CN114455814B - 石英坩埚熔制装置及制备方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提供了一种石英坩埚熔制装置及制备方法,属于电极熔制石英坩埚技术领域,包括升降架、熔融组件、调节组件和开度组件。熔融组件包括电极以及固接于升降架的承接板,承接板开设有六个等距间隔环绕的承接孔,电极能够分别配置于每个承接孔,调节组件包括联动板以及设置于升降架的驱动件和连接箍,连接箍卡接于电极,且连接箍能够转动连接于升降架,驱动件可驱动联动板在升降架内移动,以对连接箍进行角度调节,开度组件包括角度指示部以及连接角度指示部与联动板的连接杆,当联动板位移时,连接杆可驱使角度指示部进行角度变化,以及通过六根电极环形分布在模具的竖直中心线上,进而能够提高坩埚生产的产量。
Description
技术领域
本申请涉及电极熔制石英坩埚技术领域,具体而言,涉及一种石英坩埚熔制装置及制备方法。
背景技术
石英坩埚是光伏领域拉制单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就用掉一只石英坩埚。石英坩埚是单晶硅生产关键必需品。全国单晶硅行业年需坩埚数量在280-360万只左右,而目前国内年生产能力仅为200万只,远不能满足国内单晶硅行业的需求。
目前生产石英坩埚还存在以下缺点:1、传统的3根电极制备大尺寸石英坩埚时效率差,当石英坩埚越大电极离坩埚壁的间距就越大,电弧在坩埚上的热量比例就越少;2、电极产生电弧的一端不能进行准确的开度控制,无法把握在熔制坩埚不同位置时电弧覆盖的程度;3、传统的石英坩埚生产工艺步骤繁琐,当进行大量生产时,进而会造成产量的减少。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种石英坩埚熔制装置及制备方法。
为了解决现有技术存在的问题,本发明采用了如下技术方案:
一种石英坩埚熔制装置包括升降架、熔融组件、调节组件和开度组件。
所述熔融组件包括电极以及固接于所述升降架的承接板,所述承接板开设有六个等距间隔环绕的承接孔,所述电极能够分别配置于每个所述承接孔。
所述调节组件包括联动板以及设置于所述升降架的驱动件和连接箍,所述连接箍卡接于所述电极,且所述连接箍能够转动连接于所述升降架,所述驱动件可驱动所述联动板在所述升降架内移动,以对连接箍进行角度调节。
所述开度组件包括角度指示部以及连接所述角度指示部与所述联动板的连接杆,当所述联动板位移时,所述连接杆可驱使所述角度指示部进行角度变化;
所述角度指示部分为角度盘以及沿所述角度盘移动的指示架,其中,所述指示架具有角度监测器,所述角度监测器可在所述联动板上升或下降过程中采集角度数据。
在本申请的一种实施例中,所述角度盘两侧位置均开设有相对称的滑槽,所述指示架具有能够沿所述滑槽滑动的滑块。
在本申请的一种实施例中,所述升降架能够通过升降机或者吊装机进行上下移动,其所述升降架分为定位座、顶板以及连接所述定位座和顶板的固定杆,其中,所述固定杆设置有多个,所述联动板在驱动件的驱动下能够在所述固定杆上进行滑动。
在本申请的一种实施例中,所述电极靠近所述连接箍的一端具有连接电缆的连接件。
在本申请的一种实施例中,所述连接箍具有充分包裹所述电极的绝缘件,所述连接件能够通过所述绝缘件抵触于所述连接箍。
在本申请的一种实施例中,所述连接箍与所述联动板之间铰接有拉杆,当所述联动板发生位移时,所述拉杆带动所述连接箍进行开度或合度动作。
本申请实施例还提供了一种石英坩埚制备方法,其使用制备模具以及利用上述的石英坩埚熔制装置进行,包括以下步骤:
步骤一:石英砂称重
称取质检合格、符合生产要求的、规定质量的石英砂,然后根据需要熔制坩埚的尺寸来计算石英砂的用量,然后将石英砂上料至坩埚模具内;
步骤二:模具装料成型
按照坩埚性能要求,将石英砂铺装到模具中,使其形状类似于成品结构,然后将模具进行转动;
步骤三:电弧熔制
将六根电极环形分布在模具的竖直中心线上,然后对六根电极进行通电,使得电极之间产生电弧,通过调整电极开度,控制电弧的大小,当电极的开度越大,电弧形成的圆直径就越大,其产生的热量就越大,在熔制时,调整电极上下位置,以此来分别熔制坩埚不同的位置,使得石英砂从颗粒状能够融化到熔融液态,然后通过减少热量后慢慢的形成固体的石英坩埚;
步骤四:在坩埚成型后将其从模具中取出,转入后序的加工工序中。
在本申请的另一种实施例中,所述六根电极上下移动位置为0mm-400mm,开度在1mm-200mm。
在本申请的另一种实施例中,所述石英砂铺装在模具内壁一般为三层结构,第一层铺装厚度为3mm-10mm,铺装完第二层后总厚度为5mm-30mm,铺装完第三层后总厚度为10mm-45mm。
本申请的有益效果是:本申请通过上述设计得到的一种石英坩埚熔制装置及制备方法,使用时,将该装置设在制备石英坩埚的旋转模具上,然后使得六根电极环形分布在模具的竖直中心线上,然后通过连接件使得电缆对电极进行通电,进而使得6根电极之间产生电弧,然后启动驱动件,进而驱动联动板进行上下移动,进而使得连接箍带动电极进行开和动作,以此实现开度的大小,进而来控制电弧的大小,在联动板移动的同时,连接杆驱使角度指示部发生角度的变化,该角度变化可以和电极的开度相对应,进而能够随时得到电极开度的大小,而且当电极的开度越大,电弧形成的圆直径就越大,其产生的热量就越大,当需要熔制坩埚不同位置的时候,通过外力对升降架进行升降,进而实现对电极进行上下位置的调整,进而能够使得石英砂从颗粒状融化到熔融液态,再然后通过减少热量后慢慢的形成固定体的石英坩埚;
该装置能够通过六根电极环形分布在模具的竖直中心线上,使得电极在产生电弧的时候,不会由于距离大而发生断弧的情况,而且还能提高该电极产生的热量,进一步的增加熔制作业,还能够准确判断电极开度的大小,该工艺步骤较为简单,适用于大量石英坩埚的生产。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本申请实施方式提供的整体装置结构示意图;
图2为本申请实施方式提供的熔融组件结构示意图;
图3为本申请实施方式提供的调节组件与开度组件组合结构示意图;
图4为本申请实施方式提供的升降架结构示意图;
图5为本申请实施方式提供的升降架与开度组件组合结构示意图;
图6为本申请实施方式提供的熔融组件另一视角结构示意图;
图7为本申请实施方式提供的3根电极剖面结构示意图;
图8为本申请实施方式提供的6根电极剖面结构示意图;
图9为本申请实施方式提供的部分结构示意图;
图10为本申请实施方式提供的开度组件结构示意图;
图11为本申请中图10的A处放大图。
图中:100-升降架;110-定位座;120-顶板;130-固定杆;200-熔融组件;210-电极;211-连接件;220-承接板;221-承接孔;300-调节组件;310-联动板;320-驱动件;330-连接箍;331-绝缘件;332-拉杆;400-开度组件;410-角度指示部;411-角度盘;4111-滑槽;412-指示架;4121-角度监测器;4122-滑块;420-连接杆。
实施方式
为使本申请实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施方式中的附图,对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式是本申请一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本申请保护的范围。
因此,以下对在附图中提供的本申请的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施方式。基于本申请中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本申请保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
实施例
请参阅图1,本申请提供一种技术方案:一种石英坩埚熔制装置,包括升降架100、熔融组件200、调节组件300和开度组件400。
其中,请参阅图1和图2,熔融组件200、调节组件300和开度组件400均安装在升降架100上,调节组件300用于调节熔融组件200产生电弧的大小,从而控制产生热量熔覆的效率,开度组件400主要用于准确得出电极210开度的大小,进而可以使得电极210在最好的熔覆状态下进行熔覆作业。
请参阅图1、图3和图4以及图5,在本申请中,升降架100能够通过升降机或者吊装机进行上下移动,以此控制电极210在不同位置进行坩埚熔制。具体的,升降架100分为定位座110、顶板120以及连接定位座110和顶板120的固定杆130,其中,固定杆130设置有多个,联动板310在驱动件320的驱动下能够在固定杆130上进行滑动,在驱动件320推动联动板310下,使得联动板310可以在固定杆130上进行上下移动,进而实现对其电极210的开度控制。在具体设置时,固定杆130至少设置2个以上,且能够在定位座110和顶板120之间沿周向均匀分布,进而才能够对联动板310升降起到稳定的作用。
请参阅图1、图2和图6,在一些具体的实施方案中,熔融组件200包括电极210以及固接于升降架100的承接板220,承接板220开设有六个等距间隔环绕的承接孔221,电极210能够分别配置于每个承接孔221,而且每个承接孔221的直径大于电极210的直径,进而以此实现电极210在承接孔221处进行开合动作,而且6根电极210电弧过程中,电极210的间距可以打开到200mm也不断弧,电极210可以拉的很开,产生的电极210弧光很大,6根电极210生产电极210覆盖面更广,更均匀,产品稳定性更高,大尺寸石英坩埚更适合使用6根电极210进行熔融。
请参阅图7和图8(图中尺寸为举例尺寸),示例性的,相同直径的电极210,在相同的打开距离下,相邻电极210中心距假设是a mm:3根电极210的布置位置是一个等边三角形,其位置分度圆半径为0.577a mm;而6根电极210的布置位置是一个等边六角形(相当于6个等边三角形),其位置分度圆半径为a mm。通过计算两种形式电极210的布置分度圆面积,可以得出,当使用6根电极210覆盖面积时3根电极210的3倍;6根电极210中心形成的圆直径长度约是3根电极210直径大小的3.5倍,尺寸提升较大。
而且在电弧熔化之际,由于坩埚炉排出的废气或坩埚内的对流,在坩埚周围引起大的空气流。当从坩埚上方施行电弧加热时,会对所述气流有很大影响。因此,当电极210间的距离增大时,此电弧就会由3个电极210立即截止。相反,对于3相交变电流具有6个电极210的结构,当从坩埚上方施行电弧加热时就可获得稳定的电弧。
所以通过分析比较,相同条件下,6根电极210覆盖的空间更大,产生的弧光大,则“热量球”直径大,热量更充足,生产大尺寸坩埚时离坩埚壁更近,产生的热量可以更好的作用到坩埚壁上,有利于成型且微气泡会在高温下位烧蚀掉,同时,由于热量靠近坩埚壁,石英砂的熔化更透彻,熔深大,成型的坩埚壁厚度较3根电极210的更厚,坩埚质量更稳定、寿命更长。
请参阅图2、图6和9,在具体设置时,需要说明的是,电极210靠近连接箍330的一端具有连接电缆的连接件211,可以使得电缆通过连接件211给电极210供电,进一步的对6根电极210分别同时供电,进而能够使得电极210的底端产生电弧,在足够热源的情况下,增大其电弧覆盖范围,以此来进行对石英坩埚熔融制备。连接箍330具有充分包裹电极210的绝缘件331,连接件211能够通过绝缘件331抵触于连接箍330,当通电之后,由于连接箍330是铁质的,会出现导电的情况,进而能够通过绝缘件331来避免铁质结构和电极210或连接件211的接触,以此避免导电产生的危险。而且该绝缘件331可以为绝缘漆、绝缘胶;纤维制品;橡胶、塑料及其制品;玻璃、陶瓷制品;云母、石棉及其制品等。通过其绝缘件331可以将不同电位的带电导体隔离开来,使电流能按一定的路径流通,还可起机械支撑和固定,以及灭弧、散热、储能、防潮、防霉或改善电场的电位分布和保护导体的作用。
请参阅图1、图3和图5以及图9,在一些具体的实施方案中,调节组件300包括联动板310以及设置于升降架100的驱动件320和连接箍330,连接箍330卡接于电极210,可以通过连接箍330将电极210进行夹紧固定,进一步使得连接件211支撑在连接箍330的上方。而且连接箍330能够转动连接于升降架100,通过在连接箍330与联动板310之间铰接有拉杆332,进一步的,驱动件320可驱动联动板310在升降架100内移动,以对连接箍330进行角度调节。具体的,当联动板310发生位移时,拉杆332带动连接箍330在定位座110上进行开度或合度动作,进而带动电极210进行开合作业。其中的驱动件320为丝母丝杆传动,用伺服电机驱动丝杆,可以准确控制上下移动位置。
请参阅图1、图5和图10以及图11,在其他一些实施方案中,开度组件400包括角度指示部410以及连接角度指示部410与联动板310的连接杆420,当联动板310位移时,连接杆420可驱使角度指示部410进行角度变化。具体的,角度指示部410分为角度盘411以及沿角度盘411移动的指示架412,其中,指示架412具有角度监测器4121,角度监测器4121可在联动板310上升或下降过程中采集角度数据。可以理解,在本实施例中,该结构能够通过角度指示部410的角度数值来准确判断电极210开合度的大小,通过控制驱动件320,进一步的实现对6根电极210之间产生的电弧进行控制,以此在熔融石英坩埚的过程中对其稳定熔制,进一步实现制备大尺寸的石英坩埚。而且采集角度数据之后可以直接反馈到控制中心或者反馈到驱动件320,以此直接对电极210开度的定位。
请参阅图1、图2和图11,具体的,角度盘411两侧位置均开设有相对称的滑槽4111,指示架412具有能够沿滑槽4111滑动的滑块4122,联动板310带动连接杆420进行移动时,指示架412也在角度盘411上进行移动,进而同时能够带动角度监测器4121监测角度盘411上的角度的数值,同时滑块4122能够在滑槽4111中稳定的滑动,确保指示架412在角度盘411上稳定的移动。而且角度与该6根电极210结构的开度相配合,从坩埚上方施行电弧加热时就可获得稳定的电弧。这样,对于坩埚直径为 28-40英寸的大尺寸石英玻璃坩埚,就能获得具有均匀重熔表面的优异的坩埚。
本申请实施例还提供了一种石英坩埚制备方法,其使用制备模具以及利用上述的石英坩埚熔制装置进行,包括以下步骤:
步骤一:石英砂称重
称取质检合格、符合生产要求的、规定质量的石英砂,然后根据需要熔制坩埚的尺寸来计算石英砂的用量(如37寸埚为例,石英砂料大约为110kg左右),然后将石英砂上料至坩埚模具内,该坩埚模具为可旋转模具;
步骤二:模具装料成型
按照坩埚性能要求,将石英砂铺装到模具中,使其形状类似于成品结构,然后将模具进行转动,具体的,石英砂铺装在模具内壁一般为三层结构,第一层铺装厚度为3mm-10mm,铺装完第二层后总厚度为5mm-30mm,铺装完第三层后总厚度为10mm-45mm;
步骤三:电弧熔制
将六根电极210环形分布在模具的竖直中心线上,然后对六根电极210进行通电,使得电极210之间产生电弧,通过调整电极210开度,使得六根电极210开度可以控制在1mm-200mm,以此控制电弧的大小,当电极210的开度越大,电弧形成的圆直径就越大,其产生的热量就越大,在熔制时,调整电极210上下位置,使其上下移动位置能够在0mm-400mm之间进行移动,以此来分别熔制坩埚不同的位置,使得石英砂从颗粒状能够融化到熔融液态,然后通过减少热量后慢慢的形成固体的石英坩埚;
步骤四:在坩埚成型后将其从模具中取出,转入后序的加工工序中,如冷却(风冷)、冷加工研磨、切断(倒角)、检测、清洗(烘干)、包装、成品入库。
在本申请中,石英坩埚的发展趋势是向着大尺寸坩埚发展,也是将来市场需求。坩埚直径、高度的增加同时也要求埚壁厚度也要增加,石英砂的性能要求也提高,熔融工艺限制热源必须位于旋转模具竖直中心线上,带来的问题就是要求有更充足的热源:能够提供足够的热量、覆盖范围大离埚壁距离近。
分析三相电的特性,电极210位置几何结构尺寸计算,结合生产成本要求,构思如上述确定的电极210数量分析,6根电极210制备大尺寸石英坩埚可以完美的解决上述问题,保证坩埚质量。
具体的,该石英坩埚熔制装置及制备方法的工作原理:使用时,将该装置设在制备石英坩埚的旋转模具上,然后使得六根电极210环形分布在模具的竖直中心线上,然后通过连接件211使得电缆对电极210进行通电,进而使得6根电极210之间产生电弧,然后启动驱动件320,进而驱动联动板310进行上下移动,进而使得连接箍330带动电极210进行开和动作,以此实现开度的大小,进而来控制电弧的大小,在联动板310移动的同时,连接杆420驱使角度指示部410发生角度的变化,该角度变化可以和电极210的开度相对应,进而能够随时得到电极210开度的大小,而且当电极210的开度越大,电弧形成的圆直径就越大,其产生的热量就越大,当需要熔制坩埚不同位置的时候,通过外力对升降架100进行升降,进而实现对电极210进行上下位置的调整,进而能够使得石英砂从颗粒状融化到熔融液态,再然后通过减少热量后慢慢的形成固定体的石英坩埚;
通过角度盘411和指示架412相互配合,使得指示架412受到连接杆420的拉动下,能够在角度盘411上进行移动,以此来读取其移动的角度,进而得出电极210开度的大小,通过其角度监测器4121能够进行数据的传递,及时到电极210进行开度调整,通过滑块4122和滑槽4111的相互作用,能够使得指示架412稳定在角度盘411上进行移动,而且还能够对其指示架412进行限位作用,联动板310在固定杆130上能够稳定的上下移动,从而实现对其电极210进行开度调节,而且绝缘件331使得通电后的电极210避免对连接箍330进行导电,拉杆332可以带动连接箍330进行角度开合动作。
需要说明的是,电极210、驱动件320和角度监测器4121具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定,具体选型计算方法采用本领域现有技术,故不再详细赘述。
电极210、驱动件320和角度监测器4121的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的,在此不予详细说明。
以上所述仅为本申请的优选实施方式而已,并不用于限制本申请,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种石英坩埚熔制装置,其特征在于,包括
升降架(100);
熔融组件(200),所述熔融组件(200)包括电极(210)以及固接于所述升降架(100)的承接板(220),所述承接板(220)开设有六个等距间隔环绕的承接孔(221),所述电极(210)能够分别配置于每个所述承接孔(221);
调节组件(300),所述调节组件(300)包括联动板(310)以及设置于所述升降架(100)的驱动件(320)和连接箍(330),所述连接箍(330)卡接于所述电极(210),且所述连接箍(330)能够转动连接于所述升降架(100),所述驱动件(320)可驱动所述联动板(310)在所述升降架(100)内移动,以对连接箍(330)进行角度调节,所述连接箍(330)与所述联动板(310)之间铰接有拉杆(332),当所述联动板(310)发生位移时,所述拉杆(332)带动所述连接箍(330)进行开度或合度动作;
开度组件(400),所述开度组件(400)包括角度指示部(410)以及连接所述角度指示部(410)与所述联动板(310)的连接杆(420),当所述联动板(310)位移时,所述连接杆(420)可驱使所述角度指示部(410)进行角度变化;
所述角度指示部(410)分为角度盘(411)以及沿所述角度盘(411)移动的指示架(412),其中,所述指示架(412)具有角度监测器(4121),所述角度监测器(4121)可在所述联动板(310)上升或下降过程中采集角度数据,采集角度数据之后,直接反馈到控制中心或者反馈到驱动部件(320),对电极(210)的开度进行调整;
所述角度盘(411)两侧位置均开设有相对称的滑槽(4111),所述指示架(412)具有能够沿所述滑槽(4111)滑动的滑块(4122)。
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚熔制装置,其特征在于,所述升降架(100)能够通过升降机或者吊装机进行上下移动,其所述升降架(100)分为定位座(110)、顶板(120)以及连接所述定位座(110)和顶板(120)的固定杆(130),其中,所述固定杆(130)设置有多个,所述联动板(310)在驱动件(320)的驱动下能够在所述固定杆(130)上进行滑动。
3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚熔制装置,其特征在于,所述电极(210)靠近所述连接箍(330)的一端具有连接电缆的连接件(211)。
4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚熔制装置,其特征在于,所述连接箍(330)具有充分包裹所述电极(210)的绝缘件(331),所述连接件(211)能够通过所述绝缘件(331)抵触于所述连接箍(330)。
5.一种石英坩埚制备方法,使用制备模具以及利用权利要求1-4任意一项所述的石英坩埚熔制装置进行,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一:石英砂称重
称取质检合格、符合生产要求的、规定质量的石英砂,然后根据需要熔制坩埚的尺寸来计算石英砂的用量,然后将石英砂上料至坩埚模具内;
步骤二:模具装料成型
按照坩埚性能要求,将石英砂铺装到模具中,使其形状类似于成品结构,然后将模具进行转动;
步骤三:电弧熔制
将六根电极环形分布在模具的竖直中心线上,然后对六根电极进行通电,使得电极之间产生电弧,通过调整电极开度,控制电弧的大小,当电极的开度越大,电弧形成的圆直径就越大,其产生的热量就越大,在熔制时,调整电极上下位置,以此来分别熔制坩埚不同的位置,使得石英砂从颗粒状能够融化到熔融液态,然后通过减少热量后慢慢的形成固体的石英坩埚;
步骤四:在坩埚成型后将其从模具中取出,转入后序的加工工序中。
6.根据权利要求5所述的一种石英坩埚制备方法,其特征在于,所述六根电极上下移动位置为0mm-400mm,开度在1mm-200mm。
7.根据权利要求5所述的一种石英坩埚制备方法,其特征在于,所述石英砂铺装在模具内壁一般为三层结构,第一层铺装厚度为3mm-10mm,铺装完第二层后总厚度为5mm-30mm,铺装完第三层后总厚度为10mm-45mm。
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