CN114654606A - 一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置及使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于单晶硅棒加工技术领域，具体为一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置及使用方法，包括切割箱，所述切割箱的前侧壁转动设置有对称的密闭门，所述切割箱的内部横向固定设置有放置板，所述放置板的侧壁开设有均匀排布的漏水孔，所述放置板的下端固定设置有水槽，所述放置板的上端通过夹持机构固定设置有单晶硅棒，所述切割箱内部的上端固定设置有液压杆，便于在通过切割机构对单晶硅棒进行切割时，首先通过喷淋对产生的粉尘进行初步溶解，再通过抽风扇和过滤网的配合对剩余的粉尘进行吸收并过滤，有效避免粉尘飘扬污染空气环境且避免对人体造成伤害。
Description
技术领域
本发明涉及单晶硅棒加工技术领域，具体为一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置及使用方法。
背景技术
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。
在将单晶硅棒加工生产成单晶硅片时，往往需要通过单晶硅棒切割装置对其进行切割，但是目前的切割装置在使用时，往往直接裸露在空气中，没办法在密闭的环境内操作，切割的过程中会产生大量的粉尘，不仅污染空气环境，且危害人体健康。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置及使用方法，以解决上述背景技术中提出的目前的切割装置在使用时，往往直接裸露在空气中，没办法在密闭的环境内操作，切割的过程中会产生大量的粉尘，不仅污染空气环境，且危害人体健康的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置，包括切割箱，所述切割箱的前侧壁转动设置有对称的密闭门，所述切割箱的内部横向固定设置有放置板，所述放置板的侧壁开设有均匀排布的漏水孔，所述放置板的下端固定设置有水槽，所述放置板的上端通过夹持机构固定设置有单晶硅棒，所述切割箱内部的上端固定设置有液压杆，所述液压杆的下端固定设置有安装板，所述安装板的下侧壁固定设置有切割机构，所述水槽的内部固定设置有水泵，所述水泵的上端固定设置有连接管，所述切割箱的上端固定设置有水箱，所述连接管的上端与所述水箱的左侧壁固定连接，所述水箱的下侧壁固定设置有出水管，所述出水管的下端延伸至切割箱的内部并固定设置有喷头，所述切割箱的左侧壁固定设置有吸尘管，所述吸尘管内部的左端固定设置有抽风扇，所述吸尘管内部的右端固定设置有环形板，所述环形板的外部通过固定机构套接设置有过滤袋。
优选的，所述夹持机构包括两个第一固定块，两个所述第一固定块均与所述放置板的上侧壁固定连接，两个所述第一固定块的上端均固定设置有弧形板，所述单晶硅棒的下侧壁与两个所述弧形板的上侧壁接触，两个所述弧形板的侧壁均螺纹连接有螺杆，两个所述螺杆的一端均固定设置有旋转块，两个所述螺杆的另一端均转动设置有夹板，两个所述夹板的侧壁均与所述单晶硅棒的侧壁接触。
优选的，所述切割机构包括机箱，所述机箱与所述安装板的下侧壁固定连接，所述机箱的内部固定设置有电机，所述电机的输出端固定设置有传动杆，所述传动杆的另一端固定套接设置有第一导向轮，所述安装板的下侧壁位于传动杆的两侧固定设置有对称的支撑板，两个所述支撑板的左侧壁均转动设置有限位杆，两个所述限位杆的左端均固定套接设置有第二导向轮，所述第一导向轮与两个所述第二导向轮的外部共同设置有切割线。
优选的，所述固定机构包括移动杆，所述移动杆与所述吸尘管的侧壁滑动连接，所述移动杆的一端固定设置有限位板，所述移动杆的另一端固定设置有第二固定块，所述第二固定块的另一侧与所述过滤袋的侧壁接触，所述移动杆的外部套接设置有弹簧，所述弹簧的一端与所述吸尘管的侧壁固定连接，所述弹簧的另一端与所述第二固定块的侧壁固定连接。
优选的，所述切割箱的下侧壁固定设置有对称的支撑底座，所述水槽内部的上端固定设置有过滤网。
一种如权利要求1-5任一所述的基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置的使用方法，首先通过夹持机构将单晶硅棒进行夹持固定，当夹持固定以后，启动切割机构，启动液压杆，液压杆带动下端的安装板下移，安装板带动下端的切割机构对单晶硅棒进行切割，切割的同时，首先将水箱内部的水通过出水管和喷头喷出，对切割过程中产生的灰尘进行吸收，当还剩余少量灰尘时，启动抽风扇，抽风扇将内部的粉尘进行吸收并通过过滤袋进行过滤。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
通过切割箱、密闭门、水槽、水泵、连接管、水箱、出水管、喷头、吸尘管、过滤袋和抽风扇的共同配合，便于在通过切割机构对单晶硅棒进行切割时，首先通过喷淋对产生的粉尘进行初步溶解，再通过抽风扇和过滤网的配合对剩余的粉尘进行吸收并过滤，有效避免粉尘飘扬污染空气环境且避免对人体造成伤害。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为图1的剖视结构示意图；
图3为图2中夹持机构的结构示意图；
图4为图2中切割机构的结构示意图；
图5为图4中第一导向轮和第二导向轮的侧面结构示意图；
图6为图2中A部分的放大结构示意图。
图中：1切割箱、2密闭门、3放置板、4水槽、5单晶硅棒、6液压杆、7安装板、8水泵、9连接管、10水箱、11出水管、12吸尘管、13环形板、14过滤袋、15第一固定块、16弧形板、17螺杆、18旋转块、19夹板、20电机、21传动杆、22第一导向轮、23支撑板、24限位杆、25第二导向轮、26切割线、27移动杆、28限位板、29第二固定块、30弹簧、31喷头、32抽风扇。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
实施例一：
请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置，包括切割箱1，切割箱1的前侧壁转动设置有对称的密闭门2，切割箱1的内部横向固定设置有放置板3，放置板3的侧壁开设有均匀排布的漏水孔，放置板3的下端固定设置有水槽4，放置板3的上端通过夹持机构固定设置有单晶硅棒5，切割箱1内部的上端固定设置有液压杆6，液压杆6的下端固定设置有安装板7，安装板7的下侧壁固定设置有切割机构，水槽4的内部固定设置有水泵8，水泵8的上端固定设置有连接管9，切割箱1的上端固定设置有水箱10，连接管9的上端与水箱10的左侧壁固定连接，水箱10的下侧壁固定设置有出水管11，出水管11的下端延伸至切割箱1的内部并固定设置有喷头31，切割箱1的左侧壁固定设置有吸尘管12，吸尘管12内部的左端固定设置有抽风扇32，吸尘管12内部的右端固定设置有环形板13，环形板13的外部通过固定机构套接设置有过滤袋14。
夹持机构包括两个第一固定块15，两个第一固定块15均与放置板3的上侧壁固定连接，两个第一固定块15的上端均固定设置有弧形板16，单晶硅棒5的下侧壁与两个弧形板16的上侧壁接触，两个弧形板16的侧壁均螺纹连接有螺杆17，两个螺杆17的一端均固定设置有旋转块18，两个螺杆17的另一端均转动设置有夹板19，两个夹板19的侧壁均与单晶硅棒5的侧壁接触。
切割机构包括机箱，机箱与安装板7的下侧壁固定连接，机箱的内部固定设置有电机20，电机20的输出端固定设置有传动杆21，传动杆21的另一端固定套接设置有第一导向轮22，安装板7的下侧壁位于传动杆21的两侧固定设置有对称的支撑板23，两个支撑板23的左侧壁均转动设置有限位杆24，两个限位杆24的左端均固定套接设置有第二导向轮25，第一导向轮22与两个第二导向轮25的外部共同设置有切割线26。
固定机构包括移动杆27，移动杆27与吸尘管12的侧壁滑动连接，移动杆27的一端固定设置有限位板28，移动杆27的另一端固定设置有第二固定块29，第二固定块29的另一侧与过滤袋14的侧壁接触，移动杆27的外部套接设置有弹簧30，弹簧30的一端与吸尘管12的侧壁固定连接，弹簧30的另一端与第二固定块29的侧壁固定连接。
切割箱1的下侧壁固定设置有对称的支撑底座，水槽4内部的上端固定设置有过滤网。
一种如权利要求1-5任一所述的基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置的使用方法，首先通过夹持机构将单晶硅棒5进行夹持固定，当夹持固定以后，启动切割机构，启动液压杆6，液压杆6带动下端的安装板7下移，安装板7带动下端的切割机构对单晶硅棒5进行切割，切割的同时，首先将水箱4内部的水通过出水管11和喷头31喷出，对切割过程中产生的灰尘进行吸收，当还剩余少量灰尘时，启动抽风扇32，抽风扇32将内部的粉尘进行吸收并通过过滤袋14进行过滤。
工作原理：使用时，首先通过夹持机构将单晶硅棒5进行夹持固定，当夹持固定以后，启动切割机构，启动液压杆6，液压杆6带动下端的安装板7下移，安装板7带动下端的切割机构对单晶硅棒5进行切割，切割的同时，首先将水箱4内部的水通过出水管11和喷头31喷出，对切割过程中产生的灰尘进行吸收，当还剩余少量灰尘时，启动抽风扇32，抽风扇32将内部的粉尘进行吸收并通过过滤袋14进行过滤，有效防止粉尘对空气环境造成伤害和危害人体健康。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置，包括切割箱(1)，其特征在于，所述切割箱(1)的前侧壁转动设置有对称的密闭门(2)，所述切割箱(1)的内部横向固定设置有放置板(3)，所述放置板(3)的侧壁开设有均匀排布的漏水孔，所述放置板(3)的下端固定设置有水槽(4)，所述放置板(3)的上端通过夹持机构固定设置有单晶硅棒(5)，所述切割箱(1)内部的上端固定设置有液压杆(6)，所述液压杆(6)的下端固定设置有安装板(7)，所述安装板(7)的下侧壁固定设置有切割机构，所述水槽(4)的内部固定设置有水泵(8)，所述水泵(8)的上端固定设置有连接管(9)，所述切割箱(1)的上端固定设置有水箱(10)，所述连接管(9)的上端与所述水箱(10)的左侧壁固定连接，所述水箱(10)的下侧壁固定设置有出水管(11)，所述出水管(11)的下端延伸至切割箱(1)的内部并固定设置有喷头(31)，所述切割箱(1)的左侧壁固定设置有吸尘管(12)，所述吸尘管(12)内部的左端固定设置有抽风扇(32)，所述吸尘管(12)内部的右端固定设置有环形板(13)，所述环形板(13)的外部通过固定机构套接设置有过滤袋(14)。
2.根据权利要求1所述的一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置，其特征在于：所述夹持机构包括两个第一固定块(15)，两个所述第一固定块(15)均与所述放置板(3)的上侧壁固定连接，两个所述第一固定块(15)的上端均固定设置有弧形板(16)，所述单晶硅棒(5)的下侧壁与两个所述弧形板(16)的上侧壁接触，两个所述弧形板(16)的侧壁均螺纹连接有螺杆(17)，两个所述螺杆(17)的一端均固定设置有旋转块(18)，两个所述螺杆(17)的另一端均转动设置有夹板(19)，两个所述夹板(19)的侧壁均与所述单晶硅棒(5)的侧壁接触。
3.根据权利要求1所述的一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置，其特征在于：所述切割机构包括机箱，所述机箱与所述安装板(7)的下侧壁固定连接，所述机箱的内部固定设置有电机(20)，所述电机(20)的输出端固定设置有传动杆(21)，所述传动杆(21)的另一端固定套接设置有第一导向轮(22)，所述安装板(7)的下侧壁位于传动杆(21)的两侧固定设置有对称的支撑板(23)，两个所述支撑板(23)的左侧壁均转动设置有限位杆(24)，两个所述限位杆(24)的左端均固定套接设置有第二导向轮(25)，所述第一导向轮(22)与两个所述第二导向轮(25)的外部共同设置有切割线(26)。
4.根据权利要求1所述的一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置，其特征在于：所述固定机构包括移动杆(27)，所述移动杆(27)与所述吸尘管(12)的侧壁滑动连接，所述移动杆(27)的一端固定设置有限位板(28)，所述移动杆(27)的另一端固定设置有第二固定块(29)，所述第二固定块(29)的另一侧与所述过滤袋(14)的侧壁接触，所述移动杆(27)的外部套接设置有弹簧(30)，所述弹簧(30)的一端与所述吸尘管(12)的侧壁固定连接，所述弹簧(30)的另一端与所述第二固定块(29)的侧壁固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置，其特征在于：所述切割箱(1)的下侧壁固定设置有对称的支撑底座，所述水槽(4)内部的上端固定设置有过滤网。
6.一种如权利要求1-5任一所述的基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置的使用方法，其特征在于：首先通过夹持机构将单晶硅棒(5)进行夹持固定，当夹持固定以后，启动切割机构，启动液压杆(6)，液压杆(6)带动下端的安装板(7)下移，安装板(7)带动下端的切割机构对单晶硅棒(5)进行切割，切割的同时，首先将水箱(4)内部的水通过出水管(11)和喷头(31)喷出，对切割过程中产生的灰尘进行吸收，当还剩余少量灰尘时，启动抽风扇(32)，抽风扇(32)将内部的粉尘进行吸收并通过过滤袋(14)进行过滤。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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