CN114624802A - 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 - Google Patents
一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114624802A CN114624802A CN202210521079.7A CN202210521079A CN114624802A CN 114624802 A CN114624802 A CN 114624802A CN 202210521079 A CN202210521079 A CN 202210521079A CN 114624802 A CN114624802 A CN 114624802A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- main body
- dimensional grating
- photonic crystal
- body part
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 claims abstract description 102
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 241000446313 Lamella Species 0.000 claims 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 11
- 230000004424 eye movement Effects 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000003190 augmentative effect Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical group Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/002—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of materials engineered to provide properties not available in nature, e.g. metamaterials
- G02B1/005—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements made of materials engineered to provide properties not available in nature, e.g. metamaterials made of photonic crystals or photonic band gap materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/01—Head-up displays
- G02B27/0101—Head-up displays characterised by optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1847—Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
- G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
- G02B6/0013—Means for improving the coupling-in of light from the light source into the light guide
- G02B6/0023—Means for improving the coupling-in of light from the light source into the light guide provided by one optical element, or plurality thereof, placed between the light guide and the light source, or around the light source
- G02B6/0026—Wavelength selective element, sheet or layer, e.g. filter or grating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
本发明实施例涉及光学器件技术领域，公开了一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备，二维光栅包括平铺排列的矩形重复单元，其中心设置有光子晶体，自矩形重复单元的四个顶点向其内延伸分别设置有瓣状柱体，自单个矩形重复单元的四个顶点向内延伸分别设置的瓣状柱体可拼接成光子晶体，分别分布于具有共用顶点的四个矩形重复单元内、自共用顶点分别向四个矩形重复单元内延伸设置的瓣状柱体构成光子晶体，本申请的二维光栅能够通过调节光子晶体及其主体部和副支部的尺寸、形状等优化参数，实现高自由度的能量分布调节，从而对不同耦出区域的不同衍射级次之间的衍射效率进行更自由灵活的调整，使得眼动范围内人眼观察到的像效果更好。
Description
技术领域
本发明实施例涉及光学器件技术领域，特别涉及一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备。
背景技术
增强现实技术（Augmented Reality，AR）是将虚拟信息与现实世界融合在一起的科学技术，并随着近来元宇宙概念的爆火，增强现实眼镜有望作为新一代信息平台取代智能手机，掀起下一代科技革命。目前由于应用场景与软件生态的限制，增强现实眼镜主要应用于安防和工业领域，其借助无与伦比的显示便捷性，解放了使用者的双手，并配合其他传感器可提供给用户全新的交互体验，显著提升团队协作效率。
作为新一代显示平台，增强现实眼镜经过了多次技术迭代，目前被普遍接受的主要有棱镜方案、birdbath方案、自由曲面方案和波导方案。前三者体积较大，限制了其在智能穿戴方面，即增强现实眼镜方面的应用，而波导是目前最佳的增强现实眼镜方案。
波导方案又分为几何波导方案、浮雕光栅波导方案和体全息波导方案。几何波导方案是使用阵列的镀膜半透半反射镜来达到虚拟信息的显示，但是该方案的视场和眼动范围受限，而且阵列镜片会给画面带来条纹效果，所以几何波导方案无法给人眼呈现最佳的显示效果。体全息波导方案目前在大规模量产上受到了限制。浮雕光栅波导方案由于纳米压印的便利性是目前研究最多的技术方案，具有大视场和大眼动范围的优势。浮雕光栅波导目前的方案路径主要有基于一维光栅的波导方案和基于二维光栅的波导方案。
其中，一维光栅波导分为耦入区域、扩展区域和耦出区域，扩展区域需要占用较大面积，从而限制了视场和眼动范围。二维光栅波导分为耦入区域和耦出区域，耦出区域使用二维光栅结构兼顾了扩展和耦出的功能，因此在同样大小的波导片上，二维光栅结构可以提供更大的视场角与眼动范围内。
在实现本发明实施例过程中，发明人发现以上相关技术中至少存在如下问题：目前基于二维光栅结构的光波导方案中，在耦出区域使用的二维光栅结构通常为圆柱结构和菱形结构，这两种结构可调节参数较少，对不同衍射级次之间的能量分布调节自由度低。
发明内容
本申请实施例提供了一种新型的二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备。
本发明实施例的目的是通过如下技术方案实现的：
为解决上述技术问题，第一方面，本发明实施例中提供了一种二维光栅，包括沿水平方向和竖直方向周期性平铺排列在波导片表面的矩形重复单元，所述矩形重复单元的中心设置有光子晶体，自所述矩形重复单元的四个顶点向所述矩形重复单元内延伸分别设置有瓣状柱体，自单个所述矩形重复单元的四个顶点向内延伸分别设置的瓣状柱体可拼接成所述光子晶体，分别分布于具有共用顶点的四个所述矩形重复单元内、自所述共用顶点分别向四个所述矩形重复单元内延伸设置的瓣状柱体构成所述光子晶体。
在一些实施例中，所述光子晶体由主体部和至少一个副支部部分重合形成，当所述主体部为六棱柱结构时，所述主体部的横切面的各顶点分别与中心连接，将所述主体部的横切面划分为六份，所述副支部的横切面的中心设置于所述主体部的横切面的划分线或所述划分线的远离中心一侧的延长线上、使所述副支部与所述主体部部分重合，相邻的两个所述副支部不相接。
在一些实施例中，所述光子晶体由主体部和至少一个副支部部分重合形成，当所述主体部为圆柱体结构时，所述主体部的横切面的圆周上至少两个间隔相等的点分别与圆心连接，将所述主体部的横切面均分为至少两份，所述副支部的横切面的中心设置于所述主体部的横切面的均分半径或所述均分半径的远离圆心一侧的延长线上、使所述副支部与所述主体部部分重合，相邻的两个所述副支部不相接。
在一些实施例中，各所述副支部为六棱柱结构、圆柱体结构或椭圆柱体结构。
在一些实施例中，所述主体部和所述副支部皆为六棱柱结构时，在所述主体部的横切面上，中心到顶点的距离为10nm-1μm，在所述副支部的横切面上，中心到顶点的距离为10nm-1μm，在同一横切面上，所述主体部的中心到所述副支部的中心的距离为20nm-2μm。
在一些实施例中，所述主体部和所述副支部皆为圆柱体结构时，所述主体部的横切面的半径和所述副支部的横切面的的半径皆为10nm-1μm。
在一些实施例中，所述主体部为圆柱体结构，且所述副支部皆为椭圆柱结构时，在同一横切面上，所述副支部的长轴位于所述主体部的半径延长线上，所述副支部的半长轴的长度为20nm-1μm，所述副支部的半短轴的长度为10nm-800nm，所述主体部的圆心到所述副支部的中心的距离为20nm-2μm。
在一些实施例中，所述二维光栅在水平方向上的周期与在竖直方向上的周期之比为√3：1。
在一些实施例中，所述二维光栅在水平方向上的周期为200nm-2μm。
在一些实施例中，所述光子晶体和所述瓣状柱体的高度为10nm-1μm。
在一些实施例中，在所述光子晶体的横切面上，相邻的两个所述副支部的中心与所述主体部的中心的连线的夹角为60°、120°或180°。
在一些实施例中，所述副支部的顶面和/或所述主体部的顶面与所述光子晶体的横切面之间的夹角为0-70°。
在一些实施例中，所述光子晶体的顶面呈阶梯状，且阶梯的层数为2-10，阶梯的宽度为1-500nm，阶梯的深度为1-500nm。
为解决上述技术问题，第二方面，本发明实施例中提供了一种二维光栅的形成方法，包括：根据对光线耦出效率的需求，确定如第一方面所述的二维光栅的优化变量，其中，所述优化变量包括：形成所述光子晶体的主体部和副支部的形状、副支部的数量、主体部与副支部的重合方式、两个副支部的横切面的中心分别与主体部的横切面的中心的连线之间的夹角、主体部和副支部的尺寸和/或主体部的横切面的中心和副支部的横切面的中心之间的距离、所述光子晶体的形状和尺寸、所述光子晶体的顶面的形状和尺寸、所述二维光栅在水平方向上的周期、和/或所述二维光栅在竖直方向上的周期；根据所述优化变量在波导片上进行刻蚀作业以形成所述二维光栅。
为解决上述技术问题，第三方面，本发明实施例提供了一种光波导，包括：波导片；耦入结构，设置在所述波导片的入光侧；由如第一方面所述的二维光栅构成的耦出结构，设置在所述波导片的出光侧。
为解决上述技术问题，第四方面，本发明实施例还提供了一种近眼显示设备，包括：如第四方面所述的光波导。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明实施例中提供了一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备，包括沿水平方向和竖直方向周期性平铺排列在波导片表面的矩形重复单元，所述矩形重复单元的中心设置有光子晶体，自所述矩形重复单元的四个顶点向所述矩形重复单元内延伸分别设置有瓣状柱体，自单个所述矩形重复单元的四个顶点向内延伸分别设置的瓣状柱体可拼接成所述光子晶体，分别分布于具有共用顶点的四个所述矩形重复单元内、自所述共用顶点分别向四个所述矩形重复单元内延伸设置的瓣状柱体构成所述光子晶体。本发明实施例提供的二维光栅中由于存在瓣状结构，能够通过调节光子晶体及其主体部和副支部的尺寸、形状等优化参数，实现高自由度的能量分布调节，从而对不同耦出区域的不同衍射级次之间的衍射效率进行更自由灵活的调整，使得眼动范围内人眼观察到的像效果更好。
附图说明
一个或多个实施例中通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件/模块和步骤表示为类似的元件/模块和步骤，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
图1是本发明实施例一提供的一种二维光栅的结构示意图；
图2是图1所示二维光栅中单个矩形重复单元的结构的俯视图；
图3（a）是图1所示二维光栅中单个光子晶体的立体图；
图3（b）是图3（a）所示光子晶体的一种衍射级次及衍射效率图；
图4是本发明实施例一提供的一种不同于图3（a）示例的副支部尺寸的光子晶体的立体图；
图5是本发明实施例一提供的一种不同于图3（a）示例的且具有一个副支部的光子晶体的立体图；
图6是本发明实施例一提供的一种不同于图3（a）示例的且具有三个副支部的光子晶体的立体图；
图7（a）是本发明实施例二提供的一种二维光栅中单个光子晶体的结构的立体图；
图7（b）是图7（a）所示光子晶体的一种衍射级次及衍射效率图；
图8（a）是本发明实施例二提供的一种不同于图7（a）示例的且具有两个副支部的光子晶体的立体图；
图8（b）是图8（a）所示光子晶体的一种衍射级次及衍射效率图；
图9是本发明实施例二提供的一种不同于图7（a）示例的另一种具有三个副支部的光子晶体的立体图；
图10是本发明实施例二提供的一种不同于图7（a）示例的且具有六个副支部的光子晶体的立体图；
图11是本发明实施例二提供的一种不同于图9示例的具有椭圆柱结构的副支部的光子晶体的立体图；
图12是本发明实施例二提供的一种不同于图10示例的具有椭圆柱结构的副支部的光子晶体的立体图；
图13是本发明实施例二提供的一种不同于图9示例的副支部的顶面与主体部的顶面存在一定的角度的光子晶体的立体图；
图14是本发明实施例二提供的一种不同于图9示例的主体部和副支部的顶面与光子晶体的横切面存在一定的角度的光子晶体的立体图；
图15是本发明实施例二提供的一种不同于图9示例的光子晶体顶面呈阶梯状的光子晶体的立体图；
图16是本实施例三提供的一种二维光栅的形成方法的流程示意图；
图17是本实施例四提供的一种光波导的结构示意图；
图18是本实施例五提供的一种近眼显示设备的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
需要说明的是，如果不冲突，本发明实施例中的各个特征可以相互结合，均在本申请的保护范围之内。另外，虽然在装置示意图中进行了功能模块划分，在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于装置中的模块划分，或流程图中的顺序执行所示出或描述的步骤。
除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本说明书中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是用于限制本发明。本说明书所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
为了解决目前二维光栅可调参数少，能量分布调节自由度低的问题，本发明实施例提供了一种新型的二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备，该二维光栅能够通过调节光子晶体及其主体部和副支部的尺寸、形状等优化参数，实现高自由度的能量分布调节，从而对不同耦出区域的不同衍射级次之间的衍射效率进行更自由灵活的调整，使得眼动范围内人眼观察到的像效果更好。其中，所述光子晶体包括主体部和至少一个副支部，所述主体部和/或所述副支部可以是六棱柱结构或圆柱体结构，所述副支部还可以是椭圆柱体结构，且相邻的两个所述副支部不相接。
具体地，下面结合附图，对本发明实施例作进一步阐述。
实施例一
本发明实施例提供了一种二维光栅，请参见图1、图2和图3（a），其中，图1示出了本发明实施例提供的一种二维光栅的结构的俯视图，图2示出了图1所示二维光栅中单个矩形重复单元的结构的俯视图，图3（a）示出了图1所示二维光栅中单个光子晶体的结构的立体图。具体地，所述二维光栅1，包括沿水平方向（X方向）和竖直方向（Y方向）周期性平铺排列在波导片表面的矩形重复单元10，所述矩形重复单元10的中心设置有光子晶体11，自所述矩形重复单元10的四个顶点向所述矩形重复单元10内延伸皆设置有瓣状柱体（12a、12b、12c和12d），分布于共用一个顶点的四个所述矩形重复单元10内、自共用顶点分别延伸设置的瓣状柱体拼接后形成所述光子晶体11，分别自单个所述矩形重复单元10的四个顶点向内延伸设置的瓣状柱体（12a、12b、12c和12d）拼接后的形状与所述光子晶体11的形状相同，分别分布于具有共用顶点的四个所述矩形重复单元10内、自所述共用顶点分别向各个所述矩形重复单元10内延伸设置的瓣状柱体构成所述光子晶体11。例如，图2所示左上角的瓣状柱体12a可为所述光子晶体11的四分之一，其与分别分布于与瓣状柱体12a所在的矩形重复单元10具有共同顶点的三个矩形重复单元内、自所述共用顶点分别向所述三个所述矩形重复单元10内延伸设置的瓣状柱体12b、12c和12d构成所述光子晶体11A。
且有，在图1、图2和图3（a）所示实施例中，所述光子晶体11由主体部11a和副支部11b部分重合形成，所述主体部11a为六棱柱结构，所述六棱柱结构的至少一个顶点向外延伸以形成所述副支部11b且所述主体部11a和所述副支部11b融合为一体，所述主体部11a的横切面的各顶点O”分别与中心O连接，将所述主体部11a的横切面划分为六份，以所述副支部11b的横切面的中心O’设置于所述主体部11a的横切面的划分线或所述划分线的远离中心一侧的延长线上、使所述副支部11b与所述主体部11a部分重合，且相邻的两个所述副支部11b不相接。其中，图3（a）中以存在六个副支部11b为例，且各所述副支部11b为六棱柱结构，此时所述副支部11b的横切面的一个顶点设置于所述副支部11b的横切面的中心O’与所述主体部11a的横切面的中心O之间；也即：以副支部11b的横切面的中心O’与一个顶点的连线沿主体部11a的横切面的划分线向主体部11a靠近，使副支部11b与主体部11a部分融合。进一步地，在其他的一些实施方式中，所述六棱柱结构可为正六棱柱结构，具体可根据实际需要设置所述六棱柱结构的尺寸和形状等。
且有，在图1、图2和图3（a）所示实施例中，在所述主体部11a的六棱柱结构的横切面上，中心O到顶点O”的距离l1为10nm-1μm；在所述副支部11b的六棱柱结构的横切面上，中心O’到顶点的距离l2为10nm-1μm；在所述光子晶体11的同一横切面上，所述主体部11a的中心O到所述副支部11b的中心O’的距离l3为20nm-2μm。
且有，在图1、图2和图3（a）所示实施例中，所述矩形重复单元10在水平方向（X方向）的尺寸与在竖直方向（Y方向）的尺寸之比为√3：1，也即所述二维光栅1在水平方向上的周期与在竖直方向上的周期之比为√3：1。且有，在图1、图2和图3（a）所示实施例中，所述矩形重复单元10在水平方向（X方向）上的尺寸为200nm-2μm，也即所述二维光栅1在水平方向的周期为200nm-2μm。且有，在图1、图2和图3（a）所示实施例中，所述光子晶体11和所述瓣状柱体12的高度H为10nm-1μm。
且有，在图1、图2和图3（a）所示实施例中，在所述光子晶体11的横切面上，相邻的两个所述副支部11b的中心O’与所述主体部11a的中心O的连线的夹角α可以为60°、120°或180°，且图3（a）所示示例中夹角α为60°。
本发明实施例提供的二维光栅1的光子晶体11在耦出光线时，请参见图3（b），其示出了图3（a）所示光子晶体的一种衍射级次及衍射效率，能够实现如图3（b）所示的不同衍射级次的衍射效率，眼动范围内人眼可观察到的图像效果较好，且该二维光栅的结构也较为简单，易于加工。
且有，本发明实施例提供的二维光栅1可通过调整所述主体部11a的形状、所述副支部11b的形状、所述副支部11b的数量、所述主体部11a的中心O到顶点O”的距离l1、所述副支部11b的中心O’到顶点的距离l2、所述主体部11a的中心O到所述副支部11b的中心O’的距离l3、所述矩形重复单元10在水平方向（X方向）和竖直方向（Y方向）上的周期大小、所述光子晶体11和所述瓣状柱体12的高度、相邻的两个所述副支部11b的中心O’与所述主体部11a的中心O的连线的夹角α等优化参数来调节各个衍射级次之间的能量分布，大大提升了能量分布调节的自由度，对不同耦出区域的不同衍射级次之间的衍射效率能够进行更自由灵活的调整。例如，图4示出了与图3（a）结构和形状基本相似，仅所述副支部11b与主体部11a的重合部分的尺寸不同，具体地为所述副支部11b的中心O’到顶点的距离l2不同，其他参数相同的一种光子晶体11的结构，通过调整上述优化参数可实现对所述二维光栅1的衍射效率的调整。
在本发明图1、图2和图3（a）所示实施例中，所述副支部11b的数量为六个，分别通过所述主体部11a六个顶点延伸形成，在其他的一些实施例中，所述副支部11b的数量还可以是一到五个，例如，图5示出了所述二维光栅1中的光子晶体11具有一个所述副支部11b的示例，图6示出了所述二维光栅1中的光子晶体11具有三个所述副支部11b的示例。
在其他的一些实施例中，所述副支部11b的顶面和/或所述主体部11a的顶面所述光子晶体11的横切面之间存在一定的角度且夹角为：0-70°。
在其他的一些实施例中，所述光子晶体11的顶面还可以是呈阶梯状，且阶梯的层数为2-10，阶梯的宽度为1-500nm，阶梯的深度为1-500nm。
实施例二
本发明实施例提供了一种二维光栅，其中，与上述实施例一及图1和图2相似的，本发明实施例提供的二维光栅，同样包括沿水平方向和竖直方向周期性平铺排列在波导片表面的矩形重复单元，所述矩形重复单元的中心设置有光子晶体，自所述矩形重复单元的四个顶点向所述矩形重复单元内延伸皆设置有瓣状柱体，分布于共用一个顶点的四个所述矩形重复单元内、自共用顶点分别延伸设置的瓣状柱体拼接后形成所述光子晶体，分别自单个所述矩形重复单元的四个顶点向内延伸设置的瓣状柱体拼接后的形状与所述光子晶体的形状相同，分别分布于具有共用顶点的四个所述矩形重复单元内、自所述共用顶点分别向各个所述矩形重复单元内延伸设置的瓣状柱体构成所述光子晶体。
与上述实施例一不同之处在于，请参见图7（a），其示出了本发明实施例提供的一种二维光栅中单个光子晶体的结构的立体图，所述光子晶体11由主体部11a和至少一个副支部11b部分重合形成，所述主体部11a为圆柱体结构，所述圆柱体结构的侧面向外延伸以形成至少一个所述副支部11b，所述主体部11a的横切面的圆周上至少两个间隔相等的点分别与圆心O连接，将所述主体部11a的横切面均分为至少两份，也即在横切面方向上将所述主体部11a均分为至少两份，所述副支部11b的横切面的中心O’设置于沿所述主体部11a的横切面的均分半径或所述均分半径的远离圆心一侧的延长线上、使所述副支部11b与所述主体部11a部分重合，且相邻的两个所述副支部11b不相接。其中，图7（a）中以存在三个副支部11b为例，所述主体部11a的横切面的圆周上存在三个等间隔的点分别与圆心O连接，将所述主体部11a的横切面均分为三份，且所述主体部11a和所述副支部11b皆为圆柱结构。
且有，在图7（a）所示实施例中，在同一横切面上，所述主体部11a的圆心O到所述副支部11b的圆心O’的距离l3为20nm-2μm。且有，在本发明实施例中，所述矩形重复单元在水平方向的尺寸与在竖直方向的尺寸之比为√3：1，也即所述二维光栅1在水平方向上的周期与在竖直方向上的周期之比为√3：1。且有，在本发明实施例中，所述矩形重复单元在水平方向上的尺寸为200nm-2μm，也即所述二维光栅1在水平方向的周期为200nm-2μm。且有，在7（a）所示实施例中，所述光子晶体11和所述瓣状柱体的高度H为10nm-1μm。且有，在图7（a）所示实施例中，在所述光子晶体11的同一横切面上，相邻的两个所述副支部11b的中心O’与所述主体部11a的中心O的连线的夹角α可以为60°、120°或180°，且图7（a）所示示例中夹角α为120°。且有，在7（a）所示实施例中，在所述光子晶体11的同一横切面上，所述主体部11a的横切面的半径R和所述副支部11b的横切面的半径r皆为10nm-1μm。
本发明实施例提供的二维光栅的光子晶体11在耦出光线时，请参见图7（b），其示出了图7（a）所示光子晶体的一种衍射级次及衍射效率，能够实现如图7（b）所示的不同衍射级次的衍射效率，眼动范围内人眼可观察到的图像效果较好，且该二维光栅的结构也较为简单，易于加工。
且有，本发明实施例提供的二维光栅可通过调整所述主体部11a的形状、所述副支部11b的形状、所述副支部11b的数量、所述主体部11a的圆心O到所述副支部11b的中心/圆心O’的距离l3、所述矩形重复单元10在水平方向和竖直方向上的周期大小、所述光子晶体11和所述瓣状柱体的高度H、相邻的两个所述副支部11b的中心O’与所述主体部11a的圆心O的连线的夹角α、所述主体部11a的半径R和所述副支部11b的半径r等优化参数来调节各个衍射级次之间的能量分布，大大提升能量分布调节的自由度，对不同耦出区域的不同衍射级次之间的衍射效率进行更自由灵活的调整。
在本发明图7（a）所示实施例中，所述副支部11b的数量为三个，通过所述主体部11a的圆柱体结构的部分侧面向外延伸形成。在其他的一些实施例中，所述副支部11b的数量还可以是一到六个，例如，图8（a）示出了所述二维光栅中的光子晶体11具有两个所述副支部11b的示例。图9示出了所述二维光栅中的光子晶体11另一种具有三个所述副支部11b（三个所述副支部11b位于所述主体部11a的同一半的外侧，与图7（a）所示等角度设置于所述主体部11a的外侧不同）的示例；也即：所述主体部11a的横切面的圆周上存在六个间隔相等的点分别与圆心O连接，将所述主体部11a的横切面均分为六份，三个所述副支部11b的横切面的中心O’分别设置于所述主体部11a的横切面的三个相邻的均分半径所在远离圆心O一侧的延长线上、使三个所述副支部11b分别与所述主体部11a部分重合，相邻的两个所述副支部11b不相接。图10示出了所述二维光栅中的光子晶体11具有六个所述副支部11b的示例。且有，通过图8（b）所示的图8（a）的结构的不同衍射级次的衍射效率不难看出，可通过调整所述副支部11b的数量等优化参数实现对各个衍射级次之间的能量分布的调节。
在其他的一些实施例中，所述副支部11b还可以是椭圆柱结构，请一并参见图11和图12，其分别示出了二维光栅中的光子晶体11具有三个和六个所述副支部11b且副支部11b为椭圆柱结构的示例，且有，所述主体部11a为圆柱体结构，且所述副支部11b为椭圆柱结构时，在所述光子晶体11的同一横切面上，所述副支部11b的长轴s位于所述主体部11a的半径R延长线上，所述副支部11b的半长轴的长度m为：20nm-1μm，所述副支部11b的半短轴的长度n为：10nm-800nm，所述主体部11a的圆心O到所述副支部11b的中心O’的距离l3为20nm-2μm。
在其他的一些实施例中，请参见图13，其示出了所述副支部11b的顶面与所述主体部11a的顶面存在一定的角度且所述副支部11b的数量为三个的示例，所述副支部11b的顶面与所述主体部11a的顶面存在一定的角度时其夹角β为：0-70°。或者，在其他的一些实施例中，请参见图14，其示出了所述主体部11a和/或所述副支部11b的顶面与所述光子晶体11的横切面之间存在一定的角度的示例，在图14所示示例中，所述副支部11b的顶面与所述主体部11a的顶面形成一个平面且与所述光子晶体11的横切面之间存在一定的角度且夹角γ为：0-70°。其中，所述横切面在本发明实施例中指的是水平面。
在其他的一些实施例中，请参见图15，其示出了光子晶体11的顶面呈阶梯状的一种示例，所述光子晶体11的顶面还可以是呈阶梯状，且阶梯的层数为2-10，阶梯的宽度p为1-500nm，阶梯的深度h为1-500nm。
实施例三
本实施例提供了一种二维光栅的形成方法，请参见图16，其示出了本实施例提供的一种二维光栅的形成方法的流程，所述形成方法包括：
步骤S11：根据对光线耦出效率的需求，确定如实施例一或实施例二所述的二维光栅的优化变量，
其中，所述优化变量至少包括：形成所述光子晶体的主体部和副支部的形状、副支部的数量、主体部与副支部的重合方式、两个副支部的横切面的中心分别与主体部的横切面的中心的连线之间的夹角、主体部和副支部的尺寸和/或主体部的横切面的中心和副支部的横切面的中心之间的距离、所述光子晶体的形状和尺寸、所述光子晶体的顶面的形状和尺寸、所述二维光栅在水平方向上的周期、和/或所述二维光栅在竖直方向上的周期。
具体地，所述优化变量可以包括：主体部和副支部的形状和尺寸、所述副支部的数量、所述副支部在所述主体部侧面的位置、六棱柱结构的主体部的横切面上圆心到顶点的距离、六棱柱结构的副支部的横切面上圆心到顶点的距离、主体部的圆心到副支部的圆心的距离、圆柱结构的主体部和/或副支部的半径、椭圆柱结构的副支部的半长轴和半短轴的长度、矩形重复单元的周期、光子晶体和瓣状柱体的高度、相邻的两个所述副支部的中心与所述主体部的中心的连线的夹角、副支部的顶面与所述主体部的顶面之间的夹角、副支部的顶面与主体部的顶面形成的平面与光子晶体的横切面的夹角、呈阶梯状的光子晶体的顶面的阶梯数量、阶梯宽度和阶梯深度等，具体地，可根据实际对衍射级次和衍射效率的需要选择所述二维光栅的优化变量。
步骤S12：根据所述优化变量在波导片上进行刻蚀作业以形成所述二维光栅。
在本发明实施例中，可根据用户所需要的光波导的衍射效率的需求，对二维光栅的结构中的尺寸参数进行优化，从而得到二维光栅的实际制造参数，即所述的二维光栅的优化变量；从而，根据得到的优化变量在光波导基底上进行刻蚀作业，以形成所需的二维光栅。
示例性的，本实施例提供的二维光栅的形成方法，可根据用户所需要的光波导的如图3（b）所示的衍射效率的的需求，对如实施例一图3（a）所示示例中的二维光栅的结构中的尺寸参数进行优化，从而得到二维光栅的实际制造参数，即所述的二维光栅的优化变量；从而，根据得到的优化变量在光波导基底上进行刻蚀作业，以形成如实施例一中图3（a）所示的二维光栅。
另一示例性的，可根据用户所需要的光波导的如图7（b）所示的衍射效率的的需求，对如实施例二图7（a）所示示例中的二维光栅的结构中的尺寸参数进行优化，从而得到二维光栅的实际制造参数，即所述的二维光栅的优化变量；从而，根据得到的优化变量在光波导基底上进行刻蚀作业，以形成如实施例二中图7（a）所示的二维光栅。
又一示例性的，可根据用户所需要的光波导的如图8（b）所示的衍射效率的的需求，对如实施例二图8（a）所示示例中的二维光栅的结构中的尺寸参数进行优化，从而得到二维光栅的实际制造参数，即所述的二维光栅的优化变量；从而，根据得到的优化变量在光波导基底上进行刻蚀作业，以形成如实施例二中图8（a）所示的二维光栅。
实施例四
本实施例提供了一种光波导，请参见图17，其示出了本实施例提供的一种光波导的结构，所示光波导100包括：波导片101；耦入结构102，设置在所述波导片101的入光侧；由如实施例一或实施例二所述的二维光栅1构成的耦出结构103，设置在所述波导片101的出光侧。
所述耦入结构102可以为矩形光栅、倾斜光栅、梯形光栅、阶梯光栅、全息光栅或其它一维光栅，具体地，所述耦入结构102可以将光机的投影光线衍射耦合到波导片101内朝耦出结构103的方向全反射传播，可根据实际需要进行设置。
所述耦出结构103由如实施例一或实施例二所述的二维光栅构成，该二维光栅易于加工，利于调节耦出效率，具体地，请参见实施例一或实施例二及其附图所示，如实施例一或实施例二所示的二维光栅的制造方法请参见实施例三及其附图所示，此处不再详述，所述耦出区域103能够将光线扩散传播，并将部分光线耦出波导片101进入人眼，从而实现扩瞳显示。
实施例五
本实施例提供了一种近眼显示设备，请参见图18，其示出了本实施例提供的一种近眼显示设备的结构，所述近眼显示设备1000包括：如实施例四所述的光波导100。
本实施例提供的近眼显示设备1000，由于其光波导100采用的是本发明实施例一或实施例二所示的二维光栅作为耦出结构，该二维光栅具有更多的优化变量，可进行多参数调控来实现对衍射效率的调整。
本发明实施例中提供了一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备，包括沿水平方向和竖直方向周期性平铺排列在波导片表面的矩形重复单元，所述矩形重复单元的中心设置有光子晶体，自所述矩形重复单元的四个顶点向所述矩形重复单元内延伸分别设置有瓣状柱体，自单个所述矩形重复单元的四个顶点向内延伸分别设置的瓣状柱体可拼接成所述光子晶体，分别分布于具有共用顶点的四个所述矩形重复单元内、自所述共用顶点分别向四个所述矩形重复单元内延伸设置的瓣状柱体构成所述光子晶体，本发明实施例提供的二维光栅中由于存在瓣状结构，能够通过调节光子晶体及其主体部和副支部的尺寸、形状等优化参数，实现高自由度的能量分布调节，从而对不同耦出区域的不同衍射级次之间的衍射效率进行更自由灵活的调整，使得眼动范围内人眼观察到的像效果更好。
需要说明的是，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
通过以上的实施方式的描述，本领域普通技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的程序可存储于计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，所述的存储介质可为磁碟、光盘、只读存储记忆体(Read-Only Memory, ROM)或随机存储记忆体(Random Access Memory, RAM)等。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；在本发明的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本发明的不同方面的许多其它变化，为了简明，它们没有在细节中提供；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (16)
1.一种二维光栅，其特征在于，包括沿水平方向和竖直方向周期性平铺排列在波导片表面的矩形重复单元，所述矩形重复单元的中心设置有光子晶体，自所述矩形重复单元的四个顶点向所述矩形重复单元内延伸分别设置有瓣状柱体，自单个所述矩形重复单元的四个顶点向内延伸分别设置的瓣状柱体可拼接成所述光子晶体，分别分布于具有共用顶点的四个所述矩形重复单元内、自所述共用顶点分别向四个所述矩形重复单元内延伸设置的瓣状柱体构成所述光子晶体。
2.根据权利要求1所述的二维光栅，其特征在于，
所述光子晶体由主体部和至少一个副支部部分重合形成，当所述主体部为六棱柱结构时，所述主体部的横切面的各顶点分别与中心连接，将所述主体部的横切面划分为六份，所述副支部的横切面的中心设置于所述主体部的横切面的划分线或所述划分线的远离中心一侧的延长线上、使所述副支部与所述主体部部分重合，相邻的两个所述副支部不相接。
3.根据权利要求1所述的二维光栅，其特征在于，
所述光子晶体由主体部和至少一个副支部部分重合形成，当所述主体部为圆柱体结构时，所述主体部的横切面的圆周上至少两个间隔相等的点分别与圆心连接，将所述主体部的横切面均分为至少两份，所述副支部的横切面的中心设置于所述主体部的横切面的均分半径或所述均分半径的远离圆心一侧的延长线上、使所述副支部与所述主体部部分重合，相邻的两个所述副支部不相接。
4.根据权利要求2或3所述的二维光栅，其特征在于，
各所述副支部为六棱柱结构、圆柱体结构或椭圆柱体结构。
5.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
所述主体部和所述副支部皆为六棱柱结构时，
在所述主体部的横切面上，中心到顶点的距离为10nm-1μm，
在所述副支部的横切面上，中心到顶点的距离为10nm-1μm，
在同一横切面上，所述主体部的中心到所述副支部的中心的距离为20nm-2μm。
6.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
所述主体部和所述副支部皆为圆柱体结构时，
所述主体部的横切面的半径和所述副支部的横切面的的半径皆为10nm-1μm。
7.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
所述主体部为圆柱体结构，且所述副支部皆为椭圆柱结构时，
在同一横切面上，所述副支部的长轴位于所述主体部的半径延长线上，
所述副支部的半长轴的长度为20nm-1μm，所述副支部的半短轴的长度为10nm-800nm，
所述主体部的圆心到所述副支部的中心的距离为20nm-2μm。
8.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
所述二维光栅在水平方向上的周期与在竖直方向上的周期之比为√3：1。
9.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
所述二维光栅在水平方向上的周期为200nm-2μm。
10.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
所述光子晶体和所述瓣状柱体的高度为10nm-1μm。
11.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
在所述光子晶体的横切面上，相邻的两个所述副支部的中心与所述主体部的中心的连线的夹角为60°、120°或180°。
12.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
所述副支部的顶面和/或所述主体部的顶面与所述光子晶体的横切面之间的夹角为0-70°。
13.根据权利要求4所述的二维光栅，其特征在于，
所述光子晶体的顶面呈阶梯状，且阶梯的层数为2-10，阶梯的宽度为1-500nm，阶梯的深度为1-500nm。
14.一种二维光栅的形成方法，其特征在于，包括：
根据对光线耦出效率的需求，确定如权利要求1-13任一项所述的二维光栅的优化变量，
其中，所述优化变量包括：形成所述光子晶体的主体部和副支部的形状、副支部的数量、主体部与副支部的重合方式、两个副支部的横切面的中心分别与主体部的横切面的中心的连线之间的夹角、主体部和副支部的尺寸和/或主体部的横切面的中心和副支部的横切面的中心之间的距离、所述光子晶体的形状和尺寸、所述光子晶体的顶面的形状和尺寸、所述二维光栅在水平方向上的周期、和/或所述二维光栅在竖直方向上的周期；
根据所述优化变量在波导片上进行刻蚀作业以形成所述二维光栅。
15.一种光波导，其特征在于，包括：
波导片；
耦入结构，设置在所述波导片的入光侧；
由如权利要求1-13任一项所述的二维光栅构成的耦出结构，设置在所述波导片的出光侧。
16.一种近眼显示设备，其特征在于，包括：如权利要求15所述的光波导。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210521079.7A CN114624802B (zh) | 2022-05-13 | 2022-05-13 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| PCT/CN2022/121360 WO2023216493A1 (zh) | 2022-05-13 | 2022-09-26 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210521079.7A CN114624802B (zh) | 2022-05-13 | 2022-05-13 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114624802A true CN114624802A (zh) | 2022-06-14 |
| CN114624802B CN114624802B (zh) | 2022-09-02 |
Family
ID=81906937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210521079.7A Active CN114624802B (zh) | 2022-05-13 | 2022-05-13 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114624802B (zh) |
| WO (1) | WO2023216493A1 (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115079323A (zh) * | 2022-08-24 | 2022-09-20 | 北京亮亮视野科技有限公司 | 二维耦出光栅、二维衍射光波导和近眼显示设备 |
| WO2023216493A1 (zh) * | 2022-05-13 | 2023-11-16 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111194422A (zh) * | 2017-03-30 | 2020-05-22 | 威福光学有限公司 | 用于增强现实或虚拟现实显示器的波导 |
| CN111812760A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-10-23 | 深圳珑璟光电技术有限公司 | 一种光栅结构、光波导及近眼显示系统 |
| CN113325506A (zh) * | 2020-02-28 | 2021-08-31 | 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 | 一种全息光波导镜片及增强现实显示装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4538718B2 (ja) * | 2003-08-28 | 2010-09-08 | アルプス電気株式会社 | ２次元フォトニック結晶スラブ及び２次元フォトニック結晶導波路 |
| CN113325507A (zh) * | 2018-12-26 | 2021-08-31 | 上海鲲游光电科技有限公司 | 一种基于二维光栅的平面光波导 |
| CN111679362A (zh) * | 2020-07-14 | 2020-09-18 | 深圳珑璟光电技术有限公司 | 一种光波导及近眼显示系统 |
| EP4208743A1 (en) * | 2020-09-01 | 2023-07-12 | Snap, Inc. | Methods for designing diffraction grating for augmented reality or virtual reality display and diffraction grating for augmented reality or virtual reality display |
| CN114624802B (zh) * | 2022-05-13 | 2022-09-02 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
-
2022
- 2022-05-13 CN CN202210521079.7A patent/CN114624802B/zh active Active
- 2022-09-26 WO PCT/CN2022/121360 patent/WO2023216493A1/zh unknown
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111194422A (zh) * | 2017-03-30 | 2020-05-22 | 威福光学有限公司 | 用于增强现实或虚拟现实显示器的波导 |
| CN113325506A (zh) * | 2020-02-28 | 2021-08-31 | 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 | 一种全息光波导镜片及增强现实显示装置 |
| CN111812760A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-10-23 | 深圳珑璟光电技术有限公司 | 一种光栅结构、光波导及近眼显示系统 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023216493A1 (zh) * | 2022-05-13 | 2023-11-16 | 深圳珑璟光电科技有限公司 | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 |
| CN115079323A (zh) * | 2022-08-24 | 2022-09-20 | 北京亮亮视野科技有限公司 | 二维耦出光栅、二维衍射光波导和近眼显示设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114624802B (zh) | 2022-09-02 |
| WO2023216493A1 (zh) | 2023-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114624802B (zh) | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 | |
| CN114137649B (zh) | 用于ar设备的光波导装置及其制造方法和ar设备 | |
| CN212460098U (zh) | 用于增强现实或虚拟现实显示器中的波导和显示器 | |
| CN114384618B (zh) | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 | |
| CN113495319A (zh) | 光学结构和光学装置 | |
| CN114859555A (zh) | 光栅、用于近眼显示的光波导及近眼显示设备 | |
| CN114660692B (zh) | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 | |
| CN114637067B (zh) | 衍射光波导及显示设备 | |
| US20230367055A1 (en) | Diffractive optical waveguide, design method and formation method thereof, and display device | |
| CN112965157A (zh) | 一种二维光栅、光波导和ar眼镜 | |
| CN218298669U (zh) | 近眼显示设备 | |
| CN112859341A (zh) | 一种光波导及近眼显示设备 | |
| CN215641931U (zh) | 光学结构和光学装置 | |
| CN113703094A (zh) | 波导结构和电子设备 | |
| CN114527537B (zh) | 一种二维光栅及其形成方法、光波导及近眼显示设备 | |
| CN115469389B (zh) | 二维耦出光栅、超表面光波导和近眼显示设备 | |
| CN115453676B (zh) | 叉形二维光栅、二维衍射光波导和近眼显示设备 | |
| CN218240461U (zh) | 一种波导片及近眼显示设备 | |
| CN115808732A (zh) | 二维衍射光栅、二维衍射光波导和近眼显示设备 | |
| CN218767387U (zh) | 一种二维光栅、光波导及近眼显示设备 | |
| CN112346173A (zh) | 一种介质柱光子晶体光波导转折光栅结构及近眼显示系统 | |
| CN218350533U (zh) | 衍射光学结构 | |
| CN218824776U (zh) | 二维光栅结构 | |
| CN220154676U (zh) | 光波导片和显示系统 | |
| CN219657898U (zh) | 一种二维光栅、传输波导及近眼显示系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |