CN114667056B - 一种基板作业平台及其组装方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体装备技术领域，公开了一种基板作业平台及其组装方法，该基板作业平台包括：支撑盘，支撑盘顶侧安装有基板承载平台，基板承载平台背离支撑盘的一侧形成承载面；导轨组件包括沿第一方向延伸的导轨，第一方向与支撑盘的一侧边平行；沿垂直于第一方向且平行于承载面的第二方向，导轨在支撑盘上位置可调；龙门组件包括龙门架，龙门架沿第一方向与各导轨可移动连接；龙门架上设有第二导轨组件，第二导轨组件包括安装于龙门支架的侧面的两个并排设置的龙门导轨，龙门导轨的延伸方向与第二方向平行，沿垂直于承载面的方向，各龙门导轨在龙门支架的侧面上位置可调。该基板作业平台通过装配不同工作组件，可以实现不同的高精度的作业功能。

Description

一种基板作业平台及其组装方法

技术领域

本发明涉及半导体装备技术领域，特别涉及一种基板作业平台及其组装方法。

背景技术

基板在生产制造过程中，需要在作业平台上进行检测、修复、组装或者打印等操作。基于基板的特性，现有半导体装备技术领域中用于基板的工作平台精度要求较高，现有的作业平台只能实现单一作业的高精度，因此，如何实现工作平台多功能作业的高精度是目前亟需解决的问题。

发明内容

本发明公开了一种基板作业平台及其组装方法，该基板作业平台通过装配不同工作组件，可以实现平台的不同的高精度的作业功能。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种基板作业平台，包括：

支撑盘，所述支撑盘顶侧安装有基板承载平台，所述基板承载平台背离所述支撑盘的一侧形成用于承载基板的承载面，沿垂直于所述承载面的方向，所述基板承载平台相对所述支撑盘距离可调；

至少一个龙门组件，所述龙门组件通过第一导轨组件安装于所述支撑盘的顶面，所述第一导轨组件包括沿第一方向延伸的导轨，所述第一方向与所述支撑盘的一侧边平行设置；所述基板承载平台中相对的两侧中的每一侧均设有两个并排设置的所述导轨，沿垂直于所述第一方向且平行于所述承载面的第二方向，所述导轨在所述支撑盘上位置可调；

所述龙门组件包括龙门架，所述龙门架沿所述第一方向与各所述导轨可移动连接，所述龙门架的延伸方向与所述第二方向平行；所述龙门架上设有第二导轨组件，所述第二导轨组件包括安装于所述龙门架的侧面的两个并排设置的龙门导轨，所述龙门导轨的延伸方向与所述第二方向平行，沿垂直于所述承载面的方向，各所述龙门导轨在所述龙门架的侧面上位置可调。

上述基板作业平台中，龙门组件通过导轨安装在基板承载平台上，可以沿着导轨在第一方向移动，且龙门组件上设置有龙门导轨，龙门导轨上可以安装工作组件，工作组件可以沿着第二方向移动，所以，在工作组件在第二方向移动时，龙门组件也可以在第一方向移动，可以实现工作组件对置于承载面上基板在第一方向与第二方向形成平面内的所有区域的操作，可将多种功能集成于同一基板作业平台，实现了基板作业平台的多功能，从而可降低生产成本，且基板作业平台中，导轨在基板承载平台的顶面的第二方向上位置可调，可以进行位置微调，可以调整各导轨以使得各导轨之间平行度精度较高，保证龙门组件的移动精度，龙门组件中的龙门导轨可以在龙门架的侧面沿垂直于承载面的方向可以调节，进行微调，保证龙门架上的龙门导轨之间的平行度，保证工作组件的移动精度，且基板承载平台在垂直于承载面的方向上位置可调，可以调节承载面与工作组件之间的距离具有较高的精度，进而，实现整个基板作业平台的机构在第一方向、第二方向和垂直于承载面的方向上保证高精度组装，有利于保证在作业过程中高精度作业。

本发明还提供了一种基板作业平台的组装方法，用于组装如上述技术方案提供的基板作业平台，所述基板作业平台包括两个龙门组件，所述两个龙门组件分为第一龙门组件和第二龙门组件，所述第一龙门组件上的龙门导轨与所述第二龙门组件上的龙门导轨相对设置，所述组装方法包括：

确定支撑盘的周侧中的一个侧面为支撑盘基准面，所述支撑盘基准面与所述支撑盘的顶面相交的边线的延伸方向为第一方向，在所述支撑盘的顶面预安装沿所述第一方向延伸的四个所述导轨；

以所述支撑盘基准面为初始基准，调节四个所述导轨，使四个所述导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差在预设精度内；

安装第一龙门组件和第二龙门组件，以所述第一导轨为基准，调整所述第一龙门组件的龙门架与所述第一导轨垂直，且调整所述第二龙门组件的龙门架与所述第一导轨垂直；

调整预安装在所述第一龙门组件的龙门架上的两个龙门导轨，所述第一龙门组件的两个龙门导轨分为第一龙门导轨和第二龙门导轨，所述第二龙门导轨位于所述第一龙门导轨背离所述支撑盘的一侧；以所述支撑盘的顶面为基准，测量所述第一龙门导轨与所述顶面的平行度偏差并调节所述第一龙门导轨，使所述第一龙门导轨与所述顶面的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第一龙门导轨完成安装；

以所述第一龙门导轨为基准，测量所述第二龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差并调节所述第二龙门导轨，使所述第二龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第二龙门导轨完成安装；

调整预安装在所述第二龙门组件的龙门架上的两个龙门导轨，其中，所述第二龙门组件上的两个所述龙门导轨分为第三龙门导轨和第四龙门导轨，使所述第一龙门组件与所述第二龙门组件靠近，以所述第一龙门导轨为基准，测量所述第三龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差并调节所述第三龙门导轨，使所述第三龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第三龙门导轨完成安装；

以所述第三龙门导轨为基准，测量所述第四龙门导轨与所述第三龙门导轨的平行度偏差并调节所述第四龙门导轨，使所述第四龙门导轨与所述第三龙门导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第四龙门导轨完成安装。

上述对基板作业平台的组装方法，将在第一方向的各导轨进行平行度调节，使各导轨的平行度较高，且调整龙门组件与第一方向的导轨垂直，以及可以调节同一个龙门组件上龙门导轨在第二方向上的平行度较高，同时，还调节两个相邻的龙门组件上的龙门导轨之间具有较高的平行度，以其中一个龙门组件上的龙门导轨去调节另一个龙门组件上的龙门导轨，使两个相邻的龙门组件上的龙门导轨之间的平行度偏差较小，保证两个龙门组件的龙门导轨的直线度趋势一致性，可以保证组装后的基板作业平台上在第一方向和第二方向的具有较高的移动精度，有利于保障高精度作业。

可选地，所述基板承载平台一侧的两个导轨分为第一导轨和第二导轨，所述第一导轨位于所述第二导轨背离所述基板承载平台的一侧，所述基板承载平台的另一侧的两个所述导轨分为第三导轨和第四导轨；

其中，所述以所述支撑盘基准面为初始基准，调节四个所述导轨，使所述四个导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差在预设精度内，具体包括：

以所述支撑盘基准面为基准，测量所述第一导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差并调节所述第一导轨，使所述第一导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差在预设精度内，将调节后的所述第一导轨完成安装；

以所述第一导轨为基准，测量所述第二导轨与所述第一导轨的平行度偏差并调节所述第二导轨，使所述第二导轨与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第二导轨完成安装；

以所述第一导轨为基准，测量所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差并调节所述第三导轨，使所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第三导轨完成安装；

以所述第三导轨为基准，测量所述第四导轨与所述第三导轨的平行度偏差并调节所述第四导轨，使所述第四导轨与所述第三导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第四导轨完成安装。

可选地，所述以所述第一导轨为基准，测量所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差并调节所述第三导轨，使所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的第三导轨完成安装，具体包括：

在所述第一导轨、所述第二导轨以及所述第四导轨上安装横梁，在所述横梁朝向所述支撑盘的一侧、且与所述第三导轨对应的部位安装千分表，以所述第一导轨为基准，使用所述千分表测量所述第一导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差并调节所述第一导轨，使所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后所述的第三导轨完成安装。

可选地，所述第四导轨位于所述第三导轨背离所述基板承载平台的一侧。

可选地，使用千分表测量所述第一导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第二导轨与所述第一导轨的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第四导轨与所述第三导轨的平行度偏差。

可选地，所述调整所述第一龙门组件的龙门架与所述第一导轨垂直，且调整所述第二龙门组件的龙门架与所述第一导轨垂直，具体包括：

在所述基板承载平台上放置标准板，所述标准板上设有行列分布的多个基准孔，调整所述标准板使所述标准板上同一行方向上的基准孔连线与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内；

以所述标准板的同一列方向的基准孔的连线为基准，测量所述第一龙门组件的龙门架与所述标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差并调节所述第一龙门组件的龙门架，使所述第一龙门组件的龙门架与所述标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差在所述预设精度内，测量所述第二龙门组件的龙门架与所述标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差并调节所述第二龙门组件的龙门架，使所述第二龙门组件的龙门架与所述标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差在所述预设精度内。

可选地，所述第二龙门架上的所述龙门导轨完成安装之后，所述组装方法还包括：

测量所述承载面与所述第一龙门导轨的高度偏差并调节所述基板承载平台，使所述承载面与所述第一龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内。

可选地，所述测量所述承载面与所述第一龙门导轨的高度偏差并调节所述基板承载平台，使所述承载面与所述第一龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内，具体包括：

在所述承载面内，沿着所述第一方向和所述第二方向将所述承载面进行划分区域以形成行列分布的多个分区；

在所述第一龙门导轨和所述第二龙门导轨的滑块上安装测距仪，使用所述测距仪测量所述第一龙门导轨与各分区内的所述承载面之间的高度偏差，使所述第一龙门导轨与所述各分区内的所述承载面之间的高度偏差在所述要求精度内。

可选地，调整所述基板承载平台使所述承载面与所述第一龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内之后，还包括：

测量所述承载面与所述第三龙门导轨的高度偏差并调节所述基板承载平台，使所述承载面与所述第三龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内。

可选地，所述测量所述承载面与所述第三龙门导轨的高度偏差并调节所述基板承载平台，使所述承载面与所述第三龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内，具体包括：

在第三龙门导轨和第四龙门导轨的滑块上安装测距仪，使用所述测距仪测量所述第三龙门导轨与各所述分区内的承载面之间的高度偏差，使所述第三龙门导轨与各所述分区内的承载面之间的高度偏差在所述要求精度内。

可选地，使用千分表测量所述第一龙门导轨与所述支撑盘的顶面的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第二龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差；和/或；

使用千分表测量所述第三龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第四龙门导轨与所述第三龙门导轨的平行度偏差。

可选地，在调节四个所述导轨之前，使用水平仪对所述支撑盘进行水平调节，使所述支撑盘的顶面与水平面的平行度偏差在所述预设精度内。

可选地，在以所述支撑盘的顶面为基准，调节所述第一龙门导轨与所述支撑盘的顶面的平行度偏差在所述预设精度内之后，且完成所述第一龙门导轨安装前，所述组装方法还包括：

使用激光干涉仪测量所述第一龙门导轨的直线度偏差，如果所述第一龙门导轨的直线度偏差在需求精度内，将所述第一龙门导轨完成安装；如果所述第一龙门导轨的直线度偏差超出所述需求精度，使用激光干涉仪测量并调节所述第一龙门导轨，使所述第一龙门导轨的直线度偏差在需求精度内，并重复以所述支撑盘的顶面为基准，调节所述第一龙门导轨的步骤，使所述第一龙门导轨与所述顶面的平行度偏差在所述预设精度内，将所述第一龙门导轨完成安装。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种基板作业平台上第一导轨的平行度调节示意图；

图2为本发明实施例提供的一种基板作业平台上第三导轨平行度调节示意图；

图3为本发明实施例提供的一种第一龙门组件上的第一龙门导轨的平行度调节示意图；

图4为本发明实施例提供的一种第二龙门组件上的第三龙门导轨的平行度调节示意图；

图5为本发明实施例提供的一种基板作业平台上第三导轨平行度调节示意图；

图6为图5中沿A向的结构视图；

图7为本发明实施例提供的一种基板作业平台的俯视图；

图8为本发明实施例提供的一种基板作业平台正视图；

图标：1-支撑盘；2-基板承载平台；3-第一龙门组件；4-第二龙门组件；5-第一导轨组件；6-千分表；7-测距仪；8-横梁；11-支撑盘基准面；31-第一龙门导轨；32-第二龙门导轨；41-第三龙门导轨；42-第四龙门导轨；51-第一导轨；52-第二导轨；53-第三导轨；54-第四导轨。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图2、图5和图6所示，本发明实施例提供了一种基板作业平台，包括：支撑盘1，支撑盘1顶侧安装有基板承载平台2，基板承载平台2背离支撑盘1的一侧形成用于承载基板的承载面，沿垂直于承载面的方向，基板承载平台2相对支撑盘1距离可调；至少一个龙门组件，龙门组件通过第一导轨组件5安装于支撑盘1的顶面，第一导轨组件5包括沿第一方向延伸的导轨，第一方向与支撑盘1的一侧边平行设置；基板承载平台2中相对的两侧中的每一侧均设有两个并排设置的导轨，沿垂直于第一方向、且平行于承载面的第二方向，导轨在支撑盘1上位置可调；龙门组件包括龙门架，龙门架与各导轨沿第一方向可移动连接，龙门架的延伸方向与第二方向平行；龙门架上设有第二导轨52组件，第二导轨52组件包括安装于龙门架的侧面的两个并排设置的龙门导轨，龙门导轨的延伸方向与第二方向平行，沿垂直于承载面的方向，各龙门导轨在龙门架的侧面上位置可调。

上述基板作业平台中，龙门组件通过导轨安装在基板承载平台2上，可以沿着导轨在第一方向移动，且龙门组件上设置有龙门导轨，龙门导轨上可以安装工作组件，工作组件可以沿着第二方向移动，所以，在工作组件在第二方向移动时，龙门组件也可以在第一方向移动，可以实现工作组件对置于承载面上基板在第一方向与第二方向形成平面内的所有区域的操作，可将多种功能集成于同一基板作业平台，实现了基板作业平台的多功能，从而可降低生产成本，且基板作业平台中，导轨在基板承载平台2的顶面的第二方向上位置可调，可以进行位置微调，可以调整各导轨以使得各导轨之间平行度精度较高，保证龙门组件的移动精度，龙门组件中的龙门导轨可以在龙门架的侧面沿垂直于承载面的方向可以调节，进行微调，保证龙门架上的龙门导轨之间的平行度，保证工作组件的移动精度，且基板承载平台2在垂直于承载面的方向上位置可调，可以调节承载面与工作组件之间的距离具有较高的精度，进而，实现整个基板作业平台的机构在第一方向、第二方向和垂直于承载面的方向上保证高精度组装，有利于保证在作业过程中高精度作业。

基于相同的发明构思，如图1至图8所示，本发明还提供了一种基板作业平台的组装方法，用于组装如上述实施例提供的基板作业平台，上述基板作业平台可以设置两个龙门组件，为便于说明，两个龙门组件可以分别称为第一龙门组件3和第二龙门组件4，第一龙门组件3上的龙门导轨与第二龙门组件4上的龙门导轨相对设置，第一龙门组件3朝向第二龙门组件4的一侧设置有龙门导轨，在第二龙门组件4朝向第一龙门组件3的一侧设置有龙门导轨，其中，上述基板作业平台的组装方法包括：

首先，如图1所示，确定支撑盘1的周侧中的一个侧面为支撑盘基准面11，该支撑盘基准面11的制作精度比较高，满足作为平行度基准的要求，其中，支撑盘基准面11与支撑盘1的顶面相交的边线的延伸方向为第一方向，在支撑盘1的顶面上预安装沿第一方向延伸的四个导轨，预安装四个导轨，就是将四个导轨安装在支撑盘1的安装位置上，未完全紧固，以便于调节。然后，如图1和图2所示，以支撑盘基准面11为初始基准，调节四个导轨，使四个导轨与支撑盘基准面11的平行度偏差在预设精度内，保证四个导轨在第一方向的平行度精度，有利于保证龙门组件在第一方向的高精度移动；四个导轨调节安装后，可以在基板承载平台2上建立坐标系，其中，如图7和图8所示，以基板承载平台2上的原点相机为原点“0”，以第一方向为X轴，也就是四个导轨均平行于X轴，为X轴方向延伸的导轨，以第二方向为Y轴，Y轴与X轴垂直，以垂直于承载面的方向为Z轴方向；

接着，如图3所示，安装第一龙门组件3和第二龙门组件4，将第一龙门组件3和第二龙门组件4安装在第一导轨组件5的导轨上，以第一导轨51为基准，调整第一龙门组件3的龙门架与第一导轨51垂直，且调整第二龙门组件4的龙门架与第一导轨51垂直，其中，调节第一龙门组件3和第二龙组件相对第一导轨51垂直的顺序不做限定，可以先调节第一龙门组件3与第一导轨51垂直，再调节第二龙门组件4与第一导轨51垂直，也可以先第二龙门组件4与第一导轨51垂直，在调节第一龙门组件3与第一导轨51垂直；

接下来，如图3所示，第一龙门组件3与第二龙门组件4与第一导轨51垂直后，调整预安装在第一龙门组件3的龙门架上的两个龙门导轨，为便于说明，第一龙门组件3的两个龙门导轨分为第一龙门导轨31和第二龙门导轨32，第二龙门导轨32位于第一龙门导轨31背离支撑盘1的一侧；其中，支撑盘1的顶面为安装基准面，制作精度较高，以支撑盘1的顶面为基准，可以使用千分表6测量第一龙门导轨31与顶面的平行度偏差并调节第一龙门导轨31，具体地，将千分表6安装在第一龙门导轨31的滑块上，使千分表6的测针顶端贴在安装基准面上，进行调节第一龙门导轨31，测量及调节方式简单可靠，且调节精度较高，使第一龙门导轨31与顶面的平行度偏差在预设精度内，将调节后的第一龙门导轨31完成安装；

在第一龙门导轨31调整安装好之后，再以第一龙门导轨31为基准，可以使用千分表6测量第二龙门导轨32与第一龙门导轨31的平行度偏差并调节第二龙门导轨32，具体地，可以将千分表6安装在第二龙门导轨32的滑块上，使千分表6的测针顶端贴在第一龙门导轨31的侧面上，调节第二龙门导轨32，调节方式简单可靠，使第二龙门导轨32与第一龙门导轨31的平行度偏差在预设精度内，将调节后的第二龙门导轨32完成安装；

调整好第一龙门组件3上的龙门导轨之后，如图4所示，接着调整预安装在第二龙门组件4的龙门架上的两个龙门导轨，其中，第二龙门组件4上的两个龙门导轨分为第三龙门导轨41和第四龙门导轨42，第四龙门导轨42可以设置在第三龙门导轨41背离基板承载平台2的一侧，沿着基板承载平台2上的导轨，使第一龙门组件3与第二龙门组件4靠近，具体地，可以移动第二龙门组件4靠近第一龙门组件3，使第一龙门组件3与第二龙门组件4之间距离较小，以第一龙门组件3上的第一龙门导轨31为基准，使用千分表6测量第三龙门导轨41与第一龙门导轨31的平行度偏差并调节第三龙门导轨41，具体地，将千分表6安装在第三龙门导轨41上，使千分表6的测针顶端贴在第一龙门导轨31上，对第三龙门导轨41进行调节，使第三龙门导轨41与第一龙门导轨31的平行度偏差在预设精度内，将调节后的第三龙门导轨41完成安装；

最后，以调节安装好的第三龙门导轨41为基准，使用千分表6测量第四龙门导轨42与第三龙门导轨41的平行度偏差并调节第四龙门导轨42，具体地，将千分表6安装在第四龙门导轨42上，使千分表6的测针顶端贴在第三龙门导轨41上，对第四龙门导轨42进行调节，使第四龙门导轨42与第三龙门导轨41的平行度偏差在预设精度内，将调节后的第四龙门导轨42完成安装。

上述对基板作业平台的组装方法，将在第一方向的各导轨进行平行度调节，使各导轨的平行度较高，且调整龙门组件与第一方向的导轨垂直，以及可以调节同一个龙门组件上龙门导轨在第二方向上的平行度较高，同时，还调节两个相邻的龙门组件上的龙门导轨之间具有较高的平行度，以其中一个龙门组件上的龙门导轨去调节另一个龙门组件上的龙门导轨，使两个相邻的龙门组件上的龙门导轨之间的平行度偏差较小，保证两个龙门组件的龙门导轨的直线度趋势一致性，可以保证组装后的基板作业平台上在第一方向和第二方向的具有较高的移动精度，有利于保障高精度作业。

具体地，在基板作业平台的支撑盘1上，四个导轨分别设置在基板承载平台2的相对的两侧，在基板承载平台2一侧的两个导轨可以称为第一导轨51和第二导轨52，第一导轨51位于第二导轨52背离基板承载平台2的一侧，位于基板承载平台2的另一侧的两个导轨可以称为第三导轨53和第四导轨54；根据以上四个导轨的分布，对四个导轨的具体安装调节方法包括：

首先，如图1所示，以支撑盘基准面11为基准，测量第一导轨51与支撑盘基准面11的平行度偏差并调节第一导轨51，具体地，可以将千分表6安装在第一导轨51的滑块上，是千分表6的测针顶端贴在支撑盘基准面11上，对第一导轨51进行调节，调节方式简单可靠，使第一导轨51与支撑盘基准面11的平行度偏差在预设精度内，将调节后的第一导轨51完成安装；

然后，以调整好的第一导轨51为基准，测量第二导轨52与第一导轨51的平行度偏差并调节第二导轨52，具体地，可以将千分表6安装在第二导轨52的滑块上，使千分表6的测针顶端贴在第一导轨51上，对第二导轨52进行调节，使第二导轨52与第一导轨51的平行度偏差在预设精度内，将调节后的第二导轨52完成安装；

接着，如图2所示，仍然以第一导轨51为基准，测量第三导轨53与第一导轨51的平行度偏差并调节第三导轨53，其中，由于第三导轨53与第一导轨51和第二导轨52之间间隔有基板承载平台2，跨度较大，可以借助一些治具结构来辅助调节，具体地，可以在第一导轨51、第二导轨52以及第四导轨54上安装一横梁8，横梁8与第一导轨51垂直，第一导轨51和第二导轨52是平行度已经调节好的，第四导轨54起到支撑作用，在横梁8朝向支撑盘1的一侧、且与第三导轨53对应的部位安装千分表6，第一导轨51可以作为基准，使千分表6的测针顶端贴在第三导轨53上，推动横梁8在第一导轨51、第二导轨52和第四导轨54上移动，对第三导轨53进行调节，使第三导轨53与第一导轨51的平行度偏差在预设精度内，将调节后的第三导轨53完成安装；其中，安装好第三导轨53之后可以将横梁8拆除，不过，需要说明的是，这里的横梁8可以是另外的治具，也可以将龙门组件的龙门架作为治具辅助第三导轨53的调节，本实施例不做局限；且对于第三导轨53和第四导轨54的位置分布，第四导轨54可以设置在第三导轨53背离基板承载平台2，也可以将第四导轨54与第三导轨53的位置调换，设置第四导轨54在第三导轨53靠近基板承载平台2的一侧，本实施例不做局限。

再接着，如图2所示，第三导轨53安装好之后，以第三导轨53为基准，测量第四导轨54与第三导轨53的平行度偏差并调节第四导轨54，可以在第四导轨54的滑块上安装千分表6，使千分表6的测针顶端贴在第三导轨53的侧面，对第四导轨54进行调节，使第四导轨54与第三导轨53的平行度偏差在预设精度内，将调节后的第四导轨54完成安装。

具体地，上述组装方法中，可以使用千分表6测量第一导轨51与支撑盘基准面11的平行度偏差；和/或，使用千分表6测量第二导轨52与第一导轨51的平行度偏差；和/或，使用千分表6测量第三导轨53与第一导轨51的平行度偏差；和/或，使用千分表6测量第四导轨54与第三导轨53的平行度偏差。也就是，在调节第一导轨51、第二导轨52、第三导轨53以及第四导轨54相对各自的基准的平行度偏差时，在第一导轨51、第二导轨52、第三导轨53以及第四导轨54这四者的调节过程中只有一者调节时，使用千分表6，其它三者使用或不使用不做限定；或者，在第一导轨51、第二导轨52、第三导轨53以及第四导轨54这四者的调节过程中的其中两者调节时，使用千分表6，另外两者使用或不使用不做限定；或者，在第一导轨51、第二导轨52、第三导轨53以及第四导轨54这四者的调节过程中的三者调节时，使用千分表6，另外一者使用或不使用不做限定；或者，在第一导轨51、第二导轨52、第三导轨53以及第四导轨54这四者的调节过程中均使用千分表6进行调节，对于各导轨的具体调节方式，可以根据实际情况设置，本实施例不做局限。

需要说明的是，关于本实施例所说的平行度偏差的预设精度为一个数值范围，预设精度为大于或等于0μm且小于或等于5μm。

具体地，对于上述调整第一龙门组件3的龙门架与第一导轨51垂直，且调整第二龙门组件4的龙门架与第一导轨51垂直，具体可以包括：

首先，在基板承载平台2上放置标准板，标准板为制作精度较高的标准件，标准板上设置有多个行列矩阵分布的多个基准孔，标准板放在基板承载平台2上，位于坐标系内，行方向与X轴方向一致，列方向与Y轴方向一致，调整标准板使标准板上同一行方向上的基准孔连线与第一导轨51的平行度偏差在预设精度内保证标准板放置位置精度；

然后，以标准板的同一列方向的基准孔的连线为基准，测量第一龙门组件3的龙门架与标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差并调节第一龙门组件3的龙门架，使第一龙门组件3的龙门架与标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差在预设精度内，测量第二龙门组件4的龙门架与标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差并调节第二龙门组件4的龙门架，使第二龙门组件4的龙门架与标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差在预设精度内，则可以调整第一龙门组件3龙门架和第二龙门组件4的龙门架与第一导轨51垂直。

上述组装方法中，除了基板承载平台2上的机构部件沿第一方向和第二方向的平行度调节精度高，还具有在垂直于承载面方向上的调节，具体地，第二龙门架上的龙门导轨完成安装之后，组装方法还包括：

测量承载面与第一龙门导轨31的高度偏差并调节基板承载平台2，使承载面与第一龙门导轨31之间的高度偏差在要求精度内，可以保证基板承载平台2与基板作业平台上的作业端之间具有距离的高精度保持。

具体地，上述对于测量承载面与第一龙门导轨31的高度偏差并调节基板承载平台2，使承载面与第一龙门导轨31之间的高度偏差在要求精度内，如图5和图6所示，具体包括：

在承载面内，沿着第一方向和第二方向将承载面进行划分区域以形成行列分布的多个分区；

在第一龙门导轨31和第二龙门导轨32的滑块上安装测距仪7，使用测距仪7测量第一龙门导轨31与各分区内的承载面之间的高度偏差，使第一龙门导轨31与各分区内的承载面之间的高度偏差在要求精度内。

具体地，上述组装方法中，调整基板承载平台2使承载面与第一龙门导轨31之间的高度偏差在要求精度内之后，还包括：

测量承载面与第三龙门导轨41的高度偏差并调节基板承载平台2，使承载面与第三龙门导轨41之间的高度偏差在要求精度内，以第二龙门组件4再次对承载面的高度偏差进行复测，可以更进一步保证基板承载平台2与基板作业平台上的作业端之间具有距离的高精度。

具体地，对于上述测量承载面与第三龙门导轨41的高度偏差并调节基板承载平台2，使承载面与第三龙门导轨41之间的高度偏差在要求精度内，具体可以包括：

在第三龙门导轨41和第四龙门导轨42的滑块上安装测距仪7，使用测距仪7测量第三龙门导轨41与各分区内的承载面之间的高度偏差，使第三龙门导轨41与各分区内的承载面之间的高度偏差在要求精度内。

具体地，上述测距仪7可以为激光测距仪。

具体地，对于龙门组件上的龙门导轨的调节，可以使用千分表6测量第一龙门导轨31与顶面的平行度偏差；和/或，使用千分表6测量第二龙门导轨32与第一龙门导轨31的平行度偏差；和/或；使用千分表6测量第三龙门导轨41与第一龙门导轨31的平行度偏差；和/或，使用千分表6测量第四龙门导轨42与第三龙门导轨41的平行度偏差。也就是，在调节第一龙门导轨31、第二龙门导轨32、第三龙门导轨41以及第四龙门导轨42相对各自的基准的平行度偏差时，在第一龙门导轨31、第二龙门导轨32、第三龙门导轨41以及第四龙门导轨42这四者的调节过程中只有一者调节时，使用千分表6，其它三者使用或不使用不做限定；或者，在第一龙门导轨31、第二龙门导轨32、第三龙门导轨41以及第四龙门导轨42这四者的调节过程中的其中两者调节时，使用千分表6，另外两者使用或不使用不做限定；或者，在第一龙门导轨31、第二龙门导轨32、第三龙门导轨41以及第四龙门导轨42这四者的调节过程中的三者调节时，使用千分表6，另外一者使用或不使用不做限定；或者，在第一龙门导轨31、第二龙门导轨32、第三龙门导轨41以及第四龙门导轨42这四者的调节过程中均使用千分表6进行调节，对于各导轨的具体调节方式，可以根据实际情况设置，本实施例不做局限。

具体地，上述组装方法中，在调节四个导轨之前，使用水平仪对支撑盘1进行水平调节，使支撑盘1的顶面与水平面的平行度偏差在预设精度内，可以很好的保证支撑盘1的水平度，以保障后续组装中的调节精度。

具体地，为了保证龙门组件上的龙门导轨的直线度，可以在调节第一龙门导轨31与支撑盘1的顶面的平行度偏差在预设精度内之后，且完成第一龙门导轨31安装前，实施以下方法：

使用激光干涉仪测量第一龙门导轨31的直线度偏差，如果第一龙门导轨31的直线度偏差在需求精度内，将第一龙门导轨31完成安装；如果第一龙门导轨31的直线度偏差超出需求精度，使用激光干涉仪测量并调节第一龙门导轨31，使第一龙门导轨31的直线度偏差在需求精度内，并重复以支撑盘1的顶面为基准，调节第一龙门导轨31的步骤，使第一龙门导轨31与顶面的平行度偏差在预设精度内，将第一龙门导轨31完成安装。由于第二龙门导轨32、第三龙门导轨41以及第四龙门导轨42均是基于第一龙门导轨31进行调节的，保证了第一龙门导轨31的直线度和平行度的调节精度，就可以保证第二龙门导轨32、第三龙门导轨41以及第四龙门导轨42的精度。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种基板作业平台的组装方法，其特征在于，所述基板作业平台包括：

支撑盘，所述支撑盘顶侧安装有基板承载平台，所述基板承载平台背离所述支撑盘的一侧形成用于承载基板的承载面，沿垂直于所述承载面的方向，所述基板承载平台相对所述支撑盘距离可调；

至少一个龙门组件，所述龙门组件通过第一导轨组件安装于所述支撑盘的顶面，所述第一导轨组件包括沿第一方向延伸的导轨，所述第一方向与所述支撑盘的一侧边平行设置；所述基板承载平台中相对的两侧中的每一侧均设有两个并排设置的所述导轨，沿垂直于所述第一方向且平行于所述承载面的第二方向，所述导轨在所述支撑盘上位置可调；

所述龙门组件包括龙门架，所述龙门架沿所述第一方向与各所述导轨可移动连接，所述龙门架的延伸方向与所述第二方向平行；所述龙门架上设有第二导轨组件，所述第二导轨组件包括安装于所述龙门架的侧面的两个并排设置的龙门导轨，所述龙门导轨的延伸方向与所述第二方向平行，沿垂直于所述承载面的方向，各所述龙门导轨在所述龙门架的侧面上位置可调；

所述基板作业平台包括两个龙门组件，所述两个龙门组件分为第一龙门组件和第二龙门组件，所述第一龙门组件上的龙门导轨与所述第二龙门组件上的龙门导轨相对设置，所述组装方法包括：

确定支撑盘的周侧中的一个侧面为支撑盘基准面，所述支撑盘基准面与所述支撑盘的顶面相交的边线的延伸方向为第一方向，在所述支撑盘的顶面预安装沿所述第一方向延伸的四个所述导轨；所述基板承载平台一侧的两个导轨分为第一导轨和第二导轨，所述第一导轨位于所述第二导轨背离所述基板承载平台的一侧；

以所述支撑盘基准面为初始基准，调节四个所述导轨，使四个所述导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差在预设精度内；

安装所述第一龙门组件和所述第二龙门组件，以所述第一导轨为基准，调整所述第一龙门组件的龙门架与所述第一导轨垂直，且调整所述第二龙门组件的龙门架与所述第一导轨垂直；

调整预安装在所述第一龙门组件的龙门架上的两个龙门导轨，所述第一龙门组件的两个龙门导轨分为第一龙门导轨和第二龙门导轨，所述第二龙门导轨位于所述第一龙门导轨背离所述支撑盘的一侧；以所述支撑盘的顶面为基准，测量所述第一龙门导轨与所述顶面的平行度偏差并调节所述第一龙门导轨，使所述第一龙门导轨与所述顶面的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第一龙门导轨完成安装；

以所述第一龙门导轨为基准，测量所述第二龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差并调节所述第二龙门导轨，使所述第二龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第二龙门导轨完成安装；

调整预安装在所述第二龙门组件的龙门架上的两个龙门导轨，其中，所述第二龙门组件上的两个所述龙门导轨分为第三龙门导轨和第四龙门导轨，使所述第一龙门组件与所述第二龙门组件靠近，以所述第一龙门导轨为基准，测量所述第三龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差并调节所述第三龙门导轨，使所述第三龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第三龙门导轨完成安装；

以所述第三龙门导轨为基准，测量所述第四龙门导轨与所述第三龙门导轨的平行度偏差并调节所述第四龙门导轨，使所述第四龙门导轨与所述第三龙门导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第四龙门导轨完成安装；

测量所述承载面与所述第一龙门导轨的高度偏差并调节所述基板承载平台，使所述承载面与所述第一龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内；测量所述承载面与所述第三龙门导轨的高度偏差并调节所述基板承载平台，使所述承载面与所述第三龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内。

2.根据权利要求1所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，所述基板承载平台的另一侧的两个所述导轨分为第三导轨和第四导轨；

其中，所述以所述支撑盘基准面为初始基准，调节四个所述导轨，使所述四个导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差在预设精度内，具体包括：

以所述支撑盘基准面为基准，测量所述第一导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差并调节所述第一导轨，使所述第一导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差在预设精度内，将调节后的所述第一导轨完成安装；

以所述第一导轨为基准，测量所述第二导轨与所述第一导轨的平行度偏差并调节所述第二导轨，使所述第二导轨与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第二导轨完成安装；

以所述第一导轨为基准，测量所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差并调节所述第三导轨，使所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第三导轨完成安装；

以所述第三导轨为基准，测量所述第四导轨与所述第三导轨的平行度偏差并调节所述第四导轨，使所述第四导轨与所述第三导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第四导轨完成安装。

3.根据权利要求2所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，所述以所述第一导轨为基准，测量所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差并调节所述第三导轨，使所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的第三导轨完成安装，具体包括：

在所述第一导轨、所述第二导轨以及所述第四导轨上安装横梁，在所述横梁朝向所述支撑盘的一侧、且与所述第三导轨对应的部位安装千分表，以所述第一导轨为基准，使用所述千分表测量所述第一导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差并调节所述第一导轨，使所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内，将调节后的所述第三导轨完成安装。

4.根据权利要求2或3所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，所述第四导轨位于所述第三导轨背离所述基板承载平台的一侧。

5.根据权利要求3所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，使用千分表测量所述第一导轨与所述支撑盘基准面的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第二导轨与所述第一导轨的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第三导轨与所述第一导轨的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第四导轨与所述第三导轨的平行度偏差。

6.根据权利要求1所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，所述调整所述第一龙门组件的龙门架与所述第一导轨垂直，且调整所述第二龙门组件的龙门架与所述第一导轨垂直，具体包括：

在所述基板承载平台上放置标准板，所述标准板上设有行列分布的多个基准孔，调整所述标准板使所述标准板上同一行方向上的基准孔连线与所述第一导轨的平行度偏差在所述预设精度内；

以所述标准板的同一列方向的基准孔的连线为基准，测量所述第一龙门组件的龙门架与所述标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差并调节所述第一龙门组件的龙门架，使所述第一龙门组件的龙门架与所述标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差在所述预设精度内，测量所述第二龙门组件的龙门架与所述标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差并调节所述第二龙门组件的龙门架，使所述第二龙门组件的龙门架与所述标准板的同一列方向的基准孔的连线的平行度偏差在所述预设精度内。

7.根据权利要求1所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，所述测量所述承载面与所述第一龙门导轨的高度偏差并调节所述基板承载平台，使所述承载面与所述第一龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内，具体包括：

在所述承载面内，沿着所述第一方向和所述第二方向将所述承载面进行划分区域以形成行列分布的多个分区；

在所述第一龙门导轨和所述第二龙门导轨的滑块上安装测距仪，使用所述测距仪测量所述第一龙门导轨与各分区内的所述承载面之间的高度偏差，使所述第一龙门导轨与所述各分区内的所述承载面之间的高度偏差在所述要求精度内。

8.根据权利要求7所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，所述测量所述承载面与所述第三龙门导轨的高度偏差并调节所述基板承载平台，使所述承载面与所述第三龙门导轨之间的高度偏差在要求精度内，具体包括：

在第三龙门导轨和第四龙门导轨的滑块上安装测距仪，使用所述测距仪测量所述第三龙门导轨与所述各分区内的所述承载面之间的高度偏差，使所述第三龙门导轨与所述各分区内的所述承载面之间的高度偏差在所述要求精度内。

9.根据权利要求1所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，使用千分表测量所述第一龙门导轨与所述支撑盘的顶面的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第二龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差；和/或；

使用千分表测量所述第三龙门导轨与所述第一龙门导轨的平行度偏差；和/或，

使用千分表测量所述第四龙门导轨与所述第三龙门导轨的平行度偏差。

10.根据权利要求1所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，在调节四个所述导轨之前，使用水平仪对所述支撑盘进行水平调节，使所述支撑盘的顶面与水平面的平行度偏差在所述预设精度内。

11.根据权利要求1所述的基板作业平台的组装方法，其特征在于，在以所述支撑盘的顶面为基准，调节所述第一龙门导轨与所述支撑盘的顶面的平行度偏差在所述预设精度内之后，且完成所述第一龙门导轨安装前，所述组装方法还包括：

使用激光干涉仪测量所述第一龙门导轨的直线度偏差，如果所述第一龙门导轨的直线度偏差在需求精度内，将所述第一龙门导轨完成安装；如果所述第一龙门导轨的直线度偏差超出所述需求精度，使用激光干涉仪测量并调节所述第一龙门导轨，使所述第一龙门导轨的直线度偏差在需求精度内，并重复以所述支撑盘的顶面为基准，调节所述第一龙门导轨的步骤，使所述第一龙门导轨与所述顶面的平行度偏差在所述预设精度内，将所述第一龙门导轨完成安装。