CN114755565A - 一种集成电路中可靠性分析的测试结构及测试方法 - Google Patents

一种集成电路中可靠性分析的测试结构及测试方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种集成电路中可靠性分析的测试结构及测试方法，涉及半导体制造业中的可靠性技术领域，包括测试结构底座，所述测试结构底座的正面固定安装有控制元件，所述测试结构底座的上端固定安装有支撑架，所述支撑架的上端固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端固定安装有伸缩柱。本发明通过主动轴、驱动电机、主齿轮、第一从齿轮、连接轴和第二从齿轮的设置，可以带动从动轴与第三从齿轮进行同时的转动，使得可以对测试支撑座的两端进行同时的移动，避免出现移动不同步，造成角度的偏差，从而造成对检测结果的影响，减少人工的推动，有效提高推动位置的准确，极大的降低检测的误差，另外自动化的推动，可以有效提高装置的工作效率。

Description

一种集成电路中可靠性分析的测试结构及测试方法
技术领域
本发明涉及半导体制造业中的可靠性技术领域，具体涉及一种集成电路中可靠性分析的测试结构及测试方法。
背景技术
超大规模集成电路(Very Large Scale Integration，简称VLSI)中的可靠性问题受到焦耳热效应的影响。随着特征尺寸(Critical Dimension)缩小，使得高阻材料(Highresistance)的焦耳热效应更加明显。这是因为特征尺寸的缩小将导致高阻材料与其它器件之间的距离的减小，高阻材料通电后产生的热量传递给相邻的器件，从而使相邻的器件受热而失效，在电路板制作的过程中会对电路板进行检测。针对现有技术存在以下问题：
1、现有的一些集成电路中可靠性分析的测试结构在测试的过程中对于装置的夹持效果较差，且在检测的过程中不能够对电路板进行密封，容易在检测的过程中造成检测的影响；
2、现有的一些集成电路板在检测的过程中需要工作人员手动推动电路板到指定的位置，手动推动的位置不准确，容易造成检测的位置不准确。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：
一种集成电路中可靠性分析的测试结构，包括测试结构底座，所述测试结构底座的正面固定安装有控制元件，所述测试结构底座的上端固定安装有支撑架，所述支撑架的上端固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端固定安装有伸缩柱，所述伸缩柱的下端固定安装有测试罩，所述测试罩的下端开设有凹槽，所述测试支撑座的上端固定安装有连接块，所述连接块的右端固定安装有弹簧元件，所述弹簧元件的右端固定安装有限位滑块，所述测试支撑座设置在测试结构底座的上端。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述测试结构底座的上端开设有第一滑槽，所述第一滑槽的右端设置有第二滑槽，所述第一滑槽的内部活动连接有主动轴，所述第一滑槽的内部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定安装有主动轴。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述第二滑槽的内部活动连接有从动轴，所述从动轴的外部固定安装有第三从齿轮。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述主动轴的外部固定安装有主齿轮，所述主齿轮的外部啮合连接有第一从齿轮。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述第一从齿轮的右端固定安装有连接轴，所述连接轴的右端固定安装有第二从齿轮，所述第二从齿轮的右端与第三从齿轮的上端啮合连接。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述测试罩的内部固定安装有测试主板，凹槽的内部顶端固定安装有测试元件，所述测试元件的下端固定安装有测试杆。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述测试支撑座的下端固定安装有固定块，且主动轴贯穿所述固定块的两端，所述第一滑槽的内部与固定块的外部相适配，测试支撑座的外部小于凹槽的内部，所述测试罩的材料设置为亚克力板。
一种集成电路中可靠性分析的测试结构的测试方法，所述首先将电路板摆放到测试支撑座的上端，先对一侧的限位滑块进行挤压，随之对弹簧元件进行挤压，随后将电路板与测试支撑座的上端贴合，随后利用弹簧元件的反弹力对限位滑块进行推动，在推动的过程中对另一侧的限位滑块和弹簧元件进行挤压，随之利用两端的弹簧元件的反弹力可以对限位滑块进行推动，随之可以对电路板进行挤压，利用控制元件对驱动电机的控制，使得驱动电机带动主动轴与主齿轮进行转动，随之通过主齿轮带动第一从齿轮、第二从齿轮和连接轴进行转动，随之带动第三从齿轮与从动轴进行转动，可以利用从动轴与主动轴带动测试支撑座进行移动，在移动到中部后，利用液压缸对伸缩柱的控制，使得对测试罩进行推动，随之可以将测试罩在测试支撑座的外部，因为测试罩是亚克力板制作的，因此可以在外部观察到内部的检测情况，随后在下降到合适的位置后，利用测试元件与测试杆对电路板进行检测，随后通过测试主板进行计算传输。
由于采用了上述技术方案，本发明相对现有技术来说，取得的技术进步是：
1、本发明提供一种集成电路中可靠性分析的测试结构及测试方法，根据测试支撑座、连接块、弹簧元件和限位滑块的设置，可以对电路板的位置进行固定，避免在检测的过程中出现偏移的现象，造成对检测结果的影响，根据测试罩、测试支撑座、测试主板、测试元件和测试杆的设置，可以在封闭的空间下对电路板进行检测，避免在裸露的空间进行检测，容易对检测的结果造成影响。
2、本发明提供一种集成电路中可靠性分析的测试结构及测试方法，根据主动轴、驱动电机、主齿轮、第一从齿轮、连接轴和第二从齿轮的设置，可以带动从动轴与第三从齿轮进行同时的转动，使得可以对测试支撑座的两端进行同时的移动，避免出现移动不同步，造成角度的偏差，从而造成对检测结果的影响，减少人工的推动，有效提高推动位置的准确，极大地降低检测的误差，另外自动化的推动，可以有效提高装置的工作效率。
附图说明
图1为本发明的整体立体结构示意图；
图2为本发明的正面结构示意图；
图3为本发明的俯视结构示意图；
图4为本发明的支撑架结构示意图；
图5为本发明图3的A处结构示意图。
图中：1、测试结构底座；2、控制元件；3、支撑架；4、液压缸；5、伸缩柱；6、测试罩；7、测试支撑座；8、固定块；9、弹簧元件；10、限位滑块；11、第二滑槽；12、从动轴；13、第一滑槽；14、主动轴；15、驱动电机；16、测试主板；17、测试元件；18、测试杆；19、主齿轮；20、第一从齿轮；21、第二从齿轮；22、第三从齿轮；23、连接轴。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步详细说明：
实施例1
如图1-5所示，本发明提供了一种集成电路中可靠性分析的测试结构，包括测试结构底座1，测试结构底座1的正面固定安装有控制元件2，测试结构底座1的上端固定安装有支撑架3，支撑架3的上端固定安装有液压缸4，液压缸4的输出端固定安装有伸缩柱5，伸缩柱5的下端固定安装有测试罩6，测试罩6的下端开设有凹槽，测试支撑座7的上端固定安装有连接块8，连接块8的右端固定安装有弹簧元件9，弹簧元件9的右端固定安装有限位滑块10，测试支撑座7设置在测试结构底座1的上端，测试支撑座7、连接块8、弹簧元件9和限位滑块10的设置，可以对电路板的位置进行固定，避免在检测的过程中出现偏移的现象，造成对检测结果的影响。
实施例2
如图1-5所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，测试结构底座1的上端开设有第一滑槽13，第一滑槽13的右端设置有第二滑槽11，第一滑槽13的内部活动连接有主动轴14，第一滑槽13的内部固定安装有驱动电机15，驱动电机15的输出端固定安装有主动轴14，第二滑槽11的内部活动连接有从动轴12，从动轴12的外部固定安装有第三从齿轮22，主动轴14的外部固定安装有主齿轮19，主齿轮19的外部啮合连接有第一从齿轮20，第一从齿轮20的右端固定安装有连接轴23，连接轴23的右端固定安装有第二从齿轮21，第二从齿轮21的右端与第三从齿轮22的上端啮合连接，主动轴14、驱动电机15、主齿轮19、第一从齿轮20、连接轴23和第二从齿轮21的设置，可以带动从动轴12与第三从齿轮22进行同时的转动，使得可以对测试支撑座7的两端进行同时的移动，避免出现移动不同步，造成角度的偏差，从而造成对检测结果的影响，减少人工的推动，有效提高推动位置的准确，极大的降低检测的误差，另外自动化的推动，可以有效提高装置的工作效率。
优选的，测试罩6的内部固定安装有测试主板16，凹槽的内部顶端固定安装有测试元件17，测试元件17的下端固定安装有测试杆18，测试罩6、测试支撑座7、测试主板16、测试元件17和测试杆18的设置，可以在封闭的空间下对电路板进行检测，避免在裸露的空间进行检测，容易对检测的结果造成影响，测试支撑座7的下端固定安装有固定块，且主动轴14贯穿固定块的两端，第一滑槽13的内部与固定块的外部相适配，测试支撑座7的外部小于凹槽的内部，测试罩6的材料设置为亚克力板。
实施例3
如图1-5所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，一种集成电路中可靠性分析的测试结构的测试方法，首先将电路板摆放到测试支撑座7的上端，先对一侧的限位滑块10进行挤压，随之对弹簧元件9进行挤压，随后将电路板与测试支撑座7的上端贴合，随后利用弹簧元件9的反弹力对限位滑块10进行推动，在推动的过程中对另一侧的限位滑块10和弹簧元件9进行挤压，随之利用两端的弹簧元件9的反弹力可以对限位滑块10进行推动，随之可以对电路板进行挤压，利用控制元件2对驱动电机15的控制，使得驱动电机15带动主动轴14与主齿轮19进行转动，随之通过主齿轮19带动第一从齿轮20、第二从齿轮21和连接轴23进行转动，随之带动第三从齿轮22与从动轴12进行转动，可以利用从动轴12与主动轴14带动测试支撑座7进行移动，在移动到中部后，利用液压缸4对伸缩柱5的控制，使得对测试罩6进行推动，随之可以将测试罩6罩在测试支撑座7的外部，因为测试罩6是亚克力板制作的，因此可以在外部观察到内部的检测情况，随后在下降到合适的位置后，利用测试元件17与测试杆18对电路板进行检测，随后通过测试主板16进行计算传输。
下面具体说一下该集成电路中可靠性分析的测试结构及测试方法的工作原理。
如图1-5所示，首先将电路板摆放到测试支撑座7的上端，先对一侧的限位滑块10进行挤压，随之对弹簧元件9进行挤压，随后将电路板与测试支撑座7的上端贴合，随后利用弹簧元件9的反弹力对限位滑块10进行推动，在推动的过程中对另一侧的限位滑块10和弹簧元件9进行挤压，随之利用两端的弹簧元件9的反弹力可以对限位滑块10进行推动，随之可以对电路板进行挤压，利用控制元件2对驱动电机15的控制，使得驱动电机15带动主动轴14与主齿轮19进行转动，随之通过主齿轮19带动第一从齿轮20、第二从齿轮21和连接轴23进行转动，随之带动第三从齿轮22与从动轴12进行转动，可以利用从动轴12与主动轴14带动测试支撑座7进行移动，在移动到中部后，利用液压缸4对伸缩柱5的控制，使得对测试罩6进行推动，随之可以将测试罩6罩在测试支撑座7的外部，因为测试罩6是亚克力板制作的，因此可以在外部观察到内部的检测情况，随后在下降到合适的位置后，利用测试元件17与测试杆18对电路板进行检测，随后通过测试主板16进行计算传输。
上文一般性的对本发明做了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本发明思想精神的修改或改进，均在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种集成电路中可靠性分析的测试结构，包括测试结构底座(1)，所述测试结构底座(1)的正面固定安装有控制元件(2)，所述测试结构底座(1)的上端固定安装有支撑架(3)，其特征在于：所述支撑架(3)的上端固定安装有液压缸(4)，所述液压缸(4)的输出端固定安装有伸缩柱(5)，所述伸缩柱(5)的下端固定安装有测试罩(6)；
所述测试罩(6)的下端开设有凹槽，所述测试支撑座(7)的上端固定安装有连接块(8)，所述连接块(8)的右端固定安装有弹簧元件(9)，所述弹簧元件(9)的右端固定安装有限位滑块(10)，所述测试支撑座(7)设置在测试结构底座(1)的上端。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述测试结构底座(1)的上端开设有第一滑槽(13)，所述第一滑槽(13)的右端设置有第二滑槽(11)，所述第一滑槽(13)的内部活动连接有主动轴(14)，所述第一滑槽(13)的内部固定安装有驱动电机(15)，所述驱动电机(15)的输出端固定安装有主动轴(14)。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述第二滑槽(11)的内部活动连接有从动轴(12)，所述从动轴(12)的外部固定安装有第三从齿轮(22)。
4.根据权利要求3所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述主动轴(14)的外部固定安装有主齿轮(19)，所述主齿轮(19)的外部啮合连接有第一从齿轮(20)。
5.根据权利要求4所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述第一从齿轮(20)的右端固定安装有连接轴(23)，所述连接轴(23)的右端固定安装有第二从齿轮(21)，所述第二从齿轮(21)的右端与第三从齿轮(22)的上端啮合连接。
6.根据权利要求5所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述测试罩(6)的内部固定安装有测试主板(16)，凹槽的内部顶端固定安装有测试元件(17)，所述测试元件(17)的下端固定安装有测试杆(18)。
7.根据权利要求6所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，其特征在于：所述测试支撑座(7)的下端固定安装有固定块，且主动轴(14)贯穿所述固定块的两端，所述第一滑槽(13)的内部与固定块的外部相适配，测试支撑座(7)的外部小于凹槽的内部，所述测试罩(6)的材料设置为亚克力板。
8.一种集成电路中可靠性分析的测试结构的测试方法，其特征在于：该方法适用于权利要求书1-6所述的一种集成电路中可靠性分析的测试结构，所述首先将电路板摆放到测试支撑座(7)的上端，先对一侧的限位滑块(10)进行挤压，随之对弹簧元件(9)进行挤压，随后将电路板与测试支撑座(7)的上端贴合，随后利用弹簧元件(9)的反弹力对限位滑块(10)进行推动，在推动的过程中对另一侧的限位滑块(10)和弹簧元件(9)进行挤压，随之利用两端的弹簧元件(9)的反弹力可以对限位滑块(10)进行推动，随之可以对电路板进行挤压，利用控制元件(2)对驱动电机(15)的控制，使得驱动电机(15)带动主动轴(14)与主齿轮(19)进行转动，随之通过主齿轮(19)带动第一从齿轮(20)、第二从齿轮(21)和连接轴(23)进行转动，随之带动第三从齿轮(22)与从动轴(12)进行转动，可以利用从动轴(12)与主动轴(14)带动测试支撑座(7)进行移动，在移动到中部后，利用液压缸(4)对伸缩柱(5)的控制，使得对测试罩(6)进行推动，随之可以将测试罩(6)罩在测试支撑座(7)的外部，因为测试罩(6)是亚克力板制作的，因此可以在外部观察到内部的检测情况，随后在下降到合适的位置后，利用测试元件(17)与测试杆(18)对电路板进行检测，随后通过测试主板(16)进行计算传输。
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