CN114550586B - 柔性显示面板及其制备方法、监测方法、折叠显示装置 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例涉及一种柔性显示面板及其制备方法、监测方法、折叠显示装置，该柔性显示面板包括：基底层，所述基底层包含柔性导电薄膜层和力敏传感器，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料；所述力敏传感器位于所述柔性显示面板的折叠区，且所述力敏传感器用于在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号，所述电信号用于确定所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。本申请通过电信号确定柔性显示面板的折叠应力检测结果，以实时反映柔性显示面板的折叠应力应变，实现折叠应力的实时输出，进而实现折叠寿命预测和超应力折叠预警。
Description
技术领域
本申请实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及其制备方法、监测方法、折叠显示装置。
背景技术
随着显示技术的快速发展，各种类型的显示产品逐渐出现在人们的生活中。其中，诸如折叠显示屏等柔性显示产品在市场上的客户认可度越来越高，得到越来越多消费者的青睐。目前，虽然折叠显示屏的出现可以同时满足人们对大屏幕显示和便于携带的需求，但是折叠显示屏还处在发展的初期，广大消费者对折叠显示屏的折叠性能及使用寿命还存在很多疑虑，这一疑虑影响了折叠屏的普及。
发明内容
鉴于此，为解决上述技术问题或部分技术问题，本申请实施例提供一种柔性显示面板及其制备方法、监测方法、折叠显示装置。
第一方面，本申请实施例提供一种柔性显示面板，包括：
基底层，所述基底层包含柔性导电薄膜层和力敏传感器，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料；
所述力敏传感器位于所述柔性显示面板的折叠区，且所述力敏传感器用于在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号，所述电信号用于确定所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。
在一个可选实施方式中，所述基底层还包括：设置在所述柔性导电薄膜层一侧的目标材料层；
所述力敏传感器包含压力应变传感器和/或力敏元件，所述压力应变传感器集成于所述柔性导电薄膜层，所述力敏元件设置在所述柔性导电薄膜层和所述目标材料层之间；
所述柔性显示面板还包括：设置在所述目标材料层远离所述柔性导电薄膜层一侧的中间层。
在一个可选实施方式中，所述中间层包含依次层叠的第一绝缘层、第一数据线层、第二绝缘层、金属层、层间绝缘层、源漏层和像素界定层；
所述基底层还包括：设置在所述柔性导电薄膜层远离所述目标材料层一侧的支撑膜层，所述柔性导电薄膜层的材料为导电颗粒与聚酰亚胺溶解混合形成柔性敏感导电材料；
所述目标材料层和所述中间层开设有刻蚀后的开口槽，刻蚀后的所述开口槽的侧壁包括所述中间层的侧壁和所述目标材料层的侧壁，所述开口槽内填充有依次沉积的所述金属层、所述层间绝缘层和所述源漏层；
所述金属层的输入端与所述力敏传感器的输出端连接，且所述金属层的输出端与数据接收器连接，所述金属层用于将所述电信号传输给所述数据接收器。
在一个可选实施方式中，所述柔性导电薄膜层为第一衬底层，所述目标材料层包括：
设置在所述第一衬底层一侧的第一阻挡膜层；
设置在所述第一阻挡膜层远离所述第一衬底层一侧的第二衬底层；以及，
设置在所述第二衬底层与所述中间层之间的第二阻挡膜层。
在一个可选实施方式中，所述柔性导电薄膜层为支撑膜层，所述支撑膜层的材料为导电颗粒与目标聚合物溶解混合形成的柔性敏感导电薄膜材料，所述目标聚合物包含聚酰亚胺或聚对苯二甲酸；
所述支撑膜层通过导线与数据接收器连接，所述导线用于将所述电信号传输给所述数据接收器；
所述目标材料层包括：依次层叠的第一衬底层、第一阻挡膜层、第二衬底层和第二阻挡膜层，所述第二阻挡膜层设置在所述第二衬底层与所述中间层之间。
第二方面，本申请实施例提供一种柔性显示面板的制备方法，包括：
对所述柔性显示面板的基底层进行导电处理，形成柔性导电薄膜层，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料；
在所述柔性显示面板的折叠区，基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，所述力敏传感器用于在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号，所述电信号用于确定所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。
在一个可选实施方式中，上述柔性显示面板的制备方法还包括：
在所述柔性导电薄膜层上制备目标材料层；
在所述目标材料层远离所述柔性导电薄膜层的一侧形成中间层，所述中间层包含依次层叠的第一绝缘层、第一数据线层、第二绝缘层、金属层、层间绝缘层、源漏层和像素界定层；
其中，所述基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，包括：在所述柔性导电薄膜层为所述基底层中的支撑膜层时，对所述支撑膜层进行打孔处理，形成应变传感器，以作为所述力敏传感器；
所述支撑膜层的材料为导电颗粒与目标聚合物溶解混合形成的柔性敏感导电薄膜材料，所述目标聚合物包含聚酰亚胺或聚对苯二甲酸；
所述目标材料层包括：依次层叠的第一衬底层、第一阻挡膜层、第二衬底层和第二阻挡膜层，所述第二阻挡膜层设置在所述第二衬底层与所述中间层之间。
在一个可选实施方式中，在所述柔性导电薄膜层为所述基底层中的第一衬底层时，所述柔性导电薄膜层的材料为导电颗粒与聚酰亚胺溶解混合形成柔性敏感导电材料，所述柔性显示面板的制备方法还包括：
在所述第一衬底层的一侧制备支持膜层；
在所述第一衬底层远离所述支持膜层的另一侧，制备目标材料层，所述目标材料层包括：依次层叠的第一阻挡膜层、第二衬底层和第二阻挡膜层；
在所述第二阻挡膜层远离所述第二衬底层的一侧形成第一绝缘层；
在所述第一绝缘层远离所述第二阻挡膜层的一侧形成第一数据线层和第二绝缘层，且所述第二绝缘层覆盖所述第一数据线层；
对所述力敏传感器的输出端的区域对应的所述目标材料层、所述第一绝缘层以及所述第二绝缘层进行刻蚀，形成开口槽，所述开口槽的底部为所述力敏传感器的输出端的区域；
在所述第二绝缘层远离所述柔性导电薄膜层的一侧制备金属层、所述层间绝缘层、所述第一源漏层和所述钝化层，使得所述开口槽内填充依次沉积的所述金属层、所述层间绝缘层和所述源漏层；
所述金属层用于连接数据接收器，并将所述电信号传输给所述数据接收器；
所述力敏传感器包括：压力应变传感器和/或力敏元件，所述基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，包括：对所述柔性导电薄膜层进行打孔处理，形成应变传感器；或者，采用光刻工艺，在所述柔性导电薄膜层上制备力敏元件，所述力敏元件位于所述柔性导电薄膜层与所述目标材料层之间。
第三方面，本申请实施例提供一种柔性显示面板的监测方法，所述柔性显示面板包含包基底层，所述基底层包含柔性导电薄膜层和力敏传感器，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料，且所述力敏传感器位于所述柔性显示面板的折叠区，所述监测方法包括：
监测所述力敏传感器输出的电压信号，所述电压信号为所述力敏传感器在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号；
将所述电压信号与预设的标准信号进行对比，得到信号对比结果；
依据所述信号对比结果，生成所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。
第四方面，本申请实施例提供一种折叠显示装置，包括：如上述第一方面任一所述的柔性显示面板。
本申请实施例提供的柔性显示面板及其制备方法、监测方法、折叠显示装置，该柔性显示面板包括：基底层，所述基底层包含柔性导电薄膜层和力敏传感器，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料；所述力敏传感器位于所述柔性显示面板的折叠区，且所述力敏传感器用于在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号，从而可以依据该所述电信号确定所述柔性显示面板的折叠应力检测结果，以实时反映柔性显示面板的折叠应力应变，实现折叠应力的实时输出，进而能够基于该折叠应力实现折叠寿命预测和超应力折叠预警，提高用户折叠显示装置的信任度，以及提高折叠显示装置的普及率。
附图说明
图1为本申请实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图；
图2为本申请实施例中力敏传感器位于柔性显示面板的折叠区的示意图；
图3为本申请一个可选实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图；
图4为本申请一个可选实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图；
图5为本申请一个示例在柔性屏的PI1膜层上制备力敏元件的示意图；
图6为本申请另一个可选实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图；
图7为本申请实施例提供的一种柔性显示面板的制备方法的步骤流程图；
图8为本申请实施例提供的一种折叠显示装置的结构示意图；
图9为本申请实施例提供的一种柔性显示面板的监测方法的步骤流程图。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请实施例的核心构思之一在于，通过对柔性显示面板的基底成进行导电处理，以在基底层形成柔性导电薄膜层和力敏传感器，从而可以在柔性导电薄膜层中的柔性导电薄膜材料发生形变时，通过力敏传感器输出电信号，以通过电信号实时反映柔性显示面板的折叠应力应变，实现折叠应力的实时输出，进而实现折叠寿命预测和超应力折叠预警。
为便于对本申请实施例的理解，下面将结合附图以具体实施例做进一步的解释说明，实施例并不构成对本申请实施例的限定。
参照图1，示出了本申请实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图。该柔性显示面板包括基底层110，所述基底层110包含柔性导电薄膜层111和力敏传感器112，所述柔性导电薄膜层111的材料为柔性导电薄膜材料；所述力敏传感器112位于所述柔性显示面板的折叠区，如图2所示，且所述力敏传感器112用于在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号，所述电信号用于确定所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。
在具体实现中，可以通过对柔性显示面板中的基底层110进行导电处理，如可以对基底层110中的聚酰亚胺(Polyimide，PI)膜层或背膜进行导电处理，以在基底层110中形成柔性导电薄膜层111；其中，导电处理是将是导电颗粒(如碳黑)与高分子聚合物(如PI)或背膜溶解混合形成柔性纳米敏感导电薄膜材料，以作为柔性导电薄膜层111的柔性导电薄膜材料。随后，可基于该柔性导电膜层的柔性导电薄膜材料进行图形化处理，以在柔性显示面板的折叠区形成力敏传感器112，使得基底层110可以包含有基于柔性导电薄膜层111制备的力敏传感器112，且力敏传感器112在柔性导电薄膜材料发生形变时，其导电能力发生明显的变化，从而可以通过力敏传感器112输出的电信号实时反映柔性显示面板的折叠应力应变，实现折叠应力的实时输出，进而实现折叠寿命预测和超应力折叠预警。
可见，本申请实施例提供的柔性显示面板的基底层110包含柔性导电薄膜层111和位于折叠区的力敏传感器112，且柔性导电薄膜层111的材料为柔性导电薄膜材料，从而可以在柔性导电薄膜材料发生形变时，通过力敏传感器112输出电信号，且该电信号可以用于确定性显示面板的折叠应力检测结果，以通过电信号实时反映柔性显示面板的折叠应力应变，实现折叠应力的实时输出，进而实现折叠寿命预测和超应力折叠预警，提高用户的信任度，解决了现有技术中由于用户对包含有柔性显示面板的折叠显示装置的折叠性能及使用寿命存在疑虑而影响折叠显示装置普及的问题，提高折叠显示装置的普及率。
在实际处理中，柔性显示面板的基底层110除了可以包含有柔性导电薄膜层111和力敏传感器112之外，还可以包含有其膜层，如还可以包有设置在柔性导电薄膜层111一侧的目标材料层，该目标材料层可以包含有背膜(Back Fuze，BF)层、缓冲(Buffer)膜层等，本申请实施例对此不作具体限制。
可选的，在上述实施例的基础上，本申请实施例中的基底层110还包括：设置在所述柔性导电薄膜层111一侧的目标材料层113；其中，所述力敏传感器112可以包含压力应变传感器1121和/或力敏元件1122；所述压力应变传感器1121集成于所述柔性导电薄膜层111，如图3所示；所述力敏元件1122可以设置在所述柔性导电薄膜层111和所述目标材料层113之间，如图4所示。进一步而言，本申请实施例中的柔性显示面板还可以包括：设置在所述目标材料层113远离所述柔性导电薄膜层111一侧的中间层120。
在具体实现中，本申请实施例中的中间层120可以包含依次层叠的第一绝缘层、第一数据线层、第二绝缘层、金属层、层间绝缘层、源漏层和像素界定层(Pixel DefineLayer，PDL)；其中，第一绝缘层可以是设置在目标材料层113远离述柔性导电薄膜层111一侧的栅极绝缘(Gate Insulator，GI)层，如可是图3或图4中GI1所在的膜层；第一数据线层可以是图3或图4中第一栅极Gate1所在的膜层；第二绝缘层可以是图3或图4中GI2所在的膜层；金属层可以是图3或图4中第二栅极Gate2所在的膜层；层间绝缘层可以是图3或图4中层间介质(Icnterlayer Dielectri，ILD)所在的膜层；源漏层可以是显示面板中源极(Source，S)、漏极(Drain，D)所在的膜层，具体可以包括有：钝化层(Passivation Layer，PVX)和平坦层等，如图3或图4所示，该源漏层可以包含有由一种无机物组成的第一钝化层PVX1、由聚酰亚胺组成的第一平坦层PLN1和第二平坦层PLN2等，本申请实施例对此不作具体限制。
可选的，基底层110还可以包括：设置在所述柔性导电薄膜层111远离所述目标材料层113一侧的支撑膜层114，所述柔性导电薄膜层111的材料为导电颗粒与聚酰亚胺溶解混合形成柔性敏感导电材料；所述目标材料层113和所述中间层120开设有刻蚀后的开口槽，刻蚀后的所述开口槽的侧壁包括所述中间层120的侧壁和所述目标材料层113的侧壁，所述开口槽内填充有依次沉积的所述金属层、所述层间绝缘层和所述源漏层；所述金属层的输入端与所述力敏传感器112的输出端连接，且所述金属层的输出端与数据接收器连接，所述金属层用于将所述电信号传输给所述数据接收器。
在本申请的一个可选实施例中，所述柔性导电薄膜层111为第一衬底层PI1，如图3或图4所示，所述目标材料层113包括：设置在所述第一衬底层PI1一侧的第一阻挡膜层Barrier1；设置在所述第一阻挡膜层Barrier1远离所述第一衬底层PI1一侧的第二衬底层PI2；以及，设置在所述第二衬底层PI2与所述中间层120之间的第二阻挡膜层Barrier2+Buffer。设置在第一衬底层PI1远离所述目标材料层113一侧的支撑膜层114可以是BF所在的膜层。需要说明的是，BF的材料可以是诸如聚对苯二甲酸(Polyethyleneterephthalate,PET)、PI等高分子聚合物材料，本申请实施例对此不作具体限制。
作为本申请的一个可选示例，可以对柔性屏的PI1膜层进行导电处理，如将导电颗粒(碳黑)与高分子聚合物(PI)溶解混合形成柔性敏感导电材料，采用现有涂覆工艺进行涂覆，形成柔性导电薄膜层111；随后，可在柔性屏折叠区采用光刻工艺将柔性导电薄膜进行打孔处理，形成微型压力应变传感器，以作为压力应变传感器1121，如图2所示。当图形化的柔性纳米敏感材料发生变形时，其导电能力产生明显的变化。为了将PI1导电薄膜的电信号输出，可以在GI2工艺后进行PI2打孔刻蚀工艺，刻蚀至PI1层，然后沉积Gate2金属层实现与PI1的连接，如图3所示，即金属层的输入端与压力应变传感器1121的输出端连接，且金属层的输出端与数据接收器连接，使得应变传感器1121输出的电信号可以通过金属层传输给数据接收器，即PI1导电薄膜电信号通过Gate2金属输出至外部连接处理器，最后将电信号所反映的折叠屏的折叠应力应变、折叠屏折叠寿命预测和超应力折叠预警显示到折叠屏幕上，实现实时监测。
可见，本申请实施例通过在目标材料层和中间层进行刻蚀，形成开口槽，并在开口槽内填充沉积的金属层，使得沉积的金属层与集成在第一衬底层PI1的压力应变传感器1121连接，从而使得应变传感器1121输出的电信号可以通过沉积的金属层传输给数据接收器，实现折叠应力的实时输出。
当然，本申请实施例除了可以在PI1膜层(即第一衬底层)集成压力应变传感器1121之外，也可以在PI1膜层与第一阻挡膜层Barrier1制作力敏元件。例如，可以在柔性屏的PI1膜层上进行力敏元件的制作，采用光刻工艺将铝或者铝合金制作成力敏元件1122，如图5所示。当图形化的柔性纳米敏感材料发生变形时，其导电能力产生明显的变化。为了将PI导电薄膜的电信号输出，可以在GI2工艺后进行PI2打孔刻蚀工艺，刻蚀至PI1膜层，然后沉积Gate2金属层实现与PI1膜层的连接，如图4所示。PI1膜层上力敏元件1122的电信号可以通过Gate2金属输出至外部连接处理器，随后可将电信号所反映的折叠屏的折叠应力应变、折叠屏折叠寿命预测和超应力折叠预警显示到折叠屏幕上，实现实时监测。
可见，本申请实施例通过在目标材料层和中间层开设刻蚀后的开口槽，并在开口槽内填充沉积的金属层，使得沉积的金属层与在第一衬底层PI1上制备的力敏元件1122连接，从而使得力敏元件1122输出的电信号可以通过沉积的金属层传输给数据接收器，实现折叠应力的实时输出。
当然，本申请实施例处理可以利用PI1膜层进行导电处理，还可以利用基底层中其他膜层进行导电处理，如可以利用基底层中的支撑膜层进行导电处理，以在支撑膜层中形成力敏传感器112。进一步而言，在本申请的另一个可选实施例中，所述柔性导电薄膜层111为支撑膜层，如图6所示，该支撑膜层可以是BF所在的膜层，且支撑膜层的材料为导电颗粒与目标聚合物溶解混合形成的柔性敏感导电薄膜材料，所述目标聚合物包含聚酰亚胺或聚对苯二甲酸；所述支撑膜层通过导线与数据接收器连接，所述导线用于将所述电信号传输给所述数据接收器；所述目标材料层113可以包括：依次层叠的第一衬底层PI1、第一阻挡膜层Barrier1、第二衬底层PI2和第二阻挡膜层Barrier2+Buffer，所述第二阻挡膜层Barrier2+Buffer设置在所述第二衬底层PI2与所述中间层120之间。
例如，可以将导电颗粒(碳黑)与高分子聚合物(PET)溶解混合形成柔性敏感导电薄膜材料，然后可采用该柔性敏感导电薄膜材料制备柔性导电背膜，以作为本申请实施例中的柔性导电薄膜层111。随后，可采用激光打孔、化学腐蚀等工艺方法对形成的柔性导电背膜进行图形化处理，如图2所示，进而形成微型压力应变传感器结构。为了将柔性导电背膜的电信号变化输出，可以在背膜背面进行导线连接至数据接收器，如图6所示，从而可以通过数据接收器将电信号所反映的折叠屏的折叠应力应变、折叠屏折叠寿命预测和超应力折叠预警显示到折叠屏幕上，实现实时监测。
需要说明的是，柔性导电薄膜的图形化处理除了可以使用口字型图案之外，还可使用诸如工字型、回字形等图案，本申请实施例对此不作具体限制。
当然，本申请实施例中的柔性显示面板除了可以包含上述实施例所述的基底层、中间层之外，还可以包括显示面板的其他层，如还可以包含有隔垫物层(PhotoSpacer，PS)、阳极(Anode)层等，本申请实施例对此不作限制。
进一步的，本申请实施例还提供了一种柔性显示面板的制备方法，如图7所示，本申请实施例提供的柔性显示面板的制备方法具体可以包括如下步骤：
步骤710、对所述柔性显示面板的基底层进行导电处理，形成柔性导电薄膜层，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料；
步骤720、在所述柔性显示面板的折叠区，基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，所述力敏传感器用于在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号，所述电信号用于确定所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。
可见，本申请实施例通过对柔性显示面板的基底层进行导电处理，形成柔性导电薄膜层，并在柔性显示面板的折叠区，基于该柔性导电薄膜层制备力敏传感器，且该柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料，从而可以在柔性导电薄膜材料发生形变时，通过力敏传感器输出电信号，以通过电信号实时反映柔性显示面板的折叠应力应变，实现折叠应力的实时输出，进而实现折叠寿命预测和超应力折叠预警，提高用户的信任度，解决了现有技术中由于用户对包含有柔性显示面板的折叠显示装置的折叠性能及使用寿命存在疑虑而影响折叠显示装置普及的问题，提高折叠显示装置的普及率。
可选的，上述柔性显示面板的制备方法，还包括：在所述柔性导电薄膜层上制备目标材料层；在所述目标材料层远离所述柔性导电薄膜层的一侧形成中间层，所述中间层包含依次层叠的第一绝缘层、第一数据线层、第二绝缘层、金属层、层间绝缘层、源漏层和像素界定层。
其中，所述基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，包括：在所述柔性导电薄膜层为所述基底层中的支撑膜层时，对所述支撑膜层进行打孔处理，形成应变传感器，以作为所述力敏传感器。
作为本申请的一个示例，可以通过对柔性屏的支撑膜层打孔处理，形成微型压力应变传感器，从而可以通过微型压力应变传感器输出电信号实时反映柔性显示面板的折叠应力应变，实现折叠应力的实时输出。需要说明的是，在柔性屏折叠过程中，微型压力应变传感器结构发生形变，进而其阻抗发生变化。随着折叠次数的增多，支撑膜层的材料阻抗会呈线性增加，输入相同的电压信号，微型压力应变传感器的输出电压将会呈线性降低。因此，本示例中的接收器可以利用输出的电压信号与标准信号进行对比，进而输出折叠屏寿命预测。
进一步而言，本申请实施例中的支撑膜层的材料为导电颗粒与目标聚合物溶解混合形成的柔性敏感导电薄膜材料，所述目标聚合物包含聚酰亚胺或聚对苯二甲酸；所述目标材料层包括：依次层叠的第一衬底层、第一阻挡膜层、第二衬底层和第二阻挡膜层，所述第二阻挡膜层设置在所述第二衬底层与所述中间层之间。
进一步而言，在所述柔性导电薄膜层为所述基底层中的第一衬底层时，所述柔性导电薄膜层的材料为导电颗粒与聚酰亚胺溶解混合形成柔性敏感导电材料，本申请实施例提供的柔性显示面板的制备方法还可以包括：在所述第一衬底层的一侧制备支持膜层；在所述第一衬底层远离所述支持膜层的另一侧，制备目标材料层，所述目标材料层包括：依次层叠的第一阻挡膜层、第二衬底层和第二阻挡膜层；在所述第二阻挡膜层远离所述第二衬底层的一侧形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层远离所述第二阻挡膜层的一侧形成第一数据线层和第二绝缘层，且所述第二绝缘层覆盖所述第一数据线层；对所述力敏传感器的输出端的区域对应的所述目标材料层、所述第一绝缘层以及所述第二绝缘层进行刻蚀，形成开口槽，所述开口槽的底部为所述力敏传感器的输出端的区域；在所述第二绝缘层远离所述柔性导电薄膜层的一侧制备金属层、所述层间绝缘层、所述第一源漏层和所述钝化层，使得所述开口槽内填充依次沉积的所述金属层、所述层间绝缘层和所述源漏层。其中，所述金属层用于连接数据接收器，并将所述电信号传输给所述数据接收器。
进一步的，本申请实施例中的力敏传感器可以包括：压力应变传感器和/或力敏元件，所述基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，包括：对所述柔性导电薄膜层进行打孔处理，形成应变传感器；或者，采用光刻工艺，在所述柔性导电薄膜层上制备力敏元件，所述力敏元件位于所述柔性导电薄膜层与所述目标材料层之间。
进一步的，本申请实施例提供的一种折叠显示装置。如图8所示，本申请实施例中的折叠显示装置800包括：柔性显示面板810，该柔性显示面板810可以是上述任一实施例所述的柔性显示面板。由于该折叠显示装置解决问题的原理与前述一种柔性显示面板相似，因此该折叠显示装置中的柔性显示面板的实施可以参见前述实例中柔性显示面板的实施，重复之处不再赘述。在具体实现中，该折叠显示装置可以是折叠显示屏、手机、电视、笔记本电脑、电子纸、导航仪、一体机等，本申请对此不作具体限制。
根据本申请实施例的折叠显示装置，采用上述实施例中的显示面板，通过对柔性显示面板的基底成进行导电处理，以在基底层形成柔性导电薄膜层和力敏传感器，从而可以在柔性导电薄膜层中的柔性导电薄膜材料发生形变时，通过力敏传感器输出电信号，以通过电信号实时反映柔性显示面板的折叠应力应变，实现折叠应力的实时输出，进而能够实现折叠寿命预测和超应力折叠预警，能够有效提高用户的信任度，解决了现有技术中由于用户对包含有柔性显示面板的折叠显示装置的折叠性能及使用寿命存在疑虑而影响折叠显示装置普及的问题，提高折叠显示装置的普及率。
进一步的，本申请实施例提供的一种柔性显示面板的监测方法，所述柔性显示面板包含包基底层，所述基底层包含柔性导电薄膜层和力敏传感器，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料，且所述力敏传感器位于所述柔性显示面板的折叠区，如图9所示，所述监测方法可以包括如下步骤：
步骤910，监测所述力敏传感器输出的电压信号，所述电压信号为所述力敏传感器在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号；
步骤920，将所述电压信号与预设的标准信号进行对比，得到信号对比结果；
步骤930，依据所述信号对比结果，生成所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。
综上，本申请实例通过监测基底层中力敏传感器输出的电压信号，并将该力敏传感器输出的电压信号与预设的标准信号进行对比，以依据信号对比结果，生成柔性显示面板的折叠应力检测结果，达到实时反映柔性显示面板的折叠应力应变的目的，实现折叠应力的实时输出，进而实现折叠寿命预测和超应力折叠预警。
需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
专业人员应该还可以进一步意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、计算机软件或者二者的结合来实现，为了清楚地说明硬件和软件的可互换性，在上述说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本申请的范围。
以上所述的具体实施方式，对本申请的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本申请的具体实施方式而已，并不用于限定本申请的保护范围，凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：基底层，所述基底层包含柔性导电薄膜层和力敏传感器，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料；
所述力敏传感器位于所述柔性显示面板的折叠区，且所述力敏传感器用于在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号，所述电信号用于确定所述柔性显示面板的折叠应力检测结果；
所述基底层还包括：设置在所述柔性导电薄膜层一侧的目标材料层；
所述力敏传感器包含压力应变传感器和/或力敏元件，所述压力应变传感器集成于所述柔性导电薄膜层，所述力敏元件设置在所述柔性导电薄膜层和所述目标材料层之间；
所述柔性显示面板还包括：设置在所述目标材料层远离所述柔性导电薄膜层一侧的中间层；
所述中间层包含依次层叠的第一绝缘层、第一数据线层、第二绝缘层、金属层、层间绝缘层、源漏层和像素界定层；
所述基底层还包括：设置在所述柔性导电薄膜层远离所述目标材料层一侧的支撑膜层，所述柔性导电薄膜层的材料为导电颗粒与聚酰亚胺溶解混合形成柔性敏感导电材料；
所述目标材料层和所述中间层开设有刻蚀后的开口槽，刻蚀后的所述开口槽的侧壁包括所述中间层的侧壁和所述目标材料层的侧壁，所述开口槽内填充有依次沉积的所述金属层、所述层间绝缘层和所述源漏层；
所述金属层的输入端与所述力敏传感器的输出端连接，且所述金属层的输出端与数据接收器连接，所述金属层用于将所述电信号传输给所述数据接收器。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性导电薄膜层为第一衬底层，所述目标材料层包括：
设置在所述第一衬底层一侧的第一阻挡膜层；
设置在所述第一阻挡膜层远离所述第一衬底层一侧的第二衬底层；以及，
设置在所述第二衬底层与所述中间层之间的第二阻挡膜层。
3.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性导电薄膜层为支撑膜层，所述支撑膜层的材料为导电颗粒与目标聚合物溶解混合形成的柔性敏感导电薄膜材料，所述目标聚合物包含聚酰亚胺或聚对苯二甲酸；
所述支撑膜层通过导线与数据接收器连接，所述导线用于将所述电信号传输给所述数据接收器；
所述目标材料层包括：依次层叠的第一衬底层、第一阻挡膜层、第二衬底层和第二阻挡膜层，所述第二阻挡膜层设置在所述第二衬底层与所述中间层之间。
4.一种柔性显示面板的制备方法，其特征在于，用于制备如权利要求1至3任一项所述的柔性显示面板，所述方法包括：
对所述柔性显示面板的基底层进行导电处理，形成柔性导电薄膜层，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料；
在所述柔性显示面板的折叠区，基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，所述力敏传感器用于在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号，所述电信号用于确定所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。
5.根据权利要求4所述的柔性显示面板的制备方法，其特征在于，还包括：
在所述柔性导电薄膜层上制备目标材料层；
在所述目标材料层远离所述柔性导电薄膜层的一侧形成中间层，所述中间层包含依次层叠的第一绝缘层、第一数据线层、第二绝缘层、金属层、层间绝缘层、源漏层和像素界定层；
其中，所述基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，包括：在所述柔性导电薄膜层为所述基底层中的支撑膜层时，对所述支撑膜层进行打孔处理，形成应变传感器，以作为所述力敏传感器；
所述支撑膜层的材料为导电颗粒与目标聚合物溶解混合形成的柔性敏感导电薄膜材料，所述目标聚合物包含聚酰亚胺或聚对苯二甲酸；
所述目标材料层包括：依次层叠的第一衬底层、第一阻挡膜层、第二衬底层和第二阻挡膜层，所述第二阻挡膜层设置在所述第二衬底层与所述中间层之间。
6.根据权利要求5所述的柔性显示面板的制备方法，其特征在于，在所述柔性导电薄膜层为所述基底层中的第一衬底层时，所述柔性导电薄膜层的材料为导电颗粒与聚酰亚胺溶解混合形成柔性敏感导电材料，所述柔性显示面板的制备方法还包括：
在所述第一衬底层的一侧制备支持膜层；
在所述第一衬底层远离所述支持膜层的另一侧，制备目标材料层，所述目标材料层包括：依次层叠的第一阻挡膜层、第二衬底层和第二阻挡膜层；
在所述第二阻挡膜层远离所述第二衬底层的一侧形成第一绝缘层；
在所述第一绝缘层远离所述第二阻挡膜层的一侧形成第一数据线层和第二绝缘层，且所述第二绝缘层覆盖所述第一数据线层；
对所述力敏传感器的输出端的区域对应的所述目标材料层、所述第一绝缘层以及所述第二绝缘层进行刻蚀，形成开口槽，所述开口槽的底部为所述力敏传感器的输出端的区域；
在所述第二绝缘层远离所述柔性导电薄膜层的一侧制备金属层、所述层间绝缘层、所述源漏层和钝化层，使得所述开口槽内填充依次沉积的所述金属层、所述层间绝缘层和所述源漏层；所述金属层用于连接数据接收器，并将所述电信号传输给所述数据接收器；
其中，所述力敏传感器包括：压力应变传感器和/或力敏元件，所述基于所述柔性导电薄膜层制备力敏传感器，包括：对所述柔性导电薄膜层进行打孔处理，形成应变传感器；或者，采用光刻工艺，在所述柔性导电薄膜层上制备所述力敏元件，所述力敏元件位于所述柔性导电薄膜层与所述目标材料层之间。
7.一种柔性显示面板的监测方法，其特征在于，应用于如权利要求1至3任一项所述的柔性显示面板，所述柔性显示面板包含包基底层，所述基底层包含柔性导电薄膜层和力敏传感器，所述柔性导电薄膜层的材料为柔性导电薄膜材料，且所述力敏传感器位于所述柔性显示面板的折叠区，所述监测方法包括：
监测所述力敏传感器输出的电压信号，所述电压信号为所述力敏传感器在所述柔性导电薄膜材料发生形变时输出的电信号；
将所述电压信号与预设的标准信号进行对比，得到信号对比结果；
依据所述信号对比结果，生成所述柔性显示面板的折叠应力检测结果。
8.一种折叠显示装置，其特征在于，所述折叠显示装置包括：如权利要求1至3任一项所述的柔性显示面板。
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