CN114667438A - 位置测量装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种具有承载体(12)和第一至第三扫描单元(20.1至20.3)的位置测量装置(10)。第一测量分区(14.1)包括多个沿第一测量方向(X)周期性排列的分区结构(16.1)，其中，第一测量分区(14.1)的分区结构(16.1)分别平行于第一方向(P1)延伸。第二测量分区(14.2)包括多个沿第二测量方向(Y)周期性排列的分区结构(16.2)，其中，第一测量方向(X)和第二测量方向(Y)彼此垂直伸延。参考标记(18)在第二方向(P2)上延伸，其中，第一方向(P1)和第二方向(P2)彼此间形成不同于0°的角度(α)。位置测量装置(10)构造成使得根据第一扫描单元(20.1)的第一扫描信号(22.1)和第三扫描单元(20.3)的参考脉冲(24)来确定参考脉冲(24)的相位位置(32)。

Description

位置测量装置
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的位置测量装置。
背景技术
从DE 102018 108 882 A1已知这种类型的位置测量装置。在线性标尺中，参考原点标记排列和倾斜原点标记排列(其是倾斜标记排列)设置在原点标记区域中。由于参考原点标记排列平行于X坐标，因此正确地产生X方向原点信号。另一方面，对于Y方向(在其上未设置原点标记)探测在参考原点标记与倾斜原点标记之间的间距。根据该间距来确定Y方向绝对位置。
发明内容
本发明的目的在于给出一种位置测量装置，其简单且紧凑地构造，并且利用该位置测量装置实现在垂直于主测量方向伸延的另一(第二)测量方向上精确地确定绝对位置信息。
根据本发明，该目的通过具有权利要求1的特征的位置测量装置来实现。
根据本发明构造的位置测量装置包括：具有第一测量分区(Messteilung)、第二测量分区和参考标记的承载体；用于扫描第一测量分区并且用于产生第一扫描信号的第一扫描单元；用于扫描第二测量分区并且用于产生第二扫描信号的第二扫描单元；和用于扫描参考标记并且用于产生参考脉冲的第三扫描单元。第一测量分区包括多个沿第一测量方向(主测量方向)周期性排列的分区结构。第一测量分区的分区结构分别平行于第一方向延伸。第二测量分区包括多个沿第二测量方向周期性排列的分区结构。第一测量方向和第二测量方向相互垂直地伸延。参考标记沿第二方向延伸。第一方向和第二方向彼此间形成不同于0°的角度。位置测量装置构造成使得根据第一扫描信号和参考脉冲确定参考脉冲的相位位置。
参考脉冲的相位位置优选地反映在第二测量方向上的绝对位置信息。
有利的是，参考脉冲的相位位置相对于由第一扫描信号确定的参考相位位置定义，并且处在-90°至+90°的范围内，优选-60°至+60°的范围内。
参考相位位置优选地相应于第一扫描信号的信号曲线的位置，在该位置中第一扫描信号具有正值和相等的瞬时值。
参考相位位置尤其位于第一扫描信号的通过参考脉冲确定的信号周期内。
有利地，参考标记不具有在第一方向上(尤其平行于第二测量方向)延伸的参考标记结构。
第一测量分区和参考标记优选地彼此相邻地沿第二测量方向排列。第二测量分区和参考标记例如彼此相邻地沿着第二测量方向排列。
备选地，参考标记可以是集成到第一测量分区或第二测量分区中的参考标记。
优选地，第一至第三扫描单元是集成到共同的扫描头单元中的扫描单元。位置测量装置尤其被构造用于确定第二测量方向上的绝对位置信息，而不会发生在第二测量装置中在扫描头单元与承载体之间的相对运动。由此为了在第二测量方向上建立第二测量分区的绝对参考，可以省去扫描头单元相对于承载体在第二测量方向上的运动。
第一测量分区和第二测量分区尤其是递增分区。
第一扫描信号可以具有由第一测量分区确定的信号周期。第二扫描信号可以具有由第二测量分区确定的信号周期。例如，第一扫描信号的信号周期和第二扫描信号的信号周期大小相等。
优选地，第一扫描信号和第二扫描信号分别为两个正弦的且彼此相对移相的周期性的扫描信号，尤其分别为两个彼此相对移相90°的扫描信号。
第二测量方向上的绝对位置信息尤其理解为第二测量方向上的第一绝对位置和/或第二测量方向上的第二绝对位置。第二测量方向上的第一绝对位置也可以称为第二测量方向上的粗略的绝对位置。第二测量方向上的第二绝对位置也可以称为第二测量方向上的精细的绝对位置。
第一测量分区的分区结构和第二测量分区的分区结构尤其分别包括分区割线(Teilungsstrich)。分区割线可以沿其走向具有相等的宽度并且连续地构造。备选地，分区割线也可以沿其走向中断，例如用于产生在多个分区割线上延伸的完整的参考标记。
通过本发明，在充分利用参考标记的倾斜位置的情况下实现精确地确定第二测量方向上的绝对位置信息。倾斜位置意味着，参考标记与第一测量分区的分区结构不同地取向或定向。参考标记一方面用于在第一测量方向上建立第一测量分区的绝对参考，另一方面，参考标记用于在第二测量方向上建立第二测量分区的绝对参考。由此可以省去用于在第二测量方向上建立第二测量分度的绝对参考的附加器件，尤其例如设计为伪随机码的附加参考标记或绝对分区。这又实现简单和紧凑的构造以及降低扫描的复杂性。
本发明的优点是，参考标记信号(即，通过扫描参考标记得到的参考脉冲)仍然可用于评估在第一测量方向上的相对位置或绝对位置，或者仍然保持可兼容。
本发明的有利改进方案由从属权利要求得到。
附图说明
本发明的其它细节和优点依据结合附图对本发明的可能设计方案的以下描述来阐述。其中
图1示出了示例性的具有承载体和扫描构件组的位置测量装置的透视图，该扫描构件组具有第一至第三扫描单元；
图2A示出了根据图1的位置测量装置在扫描构件组的区域中在第一状态下的详细视图；
图2B示出了根据图1的位置测量装置在扫描构件组的区域中在第二状态下的详细视图；
图3示出了位置测量装置的示例性评估单元的框图，该评估单元具有用于确定参考脉冲的相位位置的单元；
图4是位置测量装置的示例性评估单元的框图，该评估单元具有用于确定第一绝对位置的单元和用于确定第二绝对位置的单元；
图5示出了在根据图3的评估单元中处理的信号的示例性信号曲线；
图6示出了用于说明在第一绝对位置与参考脉冲的相位位置之间的示例性线性关系的示意图；和
图7示出了位置测量装置的示例性信号处理单元的框图。
具体实施方式
相同的元件或功能相同的元件在这些图中设有相同的附图标记。
示例性的位置测量装置10在图1和2A、2B中示出。位置测量装置10用于测量两个可彼此相对移动的物体在第一测量方向X和第二测量方向Y上的相对位置。第一测量方向X相应于参照参考轴线O定义的切向方向。第二测量方向Y相应于平行于参考轴线O伸延的方向。第一测量方向X也可以称为周向方向。第二测量方向Y也可以称为轴向方向。第一测量方向X为主测量方向。
位置测量装置10具有承载体12和扫描构件组，该扫描构件组具有第一至第三扫描单元20.1至20.3。承载体12具有第一测量分区14.1、第二测量分区14.2和参考标记18。第一扫描单元20.1用于扫描第一测量分区14.1并且用于产生第一扫描信号。第二扫描单元20.2用于扫描第二测量分区14.2并且用于产生第二扫描信号。第三扫描单元20.3用于扫描参考标记18并且用于产生参考脉冲。第一至第三扫描单元20.1至20.3相对于承载体12如此可移动地排列，使得可以对第一和第二测量分区14.1、14.2以及参考标记18进行扫描。优选地，第一至第三扫描单元20.1至20.3固定在共同的保持件处，从而使得这些扫描单元可以共同地相对于承载体12移动。
如图1中所示，第一测量分区14.1和参考标记18彼此相邻地沿第二测量方向Y排列。此外，第二测量分区14.2和参考标记18彼此相邻地沿第二测量方向Y排列。也就是说，参考标记18沿第二测量方向Y排列在第一和第二测量分区14.1、14.2之间。第一至第三扫描单元20.1至20.3相对于承载体12在第一测量方向X上的共同移动在图2A、2B中通过箭头表示。
在图2A、2B中示出了第一至第三方向P1至P3。第一方向P1垂直于第一测量方向X伸延。第三方向P3垂直于第二测量方向Y伸延。第一和第二测量方向X、Y彼此垂直伸延(参见图2A、2B的XY坐标系)。如图2A、2B中所示，第一测量分区14.1包括沿第一测量方向X周期性排列的多个分区结构16.1。第一测量分区14.1的分区结构16.1分别平行于第一方向P1延伸。第二测量分区14.2包括沿第二测量方向Y周期性排列的多个分区结构16.2。第二测量分区14.2的分区结构16.2分别平行于第三方向P3延伸。参考标记18沿第二方向P2延伸。第一方向P1和第二方向P2彼此间形成不同于0°的角度α。尤其地，第二方向P2不平行于第二测量方向Y地伸延。角度α优选地大于0°并且小于90°。
第一和第二测量分区14.1、14.2尤其是递增分区。例如，第一测量分区14.1的分区周期和第二测量分区14.2的分区周期大小相同。第一扫描信号具有由第一测量分区14.1确定的信号周期。第二扫描信号具有由第二测量分区14.2确定的信号周期。如果第一测量分区14.1的分区周期和第二测量分区14.2的分区周期大小相同，则第一扫描信号的信号周期和第二扫描信号的信号周期也大小相同。
参考标记18优选地具有唯一的参考标记结构。备选地，也可以设置多个按间距编码的参考标记结构。
第一扫描单元20.1具有第一传感器20.11和第二传感器20.12。第二扫描单元20.2具有第一传感器20.21和第二传感器20.22。第一扫描单元20.1的这两个传感器20.11、20.12用于产生正弦的且彼此相对移相的两个周期性扫描信号，这些扫描信号形成第一扫描信号。第二扫描单元20.2的这两个传感器20.21、20.22用于产生正弦的且彼此相对移相的两个周期性扫描信号，这些扫描信号形成第二扫描信号。第三扫描单元20.3具有用于产生参考脉冲的唯一的传感器。
在第一至第三扫描单元20.1至20.3与承载体12之间在第二测量方向Y(即平行于参考轴线O)上发生相对移动的情况下，则尤其由第三扫描单元20.3产生的参考脉冲(或其相位位置)发生改变。在图2A中示出了处于第一状态(即沿第二测量方向Y未移位的状态)下的第一至第三扫描单元20.1至20.3。该第一状态相应于初始状态(或参考状态)。第一状态与要在第二测量方向Y(Y_ABS_POS)上确定的高分辨率的绝对位置的第一测量值(Y_ABS_POS_1)相关联。对于第一测量值Y_ABS_POS_1，例如适用Y_ABS_POS_1=0。在图2B中示出了处于第二状态(即沿第二测量方向Y移位的状态)下的第一至第三扫描单元20.1至20.3。该第二状态与要在第二测量方向Y(Y_ABS_POS)上确定的高分辨率的绝对位置的第二测量值(Y_ABS_POS_2)相关联。对于第二测量值Y_ABS_POS_2，例如适用Y_ABS_POS_2>0。对Y_ABS_POS的确定尤其结合图7更详细地阐述。
在图3和图4中示出了位置测量装置10的示例性评估单元的框图。
根据图3的评估单元具有用于确定相位信号的单元26和用于确定参考脉冲的相位位置的单元30。单元26被构造用来接收第一扫描信号22.1并且用于产生相位信号28。单元30被构造用来根据相位信号28和参考脉冲24确定参考脉冲24的相位位置32。通过框(单元)26、30形成一个单元。该单元被构造用来根据第一扫描信号22.1和参考脉冲24确定参考脉冲24的相位位置32。
根据图4的评估单元具有用于确定第一绝对位置的单元34、用于确定相对位置的单元38和用于确定第二绝对位置的单元42。单元34被构造用来根据参考脉冲24的相位位置32确定在第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1。单元38被构造用来根据第二扫描信号22.2确定在第二测量方向Y上的相对位置40。单元42被构造用来根据第一绝对位置36.1和相对位置40确定在第二测量方向Y上的第二绝对位置36.2。
通过框(单元)34、38和42形成一个单元。该单元被构造用来根据第二扫描信号22.2和参考脉冲24的相位位置32确定在第二测量方向Y上的第二绝对位置36.2。
图5示出了信号22.1、24、28的示例性信号曲线，这些信号在根据图3的评估单元中被处理。在图5的上部，第一扫描信号22.1(信号幅度A)被示为地点(X位置)的函数。零线在图5的上部用L0表示。在图5的中间区段示出了作为地点(X位置)的函数的相位信号28(相位信号值φx)。零线在图5的中间部分用L0表示。在图5的下部区段示出了作为地点(X位置)的函数的参考脉冲24(信号幅度A)。零线在图5的下部区段用L0表示。
第一扫描信号22.1包括由第一扫描单元20.1的第一传感器20.11产生的第一信号22.11和由第一扫描单元20.1的第二传感器20.12产生的第二信号22.12。这两个信号22.11、22.12分别是正弦的，并且相对于彼此相移90°。此外，这两个信号22.11、22.12具有相等的信号周期。第一扫描信号22.1的信号周期用SP1表示。参考相位位置O1相应于第一扫描信号22.1的信号曲线的位置，其中第一扫描信号22.1具有正值和相等的瞬时值。相位信号28是例如在使用三角函数的情形下从第一扫描信号22.1中导出的信号。相位信号28具有与第一扫描信号22.1相等的信号周期。参考脉冲24具有两个过零(Nulldurchgang)25.1、25.2和最大值25.3。例如，参考脉冲24具有对称形状。参考脉冲24的宽度由两个过零25.1、25.2给出并用
Figure 100002_DEST_PATH_IMAGE002
表示。例如，最大值25.3处于两个过零25.1、25.2之间的中间。参考脉冲24的在图5中说明的相位位置32相应于例如通过在两个过零25.1、25.2的X位置处对相位信号值φx进行相位校正的平均而获得的相位位置。此外图5中示出了在参考脉冲24的相位位置32和参考相位位置O1之间的相位差Δφ。
如图5中所示，参考脉冲24与第一扫描信号22.1的特定的信号周期(信号周期SP1)相关联。参考脉冲24的相位位置32参照由第一扫描信号22.1确定的参考相位位置O1定义，并且处于-90°至+90°的范围内、优选-60°至+60°的范围内。参考脉冲24的宽度
Figure DEST_PATH_IMAGE003
相对于第一扫描信号22.1(即相对于信号周期SP1)处于180°至540°的范围内、优选在300°至420°的范围内。
图6示出了用于说明示例性线性关系C的示意图。在图6中，一方面，参考脉冲24的宽度
Figure DEST_PATH_IMAGE003A
作为在第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1的函数(在第二扫描信号22.2的信号周期SP2中或以毫米为单位)被绘出。另一方面，参考脉冲24的相位位置32在图6中作为在第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1的函数(在第二扫描信号22.2的信号周期SP2中或以毫米为单位)被绘出。图6中所示的针对参考脉冲24的相位位置32的曲线相应于预先测定的测量值曲线。线性关系C相应于该测量值曲线的线性近似。
如图6中所示，参考脉冲24的相位位置32处在由第一极限值32.1和第二极限值32.2限定的范围内。第一极限值32.1与第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1的最小值36.11相关联，该第一绝对位置应根据参考脉冲24的相位位置32来确定。第二极限值32.2与第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1的最大值36.12相关联，该第一绝对位置应根据参考脉冲24的相位位置32来确定。通过最小值36.11和最大值36.12限定用于确定在第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1的可靠范围D。可靠范围D相应于第二扫描信号22.2的信号周期SP2的数量。尤其地，这个数量处在2至10的范围内(例如在图6的示例中为2.5)。
在可靠范围D内，参考脉冲24的宽度
Figure DEST_PATH_IMAGE002A
基本上是恒定的。这可以被考虑用于检查通过第三扫描单元20.3产生的参考脉冲24的质量。
通过对线性关系C的了解，给出用于使参考脉冲24的相位位置32与在第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1相关联的预定的关联规则。此外，通过了解线性关系C，可以获得预定的换算因子(例如1/RMSPSP，其中，RMSPSP是直线C的斜率)。一方面，位置测量装置10可以构造成使得在使用前述预定的关联规则的情形下确定在第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1。另一方面，位置测量装置10可以构造成使得在使用上述预定的换算因子的情形下确定在第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1。
参考图6，参考脉冲24的相位位置32尤其由线性关系C给出。线性关系C由斜率RMSPSP(每个信号周期的参考标记移位)定义。该斜率RMSPSP对于第二扫描信号22.2的每个信号周期SP2至少为5°，优选对于第二扫描信号22.2的每个信号周期SP2为20°或30°。
图7示出了位置测量装置10的示例性信号处理单元的框图。在图7的框图中，第一扫描信号22.1、参考脉冲24和第二扫描信号22.2作为输入信号被示出。根据图7的信号处理单元具有用于确定相对位置或绝对位置的单元50、用于识别参考脉冲和设定周期计数器的单元52(REFMARK)及用于确定相对位置的单元38。单元50具有周期计数器44(X_INC_POS_P)和用于确定相位信号(X_INC_PHAS)的单元26。单元38具有周期计数器54(Y_INC_POS_P)和用于确定相位信号(Y_INC_PHAS)的单元58。单元50被构造用于根据第一扫描信号22.1确定相对或绝对位置51(X_INC_POS/X_ABS_POS)。一方面，单元52被构造用于根据参考脉冲24引起周期计数器44的调零。另一方面，单元52被构造用于将参考脉冲24传送到单元30。单元38被构造用于根据第二扫描信号22.2确定相对位置40(Y_INC_POS)。相对或绝对位置51相应于在第一测量方向X上的相对或绝对位置。相对位置40相应于在第二测量方向Y上的相对位置。
周期计数器44被构造用于通过对第一扫描信号22.1的信号周期进行计数，在输出端46处提供沿第一测量方向X的粗略分辨的相对或绝对位置。在调零周期计数器44时，在第一测量方向X(参考)上建立绝对参考。在参考之前，在输出端46处提供粗略分辨的相对位置。在参考之后，在输出端46处提供粗略分辨的绝对位置。单元50此外具有联结单元(节点48)。该联结单元被构造为使得相对或绝对位置在输出端46处与通过单元26产生的相位信号28联系，以便获得(精细分辨的)相对或绝对位置51。该相对或绝对位置51可以经由接口被传送给后续电子设备(NC)。
周期计数器54被构造成通过对第二扫描信号22.2的信号周期进行计数来在输出端56处提供在第二测量方向Y上的粗略分辨的相对位置。单元38还具有联结单元(节点62)。该联结单元被构造为将相对位置在输出端56处与通过单元58产生的相位信号60联系，以便获得(精细分辨的)相对位置40。该第二测量方向Y上的相对位置40可以与第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1(Y_ABS_CPOS)相联系，以便获得在第二测量方向Y上的第二绝对位置36.2(Y_ABS_POS)。由单元42执行的用来获得第二绝对位置36.2的联结也称为“联接”。第二测量方向Y上的第二绝对位置36.2可以经由接口传送给后续电子设备(NC)。
备选地，联接也可以由此实现，即，引起对周期计数器54的改变(参见图7中从框36.1到框54的虚线)。
参考图7，位置测量装置10可以构造成使得根据从第二扫描信号22.2导出的相位信号60来确定在第二测量方向Y上的第二绝对位置36.2。此外，位置测量装置10可以构造成使得根据第二扫描信号22.2确定在第二测量方向Y上的相对位置40并且第二测量方向Y上的相对位置40与第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1相联系，以便获得第二测量方向Y上的第二绝对位置36.2。
位置测量装置10尤其构造成使得以第一分辨率进行对在第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1的确定，并且以第二分辨率进行对在第二测量方向Y上的第二绝对位置36.2的确定，其中，第一分辨率小于第二分辨率。这通过先前提及的联接实现。
再次参考图7，单元30被构造用于根据由单元26产生的相位信号28和参考脉冲24来确定参考脉冲24的相位位置32(RM_PHAS)。单元34(SCALE)被构造用于通过采用预定的换算因子(即1/RMSPSP)、例如通过以下规则来确定第二测量方向Y上的第一绝对位置36.1：
Y_ABS_CPOS=RM_PHAS×1/RMSPSP
位置测量装置10尤其适合用于使用在主轴中。第一和第二测量分区14.1、14.2以及参考标记18优选地构造成可磁性地扫描。
备选地，第一和第二测量分区14.1、14.2以及参考标记18可以被构造为能够以光学方式、电感方式或电容方式扫描。
本发明不局限于旋转的位置测量装置。根据本发明的位置测量装置也可以是线性的位置测量装置。

Claims (15)

1.一种位置测量装置(10)，带有：
承载体(12)，所述承载体具有第一测量分区(14.1)、第二测量分区(14.2)和参考标记(18)；
第一扫描单元(20.1)，用于扫描所述第一测量分区(14.1)并且用于产生第一扫描信号(22.1)；
第二扫描单元(20.2)，用于扫描所述第二测量分区(14.2)并且用于产生第二扫描信号(22.2)；和
第三扫描单元(20.3)，用于扫描所述参考标记(18)并且用于产生参考脉冲(24)；
其中，所述第一测量分区(14.1)包括多个沿第一测量方向(X)周期性排列的分区结构(16.1)，
其中，所述第一测量分区(14.1)的分区结构(16.1)分别平行于第一方向(P1)延伸；
其中，所述第二测量分区(14.2)包括多个沿第二测量方向(Y)周期性排列的分区结构(16.2)，
其中，所述第一测量方向(X)和所述第二测量方向(Y)相互垂直地伸延，
其中，所述参考标记(18)沿第二方向(P2)延伸，其中，所述第一方向(P1)和所述第二方向(P2)彼此间形成不同于0°的角度(α)，
其特征在于，所述位置测量装置(10)构造成使得根据所述第一扫描信号(22.1)和所述参考脉冲(24)来确定所述参考脉冲(24)的相位位置(32)。
2.根据权利要求1所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据所述参考脉冲(24)的相位位置(32)来确定在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)。
3.根据权利要求2所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得在使用预定的关联规则的情形下确定在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)，用于将所述参考脉冲(24)的相位位置(32)与在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)相关联。
4.根据权利要求2所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得在使用预定的换算因子的情形下确定在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)。
5.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据从所述第一扫描信号(22.1)导出的相位信号(28)来确定所述参考脉冲(24)的相位位置(32)。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据所述参考脉冲(24)的相位位置(32)和所述第二扫描信号(22.2)来确定在所述第二测量方向(Y)上的第二绝对位置(36.2)。
7.根据权利要求6所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得以第一分辨率进行对所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)的确定，并且以第二分辨率进行对所述第二测量方向(Y)上的第二绝对位置(36.2)的确定，其中，所述第一分辨率低于所述第二分辨率。
8.根据权利要求6或7所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据从所述第二扫描信号(22.2)导出的相位信号(60)来确定在所述第二测量方向(Y)上的第二绝对位置(36.2)。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述位置测量装置(10)构造成使得根据所述第二扫描信号(22.2)来确定在所述第二测量方向(Y)上的相对位置(40)并且使在所述第二测量方向(Y)上的相对位置(40)与在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)相联系，以便获得在所述第二测量方向(Y)上的第二绝对位置(36.2)。
10.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述参考脉冲(24)的相位位置(32)参照由所述第一扫描信号(22.1)确定的参考相位位置(O1)来定义，并且处于-90°至+90°的范围内，优选在-60°至+60°的范围内。
11.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述参考脉冲(24)的相位位置(32)处于由第一极限值(32.1)和第二极限值(32.2)限定的范围内，其中，所述第一极限值(32.1)与在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)的最小值(36.11)相关联，该第一绝对位置应根据所述参考脉冲(24)的相位位置(32)来确定，其中，所述第二极限值(32.2)与在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)的最大值(36.12)相关联，该第一绝对位置应根据所述参考脉冲(24)的相位位置(32)来确定，其中，通过所述最小值(36.11)和所述最大值(36.12)限定用于确定在所述第二测量方向(Y)上的第一绝对位置(36.1)的可靠范围(D)，其中，所述可靠范围(D)相应于所述第二扫描信号(22.2)的信号周期(SP2)的数量，其中，所述数量处于2至10的范围内。
12.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述参考脉冲(24)的相位位置(32)由线性关系(C)给出，其中，所述线性关系(C)通过斜率(RMSPSP)限定，其中，所述斜率(RMSPSP)对于所述第二扫描信号(22.2)的每个信号周期至少为5°，优选对于所述第二扫描信号(22.2)的每个信号周期(SP2)为20°或30°。
13.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述参考脉冲(24)宽度(
Figure DEST_PATH_IMAGE002
)相对于所述第一扫描信号(22.1)处于180°至540°的范围内，优选地处于300°至420°的范围内。
14.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述第一方向(P1)垂直于所述第一测量方向(X)地伸延。
15.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置(10)，其中，所述第二测量分区(14.2)的分区结构(16.2)分别平行于第三方向(P3)延伸，其中，所述第三方向(P3)垂直于所述第二测量方向(Y)地伸延。
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