CN114496873A - 晶圆清洗设备及其传输装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种晶圆清洗设备及其传输装置，所公开的晶圆传输装置包括晶圆装载部、支撑基座、第一调节组件和第二调节组件，其中：晶圆装载部包括装载支架，支撑基座包括支撑基板，装载支架与支撑基板相连，且装载支架在支撑基板的支撑面上位置可调；第一调节组件用于调节装载支架相对支撑基板在第一方向的位置，第二调节组件用于调节装载支架相对支撑基板在第二方向的位置，第一方向与第二方向均与支撑面平行，且第一方向与第二方向不同。上述方案可以解决调节组件调节晶圆装载部在支撑基座的支撑面上的位置时，只能在一个方向进行调节，在其它方向的调节需要手动拆卸后调节而造成的调节精度不高，且调节效率低的问题。

Description

晶圆清洗设备及其传输装置

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗设备及其传输装置。

背景技术

晶圆清洗是半导体制造工艺中较为重要的步骤。在晶圆清洗时，通常需要机械手准确的抓取装载在传输装置上的晶圆，再将晶圆放入清洗槽内进行清洗。机械手能否准确的抓取晶圆是晶圆清洗工艺中的关键步骤。

在晶圆清洗设备中，机械手的位置相对固定，且无法调节，如果放置在传输装置上的晶圆位置不精确，机械手在抓取晶圆时可能存在损坏晶圆的风险，因此，在机械手抓取晶圆时需要预先对晶圆的位置进行调节。传输装置包括晶圆装载部、支撑基座和调节组件，晶圆装载部用于支撑晶圆，晶圆装载部与支撑基座相连。由于支撑基座固定不动，调节晶圆的位置需要调节晶圆装载部相对于支撑基座的位置。在相关技术中，通过调节组件只能实现晶圆装载部沿支撑基座的支撑面在一个方向调节，而在其它方向只能通过拆卸后手推或其它方式进行调节，这种调节方式存在着调节效率低，且调节精度不高的问题。

发明内容

本发明公开了一种晶圆清洗设备及其传输装置，以解决调节组件调节晶圆装载部在支撑基座的支撑面上的位置时，只能在一个方向进行调节，在其它方向的调节需要手动拆卸后调节而造成的调节精度不高，且调节效率低的问题。

为了解决上述技术问题，本发明是这样实现的：

第一方面，本申请公开一种晶圆传输装置，包括晶圆装载部、支撑基座、第一调节组件和第二调节组件，其中：

所述晶圆装载部包括装载支架，所述支撑基座包括支撑基板，所述装载支架与所述支撑基板相连，且所述装载支架在所述支撑基板的支撑面上位置可调；

所述第一调节组件与所述装载支架配合，且用于调节所述装载支架相对所述支撑基板在第一方向的位置，所述第二调节组件与所述装载支架配合，且用于调节所述装载支架相对所述支撑基板在第二方向的位置，所述第一方向与所述第二方向均与所述支撑面平行，且所述第一方向与所述第二方向不同。

第二方面，本申请还公开一种晶圆清洗设备，包括第一方面所述的晶圆传输装置。

本发明采用的技术方案能够达到以下技术效果：

本申请实施例公开的晶圆传输装置通过将装载支架与支撑基板相连，并且装载支架相对支撑基板的支撑面的位置可调，使得第一调节组件可以调节装载支架相对支撑基板在第一方向上的位置，第二调节组件可以调节装载支架相对支撑基板在第二方向的位置，进而使得可以调节装载在晶圆装载部上的晶圆在第一方向上和第二方向上的位置；通过第一调节组件和第二调节组件从两个不同方向的调节，可以使得装载支架在不同方向的调节都是通过调节组件进行调节，而不是在通过拆卸后进行手推或其它方式进行调节，从而可以有效地提高调节装载支架相对支撑基板的位置时的调节效率，同时也能够提高调节时的调节精度；通过将第一方向和第二方向设置为不同，使得装载支架在支撑基板的支撑面上位置可以在任何位置进行调节，可以有效地提高第一调节组件和第二调节组件调节的区域范围，从而可以有效地提高装载支架在支撑基板上的调节能力。

附图说明

图1为本发明实施例公开的第一视角下的晶圆传输装置的结构示意图；

图2为本发明实施例公开的第二视角下的晶圆传输装置的结构示意图；

图3为本发明实施例公开的晶圆传输装置的局部示意图；

图4为本发明实施例公开的晶圆传输装置的整体结构示意图。

附图标记说明：

100-晶圆装载部、110-装载支架、120-晶圆支撑齿、130-支撑齿连接板、

200-支撑基座、210-支撑基板、211-固定螺栓、220-支撑柱、

300-第一调节组件、310-第一调节板、311-第一条形孔、312-拖拽固定板、320-第一螺栓、330-第一调节机构、331-拖拽支架、331a-第一通孔、332-拖拽螺栓、

400-第二调节组件、410-第二调节板、411-第二条形孔、420-第二螺栓、430-第二调节机构、431-第一顶丝、432-第一安装块、

500-第三调节组件、510-第二顶丝、520-第二安装块、

600-第四调节组件、610-第三调节板、620-第三螺栓、630-第三调节机构、700-螺纹孔。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施例及相应的附图对本发明技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

以下结合附图，详细说明本发明各个实施例公开的技术方案。

请参考图1至图4，本申请公开一种晶圆传输装置，所公开的晶圆传输装置可以是槽式清洗设备中用于传输晶圆的升降机，也可以是用于其它工艺过程中传输晶圆的装置。所公开的晶圆传输装置包括晶圆装载部100、支撑基座200、第一调节组件300和第二调节组件400。

晶圆装载部100包括有装载支架110，晶圆装载部100还包括其它部件，例如晶圆支撑齿120、支撑齿连接板130等。装载支架110用于与晶圆装载部100的其它部件连接，以使装载支架110与晶圆装载部100的其它部件成为一个整体，通过调整装载支架110的位置可以调整装载在晶圆装载部100上的晶圆的位置。

支撑基座200是晶圆传输装置上其它部件安装的基础，支撑基座200可以与电机连接，电机可以带动支撑基座200进行升降。支撑基座200包括支撑基板210，装载支架110与支撑基板210相连，且装载支架110在支撑基板210的支撑面上位置可调，使得装载支架110可以带动晶圆装载部100上其它部件的位置发生改变，进而可以通过调节装载支架110在支撑基板210上的位置来调节装载在晶圆装载部100上晶圆的位置。

第一调节组件300与装载支架110配合，第一调节组件300可以与支撑基板210和装载支架110相连，第一调节组件300可以用于将支撑基板210与装载支架110连接，第一调节组件300与装载支架110配合可以是第一调节组件300推动或拉动装载支架110运动，以调节装载支架110相对支撑基板210在第一方向的位置。第一调节组件300也可以通过其他部件与装载支架110间接相连，例如第一调节组件300可以通过第二调节组件400与装载支架110连接，装载支架110可以与第二调节组件400连接，第一调节组件300可以通过驱动第二调节组件400运动，以调节装载支架110相对支撑基板210在第一方向的位置。第一调节组件300用于调节装载支架110相对支撑基板210在第一方向的位置。第二调节组件400与装载支架110配合，第二调节组件400可以与支撑基板210和装载支架110相连，第二调节组件400与装载支架110配合可以是第二调节组件400推动或拉动装载支架110运动，以调节装载支架110相对支撑基板210在第二方向的位置。第二调节组件400也可以通过其他部件与支撑基板210间接相连，例如第二调节组件400可以通过第一调节组件300与支撑基板210连接，第二调节组件400可以与装载支架110相连，第二调节组件400可以驱动装载支架110相对第一调节组件300运动，以使装载支架110相对支撑基板210在第二方向的位置。第二调节组件400用于调节装载支架110相对支撑基板210在第二方向的位置，第一方向与第二方向均与支撑面平行，且第一方向与第二方向不同。

第一调节组件300和第二调节组件400可以是丝杠机构，丝杠机构可以包括丝杆和丝杠滑块，丝杠滑块可以套设在丝杆上，丝杆可以设置在支撑基板210上，丝杠滑块可以与装载支架110相连，丝杠滑块与丝杆螺纹配合沿丝杠的轴线方向移动，通过不同方向旋转丝杆，可以改变丝杠滑块在丝杆上的移动方向，进而可以通过丝杠滑块带动装载支架110在支撑基板210的第一方向上或者第二方向上移动，进而改变装载支架110相对支撑基板210在第一方向或第二方向的位置。当然，第一调节组件300和第二调节组件400也可以是顶丝结构，顶丝可以与支撑基板210螺纹连接，顶丝的一端可以与装载支架110抵接，通过旋转顶丝可以推动装载支架110进行移动，以实现调节装载支架110在支撑基板210的第一方向上或者第二方向上的位置。第一调节组件300和第二调节组件400也可以是活动连接板与顶丝的结构，支撑基板210可以通过活动连接板与装载支架110相连，顶丝可以与支撑基板210连接，顶丝可以推动活动连接板移动以调节装载支架110相对所述支撑基板210在第一方向或者第二方向的位置。第一调节组件300和第二调节组件400也可以是其它调节机构，这里不限制第一调节组件300和第二调节组件400的具体结构。

第一方向和第二方向可以是正交的方向，以便于装载支架110在支撑基板210上的第一方向或第二方向的位置进行调节时不互相产生干扰。当然，第一方向和第二方向也可以是不正交的两个方向。

在具体的实施过程中，装载支架110与支撑基板210相连，且装载支架110在支撑基板210的支撑面上位置可调，第一调节组件300用于调节装载支架110相对支撑基板210在第一方向的位置，第二调节组件400用于调节装载支架相对支撑基板210在第二方向的位置，第一方向和第二方向均与装载支架110的支撑面平行，且第一方向和第二方向不同。

本申请实施例公开的晶圆传输装置通过将装载支架110与支撑基板210相连，并且装载支架110相对支撑基板210的支撑面的位置可调，使得第一调节组件300可以调节装载支架110相对支撑基板210在第一方向上的位置，第二调节组件400可以调节装载支架110相对支撑基板210在第二方向的位置，进而使得可以调节装载在晶圆装载部100上的晶圆在第一方向上和第二方向上的位置；通过第一调节组件300和第二调节组件400从两个不同方向的调节，可以使得装载支架110在不同方向的调节都是通过调节组件进行调节，而不是在通过拆卸后进行手推或其它方式进行调节，从而可以有效地提高调节装载支架110相对支撑基板210的位置时的调节效率，同时也能够提高调节时的调节精度；通过将第一方向和第二方向设置为不同，使得装载支架110在支撑基板210的支撑面上位置可以在任何位置进行调节，可以有效地提高第一调节组件300和第二调节组件400调节的区域范围，从而可以有效地提高装载支架110在支撑基板210上的调节能力。

一种可选的实施例，第一调节组件300可以包括第一调节板310、第一调节机构330和第一螺栓320。装载支架110可以与第一调节板310相连，第一调节板310可以开设有沿第一方向延伸的第一条形孔311，第一螺栓320可以穿过第一条形孔311，且连接于支撑基板210，以使第一调节板310与支撑基板210相连，且第一调节板310位于支撑面的一侧。装载支架110可以通过第一调节板310与支撑基座200相连。第一螺栓320与第一条形孔311可以在第一方向上相对滑动，以使第一调节板310可以相对支撑基板210在第一方向移动。

在第一状态下，第一螺栓320可以是紧固状态，第一调节板310可以通过第一螺栓320与支撑基板210固定连接，以使第一调节板310与支撑基板210不会在第一方向发生移动。

在第二状态下，第一螺栓320可以是旋松状态，第一调节机构330可调节第一调节板310沿第一方向的移动，以调节装载支架110相对支撑基板210在第一方向的位置，第一螺栓320可相对第一条形孔311在第一方向滑动。

通过将第一调节组件300设置为第一调节板310、第一调节机构330和第一螺栓320的结构，使得装载支架110与第一调节板310相连，第一调节板310与支撑基板210相连，从而使得装载支架110通过第一调节组件300与支撑基板210相连，进而使得通过调节第一调节板310相对支撑基板210在第一方向的位置来调节装载支架110相对支撑基板210在第一方向上的位置；在第一调节板310与支撑基板210由于频繁的调节连接失效时，可以只通过更换或检修第一调节板310就可以实现，可以有效地避免在装载支架110直接与支撑基板210相连时，由于频繁的进行调节使得装载支架110损坏而造成维护成本较大的问题，同时通过在第一调节机构330上开设沿第一方向延伸的第一条形孔311，使得第一条形孔311为第一调节板310相对支撑基板210在第一方向的移动提供了移动通道，同时第一条形孔311也为第一调节板310的移动具有导向作用，从而使得第一调节板310相互对支撑基板210的移动更稳定，移动位置更精确。第一条形孔311的一端可以具有开口，以便于第一调节板310与支撑基板210连接时更方便，不用将第一螺栓320全部拆卸，只需将第一螺栓320旋松，第一调节板310可以插入即可。

具体的，第一调节机构330可以是丝杠机构，也可以是直线驱动电机等，这里不对第一调节机构330做具体的限制。第二调节组件400也可以是通过调节第一调节板310在第二方向的移动以实现装载支架110相对支撑基板210在第二方向上的位置的调节；第二调节组件400也可以是直接与装载支架110相连，以实现装载支架110相对支撑基板210在第二方向的调节。

进一步的，第一调节机构330可以包括拖拽支架331和拖拽螺栓332。拖拽支架331可以与支撑基板210通过固定连接，例如拖拽支架331与支撑基板210通过固定螺栓211连接。拖拽支架331上可以开设有贯穿设置的第一通孔331a，拖拽螺栓332的第一端的螺帽可以具有环状凹槽，第一通孔331a的孔壁可以套设于环状凹槽内，以限制拖拽螺栓332在第一通孔331a处沿第一通孔331a的轴线方向移动。拖拽螺栓332可相对第一通孔331a转动，拖拽螺栓332的第二端可以与第一调节板310螺纹连接。拖拽螺栓332的第一端沿第一通孔331a的轴线方向不发生相对位移，拖拽螺栓332的第二端与第一调节板310螺纹连接，第一调节板310与支撑基板210连接也限制第一调节板310的旋转，在拖拽螺栓332的第一端相对第一通孔331a旋转时，拖拽螺栓332的第二端可以通过与第一调节板310的螺纹孔700螺纹配合使第一调节板310沿第一方向移动。第一调节板310可以设有拖拽固定板312，拖拽固定板312上可以设有螺纹孔700，拖拽螺栓332的第二端可以与拖拽固定板312的螺纹孔700螺纹配合，从而可以使得拖拽螺栓332的第二端通过拖拽固定板312与第一调节板310连接，从而可以在螺纹配合失效时便于维护。

通过将第一调节机构330设置为包含拖拽支架331和拖拽螺栓332的结构组件，使得拖拽螺栓332的第一端在拖拽支架331上可以旋转，不能进行沿第一通孔331a的轴线方向移动，拖拽的第二端与第一调节板310螺纹连接，从而使得可以将拖拽螺栓332的旋转运动转变为第一调节板310沿第一方向的运动，由于拖拽螺栓332的旋转控制相对简单，且控制旋转时更稳定，调节精度相对较高，从而使得第一调节板310带动装载支架110在第一方向的位置调节更稳定，调节更精确，操作也更简便。

一种可选的实施例，第二调节组件400可以包括第二调节板410、第二调节机构430和第二螺栓420。装载支架110可以与第二调节板410相连，第二调节板410与支撑基板210相连，从而使得装载支架110通过第一调节组件300和第二调节组件400与支撑基板210相连。第二调节板410可以开设有沿第二方向延伸的第二条形孔411，第二螺栓420可以穿过第二条形孔411与第一调节板310相连，以使第二调节板410连于第一调节板310的背离支撑基板210的一侧。

在第三状态下，第二螺栓420可以是紧固状态，第二调节板410可以通过第二螺栓420与第一调节板310固定连接。

在第四状态下，第二螺栓420可以处于旋松状态，第二调节机构430可调节第二调节板410沿第二方向移动，以调节装载支架110相对支撑基板210在第二方向的位置，第二螺栓420可相对第二条形孔411在第二方向滑动。

通过将第二调节组件400设置为包含第二调节板410、第二调节机构430和第二螺栓420的结构组件，使得第二调节板410上开设有第二条形孔411，第二螺栓420可以穿过第二条形孔411与第一调节板310相连，从而使得第二调节板410与第一调节板310连接在一起，第二条形孔411可以与第二螺栓420在第二方向上相对滑动，从而为第二调节板410沿第二方向移动提供了移动通道，同时第二条形孔411还具有导向作用，以使第二调节板410的移动位置和方向更准确；通过第二调节机构430调节第二调节板410沿第二方向移动，第一调节机构330调节第一调节板310沿第一方向移动的结构，可以实现第一调节板310和第二调节板410的分步调节，从而可以避免调节装载支架110在第一方向上的位置时破坏第二方向上的位置，也避免调节装载支架110在第二方向上的位置时破坏第一方向上的位置，从而可以有效地提高调节效率和调节精度。

进一步的，第二调节机构430可以包括两个第一顶丝431和两个第一安装块432。两个第一安装块432可以设于第一调节板310，且可以分别设于第二调节板410的沿第二方向的两侧，且设于第二调节板410的沿第二方向的中心轴线上。两个第一顶丝431分别对应地与两个第一安装块432的第一螺纹孔螺纹配合，第一顶丝431可通过与第一螺纹孔螺纹配合抵接于第二调节板410，且可推动第二调节板410沿第二方向移动；在调节到位后，两个第一顶丝431可以均抵接于第一调节板310上，可以进一步的提高在第三状态下，第二调节板410与第一调节板310在第二方向上的连接稳定性。

通过将第二调节机构430设置为包含第一顶丝431和第一安装块432的结构组件，使得第一顶丝431可以与第一安装块432的第一螺纹孔螺纹配合后抵接于第二调节板410，从而可以使得第一顶丝431可以推动第二调节板410沿第二方向移动；第一顶丝431在旋转时，第一顶丝431的进给量相对精确，从而使得第二调节板410沿第二方向的移动也更精确，从而使得装载支架110相对支撑基板210在第二方向上的位置也更精确，第一顶丝431在调节时相对简单，可以有效地提高调节效率，同时顶丝结构相对简单，能够有效地提高整体的经济性。

一种可选的实施例，晶圆传输装置可以包括第三调节组件500。第三调节组件500可以包括多个第二顶丝510和多个第二安装块520，多个第二安装块520可以设于第一调节板310，且可以设于第二调节板410的沿第二方向上的两侧，且可以远离第二调节板410的中心轴线，中心轴线的延伸方向可以与第二方向一致。多个第二顶丝510可以一一对应地与多个第二安装块520的第二螺纹孔螺纹配合，第二顶丝510可通过与第二螺纹孔螺纹配合抵接于第二调节板410，且可推动第二调节板410沿第二调节板410的中心偏转。

通过设置第二顶丝510和第二安装块520，且第二安装块520设置在第一调节板310上，且设置在第二调节板410的沿第二方向上的两侧，并设置在远离第二调节板410的中心轴线，中心轴线的延伸方向与第二方向一致，从而使得第二顶丝510推动第二调节板410时，第二调节板410相对第二调节板410的中心发生偏转，从而有效地解决了装载支架110需要进行偏转调节的问题，同时第二顶丝510的调节相对简单，可以有效地提高调节效率，顶丝机构调节的精度相对较高，从而可以提高调整精度。

一种可选的实施例，晶圆传输装置可以包括第四调节组件600。第四调节组件600可以包括第三调节板610、第三螺栓620和第三调节机构630。装载支架110可以与第三调节板610相连，第三调节板610可以通过第三螺栓620连接于第二调节板410的背离支撑基板210的一侧，第三调节机构630可以位于第三调节板610的第一边缘区域，第三调节机构630可以用于调节第一边缘区域与第二调节板410之间的间距。在进行调节第一边缘区域与第二调节板410之间的间距时，可以先松开第三螺栓620，在调节完毕后，再将第三螺栓620进行紧固。调节第一边缘区域与第二调节板410之间的间距，可以调节第三调节板610相对于第二调节板410的俯仰角，从而第三调节板610可以带动装载支架110一起运动，从而提高对装载支架110的调节能力，通过装载支架110也调节晶圆装载部100的晶圆支撑齿120的水平度，从而保证支撑于晶圆支撑齿120上的晶圆满足机械手抓取时的水平度，从而有效地防止机械手损坏晶圆。

通过设置第三调节板610和第三螺栓620，使得第三调节板610可以与第二调节板410通过第三螺栓620连接，第三调节机构630可以位于第三调节板610的第一边缘区域，以调节第一边缘区域与第二调节板410之间的间距，从而可以调节第三调节板610相对于第二调节板410的俯仰角，进而第三调节板610可以带动装载支架110一起运动，从而提高对装载支架110的调节能力，通过装载支架110可以调节晶圆装载部100的晶圆支撑齿120的水平度，从而保证支撑于晶圆支撑齿120上的晶圆满足机械手抓取时的水平度，从而有效地防止机械手损坏晶圆。通过第一调节板310、第二调节板410和第三调节板610的分层设置，使得在调节装载支架110相对支撑基座200的位置时可以实现分步调节，在调节相应的位置或者角度时，不会影响其它位置和方向的改变，从而可以有效地提高调节的效率和调节的精度。

具体的，在调节第一边缘区域与第二调节板410之间的间距时，第三调节板610的远离第一边缘区域的位置与第二调节板410之间的间距不改变，从而可以实现第三调节板610相对于第二调节板410的俯仰角，当然，第三调节板610的远离第一边缘区域的位置与第二调节板410之间的间距也可以是改变的，只要不同于第一边缘区域与第二调节板410之间的间距变化就可以。在装配精度满足要求的情况下，装载支架110只要满足水平度的要求，也能够满足晶圆支撑齿120的水平度，那么，在第三调节机构630调节第三调节板610相对于第二调节板410的俯仰角时，只需要判断装载支架110的水平度即可。

进一步的，第三螺栓620可以为多个，多个第三螺栓620可以间隔设置。第三调节板610可以具有多个第一边缘区域，多个第三螺栓620分别设于相应的第一边缘区域，每个第一边缘区域均开设有顶丝螺纹孔，顶丝螺纹孔与第三螺栓620间隔设置。第三调节机构630可以包括多个第三顶丝，多个第三顶丝可以一一对应与多个顶丝螺纹孔螺纹配合，任意第三顶丝可通过与顶丝螺纹孔螺纹配合抵接于第二调节板410，以调节第三顶丝对应地第一边缘区域与第二调节板410之间的间距。

通过第三调节板610设有多个第一边缘区域，多个第三螺栓620分别设于相应的第一边缘区域，每个第一边缘区域均开设有顶丝螺纹孔，顶丝螺纹孔与第三螺栓620间隔设置，使得多个第三顶丝可以一一对应与多个顶丝螺纹孔螺纹配合，从而使得任意第三顶丝可以调节相应地第一边缘区域与第二调节板410之间的间距，从而可以对第三调节板610在不同区域分别调节与第二调节板410之间的间距，从而可以有效地提高调节第三调节板610相对于第二调节板410的俯仰角的调节能力，进而可以通过调节第三调节板610在不同区域与第二调节板410之间的间距来提高装载支架110在支撑基板210上的调节能力。

一种可选的实施例，晶圆传输装置还可以包括第三调节组件500，第三调节组件500可用于调节装载支架110沿装载支架110与支撑基板210的连接中心处偏转。通过设置第三调节组件500，使得装载支架110可以进一步实现偏转调节，进一步提高可装载支架110的调节能力。

具体的，第三调节组件500可以是丝杠机构、顶丝机构或直线驱动电机等，这里对第三调节组件500不做具体的限制。

一种可选的实施例，晶圆传输装置还可以包括第四调节组件600，装载支架110可以具有第二边缘区域，第四调节组件600可以连接于第二边缘区域与支撑基板210之间，且第四调节组件600可以用于调节第二边缘区域与支撑基板210之间的间距。通过设置第四调节组件600，可以调节装载支架110的第二边缘区域与支撑基板210之间的间距，从而可以调节装载支架110相对于支撑基板210的俯仰角，进而可以调节装载支架110的水平度，或者通过调节装载支架110调节晶圆装载部100的晶圆支撑齿120的水平度，从而有效地提高了装载支架110相对支撑基板210的调节能力。

具体的，第四调节组件600可以时丝杠机构、顶丝机构或螺栓，这里不限制第四调节组件600的具体结构。

一种可选的实施例，晶圆装载部100还可以包括晶圆支撑齿120和支撑齿连接板130，晶圆支撑齿120用于装载晶圆，支撑齿连接板130用于将晶圆支撑齿120与装载支架110连接。支撑基座200还包括支撑柱220，支撑柱220可以与支撑基板210连接，用于支撑支撑基板210。

本申请还公开一种清洗设备，所公开的清洗设备包括机械手、工艺槽和上述实施例所公开的晶圆传输装置，机械手用于抓取位于晶圆装载部100上的晶圆，且放置于工艺槽内，或，机械手用于抓取位于工艺槽内的晶圆，且放置于晶圆装载部100上

本发明上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾，均可以组合形成更优的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘述。

上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本发明的保护之内。

Claims (11)

1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包括晶圆装载部(100)、支撑基座(200)、第一调节组件(300)和第二调节组件(400)，其中：

所述晶圆装载部(100)包括装载支架(110)，所述支撑基座(200)包括支撑基板(210)，所述装载支架(110)与所述支撑基板(210)相连，且所述装载支架(110)在所述支撑基板(210)的支撑面上位置可调；

所述第一调节组件(300)与所述装载支架(110)配合，且用于调节所述装载支架(110)相对所述支撑基板(210)在第一方向的位置，所述第二调节组件(400)与所述装载支架(110)配合，且用于调节所述装载支架(110)相对所述支撑基板(210)在第二方向的位置，所述第一方向与所述第二方向均与所述支撑面平行，且所述第一方向与所述第二方向不同。

2.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第一调节组件(300)包括第一调节板(310)、第一调节机构(330)和第一螺栓(320)，所述装载支架(110)与所述第一调节板(310)相连，所述第一调节板(310)开设有沿所述第一方向延伸的第一条形孔(311)，所述第一螺栓(320)穿过所述第一条形孔(311)、且连接于所述支撑基板(210)，以使所述第一调节板(310)与所述支撑基板(210)相连，且所述第一调节板(310)位于所述支撑面的一侧；

在第一状态下，所述第一调节板(310)通过所述第一螺栓(320)与所述支撑基板(210)固定连接；

在第二状态下，所述第一调节机构(330)可调节所述第一调节板(310)沿所述第一方向移动，以调节所述装载支架(110)相对所述支撑基板(210)在所述第一方向的位置，所述第一螺栓(320)可相对所述第一条形孔(311)在所述第一方向滑动。

3.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第一调节机构(330)包括拖拽支架(331)和拖拽螺栓(332)，所述拖拽支架(331)与所述支撑基板(210)固定连接，所述拖拽支架(331)开设有贯穿设置的第一通孔(331a)，所述拖拽螺栓(332)的第一端的螺帽设有环状凹槽，所述第一通孔(331a)套设于所述环状凹槽，以限制所述拖拽螺栓(332)在所述第一通孔(331a)处沿所述第一通孔(331a)的轴线方向移动，所述拖拽螺栓(332)可相对所述第一通孔(331a)转动，所述拖拽螺栓(332)的第二端与所述第一调节板(310)螺纹连接。

4.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第二调节组件(400)包括第二调节板(410)、第二调节机构(430)和第二螺栓(420)，所述装载支架(110)与所述第二调节板(410)相连，所述第二调节板(410)开设有沿所述第二方向延伸的第二条形孔(411)，所述第二螺栓(420)穿过所述第二条形孔(411)与所述第一调节板(310)相连，以使所述第二调节板(410)连于所述第一调节板(310)的背离所述支撑基板(210)的一侧；

在第三状态下，所述第二调节板(410)通过所述第二螺栓(420)与所述第一调节板(310)固定连接；

在第四状态下，所述第二调节机构(430)可调节所述第二调节板(410)沿所述第二方向移动，以调节所述装载支架(110)相对所述支撑基板(210)在所述第二方向的位置，所述第二螺栓(420)可相对所述第二条形孔(411)在所述第二方向滑动。

5.根据权利要求4所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第二调节机构(430)包括两个第一顶丝(431)和两个第一安装块(432)，所述两个第一安装块(432)设于所述第一调节板(310)，且分别设于所述第二调节板(410)的沿所述第二方向的两侧，且设于所述第二调节板(410)的沿所述第二方向的中心轴线上，所述两个第一顶丝(431)分别对应与所述两个第一安装块(432)的第一螺纹孔螺纹配合，所述第一顶丝(431)可通过与所述第一螺纹孔螺纹的配合抵接于所述第二调节板(410)，且可推动所述第二调节板(410)沿所述第二方向移动。

6.根据权利要求4所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述晶圆传输装置还包括第三调节组件(500)，所述第三调节组件(500)包括多个第二顶丝(510)和多个第二安装块(520)，所述多个第二安装块(520)设于所述第一调节板(310)，且设于所述第二调节板(410)的沿所述第二方向上的两侧，且远离所述第二调节板(410)的中心轴线，所述中心轴线的延伸方向与所述第二方向一致，所述多个第二顶丝(510)一一对应地与所述多个第二安装块(520)的第二螺纹孔螺纹配合，所述第二顶丝(510)可通过与所述第二螺纹孔螺纹配合抵接于所述第二调节板(410)，且可推动所述第二调节板(410)沿所述第二调节板(410)的中心偏转。

7.根据权利要求4所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述晶圆传输装置还包括第四调节组件(600)，所述第四调节组件(600)包括第三调节板(610)、第三螺栓(620)和第三调节机构(630)，所述装载支架(110)与所述第三调节板(610)相连，所述第三调节板(610)通过所述第三螺栓(620)连接于所述第二调节板(410)的背离所述支撑基板(210)的一侧，所述第三调节机构(630)位于所述第三调节板(610)的第一边缘区域，所述第三调节机构(630)用于调节所述第一边缘区域与所述第二调节板(410)之间的间距。

8.根据权利要求7所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第三螺栓(620)为多个，多个所述第三螺栓(620)间隔设置，所述第三调节板(610)具有多个所述第一边缘区域，多个所述第三螺栓(620)分别设于相应的所述第一边缘区域，每个所述第一边缘区域均开设有顶丝螺纹孔，所述顶丝螺纹孔与所述第三螺栓(620)间隔设置，所述第三调节机构(630)包括多个第三顶丝，多个所述第三顶丝一一对应与多个所述顶丝螺纹孔螺纹配合，任意所述第三顶丝可通过与所述顶丝螺纹孔螺纹配合抵接于所述第二调节板(410)，以调节所述第三顶丝对应地所述第一边缘区域与所述第二调节板(410)之间的间距。

9.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述晶圆传输装置还包括第三调节组件(500)，所述第三调节组件(500)可用于调节所述装载支架(110)沿所述装载支架(110)与所述支撑基板(210)的连接处偏转。

10.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述晶圆传输装置还包括第四调节组件(600)，所述装载支架(110)具有第二边缘区域，所述第四调节组件(600)连接于所述第二边缘区域与所述支撑基板(210)之间，且所述第四调节组件(600)用于调节所述第二边缘区域与所述支撑基板(210)之间的间距。

11.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括机械手、工艺槽和权利要求1至10任意一项所述的晶圆传输装置，所述机械手用于抓取位于所述晶圆传输装置上的晶圆，且放置于所述工艺槽内，或，所述机械手用于抓取位于所述工艺槽内的晶圆，且放置于所述晶圆传输装置上。

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