CN114734139B - 一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法 - Google Patents
一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114734139B CN114734139B CN202210535461.3A CN202210535461A CN114734139B CN 114734139 B CN114734139 B CN 114734139B CN 202210535461 A CN202210535461 A CN 202210535461A CN 114734139 B CN114734139 B CN 114734139B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cavitation
- laser
- liquid medium
- micro
- cavitation generation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001053 micromoulding Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 77
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000001802 infusion Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
- B23K26/122—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in a liquid, e.g. underwater
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/352—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
本发明提供了一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法，包括激光光路系统、空化发生系统和定位系统；所述激光光路系统用于产生激光束；所述定位系统包括光路系统移动平台、构件夹具和旋转平台；所述光路系统移动平台用于使激光束移动；所述旋转平台上安装构件夹具，用于使构件夹具旋转；所述构件夹具上安装待加工构件；所述空化发生系统包括输液系统和密封组件；所述待加工构件的内腔为空化发生腔，通过输液系统使空化发生腔内填充空化所需的液体介质；所述密封组件位于空化发生腔与构件夹具之间；所述激光束聚焦在空化发生腔。本发明利用激光空化带来的空泡瞬态力学效应进行内壁区域微造型的同时更换的液体介质。
Description
技术领域
本发明涉及激光微造型领域，特别涉及一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法。
背景技术
材料表面微造型技术已被广泛应用于航空航天、微机电等高端制造领域，但现有微造型加工手段，如反应离子刻蚀和压刻技术等，往往污染较大、流程复杂且能耗较高。因此将无污染、操作简便且能耗较低的激光诱导空化技术用于微造型加工具有重要应用价值。与此同时，内壁部件微造型加工一直是制造业的难点所在，传统的压刻方法虽能解决大口径部件内壁上的微形貌加工，但无法满足微尺寸部件内壁的微形貌加工。
发明内容
针对现有技术中存在的不足，本发明提供了一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法，利用激光空化带来的空泡瞬态力学效应进行内壁区域微造型的同时，可更换的液体介质能有效避免部分液体会与构件材料发生化学反应的特殊情况。且流通的管路设计有助于保证液体介质对激光能量的吸收率，从而保证微造型形貌的一致性。光路系统与夹具相对固定的布置，能有效提高微造型过程中，不同位置加工的工作效率，绕轴心自转的夹具设计也较为符合内壁构件的加工逻辑。
本发明是通过以下技术手段实现上述技术目的的。
一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置，包括激光光路系统、空化发生系统和定位系统；
所述激光光路系统用于产生激光束；所述定位系统包括光路系统移动平台、构件夹具和旋转平台；所述光路系统移动平台用于使激光束移动；所述旋转平台上安装构件夹具，用于使构件夹具旋转；所述构件夹具上安装待加工构件；
所述空化发生系统包括输液系统和密封组件；所述待加工构件的内腔为空化发生腔，通过输液系统使空化发生腔内填充空化所需的液体介质；所述密封组件位于空化发生腔与构件夹具之间；所述激光束聚焦在空化发生腔。
进一步，所述激光光路系统包括激光器、入射透镜、出射透镜、反射镜和光路固定支架，所述激光器、入射透镜、出射透镜和反射镜固连在光路固定支架上，所述光路系统移动平台用于使光路固定支架移动。
进一步，所述输液系统包括液体介质供给装置、介质导入管、介质导出管、导入管电控阀门、导出管电控阀门和废水仓，所述液体介质供给装置内设有液体介质，所述液体介质供给装置通过介质导入管与空化发生腔连通，所述空化发生腔通过介质导出管与废水仓连通，所述介质导入管上设有导入管电控阀门，所述介质导出管上设有介质导出管。
进一步，所述介质导入管上设有液体介质温控装置，通过加热液体介质，用于控制激光空化空泡的最大半径及冲击强度。
进一步，所述空化发生腔内填充的液体介质包含至少2种不同空化液。
进一步，还包括传感检测系统，所述传感检测系统包括浓度传感器和水听器；所述浓度传感器用于检测空化发生腔内液体介质的浓度；所述水听器的探针前端位于激光束产生的空化气泡附近，用于检测激光空化产生的作用力。
进一步，还包括中央控制器，所述中央控制器获取浓度传感器和水听器的检测值；所述中央控制器根据浓度传感器检测的液体介质的浓度和水听器检测的激光空化产生的作用力判断是否通过控制输液系统更换空化发生腔内的液体介质。
一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置的加工方法，包括如下步骤：
中央控制器控制液体介质温控装置加热液体介质，将设定温度的液体介质填充空化发生腔；
中央控制器控制光路系统移动平台使激光束聚焦在空化发生腔的待加工区域；
通过中央控制器调节激光器发射的激光参数和旋转平台转动速率，用于控制微造型深度和微特征间距；
当空化发生腔内壁一周加工完成时，中央控制器改变光路系统移动平台在竖直方向的相对位置，继续进行不同深度位置的微造型加工；
所述浓度传感器实时检测空化发生腔内液体介质的浓度，所述水听器实时检测激光空化产生的作用力，当浓度传感器检测的液体介质的浓度大于第一设定阈值或当水听器的检测激光空化产生的作用力小于第二设定阈值时，所述中央控制器通过控制输液系统更换空化发生腔内的液体介质。
本发明的有益效果在于：
本发明所述的适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法，利用激光空化带来的空泡瞬态力学效应进行内壁区域微造型的同时，可更换的液体介质能有效避免部分液体会与构件材料发生化学反应的特殊情况。且流通的管路设计有助于保证液体介质对激光能量的吸收率，从而保证微造型形貌的一致性。光路系统与夹具相对固定的布置，能有效提高微造型过程中，不同位置加工的工作效率，绕轴心自转的夹具设计也较为符合内壁构件的加工逻辑。
附图说明
图1为本发明所述的适用于内壁构件的激光空化微造型装置示意图。
图2为本发明所述的空化发生腔内部示意图。
图3为本发明所述的浓度传感器位置安装图。
图中：
1-中央控制器；2-激光器；3-光路固定支架；4-光路系统移动平台；5-入射透镜；6-反射镜；7-出射透镜；8-水听器；9-示波器；10-空化发生腔；11-待加工构件；12-橡胶密封圈；13-构件夹具；14-介质导出管；15-废水仓；16-旋转平台；17-导出管电控阀门；18-浓度传感器；19-导入管电控阀门；20-介质导入管；21-液体介质温控装置；22-液体介质供给装置；23-激光束；24-激光空化气泡；25-探针。
具体实施方式
下面结合附图以及具体实施例对本发明作进一步的说明，但本发明的保护范围并不限于此。
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“轴向”、“径向”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1和图2所示，本发明所述的适用于内壁构件的激光空化微造型装置，包括激光光路系统、空化发生系统、定位系统和传感检测系统；
所述激光光路系统包括激光器2、入射透镜5、出射透镜7、反射镜6和光路固定支架3，所述激光器2、入射透镜5、出射透镜7和反射镜6固连在光路固定支架3上，所述光路系统移动平台4用于使光路固定支架3移动。所述激光器2用于产生激光束23；所述激光束23依次穿过入射透镜5、反射镜6和出射透镜7后射入待加工构件11。
所述定位系统包括光路系统移动平台4、构件夹具13和旋转平台16；所述光路系统移动平台4用于使激光束移动；所述旋转平台16上安装构件夹具13，用于使构件夹具13旋转；所述构件夹具13上安装待加工构件11；
所述空化发生系统包括输液系统和橡胶密封圈12；所述待加工构件11的内腔为空化发生腔10，通过输液系统使空化发生腔10内填充空化所需的液体介质；所述橡胶密封圈12位于空化发生腔10与构件夹具13之间；所述激光束聚焦在空化发生腔10。如图1和图3所示，所述输液系统包括液体介质供给装置22、介质导入管20、介质导出管14、导入管电控阀门19、导出管电控阀门17和废水仓15，所述液体介质供给装置22内设有液体介质，所述液体介质供给装置22通过介质导入管20与空化发生腔10连通，所述空化发生腔10通过介质导出管14与废水仓15连通，所述介质导入管20上设有导入管电控阀门19，所述介质导出管14上设有介质导出管14，用以控制空化发生腔10内的液体介质的流入流出。所述介质导入管20上设有液体介质温控装置21，通过加热液体介质，用于控制激光空化空泡的最大半径及冲击强度。所述空化发生腔10内填充的液体介质包含至少2种不同空化液，可根据实际需求供给不同的激光空化液体介质，以满足部分特殊加工需求。
所述传感检测系统包括浓度传感器18和水听器8；所述水听器8与光路固定支架3固连，水听器的探针25与激光束23互不干涉，探针25前端位于激光空化气泡24附近，用于检测激光空化力学作用力大小，可以反应微造型程度。示波器9可以显示水听器8测量的结果。所述浓度传感器18用于检测空化发生腔10内液体介质的浓度；
还包括中央控制器1，所述中央控制器1获取浓度传感器18和水听器8的检测值；所述中央控制器1根据浓度传感器18检测的液体介质的浓度和水听器8检测的激光空化产生的作用力判断是否通过控制输液系统更换空化发生腔10内的液体介质。随着微造型加工的不断进行，待加工构件11内壁会不可避免的产生材料颗粒脱落，使空化发生腔10内液体介质浑浊，进而影响聚焦的激光束23的能量，当液体介质中杂志浓度到第一设定阈值时，中央控制器1控制导入管电控阀门19和导出管电控阀门17打开，激光器2停止工作，液体介质供给装置22将洁净的液体介质通过介质导入管20导入空化发生腔10，原有的浑浊液体则通过介质导出管14进入废水仓15。
本发明所述的适用于内壁构件的激光空化微造型装置的加工方法，包括如下步骤：
S1：将待加工构件11密封固定在构件夹具13上，并根据加工需求，在中央控制器1中选择合适的液体介质及温度需求；
S2：液体介质供给装置22和液体介质温控装置21开始工作，导入管电控阀门19和导出管电控阀门17均开启，液体介质经空化发生腔10直接流入废水仓15；
S3：液体介质温度稳定后，导出管电控阀门17关闭，待液体介质注满空化发生腔10后，导入管电控阀门19关闭；
S4：光路系统移动平台4调整至合适位置，使激光聚焦于待加工区域；
S5：通过中央控制器1调节激光器2发射的激光参数，以及旋转平台16转动速率，用以控制微造型深度及微特征间距；
S6：激光器2开始工作，当待加工构件11内壁一周加工完成时，中央控制器1改变光路系统移动平台4在竖直方向的相对位置，继续进行不同深度位置的微造型加工；
S7：浓度传感器18和水听器8实时检测浓度信号和力学信号，当浓度传感器18检测的液体介质的浓度大于第一设定阈值或当水听器8的检测激光空化产生的作用力小于第二设定阈值时，激光器2、旋转平台16和光路系统移动平台4均暂停工作，导入管电控阀门19和导出管电控阀门17开启，原有的液体流入废水仓15，洁净的液体介质注入空化发生腔10，在此过程中当浓度达标时，导出管电控阀门17关闭，待液体介质注满空化发生腔10后，导入管电控阀门19同样关闭，激光器2、旋转平台16和光路系统移动平台4继续工作；若在加工初始阶段当水听器8的检测激光空化产生的作用力小于第二设定阈值时，可以调节激光加工参数；
S8：微造型任务完成，激光器2、旋转平台16和光路系统移动平台4继续工作停止工作，并复位，导出管电控阀门17打开，将空化发生腔10内液体介质排尽。
应当理解，虽然本说明书是按照各个实施例描述的，但并非每个实施例仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施例的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施例或变更均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置，其特征在于，包括激光光路系统、空化发生系统、传感检测系统、中央控制器(1)和定位系统；
所述激光光路系统用于产生激光束；所述定位系统包括光路系统移动平台(4)、构件夹具(13)和旋转平台(16)；所述光路系统移动平台(4)用于使激光束移动；所述旋转平台(16)上安装构件夹具(13)，用于使构件夹具(13)旋转；所述构件夹具(13)上安装待加工构件(11)；
所述空化发生系统包括输液系统和密封组件；所述待加工构件(11)的内腔为空化发生腔(10)，通过输液系统使空化发生腔(10)内填充空化所需的液体介质；所述密封组件位于空化发生腔(10)与构件夹具(13)之间；所述激光束聚焦在空化发生腔(10)；
所述输液系统包括液体介质供给装置(22)、介质导入管(20)、介质导出管(14)、导入管电控阀门(19)、导出管电控阀门(17)和废水仓(15)，所述液体介质供给装置(22)内设有液体介质，所述液体介质供给装置(22)通过介质导入管(20)与空化发生腔(10)连通，所述空化发生腔(10)通过介质导出管(14)与废水仓(15)连通，所述介质导入管(20)上设有导入管电控阀门(19)，所述介质导出管(14)上设有介质导出管(14)；
所述传感检测系统包括浓度传感器(18)和水听器(8)；所述浓度传感器(18)用于检测空化发生腔(10)内液体介质的浓度；所述水听器(8)的探针(25)前端位于激光束产生的空化气泡(24)附近，用于检测激光空化产生的作用力；所述中央控制器(1)获取浓度传感器(18)和水听器(8)的检测值；所述中央控制器(1)根据浓度传感器(18)检测的液体介质的浓度和水听器(8)检测的激光空化产生的作用力判断是否通过控制输液系统更换空化发生腔(10)内的液体介质。
2.根据权利要求1所述的适用于内壁构件的激光空化微造型装置，其特征在于，所述激光光路系统包括激光器(2)、入射透镜(5)、出射透镜(7)、反射镜(6)和光路固定支架(3)，所述激光器(2)、入射透镜(5)、出射透镜(7)和反射镜(6)固连在光路固定支架(3)上，所述光路系统移动平台(4)用于使光路固定支架(3)移动。
3.根据权利要求1所述的适用于内壁构件的激光空化微造型装置，其特征在于，所述介质导入管(20)上设有液体介质温控装置(21)，通过加热液体介质，用于控制激光空化空泡的最大半径及冲击强度。
4.根据权利要求1所述的适用于内壁构件的激光空化微造型装置，其特征在于，所述空化发生腔(10)内填充的液体介质包含至少2种不同空化液。
5.一种根据权利要求1所述的适用于内壁构件的激光空化微造型装置的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：
中央控制器(1)控制液体介质温控装置(21)加热液体介质，将设定温度的液体介质填充空化发生腔(10)；
中央控制器(1)控制光路系统移动平台(4)使激光束聚焦在空化发生腔(10)的待加工区域；
通过中央控制器(1)调节激光器(2)发射的激光参数和旋转平台(16)转动速率，用于控制微造型深度和微特征间距；
当空化发生腔(10)内壁一周加工完成时，中央控制器(1)改变光路系统移动平台(4)在竖直方向的相对位置，继续进行不同深度位置的微造型加工；
所述浓度传感器(18)实时检测空化发生腔(10)内液体介质的浓度，所述水听器(8)实时检测激光空化产生的作用力，当浓度传感器(18)检测的液体介质的浓度大于第一设定阈值或当水听器(8)的检测激光空化产生的作用力小于第二设定阈值时，所述中央控制器(1)通过控制输液系统更换空化发生腔(10)内的液体介质。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210535461.3A CN114734139B (zh) | 2022-05-17 | 2022-05-17 | 一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210535461.3A CN114734139B (zh) | 2022-05-17 | 2022-05-17 | 一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114734139A CN114734139A (zh) | 2022-07-12 |
| CN114734139B true CN114734139B (zh) | 2023-11-10 |
Family
ID=82286982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210535461.3A Active CN114734139B (zh) | 2022-05-17 | 2022-05-17 | 一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114734139B (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1216910A (zh) * | 1996-04-24 | 1999-05-19 | 加利福尼亚大学董事会 | 光－声血栓溶解方法 |
| CN103175761A (zh) * | 2013-03-13 | 2013-06-26 | 西安交通大学 | 一种在溶液中消散过程对微泡群尺寸分布进行估计的方法 |
| CN103267800A (zh) * | 2013-05-03 | 2013-08-28 | 西安交通大学 | 空化微泡高信噪比超声快速成像及动态尺寸分布估计方法 |
| US10228317B1 (en) * | 2016-08-25 | 2019-03-12 | Verily Life Sciences Llc | Multiplexed microfluidic cell sorting using laser induced cavitation bubbles |
| CN110526330A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-12-03 | 江苏大学 | 一种激光空化有机污水降解装置的控制系统及方法 |
| CN110640301A (zh) * | 2019-08-26 | 2020-01-03 | 江苏大学 | 一种激光诱导大面积空化成形的装置及方法 |
-
2022
- 2022-05-17 CN CN202210535461.3A patent/CN114734139B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1216910A (zh) * | 1996-04-24 | 1999-05-19 | 加利福尼亚大学董事会 | 光－声血栓溶解方法 |
| CN103175761A (zh) * | 2013-03-13 | 2013-06-26 | 西安交通大学 | 一种在溶液中消散过程对微泡群尺寸分布进行估计的方法 |
| CN103267800A (zh) * | 2013-05-03 | 2013-08-28 | 西安交通大学 | 空化微泡高信噪比超声快速成像及动态尺寸分布估计方法 |
| US10228317B1 (en) * | 2016-08-25 | 2019-03-12 | Verily Life Sciences Llc | Multiplexed microfluidic cell sorting using laser induced cavitation bubbles |
| CN110526330A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-12-03 | 江苏大学 | 一种激光空化有机污水降解装置的控制系统及方法 |
| CN110640301A (zh) * | 2019-08-26 | 2020-01-03 | 江苏大学 | 一种激光诱导大面积空化成形的装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114734139A (zh) | 2022-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1429888B1 (en) | Forming a perforate membrane by laser drilling and a subsequent electro-polishing step | |
| EP0775549B1 (en) | Submerged laser beam irradiation equipment | |
| CN103521919B (zh) | 一种可实现水下激光焊接和激光喷丸的方法和组合装置 | |
| US20150014889A1 (en) | Machining device, machining unit, and machining method | |
| CN105479173B (zh) | 微孔激光-高温化学同步复合加工装置及加工方法 | |
| JP2003246638A (ja) | ガラス構造物およびその製造方法 | |
| JP2017185549A (ja) | レーザ加工方法及び装置 | |
| CN114734139B (zh) | 一种适用于内壁构件的激光空化微造型装置及其加工方法 | |
| EP3921687B1 (en) | Liquid immersion microscope objective assembly and related systems and methods | |
| US11992889B2 (en) | Method for preparing a cross-size micro-nano structure array | |
| US20180345236A1 (en) | Reaction Vessel, Manufacturing System of Substance Using the Same, and Manufacturing Method | |
| CN103094041B (zh) | 用于网状电极的混合酸清洁的方法 | |
| JP2024040273A (ja) | 異物検出装置、基板処理装置、異物検出方法、及び記憶媒体 | |
| WO2006061649A2 (en) | Positioning device with a puck with a closed gas system for creating a fluid cushion | |
| JPS6319811B2 (zh) | ||
| JPH11285868A (ja) | レーザ照射による部材の補修方法および装置およびこの装置に補修方法を実行させるプログラムを記録した媒体 | |
| CN111940895A (zh) | 基于流动水层的激光诱导液体等离子体微加工的方法及装置 | |
| CN113993690A (zh) | 用于处理或检查材料的装置以及装置的使用方法 | |
| EP3517242A1 (en) | Laser processing apparatus | |
| US20220068698A1 (en) | Substrate treating apparatus | |
| US20030232450A1 (en) | Microfluidic device and method for producing the same | |
| JP2011020054A (ja) | ゲル製造装置 | |
| JP4442884B2 (ja) | マイクロ流体デバイス | |
| CN109459389B (zh) | 一种自动清洗光学流通池 | |
| JPH11127846A (ja) | 微生物数測定装置及び微生物数測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |