带动第一支撑部（110）、第二支撑部（120）和第一升降单元（410）一起运动。

8.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述第一支撑部（110）的顶面的宽度至少能够容纳衬底面彼此贴合的两个相同腔长的巴条（210）。

9.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述夹具包括远离连接座（100）的距离检测装置，所述距离检测装置与升降装置电连接，所述距离检测装置用于检测连接座（100）上的巴条（210）的顶端端面与距离检测装置之间的距离；

或者，所述夹具包括与升降装置电连接的输入装置，所述输入装置用于向升降装置输入每个连接座（100）内的巴条（210）腔长信息。

Images