CN114626767A - 一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法 - Google Patents

一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法 Download PDF

Info

Publication number
CN114626767A
CN114626767A CN202210525540.6A CN202210525540A CN114626767A CN 114626767 A CN114626767 A CN 114626767A CN 202210525540 A CN202210525540 A CN 202210525540A CN 114626767 A CN114626767 A CN 114626767A
Authority
CN
China
Prior art keywords
coordinate system
axis
optical element
matching degree
equation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210525540.6A
Other languages
English (en)
Inventor
张穗
王佳
邓永红
王朝阳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Optics and Electronics of CAS
Original Assignee
Institute of Optics and Electronics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Optics and Electronics of CAS filed Critical Institute of Optics and Electronics of CAS
Priority to CN202210525540.6A priority Critical patent/CN114626767A/zh
Publication of CN114626767A publication Critical patent/CN114626767A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q10/00—Administration; Management
    • G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
    • G06Q10/063—Operations research, analysis or management
    • G06Q10/0639—Performance analysis of employees; Performance analysis of enterprise or organisation operations
    • G06Q10/06395—Quality analysis or management
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F17/00—Digital computing or data processing equipment or methods, specially adapted for specific functions
    • G06F17/10—Complex mathematical operations
    • G06F17/11—Complex mathematical operations for solving equations, e.g. nonlinear equations, general mathematical optimization problems
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q50/00—Systems or methods specially adapted for specific business sectors, e.g. utilities or tourism
    • G06Q50/04—Manufacturing
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing

Abstract

本发明公开了一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，属于先进光学制造领域。所述方法包括在加工过程中，在离轴变斜率非球面光学元件表面的任意一处与加工工具相切点建立坐标系，并计算出该坐标系下离轴变斜率非球面光学元件的表面曲面表达式，根据该公式计算出加工工具在任意位置处与元件之间的匹配度，该方法能够用于评价离轴变斜率非球面光学元件在加工过程中的任意离轴位置处与加工工具的匹配情况。

Description

一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法
技术领域
本发明属于先进光学制造领域，具体涉及的是一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法。
背景技术
极端科学领域对其精密光学系统的光学元件的设计和制造提出了极高的要求，在高精密度高复杂度的系统中为提高系统设计的自由度以及性能逐渐采用各种异形非球面光学元件，其中部分光学系统对离轴且表面斜率不断变化的非球面光学元件提出需求，需要高精度高质量的此类光学元件。针对此类光学元件的加工会不可避免的引入各种频段的表面损伤，这是由于加工工具与元件表面的匹配效果不佳导致的，所产生的表面损伤会极大程度的影响光学系统的性能，会根据所产生的误差频段不同而导致系统中的光线传播发生散射，产生像差，影响成像对比度等问题，对工具和元件表面的匹配度进行准确评价对消除加工后的表面误差有重要意义，而针对斜率变化剧烈的非球面其离轴位置处的匹配度计算是光学加工中的难点和热点。
现代光学元件的加工依赖加工工具在元件表面进行物理误差去除，在加工过程中任意离轴位置处加工工具与元件之间的接触情况会直接影响加工后的元件表面面形，目前对于离轴变斜率非球面元件的加工匹配度没有准确的评价与描述方式，不能定量分析加工工具与元件之间的接触情况，难以根据接触情况对加工工具做出调整以改进面形质量。本发明针对变斜率非球面光学元件离轴加工过程中工具与元件之间的接触情况问题，设计出一种应用于离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度的评价方法。
发明内容
针对上述问题，为解决变斜率非球面元件在离轴位置处加工过程中接触情况难以定量描述，加工后元件面形质量难以进一步提高的问题，本发明提供一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，用于定量描述加工过程中光学元件与加工工具之间的接触情况。
为解决现有技术问题，本发明目的是通过计算构建元件与磨盘加工过程中工具与元件接触情况的表述模型，对加工匹配度建立定量评价模型，直观反应工具与元件接触状态，为离轴变斜率非球面光学元件加工提供理论支撑，并根据匹配度评价情况判断加工质量，以此改进变斜率非球面元件离轴加工技术，最终提升光学加工中光学元件的面形质量。
为达成所述目的，本发明提供一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，过程包括以下步骤：
步骤S1：根据所述离轴变斜率非球面光学元件的初始参数在空间中构建该光学元件的曲面方程；
步骤S2：在任意离轴加工区域建立新坐标系，并构建坐标系变换矩阵；所述建立新坐标系为从以光学元件顶点建立的初始坐标系O-XYZ变换到局部离轴区域坐标系B-X * Y * Z *；
步骤S3：采用所述变换矩阵，将所述曲面方程变换到所述新坐标系下，获得新坐标系下的光学元件表面的曲面表达式；
步骤S4：在当前坐标系下获得加工匹配度的评价方程。
进一步的，所述步骤S1中，
所述曲面方程，即所述非球面光学元件在空间中的曲面面形计算公式表示如下：
Figure 87787DEST_PATH_IMAGE001
该公式为离轴变斜率非球面光学元件在三维空间中的参数方程表达式，其中，c=1/R 0为顶点曲率，R 0为顶点曲率半径，k为二次曲面系数，x为曲面在x轴上的坐标，y为曲面在y轴上的坐标。该方程是以非球面元件旋转对称中心顶点为原点建立坐标系而建立的数学表达式。
进一步的，所述步骤S2中：
当变换到B-X * Y * Z *坐标系下的时候，原方程经历了一次旋转变换和一次平移变换，其中新坐标系原点B(e’,0,f 1(e’,0))为加工工具——磨盘在离轴位置处的中心点，新坐标系的X *轴与初始坐标系X轴的夹角θ为：
Figure 252183DEST_PATH_IMAGE002
根据所述夹角θ建立旋转矩阵M r 和平移矩阵M t ：
Figure 870247DEST_PATH_IMAGE003
Figure 78374DEST_PATH_IMAGE004
由此获得变换矩阵为：
Figure 781888DEST_PATH_IMAGE005
；
其中e’为离轴量，f 1(e’,0)为离轴点矢高，f1为求矢高的函数，f1（x，y）为初始坐标系下曲面矢高函数。
进一步的，所述步骤S3中：
将所述曲面方程代入变换矩阵：
Figure 733663DEST_PATH_IMAGE006
，
Figure 206233DEST_PATH_IMAGE007
Figure 585262DEST_PATH_IMAGE008
，经转化，
获得新坐标系下的表达式为：
Figure 16550DEST_PATH_IMAGE009
其中：
Figure 772017DEST_PATH_IMAGE010
f e(x,y)为曲面方程在新坐标系下的表达式，z为元件曲面，由自变量x，y定义。
进一步的，所述步骤S4中，所述加工匹配度的评价方程为：
Figure 364672DEST_PATH_IMAGE011
其中，其中f lap 为加工工具面形函数表达式。
进一步的，所述加工匹配度为加工工具覆盖在光学元件表面上后与光学元件之间的贴合程度。
进一步的，所建立的初始坐标系的原点为光学元件顶点，初始曲面方程为初始坐标系下的面形描述方程。
进一步的，所述平移矩阵为沿X轴平移。
本发明具有以下有益效果：
1）构建了离轴变斜率非球面光学元件表面曲面在空间中的表达方程式。
2）针对元件离轴位置处的加工建立了离轴加工点坐标系，并推导构建了关于此坐标系的变换矩阵。
3）推导了元件表面曲面方程经过矩阵变换后在离轴加工点坐标系下的通用表达方程式。
4）构建匹配度评价方程，定量描述加工工具与元件之间的接触情况，有利于改进元件光学加工工艺，提升光学加工确定度，减少对经验依赖。
附图说明
图1是本发明计算实例一的加工匹配度示意图；
图2是本发明计算实例二的加工匹配度示意图；
图3是本发明实例中加工工具在元件表面离轴位置处的几何关系图；
图4是加工过程中于任意离轴位置处加工工具与元件匹配度的计算模型。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施案例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。
本实例中待加工的离轴变斜率非球面光学元件的参数为口径φ=120mm，顶点曲率R0=629.33mm，二次曲面常数k=-33.1；加工工具为口径D=50mm，半径为RL=673.64mm的半球形工具。
如图1所示为本发明实例中离轴变斜率非球面光学元件在加工过程中，加工工具处于元件顶点位置处，即离轴量为0时，从平面维度展示工具与元件之间的匹配度情况，图中横坐标与纵坐标表示磨盘在元件表面的位置，圆形区域表示磨盘在元件表面所覆盖加工的区域，横坐标表示磨盘在元件X轴方向上覆盖的区域，纵坐标表示在元件Y轴方向上覆盖的区域，右侧栏表示匹配度，不同深浅对应不同匹配度，根据X、Y坐标对应的匹配度绘制出上述圆形区域，空白区域为未覆盖区域。根据所构建模型计算结果，工具与元件曲率越接近处匹配度越好，符合推导结果。
如图2所示为本发明实例中离轴变斜率非球面光学元件在加工过程中，加工工具处于离轴位置处10mm时，在平面维度上工具与元件之间的匹配度情况，图中横坐标与纵坐标表示磨盘在元件表面的位置，圆形区域表示磨盘在元件表面所覆盖加工的区域，横坐标表示磨盘在元件X轴方向上覆盖的区域，纵坐标表示在元件Y轴方向上覆盖的区域，右侧栏表示匹配度，不同深浅对应不同匹配度，根据X、Y坐标对应的匹配度绘制出图2的上述圆形区域，空白区域为未覆盖区域。根据所构建模型计算结果，工具与元件曲率越接近处匹配度越好，并且由于处于离轴位置处加工，匹配度反映情况为非对称状态，符合推导结果。
如图3所示为本发明实例中离轴变斜率非球面光学元件与工具加工过程中，工具在元件表面加工时的工作状态，工具在表面覆盖一与工具半径相关的球面，在元件表面环绕旋转对称圆心做环带旋转运动，本发明所建立模型可评价其在任意运动位置处与元件表面的匹配情况，图中，以光学元件顶点为原点O，建立直角坐标系O-XYZ，该图为从Z轴方向观测的XOY平面，A为磨盘初始位置，磨盘顶点在加工过程中所移动到任意一处时的坐标为B，并且B与A之间的距离e即为离轴量，ω1为加工时磨盘绕元件顶点O公转时的角速度，ω2为加工时磨盘自转的角速度。
如图4所示，为本发明中所建立匹配度评价模型，当加工工具在离轴变斜率非球面光学元件表面任意离轴位置处时，以工具与元件表面相切点建立坐标系，计算工具所覆盖区域与元件表面之间的面形差，此为加工匹配度，图4为从Y轴方向观测元件的XOZ平面，O为原点，Z轴为元件矢高，X轴对应元件半径范围，B为磨盘顶点坐标，以B为原点建立坐标系B-X * Y * Z *，Y *轴平行于Y轴，e’为磨盘顶点在X轴方向上的离轴量，f 1(e’,0)为磨盘顶点位置的矢高。
根据上述分析，离轴变斜率非球面光学元件与工具在加工过程中的匹配度的评价方式主要通过构建元件表面曲面函数及加工工具表面函数在加工过程中的任意离轴位置处的表达式，并计算其间相应差值，且元件曲率与工具曲率越接近匹配情况越好，并且在离轴位置处其匹配情况为非对称状态，依次设计离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，主要方法步骤如下：
步骤S1：根据元件初始参数在空间中构建离轴变斜率非球面光学元件的曲面方程。非球面元件在空间中曲面面形计算公式如下：
Figure 649023DEST_PATH_IMAGE012
该公式为离轴变斜率非球面光学元件在三维空间中的参数方程表达式。其中，c=1/R 0为顶点曲率，R 0为顶点曲率半径，k为二次曲面系数。该方程是以非球面元件旋转对称中心顶点为原点建立坐标系而建立的数学表达式。
步骤S2：在任意离轴加工区域建立新坐标系，并构建变换矩阵。坐标系需要从以元件顶点建立的初始坐标系O-XYZ变换到局部离轴区域坐标系B-X * Y * Z *。当变换到B-X * Y * Z *坐标系下的时候，原方程经历了一次旋转变换和一次平移变换，其中坐标系原点B(e’,0,f 1(e’,0))为磨盘在离轴位置处的中心点，新坐标系的X *轴与原坐标系X轴的夹角θ为：
Figure 327129DEST_PATH_IMAGE013
则建立其旋转矩阵M r 和平移矩阵M t ：
Figure 620707DEST_PATH_IMAGE014
Figure 67869DEST_PATH_IMAGE015
则其变换矩阵为：
Figure 539432DEST_PATH_IMAGE016
其中，e’为离轴量，f 1(e’,0)为离轴点矢高，f1为求矢高的函数，f1（x，y）为初始坐标系下曲面矢高函数；
步骤S3：采用该变换矩阵，将元件表面曲面表达式变换到新坐标系下，获得新坐标系下的元件表面曲面表达式。将元件曲面表达式代入矩阵变换：
Figure 439255DEST_PATH_IMAGE017
Figure 270945DEST_PATH_IMAGE018
Figure 103772DEST_PATH_IMAGE019
获得新坐标系下的表达式为：
Figure 995504DEST_PATH_IMAGE020
其中：
Figure 382623DEST_PATH_IMAGE021
f e(x,y)为曲面方程在新坐标系下的表达式，z为元件曲面，由自变量x，y定义。
步骤S4：在当前坐标系下获得加工匹配度的评价方程为：
Figure 18004DEST_PATH_IMAGE022
其中，其中f lap 为加工工具面形函数表达式。
具体实例计算流程为：选取所需评价的离轴位置，获取离轴坐标及离轴量，将非球面元件实例参数及离轴坐标、离轴量代入步骤S3的新坐标系下表达式中，再用步骤S4中的匹配度评价方程计算匹配度分布情况。图1所示为加工工具在非球面元件实例中心点处所计算出的匹配度分布，由图1可见当加工工具在元件中心处时，离轴量为0，匹配度呈旋转对称分布，并随着元件曲率的变化情况均匀变化。由图2所示为加工工具处于离轴位置10mm处时，离轴量为10mm，匹配度呈非对称式分布。根据该匹配度分布图可直观获取加工工具在元件表面加工时与元件的匹配度情况，用于在加工前选取合适的加工工具，以及预测加工后面形质量。
本发明实例中离轴变斜率非球面光学元件与工具的匹配度评价模型是基于工具在表面覆盖一与工具半径相关的球面，在元件表面环绕旋转对称圆心做环带旋转运动所建立。
本发明针对离轴变斜率非球面光学元件的加工提出加工匹配度的概念及评价方法，以描述在加工过程中工具与元件之间的接触情况，提高加工后元件面形质量以及元件加工的确定性。
以上所述，仅是本发明的较佳设计及步骤而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳设计及步骤如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (7)

1.一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
步骤S1：根据所述离轴变斜率非球面光学元件的初始参数在空间中构建该光学元件的曲面方程；
步骤S2：在任意离轴加工区域建立新坐标系，并构建坐标系变换矩阵；所述建立新坐标系为从以光学元件顶点建立的初始坐标系O-XYZ变换到局部离轴区域坐标系B-X * Y * Z *；
步骤S3：采用所述变换矩阵，将所述曲面方程变换到所述新坐标系下，获得新坐标系下的光学元件表面的曲面表达式；
步骤S4：在当前坐标系下获得加工匹配度的评价方程。
2.如权利要求1所述的一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，其特征在于，所述步骤S1中，
所述曲面方程，即所述非球面光学元件在空间中的曲面面形计算公式表示如下：
Figure 286311DEST_PATH_IMAGE001
该公式为离轴变斜率非球面光学元件在三维空间中的参数方程表达式，其中，c=1/R 0为顶点曲率，R 0为顶点曲率半径，k为二次曲面系数，x为曲面在x轴上的坐标，y为曲面在y轴上的坐标。
3.如权利要求2所述的一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，其特征在于，所述步骤S2中：
当变换到坐标系B-X * Y * Z *下的时候，原曲面方程经历了一次旋转变换和一次平移变换，其中新坐标系以加工过程中加工工具的中心点B(e’,0,f 1(e’,0))为原点建立，新坐标系的X *轴与初始坐标系X轴的夹角θ为：
Figure 793515DEST_PATH_IMAGE002
根据所述夹角θ建立旋转矩阵M r 和平移矩阵M t ：
Figure 599797DEST_PATH_IMAGE003
Figure 508847DEST_PATH_IMAGE004
由此获得变换矩阵为：
Figure 375172DEST_PATH_IMAGE005
；
其中，e’为离轴量，f 1(e’,0)为离轴点矢高，f1（x，y）为初始坐标系下曲面矢高函数。
4.如权利要求3所述的一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，其特征在于，所述步骤S3中：
将所述曲面方程代入变换矩阵：
Figure 854826DEST_PATH_IMAGE006
，经转化，
获得新坐标系下的表达式为：
Figure 464799DEST_PATH_IMAGE007
其中：
Figure 962777DEST_PATH_IMAGE008
其中，f e(x,y)为曲面方程在新坐标系下的表达式，z为元件曲面，由自变量x，y定义。
5.如权利要求4所述的一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述加工匹配度的评价方程为：
Figure 3DEST_PATH_IMAGE009
其中，其中f lap 为加工工具面形函数表达式。
6.如权利要求1所述的一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，其特征在于，所述加工匹配度为加工工具覆盖在光学元件表面上后与光学元件之间的贴合程度。
7.如权利要求3所述的一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法，其特征在于，所述平移矩阵为沿X轴平移。
CN202210525540.6A 2022-05-16 2022-05-16 一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法 Pending CN114626767A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210525540.6A CN114626767A (zh) 2022-05-16 2022-05-16 一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210525540.6A CN114626767A (zh) 2022-05-16 2022-05-16 一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114626767A true CN114626767A (zh) 2022-06-14

Family

ID=81907300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210525540.6A Pending CN114626767A (zh) 2022-05-16 2022-05-16 一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114626767A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102866499A (zh) * 2012-09-26 2013-01-09 清华大学 非球面光学元件在传统加工阶段的目标形状优化方法
CN108279643A (zh) * 2018-01-29 2018-07-13 西南交通大学 一种基于测量点与自适应差分进化算法的工件姿态调整方法
CN110727246A (zh) * 2019-10-29 2020-01-24 江苏长虹智能装备股份有限公司 一种基于刀位文件的刀具与工件瞬时接触轮廓提取方法
CN111307102A (zh) * 2020-04-01 2020-06-19 中科院南京天文仪器有限公司 一种光学加工中获得离轴非球面面型特征的方法
CN111347294A (zh) * 2020-03-30 2020-06-30 中科院南京天文仪器有限公司 一种高陡度光学镜面误差抛光修正加工方法
WO2021179515A1 (zh) * 2020-03-11 2021-09-16 苏州大学 一种拼接法铣磨大口径非球面的方法与装置及抛光方法
CN113510568A (zh) * 2021-09-13 2021-10-19 中国科学院光电技术研究所 一种高陡度大偏离量非球面元件主动平滑方法及工具

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102866499A (zh) * 2012-09-26 2013-01-09 清华大学 非球面光学元件在传统加工阶段的目标形状优化方法
CN108279643A (zh) * 2018-01-29 2018-07-13 西南交通大学 一种基于测量点与自适应差分进化算法的工件姿态调整方法
CN110727246A (zh) * 2019-10-29 2020-01-24 江苏长虹智能装备股份有限公司 一种基于刀位文件的刀具与工件瞬时接触轮廓提取方法
WO2021179515A1 (zh) * 2020-03-11 2021-09-16 苏州大学 一种拼接法铣磨大口径非球面的方法与装置及抛光方法
CN111347294A (zh) * 2020-03-30 2020-06-30 中科院南京天文仪器有限公司 一种高陡度光学镜面误差抛光修正加工方法
CN111307102A (zh) * 2020-04-01 2020-06-19 中科院南京天文仪器有限公司 一种光学加工中获得离轴非球面面型特征的方法
CN113510568A (zh) * 2021-09-13 2021-10-19 中国科学院光电技术研究所 一种高陡度大偏离量非球面元件主动平滑方法及工具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111347294B (zh) 一种高陡度光学镜面误差抛光修正加工方法
US7619749B2 (en) Methods and apparatus of aligning surfaces
Samuel et al. Evaluation of sphericity error from form data using computational geometric techniques
Zhang et al. Polishing path planning for physically uniform overlap of polishing ribbons on freeform surface
CN112989517B (zh) 一种采用平行砂轮磨削球头后刀面的轨迹求解方法
CN111307102B (zh) 一种光学加工中获得离轴非球面面型特征的方法
Li et al. Sensitivity analysis of relationship between error motions and machined shape errors in five-axis machining center-Peripheral milling using square-end mill as test case
Wang et al. Generation of material removal map for freeform surface polishing with tilted polishing disk
CN114626767A (zh) 一种离轴变斜率非球面光学元件加工匹配度评价方法
CN113319656A (zh) 一种异型工件的磨削加工方法
Qu et al. A spiral path generation method for achieving uniform material removal depth in aspheric surface polishing
CN113065205B (zh) 一种采用平行砂轮磨削圆弧头后刀面的轨迹求解方法
Huang et al. Movement modeling and control for robotic bonnet polishing
Huang et al. Study on the impact of positioning errors on the process performance of robotic bonnet polishing
CN112179236B (zh) 一种面向装配的基于最小势能的平面装配性能评价方法
Zhang et al. Enhanced covariant-field multi-objective tool-axis optimization method and five-axis blade finishing application
CN115166969B (zh) 一种基于透镜偏心的高精度控制方法
Feng et al. The evaluation of profile errors of the leading and trailing edges of a thin-walled blade based on chord length deviation
CN112560220B (zh) 基于去除函数空间变换补偿的内腔元件离子束加工方法
Chiang et al. 3D grinding mark simulation and its applications for silicon wafer grinding
CN113758458B (zh) 一种复曲面镜的面形测量方法
CN115401536B (zh) 铰刀磨削方法、装置、数控机、计算机设备和存储介质
CN114603430B (zh) 一种深型轴棱锥光学元件表面碎带误差抑制方法
Chen et al. Material removal and tool path ripple error of bonnet polishing using pads with different groove patterns
Zhang et al. Modeling of tool influence function for the abrasive cloth flap wheel and optimization of polishing path spacing and feed rate

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20220614