CN114570098B - 一种过滤器固定结构及过滤装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体制造技术领域，公开了一种过滤器固定结构及过滤装置，过滤器固定结构包括支架和连接件，其中：支架内部具有容置空间，容置空间相对的两侧设有连接孔和安装孔，安装孔和连接孔均与容置空间连通，安装孔可用于安装过滤器接口，以使得过滤器接口的至少一部分位于容置空间；连接件的一端可由连接孔伸入至容置空间内，并且连接件可相对支架上下移动地连接于支架，以使得连接件朝向安装孔的端面与过滤器接口的端面抵接或与过滤器接口的端面脱离接触；连接件内设有与过滤器接口连通的流通通道。本申请公开的过滤器固定结构，不仅可便于更换过滤器，还可降低漏液的风险。

Description

一种过滤器固定结构及过滤装置

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种过滤器固定结构及过滤装置。

背景技术

化学机械研磨，是在研磨液的辅助下，通过化学以及机械作用对晶元表面进行抛光处理。目前，在不同生产工艺中，需要架设不同滤径的过滤器，来过滤研磨液中较大的团聚颗粒，以保证研磨液速率以及刮伤指标的稳定性，进而减少产品异常。

由于过滤器需要定期更换，目前通常采用卡接的形式将过滤器固定在安装架上，然而，由于在安装和拆卸的过程中，卡接的连接方式需要过滤器与安装架之间来回摩擦，这不仅会提高更换过滤器的难度，还会导致在摩擦过程中产生的异物进入研磨设备。

发明内容

本申请可提供一种过滤器固定结构及过滤设备，用于降低更换过滤器的难度，并且保证研磨设备的安全性能。

为了达到上述目的，一方面，本申请提供以后总过滤器固定结构，包括支架和连接件，其中：

所述支架内部具有容置空间，所述容置空间相对的两侧设有连接孔和安装孔，所述安装孔和所述连接孔均与所述容置空间连通，所述安装孔可用于安装过滤器接口，以使得所述过滤器接口的至少一部分位于所述容置空间；

所述连接件的一端伸入至所述容置空间内，并且所述连接件可相对所述支架上下移动地连接于支架，以使得所述连接件朝向所述安装孔的端面与过滤器接口的端面抵接或与过滤器接口的端面脱离接触；

所述连接件内设有与过滤器接口连通的流通通道。

本申请提供的过滤器固定结构，通过设置支架和连接件，连接件的一端可伸入支架内部，并且可相对支架移动。当需要安装过滤器时，可将过滤器接口放置于安装孔内，并使得连接件朝向过滤器接口移动直至与过滤器接口抵接。这时，过滤器相对的两端的过滤器接口分别与连接件抵接，而安装孔也可对过滤器进行限位，从而使得过滤器被固定。拆卸时，可使得连接件远离过滤器接口移动，从而脱离与过滤器的接触，使得过滤器能够取出。由于改变了现有的卡接方式，可使得过滤器在安装拆卸的过程中降低漏液的风险，并且更加省时省力，同时，由于固定方式避免了摩擦，还可防止摩擦过程中产生的异物进入研磨设备。

在一些公开实施例中，所述连接件包括：

连接部，所述连接部通过所述连接孔与所述支架连接，且所述连接部的内部具有中空结构；

接液部，所述接液部固定于所述中空结构内，且所述流通通道设置于所述接液部内。

在一些公开实施例中，所述连接部与所述支架之间螺纹连接。

在一些公开实施例中，所述连接部包括第一主体部和手柄，其中：

所述第一主体部为内部具有所述中空结构的圆柱体，且所述第一主体部的外表面设有沿周向分布的螺纹；

所述手柄连接所述第一主体部背离所述安装孔的一端。

在一些公开实施例中，所述第一主体部的外表面设有两个止付螺丝，两个所述止付螺丝沿所述第一主体部的轴心线对称设置。

在一些公开实施例中，所述连接件还包括插销，所述手柄设有贯穿手柄的固定孔，所述插销的一端可插入所述固定孔以使所述连接件与所述支架之间保持相对固定。

在一些公开实施例中，所述接液部包括第二主体部和抵接部，所述第二主体部固定于所述抵接部背离所述安装孔的一侧，且所述流通通道贯穿所述第二主体部和抵接部。

在一些公开实施例中，所述抵接部朝向所述安装孔的一侧设有缓冲部。

在一些公开实施例中，所述缓冲部包括应力缓冲材料。

在一些公开实施例中，所述流通通道包括连通的第一通道和第二通道，所述第一通道与所述接液部背离所述安装孔的一端连通，所述第二通道与所述接液部朝向所述安装孔的一端连通，且所述第一通道的直径大于所述第二通道的直径。

在一些公开实施例中，所述第二通道的轴心线与所述安装孔的轴心线一致。

另一方面，本申请还可提供一种过滤装置，包括安装架、过滤器和如上述任一项所述的过滤器固定结构，其中：

所述过滤器固定结构安装于所述安装架；

所述过滤器包括过滤器主体和过滤器接口，所述过滤器接口安装于所述安装孔，且所述过滤器接口与所述过滤器固定结构的所述连接件抵接，且所述过滤器接口与所述连接件的流通通道连通。

在一些公开实施例中，所述过滤器接口设有与所述过滤器主体连通的过滤通道，所述过滤通道与所述流通通道连通，且所述流通通道与所述过滤通道连通的一端开口直径大于所述过滤通道与所述流通通道连通的一端开口直径。

在一些公开实施例中，所述过滤器接口包括第一分部和第二分部，其中：

第一分部和第二分部，其中：

所述第一分部位于所述安装孔内，且所述第一分部朝向所述连接部的一侧表面与所述安装孔朝向所述连接部的一侧端口平齐；

所述第二分部连接所述第一分部朝向所述连接部的一端，且所述第二分部的直径大于所述安装孔的直径。

在一些公开实施例中，所述安装孔的直径大于所述第一分部的直径。

附图说明

图1为本申请实施例中过滤装置的一种结构示意图；

图2为图1中过滤器固定结构的一种剖面结构示意图；

图3为图2中支架的一种结构示意图；

图4为图2中连接件的一种结构示意图；

图5为图2中连接件的又一种结构示意图；

图6为图2中过滤器固定结构的一种俯视结构示意图。

图中：

100-过滤器固定结构；110-支架；111-连接孔；112-安装孔；120-连接件；121-连接部；1211-第一主体部；1212-手柄；12121-圆环部；12122-扳手；122-接液部；1221-第二主体部；1222-抵接部；123-流通通道；1231-第一通道；1232-第二通道；124-缓冲部；130-止付螺丝；140-插销；150-限位柱；200-过滤器；210-过滤器接口；211-过滤通道；212-第一分部；213-第二分部；220-过滤器主体；300-安装架；310-固定架。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本发明的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。

空间关系术语例如“在……下”、“在……下面”、“下面的”、“在……之下”、“在……之上”、“上面的”等，在这里可以用于描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语还包括使用和操作中的器件的不同取向。

在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白，当术语“组成”和/或“包括”在该说明书中使用时，可以确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。同时，在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

随着集成电路制造过程中特征尺寸的缩小和金属互联的增加，对晶圆表面平整度的要求也越来越高。化学机械研磨(Chemical Mechanical Polishing，CMP)是将机械研磨和化学腐蚀结合的技术，是目前最有效的晶圆平坦化方法，其广泛应用于半导体工业制造生产中。研磨过程中，会需要根据研磨工艺的需求过滤掉研磨液中的大颗粒浆料，这需要借助研磨液过滤器来实现。由于过滤器需要定期更换，目前通常采用卡接的形式将过滤器固定在安装架上，然而，该方式不便于更换过滤器，并且也存在漏液的风险。

基于此，本申请实施例可提供一种过滤器固定结构及过滤装置，可便于更换过滤器，还可降低更换过滤器的难度，同时降低了漏液的风险。以下结合具体的实施例以及附图对上述过滤器固定结构以及过滤装置进行说明。

请参考图1，本申请实施例中的过滤装置可包括过滤器固定结构100、过滤器200以及安装架300。安装架300可作为过滤装置的整体支撑结构，而过滤器固定结构100以及过滤器200均可安装于安装架300上。如图1所示，过滤器200可包括过滤器主体220以及连接于过滤器200本体的相对的两端的过滤器接口210，其中一个过滤器接口210可通过进液口与研磨液供给装置连通，以用于接收待过滤的研磨液，研磨液由该过滤器接口210进入过滤器主体220内部后，经过过滤，再由另一个过滤器接口210流出，并通过出液口流向研磨机台，以用于将完成过滤的研磨液提供给研磨机台，以便于继续后续的生产工艺。

具体实施时，两个过滤器接口210可沿上下方向设置，这里的上下方向可参考图1中的y方向，也可理解为安装架300正常放置的重力方向。这样，当研磨液由上方的过滤器接口210进入过滤器主体220内部并完成过滤后，可自主流向下方的过滤器接口210，然后流出。

过滤器200固定装置可设置于上方的过滤器接口210处，并位于过滤器接口210背离过滤器主体220的一侧。为保证过滤器200在安装时结构稳定，可使得过滤器200固定装置固定连接于安装架300，以保证在更换过滤器200的过程中，过滤器200固定装置不会从安装架300上脱落。在一种实现方式中，过滤器固定结构100与安装架300之间可为一体式结构，或者，在另一种实现方式中，过滤器固定结构100可通过焊接的方式连接于安装架300。当然，过滤器固定结构100与安装架300之间的连接也可通过其它方式实现，这里不再一一举例说明。

参考图2至图4，过滤器固定结构100可包括支架110和连接件120，支架110作为过滤器固定结构100的整体支撑结构，固定于安装架300上。具体实施时，支架110的内部具有容置空间，并且支架110上下两端分别设有连接孔111和安装孔112，连接孔111和安装孔112分别与容置空间连通，并且连接孔111在上，安装孔112在下。也可理解为，支架110为中部掏空的结构。支架110可以为圆柱体或者四面体，本申请在此不做限定，其具体形状可根据不同生产需求进行设计。以支架110为圆柱体为例，支架110的俯视图为环状，中间的小圆即为连接孔111。

连接件120的一端可由连接孔111伸入至支架110内部，并且连接件120可相对支架110上下移动。安装架300还可设置用于固定位于下方的过滤器接口210的固定架310，也可理解为，固定架310与连接件120分别位于过滤器200相对的两端。固定架310内部也可为设置容置空间，并且固定架310朝向过滤器200的一端可开设用于使得过滤器接口210伸入固定架310内部的孔。当需要安装过滤器200时，可先将下端的过滤器接口210伸入至固定架310内部，并与固定架310的底部抵接，而上端的过滤器接口210的端部可通过安装孔112伸入至支架110内部，然后使得连接件120向下移动至与过滤器接口210的端部抵接，从而实现过滤器接口210在y方向上的限位。由于两个过滤器接口210的端部分别与连接件120和固定架310抵接，可使得过滤器200被固定，从而实现过滤器200的安装。当需要拆卸过滤器200时，使得连接件120向上移动，从而脱离与过滤器接口210端部的接触，这时，过滤器200在y方向上可自由移动，从而可将过滤器200拆下。由于上述结构在更换过滤器200时，可省去过滤器200与支架110之间卡接的方式，一方面增加了更换过滤器200的便利性，省时省力，另一方面还可避免过滤器200与之间在安装和拆卸的过程中摩擦，进而可避免异物进入研磨液，以及降低漏液的风险。

另外，连接件120内还设有流通通道123，该流通通道123可沿y方向延伸，其一端可与研磨液供给装置连通，另一端可与过滤器接口210连通，当连接件120与过滤器接口210端部抵接时，流通通道123也可保证研磨液能够顺利进入过滤器200中。

为便于理解，若未做特别说明，以下实施例中所描述的过滤器接口210均可理解为位于上端的过滤器接口210。

在一些实施例中，参考图2，连接件120可包括连接部121和接液部122，其中，连接部121的内部具有中空结构，该中空结构沿y方向延伸，也可理解为，连接部121沿y方向贯穿具有贯穿自身的通孔。连接部121可通过连接孔111与支架110之间连接，并且连接部121可相对支架110上下移动，接液部122固定于中空结构内部，并且流通通道123设置于接液部122内。

一种实现方式中，连接部121与支架110之间可以是螺纹连接，即连接部121的外表面可设置螺纹，连接孔111的内壁也可设置螺纹，从而使得连接部121可通过螺纹与连接孔111之间连接。连接部121与支架110之间螺纹连接，不仅可使得结构简单，还可便于连接部121相对支架110移动，此外，由于连接部121与支架110是接触的，还可保证支架110内部为封闭空间，并可防止异物进入支架110内部，而导致研磨液受到污染。

具体实施时，连接部121可包括第一主体部1211和手柄1212，第一主体部1211可以为圆柱体，其内部具有中空结构，并且，第一主体部1211的外表面可设置周向分布的螺纹。第一主体部1211外表面的螺纹可采用公制粗牙的形式，螺纹升角可采用8～12角的形式。由于螺距较大，可便于调节连接部121上下移动的距离，从而使得过滤器200与支架110之间拆装方便。而为了增大连接部121的自锁性能，还可在连接部121与支架110设置弹簧垫圈，以保证连接部121与支架110之间的结构稳定性。

此外，为了增大第一主体部1211的移动行程，保证第一主体部1211朝向安装孔112的一侧端面能够移动到位，可将支架110设置连接孔111的一端厚度(也即沿y方向的尺寸)增大，并在连接孔111的内壁沿y方向均设置螺纹，以便于第一主体部1211移动。

参考图6，手柄1212可连接于第一主体部1211背离安装孔112一侧的端部，手柄1212可包括绕第一主体部1211的端部的圆环部12121以及连接于圆环部12121的扳手12122，圆环部12121固定于第一主体部1211。当需要安装过滤器200时，将过滤器接口210放置于安装孔112内，利用扳手12122推动圆环部12121绕自身轴线旋转，这时，圆环部12121可带动第一主体部1211旋转，第一主体部1211旋转的同时可向下移动直至与过滤器接口210的端部抵接，从而完成过滤器200的安装。当需要拆卸过滤器200时，利用扳手12122推动圆环部12121沿反方向旋转，这时，圆环部12121可带动第一主体部1211反方向旋转，第一主体部1211旋转的同时可向上移动至与过滤器接口210脱离接触，从而使得过滤器200可呈可拆卸的状态。由于利用手柄1212推动第一主体部1211进行旋转，相同的力矩下，相比于直接使得第一主体部1211旋转，手柄1212的结构可使得推力减小，从而达到省时省力的目的。

圆环部12121与扳手12122之间为固定结构，一种实现方式中，二者可以是一体式结构，或者，另一种实现方式中，二者可以通过焊接等方式固定在一起，以到达使圆环部12121与扳手12122之间固定连接的目的。另外，为保证手柄1212在反复安装和拆卸过滤器200的过程中减小磨损，圆环部12121和扳手12122的材质可选用硬度较大的材料，示例性地，圆环部12121和扳手12122的材料可以为金属或者合金。

圆环部12121与第一主体部1211之间也可以是固定结构，一种实现方式中，二者可以是一体式结构，或者，另一种实现方式中，二者也可以通过焊接等当时固定在一起，以达到圆环部12121与第一主体部1211之间固定连接的目的。另外，为使得第一主体部1211与支架110之间在相对移动的过程中减小磨损，第一主体部1211以及支架110的材料也可选用硬度较大的材料，示例性地，第一主体部1211和支架110的材料可以为金属或者合金。

如前所述，由于第一主体部1211与支架110之间螺纹连接，第一主体部1211的直径与连接孔111的直径相等，而圆环部12121的外径可大于第一主体部1211的直径，使得当第一主体部1211背离安装孔112的一侧端面移动至与支架110设置连接孔111的端面平齐时，圆环部12121的底面可与支架110设置连接孔111的端面接触，而限制连接部121进一步向下移动，防止连接部121在继续向下移动的过程中对过滤器接口210产生的压力过大而导致过滤器接口210受到损伤。

或者，在另一些实现方式中，第一主体部1211的外表面还可设置止付螺丝130，当第一主体部1211在旋转的过程中转到一定程度时，止付螺丝130可限制第一主体部1211进一步旋转，从而限制连接部121进一步向下移动，防止连接部121在继续向下移动的过程中对过滤器接口210产生的压力过大而导致过滤器接口210受到损伤。

止付螺丝130可以为两个，并且两个止付螺丝130可沿第一主体部1211的轴心线对称设置，也即上述两个止付螺丝130可限制第一主体部1211旋转角度在0度与180度之间。为配合两个止付螺丝130的限位作用，第一主体部1211外表面螺纹的螺纹升角、支架110沿y方向的尺寸、支架110设置连接孔111一端的厚度等等，均可做相应的设计。以第一主体部1211顺时针旋转即可实现向下移动为例，当过滤器接口210在安装孔112内放置到位时，可顺时针旋转手柄1212180度，使得第一主体部1211向下移动至连接部121朝向安装孔112的一侧端面刚好与过滤器接口210的端面抵接，从而实现过滤器200的固定。当过滤器200需要拆卸时，可逆时针旋转手柄1212180度，使得第一主体部1211向上移动直至连接部121与过滤器接口210脱离接触。

可以理解的是，通过设置对称的两个止付螺丝130，不仅可限制第一主体部1211向下移动的行程，还可限制第一主体部1211向上移动的行程，从而避免连接部121由连接孔111脱离出支架110内部。

上述手柄1212还可设置限位装置，当连接部121移动到与过滤器接口210的端面抵接时，可将手柄1212通过限位装置与支架110之间保持相对固定，从而防止过滤器200在使用过程中由于手柄1212移动而导致连接部121与过滤器接口210之间松脱。

在一些实现方式中，如图2所示，限位装置可包括插销140，并且手柄1212可设置沿y方向贯穿自身的固定孔，当连接件120向下移动至与过滤器接口210抵接时候，可将插销140的一端由固定孔穿过手柄1212，并与支架110背离过滤器200的端面抵接，从而使得连接件120与支架110之间保持相对固定。

或者，在一些实现方式中，如图5所示，当设置两个止付螺丝130时，可在支架110背离过滤器200的一侧端面设置限位槽(图中未示出)，这时，限位装置可包括连接于手柄1212朝向支架110一侧的限位柱150，并且，限位柱150可相对手柄1212旋转以使得自身与手柄1212之间贴合或与手柄1212之间垂直放置。当未安装过滤器200时，限位柱150可折叠至与手柄1212贴合，当连接件120与过滤器接口210抵接时，由于手柄1212旋转至止付螺丝130限位的位置，可将限位柱150展开，并使得限位柱150插入限位槽内，以达到对手柄1212限位的效果。

在一些实施例中，连接部121通过连接孔111与支架110之间连接，为实现连接部121可相对支架110上下移动，可设置驱动装置(图中未示出)，使得驱动装置与连接部121之间传动连接，从而驱动连接部121上下移动。由于设置了驱动装置，可提前设置驱动装置的对于连接部121的驱动行程，省去了人工操作，可更方便更换过滤器200。

在一些实现方式中，驱动装置可以是电机，电机可固定于安装架300上，这样不会影响过滤器固定结构100的大小，以便于节省空间。连接部121背离过滤器200的一端可套设圆环部12121，圆环部12121与连接部121之间固定连接，而电机的输出轴可与圆环部12121连接，以对圆环部12121提供上下移动的驱动力。由于圆环部12121与连接部121之间为固定结构，圆环部12121在上下移动时可带动连接部121上下移动，从而使得连接部121与过滤器接口210抵接或脱离接触。为保证圆环部12121在电机的驱动下移动时不与连接部121之间松脱，可使得圆环部12121与连接部121之间为一体式结构，以保证结构稳定。

或者，在一些实现方式中，驱动装置可以是气缸，气缸可固定于安装架300上，这样不会影响过滤器固定结构100的大小，以便于节省空间。连接部121背离过滤器200的一端可套设圆环部12121，圆环部12121与连接部121之间固定连接，而气缸可与圆环部12121连接，以对圆环部12121提供上下移动的驱动力。由于圆环部12121与连接部121之间为固定结构，圆环部12121在上下移动时可带动连接部121上下移动，从而使得连接部121与过滤器接口210抵接或脱离接触。为保证圆环部12121在气缸的驱动下移动时不与连接部121之间松脱，可使得圆环部12121与连接部121之间为一体式结构，以保证结构稳定。

另外，连接部121与支架110之间还可设置密封结构，以使得连接部121在相对支架110上下移动的过程中能够与支架110之间保持动密封，从而保证支架110内部为密封空间，以防止异物进入支架110内部，而导致研磨液受到污染。

继续参考图4，接液部122可包括第二主体部1221和抵接部1222，其中，第二主体部1221位于第一主体部1211的中空结构内，并与第一主体部1211之间固定连接。抵接部1222固定于第二主体部1221朝向安装孔112的一侧。第二主体部1221的结构可为圆柱体，其内部具有中空结构以形成流通通道123，并且流通通道123贯穿抵接部1222，从而可与过滤器接口210连通。当安装过滤器200时，先将过滤器接口210放置于安装孔112内，再使得连接件120向下移动直至抵接部1222与过滤器接口210的端面抵接，从而实现对过滤器200的固定。

抵接部1222朝向安装孔112的表面可以为平面，以增大与过滤器接口210的端面的接触面积，这时，过滤器固定结构100可适用于固定平口接口型过滤器200，也即过滤器接口210的端面也为平面。当抵接部1222与过滤器接口210抵接时，二者的接触面均为平面，不仅增大了接触面积，还可更好地保证二者之间的固定作用，使得抵接部1222与过滤器接口210之间不会产生左右(也即图中的x方向)的相对移动。

当然，本申请实施例中的过滤器固定结构100也可适用于其它接口型的过滤器200，抵接部1222朝向安装孔112的表面可根据不同接口形状而进行相应地设计，或者抵接部1222的表面也可为平面，均可对过滤器200起到很好的固定作用。

第一主体部1211朝向安装孔112的表面和第二主体部1221朝向安装孔112的表面可平齐设置，抵接部1222在连接第二主体部1221的同时，其朝向第二主体部1221的表面还可与第一主体部1211接触。也可理解为，抵接部1222为圆柱体结构，抵接部1222的直径可大于等于第一主体部1211的直径，这样，抵接部1222不仅可增大与过滤器接口210的接触面积，还可用于承载第一主体部1211和第二主体部1221，以使得连接件120整体结构更加稳定。

另外，抵接部1222朝向安装孔112的表面还可设置缓冲部124，缓冲部124可用于使得当连接部121向下移动直至与过滤器接口210端面抵接时，减小与过滤器接口210之间的冲击力，不仅可保护过滤器接口210不受损伤，还可增强连接部121与过滤器接口210之间的抵接效果，从而更好地固定过滤器200。

上述缓冲部124的材料可包括应力缓冲材料，应力缓冲材料可以为合金材料，示例性地，应力缓冲材料可以为铝合金。并且，缓冲部124可以覆盖抵接部1222朝向安装孔112的一侧表面，以起到充分缓冲的作用。

如前所述，第一主体部1211的材料可以为金属或者合金，将连接部121设置为第一主体部1211和接液部122，使得接液部122的材料与第一主体部1211的材料不相同，可保证研磨液在经过连接件120内部的流通通道123时，不会受到污染，从而保证研磨液的质量。

流通通道123可包括第一通道1231和第二通道1232，第一通道1231设置于接液部122背离安装孔112的一端，也可理解为第一通道1231可直接与进液管连通，第二通道1232的一端与第一通道1231连通，另一端延伸至抵接部1222并可与过滤器接口210连通。第一通道1231的直径可大于第二通道1232的直径，当研磨液由研磨液供给装置通过进液管流入流通通道123时，由于第一通道1231的直径较大，可用于接收并储存一定的研磨液，从而保证研磨液进入连接件120时不会因为流通通道123直径小而出现倒流的现象。而第二通道1232的直径小于第一通道1231的直径，可提高研磨液进入过滤器200时的流速，以便于提高过滤效果。

在一些实现方式中，第一通道1231的形状可以为圆柱形，第二通道1232的形状也可以为圆柱形，并且第一通道1231的轴心线可与第二通道1232的轴心线一致，也即第一通道1231和第二通道1232同心设置，从而使得研磨液可更快地依次通过第一通道1231和第二通道1232后进入过滤器200内。

或者，在一些实现方式中，第一通道1231的形状可以为漏斗形，第二通道1232的形状可以为圆柱形。第一通道1231靠近连接孔111的端口直径大于其远离连接孔111的端口直径，以使得第一通道1231的直径大小呈渐变的结构形式。这时，第一通道1231的轴心线也可与第二通道1232的轴心线一致，也即第一通道1231和第二通道1232同心设置，从而使得研磨液可更快地依次通过第一通道1231和第二通道1232后进入过滤器200内。

当然，上述第一通道1231和第二通道1232的形状仅仅是作为举例说明，在实际应用中，第一通道1231和第二通道1232的形状也可做其它形式的设计，本申请实施例在此不做限定。

另外，由于过滤器接口210安装于安装孔112内，并且研磨液通过第二通道1232后进入过滤器200内，还可使得第二通道1232的轴心线与安装孔112的轴心线一致，从而使得研磨液在进入过滤器200内时不会外漏。同时，第二通道1232的轴心线与安装孔112的轴心线一致，也可使得第二通道1232能够与过滤器接口210对位准确，以避免错位安装的情况发生，从而消除研磨液在流通过程中的死角，减小了研磨液洁净的可能，保证产品的质量。

如前所述，研磨液通过第二通道1232后进入过滤器200中，如图2所示，过滤器接口210设有过滤通道211，该过滤通道211的一端可与第二通道1232连通，另一端与过滤器主体220连通，从而使得研磨液可由过滤器接口210顺利进入过滤器主体220内。第二通道1232远离第一通道1231的一端开口的直径可大于过滤通道211朝向第二通道1232的一端开口的直径，这样，可使得第二通道1232的开口能够覆盖过滤通道211的开口，研磨液在由第二通道1232流向过滤通道211的过程中，可完全进入过滤通道211内，以避免外漏的现象发生。此外，由于第二通道1232的开口能够覆盖过滤通道211的开口，避免了第二通道1232与过滤通道211错位的情况发生，从而可使得研磨液的流道通路没有死角，减小了研磨液结晶的可能，保证了产品的质量。

继续参考图2，过滤器接口210可包括第一分部212和第二分部213，第一分部212的一端可与过滤器主体220连接，另一端与第二分部213连接，并且第一分部212的一部分可位于安装孔112内，其朝向连接部121的一侧表面可与安装孔112朝向连接部121的端口平齐；而第二分部213连接于第一分部212朝向连接部121的一侧，也即第二分部213位于支架110内部。并且，第二分部213的直径大于安装孔112的直径，当过滤器接口210放置于安装孔112内时，第二分部213背离连接部121的一侧表面可与支架110抵接，从而限制过滤器200上下移动，以保证过滤器200的固定效果。

另外，安装孔112的直径还可稍大于第一分部212的直径，当需要安装过滤器200时，不仅可便于过滤器接口210安装于安装孔112内，由于省去了现有的卡接方式进行固定过滤器200，过滤器接口210与支架110之间不需要紧密连接来保证二者之间固定。因此，安装孔112与过滤器接口210之间留有一定的间隙，不仅可方便拆卸和安装过滤器200，还可避免由于过滤器接口210与支架110之间紧密连接而导致过滤器接口210受到损伤，出现漏液的情况。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (15)

1.一种过滤器固定结构，其特征在于，包括支架和连接件，其中：

所述支架内部具有容置空间，所述容置空间相对的两侧设有连接孔和安装孔，所述安装孔和所述连接孔均与所述容置空间连通，所述安装孔可用于安装过滤器接口，以使得所述过滤器接口的至少一部分位于所述容置空间；

所述连接件的一端可由所述连接孔伸入至所述容置空间内，并且所述连接件可相对所述支架上下移动地连接于支架，以使得所述连接件朝向所述安装孔的端面与过滤器接口的端面抵接或与过滤器接口的端面脱离接触；

所述连接件内设有与过滤器接口连通的流通通道；

所述过滤器接口背离所述连接件的一侧端面与所述支架抵接。

2.根据权利要求1所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述连接件包括：

连接部，所述连接部通过所述连接孔与所述支架连接，且所述连接部的内部具有中空结构；

接液部，所述接液部固定于所述中空结构内，且所述流通通道设置于所述接液部内。

3.根据权利要求2所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述连接部与所述支架之间螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述连接部包括第一主体部和手柄，其中：

所述第一主体部为内部具有所述中空结构的圆柱体，且所述第一主体部的外表面设有沿周向分布的螺纹；

所述手柄连接所述第一主体部背离所述安装孔的一端。

5.根据权利要求4所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述第一主体部的外表面设有两个止付螺丝，两个所述止付螺丝沿所述第一主体部的轴心线对称设置。

6.根据权利要求4所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述连接件还包括插销，所述手柄设有贯穿手柄的固定孔，所述插销的一端可插入所述固定孔以使所述连接件与所述支架之间保持相对固定。

7.根据权利要求2-6任一所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述接液部包括第二主体部和抵接部，所述第二主体部固定于所述抵接部背离所述安装孔的一侧，且所述流通通道贯穿所述第二主体部和抵接部。

8.根据权利要求7所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述抵接部朝向所述安装孔的一侧设有缓冲部。

9.根据权利要求8所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述缓冲部包括应力缓冲材料。

10.根据权利要求2所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述流通通道包括连通的第一通道和第二通道，所述第一通道与所述接液部背离所述安装孔的一端连通，所述第二通道与所述接液部朝向所述安装孔的一端连通，且所述第一通道的直径大于所述第二通道的直径。

11.根据权利要求10所述的过滤器固定结构，其特征在于，所述第二通道的轴心线与所述安装孔的轴心线一致。

12.一种过滤装置，其特征在于，包括安装架、过滤器和如权利要求1-11任一项所述的过滤器固定结构，其中：

所述过滤器固定结构安装于所述安装架；

所述过滤器包括过滤器主体和过滤器接口，所述过滤器接口安装于所述安装孔，且所述过滤器接口与所述过滤器固定结构的所述连接件抵接，且所述过滤器接口与所述连接件的流通通道连通。

13.根据权利要求12所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤器接口设有与所述过滤器主体连通的过滤通道，所述过滤通道与所述流通通道连通，且所述流通通道与所述过滤通道连通的一端开口直径大于所述过滤通道与所述流通通道连通的一端开口直径。

14.根据权利要求12所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤器接口包括第一分部和第二分部，其中：

所述第一分部位于所述安装孔内，且所述第一分部朝向所述连接部的一侧表面与所述安装孔朝向所述连接部的一侧端口平齐；

所述第二分部连接所述第一分部朝向所述连接部的一端，且所述第二分部的直径大于所述安装孔的直径。

15.根据权利要求14所述的过滤装置，其特征在于，所述安装孔的直径大于所述第一分部的直径。