CN114626096A - 晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备 - Google Patents

晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备 Download PDF

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CN114626096A CN202210277142.7A CN202210277142A CN114626096A CN 114626096 A CN114626096 A CN 114626096A CN 202210277142 A CN202210277142 A CN 202210277142A CN 114626096 A CN114626096 A CN 114626096A
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Changxin Memory Technologies Inc
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Abstract

本公开公开了一种晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备，该方法包括：获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库；响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据；确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号；根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据。以此解决目前对于系统中的闲置数据量超过系统的最大容量时，管理员会整理出所述闲置数据交由用户管理，操作方法具有被动性，在管理过程中，大批量的删除操作也可能会造成系统的不稳定，易造成误删的问题。

Description

晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备
技术领域
本公开涉及数据管理技术领域，特别涉及一种晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备。
背景技术
在半导体厂内，每时每刻都在进行着庞大的数据更新，并且随着产品的增多，用户也在不断的往系统增加数据。系统的容量毕竟是有限的，越来越多的数据会使得系统的查找速率变慢，也会消耗操作系统的性能。在实现本公开过程中，现有技术中至少存在如下问题：并没有一个完善的规则将系统中的一些无用数据进行管理，当数据量超过系统的最大容量后，管理员会整理出无关联的数据交由用户管理。但是这种操作方法具有被动性，例如，管理过程中，大批量的删除操作可能会造成系统的不稳定，还可能会有误删除的风险。
发明内容
本公开的目的是提供一种晶圆加工生产数据管理方法及装置、电子设备。用于解决目前对于系统中的一些闲置数据，当闲置数据量超过系统的最大容量后，管理员会整理出这些闲置数据交由用户管理，操作方法具有被动性，在管理过程中，大批量的删除操作也可能会造成系统的不稳定，易造成误删的问题。
第一方面，本公开实施例提供了一种晶圆加工生产数据管理方法，所述方法包括：
获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库；
响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据；
确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号；
根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据；
其中，关联数据为产生所述闲置数据的生产路径上的除所述闲置数据以外的其他数据。
在一些可能的实施例中，获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库，包括：
以预设数据汇总周期定期汇总晶圆加工生产过程中的生产数据，记录每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据；
根据每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据，构建所述数据库。
在一些可能的实施例中，汇总晶圆加工生产过程中的生产数据，记录每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据，包括：
获取当前数据汇总周期内晶圆加工生产过程中的当前生产数据；
对当前生产数据进行汇总，保留每个晶圆最后一次执行加工生产动作的第一生产数据，并构建第一临时数据库；
将第一临时数据库与所述数据库内的历史生产数据进行汇总计算，确定每个晶圆在加工生产过程中最后一次执行加工生产动作的生产数据。
在一些可能的实施例中，所述构建数据库包括：当所述第一临时数据库中存在和所述历史生产数据相同的第一关键字，则将更新时间最晚的所述第一关键字对应晶圆的当前生产数据替换所述数据库中的历史生产数据；
当所述第一临时数据库中存在所述历史生产数据中未出现的第二关键字，则将所述第二关键字对应晶圆的当前生产数据新增至所述数据库中。
在一些可能的实施例中，所述第一关键字包括晶圆标识号，所述第二关键字包括晶圆标识号。
在一些可能的实施例中，所述生产数据包括晶圆产品名称信息、晶圆批次信息、晶圆所在生产路径信息、晶圆执行动作信息、晶圆执行动作时间信息中的任意一种或上述任意的组合。
在一些可能的实施例中，所述关联数据包括晶圆生产路径、晶圆生产路径的建立时间、晶圆生产路径的申请单号中的任意一种或上述任意的组合。
在一些可能的实施例中，根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据，包括：
将所述指定账号的指示、所述闲置数据和所述关联数据发送至二级指定账号；
根据所述指定二级账号发送的管理指令，管理所述数据库中闲置数据以及所述关联数据。
在一些可能的实施例中，根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据，包括：
收到所述指定账号的确认删除指令时，将所述删除指令、所述闲置数据和所述关联数据发送至二级指定账号；
根据所述二级指定账号发送的确认删除的指令，将所述数据库中闲置数据以及所述关联数据删除。
在一些可能的实施例中，还包括：根据预设的管理时间间隔，确定到达所述管理时间间隔，触发产生闲置数据检索指令。
第二方面，本公开实施例提供了一种晶圆加工生产数据管理装置，所述装置包括：
构建模块，用于获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库；
检索模块，用于响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据；
确定模块，用于确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号；
管理模块，用于根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据；
其中，关联数据为产生所述闲置数据的生产路径上的除所述闲置数据以外的其他数据。
第三方面，本公开实施例提供一种电子设备，包括至少一个处理器；以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执上述第一方面提供的晶圆加工生产数据管理方法。
第四方面，本公开实施例提供计算机存储介质，所述计算机存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序用于使计算机执行上述第一方面提供的晶圆加工生产数据管理方法。
本公开实施例，为了解决目前没有一个完善的规则将系统中的一些无用数据的管理，当数据量超过系统的最大容量后，管理员会整理出无关联的数据交由用户管理，操作方法具有被动性，在管理过程中，大批量的删除操作也可能会造成系统的不稳定，易造成误删的问题，本公开实施例通过分级分时间段处理生产数据找出最晚动作时间的晶圆和生产该晶圆的生产路径信息，之后可以自定义时间，从而基于超过自定义时间尚未执行生产加工动作，将此阶段的晶圆生产数据，定义为闲置数据，并获得与该闲置数据关联的生产路径上的其他信息，定义为关联数据，指定账户可以查看并定期管理闲置数据以及关联数据，大大减轻了系统负担，提高查找效率，并且系统检索相较于人为检索，节省了检索时间。
本公开的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本公开而了解。本公开的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对本公开实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所介绍的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为根据本公开一个实施例的晶圆加工生产数据管理方法的流程示意图；
图2为根据本公开一个实施例的汇总晶圆加工生产过程中的生产数据的示意图；
图3为根据本公开一个实施例的晶圆加工生产数据管理方法的整体流程示意图；
图4为根据本公开一个实施例的晶圆加工生产数据管理装置示意图；
图5为根据本公开一个实施例的一种电子设备结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本公开实施例中的技术方案进行清楚、详尽地描述。在本公开实施例的描述中，除非另有说明，“/”表示或的意思，例如，A/B可以表示A或B；文本中的“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况，另外，在本公开实施例的描述中，“多个”是指两个或多于两个。
在本公开实施例的描述中，除非另有说明，术语“多个”是指两个或两个以上，其它量词与之类似应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本公开，并不用于限定本公开，并且在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
为进一步说明本公开实施例提供的技术方案，下面结合附图以及具体实施方式对此进行详细的说明。虽然本公开实施例提供了如下述实施例或附图所示的方法操作步骤，但基于常规或者无需创造性的劳动在方法中可以包括更多或者更少的操作步骤。在逻辑上不存在必要因果关系的步骤中，这些步骤的执行顺序不限于本公开实施例提供的执行顺序。方法在实际的处理过程中或者控制设备执行时，可以按照实施例或者附图所示的方法顺序执行或者并行执行。
鉴于相关技术中对于系统中的闲置数据量超过系统的最大容量时，管理员会整理出所述闲置数据交由用户管理，操作方法具有被动性，在管理过程中，大批量的删除操作也可能会造成系统的不稳定，易造成误删的问题。本公开实施例通过分级分时间段处理生产数据找出最晚动作时间的晶圆和生产该晶圆的生产路径信息，之后可以自定义时间，从而基于超过自定义时间尚未执行生产加工动作，将此阶段的晶圆生产数据，定义为闲置数据，并获得与该闲置数据关联的生产路径上的其他信息，定义为关联数据，指定账户可以查看并定期管理闲置数据以及关联数据，大大减轻了系统负担，提高查找效率，并且系统检索相较于人为检索，节省了检索时间。
本公开的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本公开而了解。本公开的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
下面结合附图对本公开实施例中的晶圆加工生产数据管理方法进行详细说明。
图1示出了本公开一个实施例提供的晶圆加工生产数据管理方法流程示意图，包括：
步骤101：获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库。
具体来讲，在半导体厂内，晶圆加工生产过程中每时每刻都在进行着庞大的数据更新，并且随着晶圆产品的增多，用户也在不断的往系统增加数据，生产数据可以包括但不限于晶圆加工生产资料或者晶圆加工生产报表。将晶圆加工生产过程中的生产数据，汇总构建关于晶圆加工生产过程中的生产数据的数据库。
作为一种可选的实施方式，所述生产数据包括晶圆产品名称信息、晶圆批次信息、晶圆所在生产路径信息、晶圆执行动作信息、晶圆执行动作时间信息中的任意一种或上述任意的组合。
步骤102：响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据。
由于系统的内存毕竟是有限的，越来越多的数据会使得系统的查找速率变慢，也会消耗操作系统的性能，所以产生了对存储的晶圆加工生产过程中产生的生产数据检索的需求和指令，以此筛选出闲置数据进行数据管理。
本公开中的闲置数据定义为生产数据中超过固定时间内未被更新，固定时间可以按数据管理需求进行预设的任何时间长度。
作为一种可选的实施方式，根据预设的管理时间间隔，确定到达所述管理时间间隔，触发产生闲置数据检索指令。
本公开中预先设置一用于触发产生闲置数据检索指令的时间间隔，也就是经过预设时间间隔进行触发动作。
步骤103：确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号。
其中，关联数据为产生所述闲置数据的生产路径上的除所述闲置数据以外的其他数据。
作为一种可选的实施方式，所述关联数据包括晶圆生产路径、晶圆生产路径的建立时间、晶圆生产路径的申请单号中的任意一种或上述任意的组合。
晶圆加工生产过程中，存在许多独立执行的工艺处理动作，可以将每个独立执行的工艺处理动作作为一个路径节点，多个按顺序执行的工艺处理动作构成晶圆加工生产过程中的一条路径。每条路径从第一个路径节点执行到最后一个路径节点会产生很多生产数据，如果一条路径上的生产数据中存在闲置数据，则该路径除闲置数据意外的其他数据本公开中定义为该闲置数据的关联数据，也就是说关联关系为同在一条路径上。
本公开实施例记录每个产品的生产路径下具体生产的晶圆的生产加工信息，通过记录相应产品下执行晶圆生产加工动作时间最晚的晶圆，反映出相应产品下生产路径的水平，检索寻找到最晚的生产路径，进而当超过固定时间这些数据均没有更新时，可以管理这些数据。
步骤104：根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据。
具体来讲，对于闲置数据以及关联数据的管理，需要根据指定账号的指示。管理闲置数据本公开包括删除闲置数据或将闲置数据发送给其他用户，或者将闲置数据存储到其他位置，此处对具体如何管理不做限定。
指定账号可以为预先申请在此机台此应用场景下建立所述闲置数据的用户，此处管理方式以删除闲置数据或关联数据为例予以说明，用户用于确认该条路径如果除了闲置数据以外的其他数据，即关联数据在固定时间内都未被更新，则用户可以直接删除整条路径；如果除了闲置数据以外的其他数据，即关联数据在固定时间内有一个被更新，则用户需要根据自身需求权衡是否删除整条路径，因为此路径上存在数据在固定时间内使用过的情况，也就是说此路径不是一个闲置状态。本公开中可以但不限于通过报表的形式以邮件的方式发送给指定账号。
作为一种可选的实施方式，根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据，包括：
将所述指定账号的指示、所述闲置数据和所述关联数据发送至二级指定账号；
根据所述指定二级账号发送的管理指令，管理所述数据库中闲置数据以及所述关联数据。
作为一种可选的实施方式，收到所述指定账号的确认删除指令时，将所述删除指令、所述闲置数据和所述关联数据发送至二级指定账号；
根据所述二级指定账号发送的确认删除的指令，将所述数据库中闲置数据以及所述关联数据删除。
具体来讲，本公开包括但不限于通过两级指定账号确认如何管理闲置数据和关联数据，此处管理方式以删除闲置数据或关联数据为例予以说明，第一级为上述指定账号，第二级为上述二级指定账号，二级指定账号可以为系统管理员，系统将上述指定账号确定待删除的所述闲置数据和所述关联数据发送给系统管理员，系统管理员确认可以删除后，对所述数据库中闲置数据以及所述关联数据执行删除操作。
通过两级指定账号两级确认，降低了对数据误删的风险。
本公开通过对闲置数据检索，定期管理闲置数据和关联数据，大大减轻了系统负担，提高查找效率，并且系统检索相较于人为检索，节省了检索时间。
作为一种可选的实施方式，获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库，包括：
以预设数据汇总周期定期汇总晶圆加工生产过程中的生产数据，记录每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据；
根据每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据，构建所述数据库。
具体来讲，预先设置数据汇总周期，可以是一周或者半年或者其他。在构建数据库过程中始终记录每个晶圆加工生产过程中最新的数据，即晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据。
数据库并不是把所有生产报表数据都收录，收录的始终是每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据。
作为一种可选的实施方式，汇总晶圆加工生产过程中的生产数据，记录每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据，包括：
获取当前数据汇总周期内晶圆加工生产过程中的当前生产数据；
对当前生产数据进行汇总，保留每个晶圆最后一次执行加工生产动作的第一生产数据，并构建第一临时数据库；
将第一临时数据库与所述数据库内的历史生产数据进行汇总计算，确定每个晶圆在加工生产过程中最后一次执行加工生产动作的生产数据。
构建的第一临时数据库是用来与数据库内历史生产数据进行比较，作为一种可选的实施方式，当所述第一临时数据库中存在和所述历史生产数据相同的第一关键字，则将更新时间最晚的所述第一关键字对应晶圆的当前生产数据替换所述数据库中的历史生产数据；
当所述第一临时数据库中存在所述历史生产数据中未出现的第二关键字，则将所述第二关键字对应晶圆的当前生产数据新增至所述数据库中。
其中，作为一种可选的实施方式，所述第一关键字包括晶圆标识号，所述第二关键字包括晶圆标识号。
晶圆标识号是用于唯一标识晶圆的。
具体来讲，参见图2，假设数据汇总周期为天，前一天的数据为基础数据。首先获取当天的晶圆加工生产过程中机台产生的当前生产数据对应的数据列表，参见图左上方表A中，对表A中的数据进行汇总，提炼找出每个晶圆最后一次执行加工生产动作的第一生产数据，即最晚动作的执行时间对应的数据行，产品A的出站时间比产品A的进站时间晚，所以对于产品A提炼其出站对应行数据，由于产品C只有一个暂停时间，没有其他动作，所以把产品C对应的暂停时间对应行数据提炼出来，得到表A的提炼表A，将提炼表A中的数据构建为第一临时数据库；然后获取前一天的晶圆加工生产过程中机台产生的历史生产数据对应的数据列表，参见图左下方表B中，对表B中的数据进行提炼找出最晚动作时间对应的数据行，产品A的出站时间比产品A的进站时间晚，所以对于产品A提炼其出站对应行数据，由于产品B只有一个进站时间，没有其他动作，所以把产品B对应的进站时间对应行数据提炼出来，得到表B的提炼表B，然后提炼表B与所述临时数据库进行对比，得到图中最右边的汇总数据表H。
对于第一临时数据库中存在所述历史生产数据中未出现的第二关键字即提炼表A的第二数据项产品C对应的数据行，由于产品C没有可比较的对象，则将所述第二关键字对应晶圆的当前生产数据新增至所述数据库中，即将产品C对应的数据行放入汇总数据表H中。同理将提炼表B中的产品B对应的数据行放入汇总数据表H中。
对于第一临时数据库中存在和所述历史生产数据相同的第一关键字，即产品A对应的数据行同时出现在历史数据和当前数据对应的提炼表中，将更新时间最晚的所述第一关键字对应晶圆的当前生产数据，替换所述数据库中的历史生产数据，即提炼表A中产品A所在数据行替换历史生产数据中提炼表B中产品A所在数据行。
下面参见图3晶圆加工生产数据管理方法的整体流程示意图，其中管理数据以删除操作管理为例：
步骤1：确定预设的固定时间；
步骤2：判断生产数据中是否存在超过固定时间内未被更新的闲置数据，若存在执行步骤4，若不存在执行步骤3；
步骤3：不带出数据；
步骤4：带出闲置数据以及与所述闲置数据相关联的关联数据；
步骤5：通过邮件发送给指定账户；
步骤6：判断是否可直接删除，若是执行步骤7，若否执行步骤8；
步骤7：执行删除操作；
步骤8：保留数据。
实施例2
基于相同的发明构思，本公开还提供一种晶圆加工生产数据管理装置，如图4所示，该装置包括：
构建模块401，用于获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库；
检索模块402，用于响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据；
确定模块403，用于确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号；
管理模块404，用于根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据；
其中，关联数据为产生所述闲置数据的生产路径上的除所述闲置数据以外的其他数据。
可选地，构建模块401具体用于以预设数据汇总周期定期汇总晶圆加工生产过程中的生产数据，记录每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据；
根据每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据，构建所述数据库。
可选地，构建模块401具体用于获取当前数据汇总周期内晶圆加工生产过程中的当前生产数据；
对当前生产数据进行汇总，保留每个晶圆最后一次执行加工生产动作的第一生产数据，并构建第一临时数据库；
将第一临时数据库与所述数据库内的历史生产数据进行汇总计算，确定每个晶圆在加工生产过程中最后一次执行加工生产动作的生产数据。
可选地，构建模块401具体用于，当所述第一临时数据库中存在和所述历史生产数据相同的第一关键字，则将更新时间最晚的所述第一关键字对应晶圆的当前生产数据替换所述数据库中的历史生产数据；
当所述第一临时数据库中存在所述历史生产数据中未出现的第二关键字，则将所述第二关键字对应晶圆的当前生产数据新增至所述数据库中。
可选地，所述第一关键字包括晶圆标识号，所述第二关键字包括晶圆标识号。
可选地，所述生产数据包括晶圆产品名称信息、晶圆批次信息、晶圆所在生产路径信息、晶圆执行动作信息、晶圆执行动作时间信息中的任意一种或上述任意的组合。
可选地，所述关联数据包括晶圆生产路径、晶圆生产路径的建立时间、晶圆生产路径的申请单号中的任意一种或上述任意的组合。
可选地，管理模块404具体用于，根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据，包括：
将所述指定账号的指示、所述闲置数据和所述关联数据发送至二级指定账号；
根据所述指定二级账号发送的管理指令，管理所述数据库中闲置数据以及所述关联数据。
可选地，管理模块404具体用于，根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据，包括：
收到所述指定账号的确认删除指令时，将所述删除指令、所述闲置数据和所述关联数据发送至二级指定账号；
根据所述二级指定账号发送的确认删除的指令，将所述数据库中闲置数据以及所述关联数据删除。
可选地，检索模块402还用于：根据预设的管理时间间隔，确定到达所述管理时间间隔，触发产生闲置数据检索指令。
在介绍了本公开示例性实施方式的晶圆加工生产数据管理方法和装置之后，接下来，介绍根据本公开的另一示例性实施方式的电子设备。
所属技术领域的技术人员能够理解，本公开的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本公开的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施方式、完全的软件实施方式(包括固件、微代码等)，或硬件和软件方面结合的实施方式，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。
在一些可能的实施方式中，根据本公开的电子设备可以至少包括至少一个处理器、以及至少一个存储器。其中，存储器存储有程序代码，当程序代码被处理器执行时，使得处理器执行本说明书上述描述的根据本公开各种示例性实施方式的晶圆加工生产数据管理方法中的步骤。
下面参照图5来描述根据本公开的这种实施方式的电子设备130，即上述晶圆加工生产数据管理设备。图5显示的电子设备130仅仅是一个示例，不应对本公开实施例的功能和使用范围带来任何限制。
如图5所示，电子设备130以通用电子设备的形式表现。电子设备130的组件可以包括但不限于：上述至少一个处理器131、上述至少一个存储器132、连接不同系统组件(包括存储器132和处理器131)的总线133。
总线133表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储器总线或者存储器控制器、外围总线、处理器或者使用多种总线结构中的任意总线结构的局域总线。
存储器132可以包括易失性存储器形式的可读介质，例如随机存取存储器(RAM)1321和/或高速缓存存储器1322，还可以进一步包括只读存储器(ROM)1323。
存储器132还可以包括具有一组(至少一个)程序模块1324的程序/实用工具1325，这样的程序模块1324包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。
电子设备130也可以与一个或多个外部设备134(例如键盘、指向设备等)通信，还可与一个或者多个使得用户能与电子设备130交互的设备通信，和/或与使得该电子设备130能与一个或多个其它电子设备进行通信的任何设备(例如路由器、调制解调器等等)通信。这种通信可以通过输入/输出(I/O)接口135进行。并且，电子设备130还可以通过网络适配器136与一个或者多个网络(例如局域网(LAN)，广域网(WAN)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图所示，网络适配器136通过总线133与用于电子设备130的其它模块通信。应当理解，尽管图中未示出，可以结合电子设备130使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理器、外部磁盘驱动阵列、RAID系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。
在一些可能的实施方式中，本公开提供的一种晶圆加工生产数据管理方法的各个方面还可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当程序产品在计算机设备上运行时，程序代码用于使计算机设备执行本说明书上述描述的根据本公开各种示例性实施方式的一种晶圆加工生产数据管理方法的步骤。
程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以是——但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。
本公开的实施方式的用于监控的程序产品可以采用便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)并包括程序代码，并可以在电子设备上运行。然而，本公开的程序产品不限于此，在本文件中，可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。
可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读信号介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质，该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。
可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、有线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。
可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本公开操作的程序代码，程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、C++等，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户电子设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户电子设备上部分在远程电子设备上执行、或者完全在远程电子设备或服务端上执行。在涉及远程电子设备的情形中，远程电子设备可以通过任意种类的网络——包括局域网(LAN)或广域网(WAN)—连接到用户电子设备，或者，可以连接到外部电子设备(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。
应当注意，尽管在上文详细描述中提及了装置的若干单元或子单元，但是这种划分仅仅是示例性的并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多单元的特征和功能可以在一个单元中具体化。反之，上文描述的一个单元的特征和功能可以进一步划分为由多个单元来具体化。
此外，尽管在附图中以特定顺序描述了本公开方法的操作，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些操作，或是必须执行全部所示的操作才能实现期望的结果。附加地或备选地，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，和/或将一个步骤分解为多个步骤执行。
本领域内的技术人员应明白，本公开的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本公开可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本公开可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本公开是参照根据本公开实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和方框图中的流程和方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
尽管已描述了本公开的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本公开范围的所有变更和修改。
显然，本领域的技术人员可以对本公开进行各种改动和变型而不脱离本公开的精神和范围。这样，倘若本公开的这些修改和变型属于本公开权利要求及其等同技术的范围之内，则本公开也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (14)

1.一种晶圆加工生产数据管理方法，其特征在于，所述方法包括：
获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库；
响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据；
确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号；
根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据；
其中，关联数据为产生所述闲置数据的生产路径上的除所述闲置数据以外的其他数据。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库，包括：
以预设数据汇总周期定期汇总晶圆加工生产过程中的生产数据，记录每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据；
根据每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据，构建所述数据库。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，汇总晶圆加工生产过程中的生产数据，记录每个晶圆最后一次执行加工生产动作的生产数据，包括：
获取当前数据汇总周期内晶圆加工生产过程中的当前生产数据；
对当前生产数据进行汇总，保留每个晶圆最后一次执行加工生产动作的第一生产数据，并构建第一临时数据库；
将第一临时数据库与所述数据库内的历史生产数据进行汇总计算，确定每个晶圆在加工生产过程中最后一次执行加工生产动作的生产数据。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述构建数据库包括：当所述第一临时数据库中存在和所述历史生产数据相同的第一关键字，则将更新时间最晚的所述第一关键字对应晶圆的当前生产数据替换所述数据库中的历史生产数据；
当所述第一临时数据库中存在所述历史生产数据中未出现的第二关键字，则将所述第二关键字对应晶圆的当前生产数据新增至所述数据库中。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一关键字包括晶圆标识号，所述第二关键字包括晶圆标识号。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生产数据包括晶圆产品名称信息、晶圆批次信息、晶圆所在生产路径信息、晶圆执行动作信息、晶圆执行动作时间信息中的任意一种或上述任意的组合。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述关联数据包括晶圆生产路径、晶圆生产路径的建立时间、晶圆生产路径的申请单号中的任意一种或上述任意的组合。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据，包括：
将所述指定账号的指示、所述闲置数据和所述关联数据发送至二级指定账号；
根据所述指定二级账号发送的管理指令，管理所述数据库中闲置数据以及所述关联数据。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据，包括：
收到所述指定账号的确认删除指令时，将所述删除指令、所述闲置数据和所述关联数据发送至二级指定账号；
根据所述二级指定账号发送的确认删除的指令，将所述数据库中闲置数据以及所述关联数据删除。
10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
根据预设的管理时间间隔，确定到达所述管理时间间隔，触发产生闲置数据检索指令。
11.一种晶圆加工生产数据管理装置，其特征在于，该装置包括：
构建模块，用于获取晶圆加工生产过程中的生产数据，构建数据库；
检索模块，用于响应于检索所述数据库的检索指令，确定所述生产数据中超过固定时间内未被更新的闲置数据；
确定模块，用于确定与所述闲置数据相关联的关联数据，将所述闲置数据以及所述关联数据发送给指定账号；
管理模块，用于根据所述指定账号的指示，管理所述闲置数据以及所述关联数据；
其中，关联数据为产生所述闲置数据的生产路径上的除所述闲置数据以外的其他数据。
12.一种电子设备，其特征在于，包括至少一个处理器；以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行如权利要求1-10中任一项所述的方法。
13.一种计算机存储介质，其特征在于，所述计算机存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序用于使计算机执行如权利要求1-10中任一项所述的方法。
14.一种计算机程序产品，其特征在于，包括计算机程序指令，其特征在于，所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1-10任一项所述的方法。
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CN114782030A (zh) * 2022-06-24 2022-07-22 硕广达微电子(深圳)有限公司 一种基于大数据项目智能管理系统及方法

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