CN114487773A - 基于半导体自动化测试机的可配置测试设备和测试方法 - Google Patents

基于半导体自动化测试机的可配置测试设备和测试方法 Download PDF

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    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2832—Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
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Abstract

一种基于半导体自动化测试机的可配置测试设备和测试方法，该测试设备包括上位机、下位机和装备测试板；下位机包括多块测试单板、与每一个多个相应的测试单板配置文件以及用于配置和执行默认的装备测试项装备测试文件；在启动单板装备测试前下位机根据客户输入，确定装备测试文件和配置文件的执行顺序，在启动单板装备测试后，执行装备测试文件、配置文件中的一种或多种以及特定的X种装备测试项中的一种或多种，并将测试结果发送到所述上位机。因此，本发明根据配置文件，输出测试人员预期的测试内容和测试数据，其有效地遍历了测试项目，并大大简化了测试机的装备测试。

Description

基于半导体自动化测试机的可配置测试设备和测试方法
技术领域
本发明涉及半导体自动测试设备(Automatic Test Equipment，简称ATE)领域，尤其涉及一种基于半导体自动化测试机的可配置测试方法。
背景技术
ATE在半导体产业意指集成电路(integrated circuit，IC)自动测试机，用于检测集成电路功能之完整性，为集成电路生产制造之最后流程，以确保集成电路生产制造之品质。
半导体自动化测试机ATE中包含多个测试单板，每个测试单板上又包含多个测试芯片，单个测试机要验证多种不同类型的芯片，为了满足生产中的不同使用需求，测试机中的测试单板类型和数量都比较多。
现有技术对半导体自动化测试机ATE进行测试单板的装备测试时，因为不同类型测试单板差异较大，需要根据测试人员配置需求，进行调试定位。
装备测试(Equip Test)，装备测试是测试机在出厂前，测试人员对测试单板进行系统性的测试，涉及功能和整个半导体自动化测试机外部连线等。
现有技术中的装备测试架构通常包括上位机、下位机、N块测试单板和装备测试板。每一块测试单板包括与装备测试板交换测试信息的M条通道，其中，每一块测试单板的通道数M可以相同，也可以不同。
上述技术对每个测试单板进行装备测试时，出现问题测试人员无法通过外部手段更改软件的逻辑循序，来快速定位测试单板的问题点，导致出货测试和定位问题繁杂，尤其是重复劳动较多，不仅非常浪费人力和物力，且测试起来不够灵活。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种本发明基于半导体自动化测试机的可配置测试设备和测试方法，其通过控制中心的统一配置，可以灵活地对各个测试项进行测试定位，减少冗余数据，提高整体定位问题效率。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种基于半导体自动化测试机的可配置测试设备，其包括上位机、下位机和装备测试板；所述下位机包括：
N块测试单板(CB1、CB2…CBi…CBN)，每块所述测试单板包括Mi条数据通道与相应的所述装备测试板的Mi条数据通道对接；其中，i为选自1-N中的任意一个数，每一块测试单板的通道数M相同或不同；
N个配置文件(PZ1、PZ2…PZi…PZN)，每个配置文件与N块测试单板(CB1、CB2…CBi…CBN)中的一块测试单板对应设置；其中，每个配置文件用于针对相应的所述测试单板，配置特定的X种装备测试项；
装备测试文件，用于配置和执行默认的装备测试项；
其中，在启动单板装备测试前，所述下位机根据客户输入，确定所述装备测试文件和配置文件的执行顺序，在启动单板装备测试后，执行所述装备测试文件、配置文件中的一种或多种以及特定的X种装备测试项中的一种或多种，并将所述测试结果发送到所述上位机。
进一步地，所述配置文件分别对特定的X种装备测试项进行配置，形成配置数据，所述配置数据包括对应测试项目的日志级别、测试误差、测试名称和测试通道顺序。
进一步地，所述N个配置文件(PZ1、PZ 2…PZ i…PZ N)在启动所述单板装备测试时，导入所述N块测试单板(CB1、CB 2…CBi…CB N)的测试逻辑存储器中。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种基于半导体自动化测试机的可配置测试方法，其采上述的基于半导体自动化测试机的可配置测试设备，其包括：
步骤S1：在启动单板装备测试前，将N块测试单板(CB1、CB 2…CBi…CB N)中的每块所述测试单板所包括的Mi条数据通道与相应的所述装备测试板的Mi条数据通道对接；
步骤S2：将所有所述测试单板上分别对相应的装备测试项和每个配置文件特定的X种装备测试项进行配置，形成配置数据，其中，所述配置数据包括对应测试项目的日志级别、测试误差、测试名称和测试通道顺序；
步骤S3：在单板装备测试启动后，每一个所述测试单板根据客户输入，确定所述装备测试文件和配置文件的执行顺序，执行所述装备测试文件、配置文件中的一种或多种以及特定的X种装备测试项中的一种或多种，并将所述测试结果发送到所述上位机。
进一步地，所述步骤S3具体包括：
步骤S31：单板装备测试启动后，判断所述配置文件和装备测试文件所配置的是否一致；如果一致执行步骤S32；如果不一致，执行是先执行所述装备测试文件在配置文件；
步骤S32：根据所述配置文件执行装备测试项，默认执行装备测试项；根据测试结果，重新配置出错的测试单板的配置文件，并根据新的配置文件执行装备测试项；
步骤S33：根据配置文件，执行所述装备测试项。
从上述技术方案可以看出，本发明提供的基于半导体自动化测试机的可配置测试装置和测试方法，针对不同的装备测试项目对应不同的配置文件，通过配置文件来统一管理调测装备测试，其仅需要一个约定的配置文件，借助配置文件，配置单板上的装备测试项目，有效的遍历测试项目，并且根据配置文件，输出测试人员预期的测试内容和测试数据，通过后台保存。
上述的配置方法具有如下有益效果：
①、增加测试机装备测试的灵活性；
②、降低测试机装备测试出错定位的难度；
③、操作简单，可以进一步简化测试机的装备测试流程。
附图说明
图1所示为本发明基于半导体自动化测试机的可配置测试装备一较佳实施例的示意图
图2所示为本发明实施例配置文件的实现方式示意图
图3所示为本发明基于半导体自动化测试机的可配置测试方法的流程示意图
图4所示为本发明基于半导体自动化测试机的可配置测试方法一较佳实施例的示意图
具体实施方式
下面结合附图1-4，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
请参阅图1，图1所示为本发明基于半导体自动化测试机的可配置测试装备的示意图。如图1所示，该可配置测试装备包括上位机、下位机和装备测试板。
具体地，与现有技术不同的是，本发明实施例中的下位机可以包括N块测试单板(CB1、CB 2…CBi…CB N)、N个配置文件(PZ1、PZ2…PZi…PZN)和用于配置和执行默认的装备测试项装备测试文件。
N块测试单板(CB1、CB2…CBi…CBN)，每块所述测试单板包括Mi条数据通道与相应的所述装备测试板的Mi条数据通道对接；其中，i为选自1-N中的任意一个数，也就是说，每一块测试单板的通道数M相同或不同。
其中，N个配置文件(PZ1、PZ2…PZi…PZN)，每个配置文件与N块测试单板(CB1、CB2…CBi…CB N)中的一块测试单板对应设置；其中，每个配置文件用于针对相应的所述测试单板，配置特定的X种装备测试项。
进一步地，所述N个配置文件(PZ1、PZ2…PZi…PZN)在启动所述单板装备测试时，导入所述N块测试单板(CB1、CB2…CBi…CBN)的测试逻辑存储器中，当然也可以是测试单板上的其它存储单元，在此不做限定。
请参阅图2，图2所示为本发明实施例配置文件的实现方式示意图。如图2所示，该配置文件可以配置8个测试项(测试项1、测试项2…测试项8)。在本发明的该实施例中，所述配置文件分别对特定的8种装备测试项进行配置，形成配置数据，所述配置数据包括对应测试项目的日志级别、测试误差、测试名称和测试通道顺序。也就是说，配置文件中的测试项可以根据需要设置，例如，可以设置特定的8种装备测试项中的一项或多项进行测试。
请参阅图3，图3所示为本发明基于半导体自动化测试机的可配置测试方法的流程示意图。如图3所示，种基于半导体自动化测试机的可配置测试方法，其采上述的基于半导体自动化测试机的可配置测试设备，其包括：
步骤S1：在启动单板装备测试前，将N块测试单板(CB1、CB2…CBi…CBN)中的每块所述测试单板所包括的Mi条数据通道与相应的所述装备测试板的Mi条数据通道对接；
步骤S2：将所有所述测试单板上分别对相应的装备测试项和每个配置文件特定的X种装备测试项进行配置，形成配置数据，其中，所述配置数据包括对应测试项目的日志级别、测试误差、测试名称和测试通道顺序。
在启动单板装备测试时，将形成的配置文件导入单板的装备测试逻辑所述测试单板获取并解析配置数据，按照所述配置数据和装备测试文件进行匹配。
步骤S3：在单板装备测试启动后，每一个所述测试单板根据客户输入，确定所述装备测试文件和配置文件的执行顺序，执行所述装备测试文件、配置文件中的一种或多种以及特定的X种装备测试项中的一种或多种，并将所述测试结果发送到所述上位机。并且，测试单板还可以将测试结果根据配置的日志级别打印日志。
在本发明的实施例中，上述步骤S3可以具体包括如下步骤(如图4所示)：
步骤S31：单板装备测试启动后，所述判断所述配置文件和装备测试文件所配置的是否一致；如果一致执行步骤S32；如果不一致，执行是先执行所述装备测试文件在配置文件；
步骤S32：根据所述配置文件执行装备测试项，默认执行装备测试项；根据测试结果，重新配置出错的测试单板的配置文件，并根据新的配置文件执行装备测试项；
步骤S33：根据配置文件，执行所述装备测试项。
也就是说，在步骤S32中，如果所述配置文件和装备测试文件所配置的是一致的，那么首先要执行正常的装备测试项流程，等装备测试项流程完成后或执行中发现有些有通道或测试单板有问题时，均可以启动相应单板的所述配置文件，执行特殊通道的装备测试项，并得到相应测试结果。
在步骤S33中，由于测试单板的装备测试文件已被修改，因此，可以直接执行新的装备测试项，并得到相应测试结果。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (5)

1.一种基于半导体自动化测试机的可配置测试装置，其特征在于，包括上位机、下位机和装备测试板；所述下位机包括：
N块测试单板(CB1、CB 2…CBi…CB N)，每块所述测试单板包括Mi条数据通道与相应的所述装备测试板的Mi条数据通道对接；其中，i为选自1-N中的任意一个数，每一块测试单板的通道数M相同或不同；
N个配置文件(PZ1、PZ 2…PZi…PZ N)，每个配置文件与N块测试单板(CB1、CB 2…CBi…CBN)中的一块测试单板对应设置；其中，每个配置文件用于针对相应的所述测试单板，配置特定的X种装备测试项；
装备测试文件，用于配置和执行默认的装备测试项；
其中，在启动单板装备测试前，所述下位机根据客户输入，确定所述装备测试文件和配置文件的执行顺序，在启动单板装备测试后，执行所述装备测试文件、配置文件中的一种或多种以及特定的X种装备测试项中的一种或多种，并将所述测试结果发送到所述上位机。
2.根据权利要求1所述的基于半导体自动化测试机的可配置测试设备，其特征在于，所述配置文件分别对特定的X种装备测试项进行配置，形成配置数据，所述配置数据包括对应测试项目的日志级别、测试误差、测试名称和测试通道顺序。
3.根据权利要求1所述的基于半导体自动化测试机的可配置测试设备，其特征在于，所述N个配置文件(PZ1、PZ 2…PZi…PZ N)在启动所述单板装备测试时，导入所述N块测试单板(CB1、CB 2…CBi…CB N)的测试逻辑存储器中。
4.一种基于半导体自动化测试机的可配置测试方法，其采用权利要求1-3任意一个所述的基于半导体自动化测试机的可配置测试设备，其特征在于，包括：
步骤S1：在启动单板装备测试前，将N块测试单板(CB1、CB 2…CBi…CB N)中的每块所述测试单板所包括的Mi条数据通道与相应的所述装备测试板的Mi条数据通道对接；
步骤S2：将所有所述测试单板上分别对相应的装备测试项和每个配置文件特定的X种装备测试项进行配置，形成配置数据，其中，所述配置数据包括对应测试项目的日志级别、测试误差、测试名称和测试通道顺序；
步骤S3：在单板装备测试启动后，每一个所述测试单板根据客户输入，确定所述装备测试文件和配置文件的执行顺序，执行所述装备测试文件、配置文件中的一种或多种以及特定的X种装备测试项中的一种或多种，并将所述测试结果发送到所述上位机。
5.根据权利要求4所述的基于半导体自动化测试机的可配置测试方法，其特征在于，所述步骤S3具体包括：
步骤S31：单板装备测试启动后，所述判断所述配置文件和装备测试文件所配置的是否一致；如果一致执行步骤S32；如果不一致，执行是先执行所述装备测试文件在配置文件；
步骤S32：根据所述配置文件执行装备测试项，默认执行装备测试项；根据测试结果，重新配置出错的测试单板和/或通道的配置文件，并根据新的配置文件执行装备测试项；
步骤S33：根据配置文件，执行所述装备测试项。
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