CN114440960A - 一种电导率温度传感器系统 - Google Patents
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Abstract
本公开提供了一种电导率温度传感器系统，包括：衬底，包括N+2个通孔，每个通孔中设有导线，导线的第一端连接在衬底的底面，其中，N+2个通孔包括N个第一通孔与两个第二通孔，N为正偶数；电导率传感器，包括N个电极，分别对应地置于N个第一通孔之上，并分别与第一通孔中导线的第二端连接，其中，N个电极包括一个圆形电极及N‑1个环形电极，N个电极之间形成有隔离沟；温度传感器，其位于隔离沟中，温度传感器的两个电极分别置于两个第二通孔之上，并分别与第二通孔中导线的第二端连接。
Description
技术领域
本公开涉及传感器技术领域，具体涉及到一种导率温度传感器系统。
背景技术
电导率温度传感器系统不仅可以直接、快速提供电导率、温度海洋最基本的参数，并根据电导率和温度补偿关系可计算出海水盐度等重要信息，而这些参数和信息对于海洋科学研究、海洋环境保护、海洋经济、海洋军事和海洋国防领域都有着极其重要的价值。
电极式电导率传感器是根据电解导电原理进行测量，通过测量电极间被测海水的电阻进而计算电导率，主要分为两电极、三电极、四电极和七电极这四种主要形式。其中，平面环形四电极具有以下优点：通过将激励电极和响应电极分开，可以有效避免激励电极上发生的极化效应产生的的极化阻抗的影响；圆环结构的四电极传感器在测量电导率时，当感应电极部分被污染覆盖，其余部仍然可以检测信号，提高了抗污染能力，同时可避免水流方向对测量结果的影响；感应电极与溶液直接接触，可实现高响应速度；通过对平面环形四电极仿真，得出电场约束在最外层电极内部，可实现高测量精度；通过平面环形四电极的结构，消除原有三电极、七电极的电导池结构，消除了趋近效应的影响。当异物靠近传感器时，测量结果将受到影响，称为趋进效应，实现小型化和降低制造成本。另外，温度是影响溶液电导率变化的最大外部因素。温度将影响溶液的性质，如离子的移动速度、电离程度、物质的溶解度等，温度升高将会使电解质的电离常数增大以及加快离子的热运动速度，从而影响电导率的测量。因此，有必要将温度传感器和电导率传感器集成在一起，对电导率传感器进行实时补偿。
现有技术中的环形四电极电导率传感器和温度传感器集成在一起时，所占面积较大，不利于集成化。另一方面，一些环形四电极电导率传感器采用了缺口的设计以便于位于内部的电极可以从缺口处引出导线以与其他部件电连接，但是上述缺口的设置会破坏环形电极的完整性，从而在测量时电压电极的等势面会出现奇异点，进而会导致电极上任何细微变化如污染、生物附着都会引起测量信号大幅偏移，影响测量的精度及稳定性。同时，这些环形四电极采用的是金属铂材料，存在机械强度不高的问题，难以实现长期稳定的电导率测量。
本公开提供了一种电导率温度传感器系统，该系统通过在同一衬底上集成多个环形电极电导率传感器和温度传感器，且温度传感器位于环形电极电导率传感器内部，可以有效利用空间，减小传感器系统的整体面积，实现了传感器系统的小型化。另外，衬底通孔导线将电导率传感器和温度传感器电极引出消除了环形电极缺口对测量电压稳定性的影响，提高了电导率测量精度。
发明内容
为了解决现有技术中上述问题，本公开提供了一种电导率温度传感器系统，其提高了电导率测量精度、电极的机械强度及化学稳定性，实现了传感器系统的小型化。
本公开提供了一种电导率温度传感器系统，其特征在于，包括：衬底，包括N+2个通孔，每个通孔中设有导线，导线的第一端连接在衬底的底面，其中，N+2个通孔包括N个第一通孔与两个第二通孔，N为正偶数；电导率传感器，包括N个电极，分别对应地置于N个第一通孔之上，并分别与第一通孔中导线的第二端连接，其中，N个电极包括一个圆形电极及N-1个环形电极，N个电极之间形成有隔离沟；温度传感器，其位于隔离沟中，温度传感器的两个电极分别置于两个第二通孔之上，并分别与第二通孔中导线的第二端连接。
进一步地，N个电极为同心圆结构。
进一步地，N等于4，电导率传感器为环形四电极电导率传感器，其包括第一圆形电极、第二环形电极、第三环形电极及第四环形电极，温度传感器位于第二环形电极及第三环形电极之间的隔离沟中。
进一步地，环形四电极电导率传感器的第一圆形电极的半径为200μm～800μm；第二环形电极的内径为300μm～1100μm，其环宽为100μm～300μm；第三环形电极的内径为3200μm～4000μm，其环宽为100μm～300μm；第四环形电极的内径为3500μm～4500μm，其环宽为400μm～600μm；环形四电极电导率传感器的厚度为0.1μm～0.5μm。
进一步地，衬底底部设置N+2个电极金属焊盘，N+2个电极金属焊盘与导线的第一端相连。
进一步地，温度传感器由折线形密集排列的电阻丝构成，电阻丝材料为铂或铜或镍，温度传感器上方设置绝缘导热层。
进一步地，第一圆形电极、第二环形电极、第三环形电极及第四环形电极由硼掺杂或氮掺杂或磷掺杂或硼氮磷两两掺杂的材料构成。
进一步地，衬底为方形或长方形，其为玻璃、碳化硅或蓝宝石材料构成，N+2个通孔为圆柱形或棱柱形。
本公开基于传感器技术的基础上，提供了一种电导率温度传感器系统，该系统通过在同一衬底上集成多个环形电极电导率传感器和温度传感器，且温度传感器位于环形电极电导率传感器内部，有效利用了系统空间，减小传感器系统的整体面积，实现了传感器系统的小型化。另外，衬底通孔导线将电导率传感器和温度传感器电极引出消除了环形电极缺口对测量电压稳定性的影响，提高了电导率测量精度。
附图说明
为了更完整地理解本公开及其优势，现在将参考结合附图的以下描述，其中：
图1示意性示出了根据本公开一实施例的电导率温度传感器系统的结构图；
图2示意性示出了根据本公开一实施例的电导率温度传感器系统沿A-A方向的横向截面图。
图3示意性示出了根据本公开一实施例的电导率温度传感器系统沿B-B方向的横向截面图。
具体实施方式
以下，将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围。在下面的详细描述中，为便于解释，阐述了许多具体的细节以提供对本公开实施例的全面理解。然而，明显地，一个或多个实施例在没有这些具体细节的情况下也可以被实施。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念。
在此使用的术语仅仅是为了描述具体实施例，而并非意在限制本公开。在此使用的术语“包括”、“包含”等表明了所述特征、步骤、操作和/或部件的存在，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作或部件。
在此使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有本领域技术人员通常所理解的含义，除非另外定义。应注意，这里使用的术语应解释为具有与本说明书的上下文相一致的含义，而不应以理想化或过于刻板的方式来解释。
本公开的实施例提供了一种电导率温度传感器系统，包括：
衬底，包括N+2个通孔，每个通孔中设有导线，导线的第一端连接在衬底的底面，其中，N+2个通孔包括N个第一通孔与两个第二通孔，N为正偶数。
本公开的实施例中，衬底为方形或长方形，其为玻璃、碳化硅或蓝宝石材料构成，N+2个通孔为圆柱形或棱柱形，导线为金属银导线或铜导线。其中，N+2个通孔贯穿衬底，其高度等于衬底的厚度。
本公开的实施例中，衬底底部设置N+2个电极金属焊盘，N+2个电极金属焊盘与导线的第一端相连。其中，N+2个电极金属焊盘由铝材料构成。
电导率传感器，包括N个电极，分别对应地置于N个第一通孔之上，并分别与第一通孔中导线的第二端连接，其中，N个电极包括一个圆形电极及N-1个环形电极，N个电极之间形成有隔离沟。
本公开的实施例中，N个电极为同心圆结构，将电导率传感器设计为同圆心的平面环形电极结构，并结合衬底中的通孔将导线引出，可防止非同心设计传感器测量时电压电极的等势面会出现奇异点，避免电极上任何细微变化如污染、生物附着都会引起测量信号大幅偏移的缺陷，进而影响测量的精度及稳定性。同圆心的平面环形电极结构可有效避免电极极化效应和趋近效应的影响，其感应电极与溶液直接接触，实现了高响应速度，通过将电场约束在最外层电极内部，可实现高测量精度。
本公开的实施例中，N个电极由硼掺杂或氮掺杂或磷掺杂或硼氮磷两两掺杂的材料构成，采用该材料构成的N个电极可有效提高电极的机械强度，提高其稳定性。
温度传感器，其位于隔离沟中，温度传感器的两个电极分别置于两个第二通孔之上，并分别与第二通孔中导线的第二端连接。
本公开的实施例中，温度传感器由折线形密集排列的电阻丝构成，电阻丝材料为铂或铜或镍，温度传感器上方设置绝缘导热层，该绝缘导热层材料为氮化硅。其中，由于温度传感器通电后，也会电解海水产生电场，绝缘导热层的设置为了屏蔽温度传感器电极在海水中激发的电场，影响电导率传感器电极在海水中产生的电场，另一方面，绝缘层将海水温度传递到温度传感器电极，使温度传感器可以正常工作。
本公开的实施例中，温度传感器位于环形四电极电导率传感器内部，通过该设计有效利用了传感器系统的空间，减小传感器系统的整体面积，实现传感器系统的小型化。
本公开的实施例中，N为4，电导率传感器为环形四电极电导率传感器，其包括第一圆形电极、第二环形电极、第三环形电极及第四环形电极，温度传感器位于第二环形电极及第三环形电极之间的隔离沟中。
本公开的实施例中，为实现较高的传感器灵敏度，高测量精度，以及降低电极间相互电场的影响，通过理论仿真计算，环形四电极电导率传感器的第一圆形电极的半径为200μm～800μm；第二环形电极的内径为300μm～1100μm，其环宽为100μm～300μm；第三环形电极的内径为3200μm～4000μm，其环宽为100μm～300μm；第四环形电极的内径为3500μm～4500μm，其环宽为400μm～600μm；环形四电极电导率传感器的厚度为0.1μm～0.5μm。
如图1至3所示，本公开的实施例中，N为4，衬底1上设置6个通孔，6个通孔内均设置金属导线，其分别为第一电极金属导线11、第二电极金属导线12、第三电极金属导线13、第四电极金属导线14、第五电极金属导线15及第六电极金属导线16，电导率传感器为环形四电极电导率传感器，其包括第一圆形电极21、第二环形电极22、第三环形电极23及第四环形电极24，温度传感器位于第二环形电极及第三环形电极之间的隔离沟27中，其由折线形密集排列的电阻丝3构成，且上方设置绝缘导热层4，6个电极金属焊盘为第一电极金属焊盘51、第二电极金属焊盘52、第三电极金属焊盘53、第四电极金属焊盘54、第五电极金属焊盘55及第六电极金属焊盘56。其中，第一电极金属导线11、第二电极金属导线12、第三电极金属导线13、第四电极金属导线14、第五电极金属导线15及第六电极金属导线16的第一端分别与第一电极金属焊盘51、第二电极金属焊盘52、第三电极金属焊盘53、第四电极金属焊盘54、第五电极金属焊盘55及第六电极金属焊盘56相连，其第二端分别与第一圆形电极21、第二环形电极22、第三环形电极23、第四环形电极24、温度传感器的第一焊盘25及温度传感器的第二焊盘26相连。
本公开的实施例中，使用时，将该传感器系统放置于海水中，在第一圆形电极21和第四环形电极24上施加交流电流信号，该系统在海水中产生电场，第二环形电极22和第三环形电极23处于电场分别中，且第二环形电极22与第三环形电极23间存在一定的电势差，该电势差与海水的电导率有关，电导率越大，电势差越小。通过测量第二环形电极22与第三环形电极23的电势差，根据公式
即可算出海水的电导率值，其中K为电导池常数，单位cm-1；I为输入电流，单位A；V为第二环形电极22和第三环形电极23的电势差，单位V。在温度传感器的两端施加电压，当温度升高时，温度传感器的电阻丝的阻值会增加，通过测量流经温度传感器电极的电流，计算其相应的电阻，可根据公式
测得当前海水的温度，其中，α为电阻温度系数，单位1/℃，表示单位温度引起的电阻相对变化；
为温度T0时的电阻值，单位Ω；RT为温度T时的电阻值，单位Ω。
本公开的实施例中，通过将电导率传感器和温度传感器集成在同一衬底上，并通过施加独立的电源激励，可同时得到海水的电导率值与当前的温度值，测量过程简单，响应时间快。通过在同一衬底上集成多个环形电极电导率传感器和温度传感器，且温度传感器位于环形电极电导率传感器内部，有效利用了系统空间，减小传感器系统的整体面积，实现了传感器系统的小型化。衬底通孔导线将电导率传感器和温度传感器电极引出消除了环形电极缺口对测量电压稳定性的影响，提高了电导率测量精度。另外，多个环形电极电导率传感器由硼掺杂或氮掺杂或磷掺杂或硼氮磷两两掺杂的材料构成，通过制备材料的改进，提高了多个环形电极的机械强度，进而提高了电导率温度传感器系统稳定性。
领域技术人员可以理解，本公开的各个实施例和/或权利要求中记载的特征可以进行多种范围组合和/或结合，即使这样的组合或结合没有明确记载于本公开中。特别地，在不脱离本公开精神和教导的情况下，本公开的各个实施例和/或权利要求中记载的特征可以进行多种组合和/或结合。所有这些组合和/或结合均落入本公开的范围。
尽管已经参照本公开的特定示例性实施例示出并描述了本公开，但是本领域技术人员应该理解，在不背离所附权利要求及其等同物限定的本公开的精神和范围的情况下，可以对本公开进行形式和细节上的多种改变。因此，本公开的范围不应该限于上述实施例，而是应该不仅由所附权利要求来进行确定，还由所附权利要求的等同物来进行限定。
Claims (8)
1.一种电导率温度传感器系统，其特征在于，包括：
衬底，包括N+2个通孔，每个通孔中设有导线，所述导线的第一端连接在所述衬底的底面，其中，所述N+2个通孔包括N个第一通孔与两个第二通孔，N为正偶数；
电导率传感器，包括N个电极，分别对应地置于所述N个第一通孔之上，并分别与所述第一通孔中导线的第二端连接，其中，所述N个电极包括一个圆形电极及N-1个环形电极，所述N个电极之间形成有隔离沟；
温度传感器，其位于所述隔离沟中，所述温度传感器的两个电极分别置于所述两个第二通孔之上，并分别与所述第二通孔中导线的第二端连接。
2.根据权利要求1所述的电导率温度传感器系统，其特征在于，所述N个电极为同心圆结构。
3.根据权利要求1或2所述的电导率温度传感器系统，其特征在于，N等于4，所述电导率传感器为环形四电极电导率传感器，其包括第一圆形电极、第二环形电极、第三环形电极及第四环形电极，所述温度传感器位于所述第二环形电极及所述第三环形电极之间的隔离沟中。
4.根据权利要求3所述的电导率温度传感器系统，其特征在于，所述环形四电极电导率传感器的第一圆形电极的半径为200μm～800μm；第二环形电极的内径为300μm～1100μm，其环宽为100μm～300μm；第三环形电极的内径为3200μm～4000μm，其环宽为100μm～300μm；第四环形电极的内径为3500μm～4500μm，其环宽为400μm～600μm；所述环形四电极电导率传感器的厚度为0.1μm～0.5μm。
5.根据权利要求1所述的电导率温度传感器系统，其特征在于，所述衬底底部设置N+2个电极金属焊盘，所述N+2个电极金属焊盘与所述导线的第一端相连。
6.根据权利要求1所述的电导率温度传感器系统，其特征在于，所述温度传感器由折线形密集排列的电阻丝构成，所述电阻丝材料为铂或铜或镍，所述温度传感器上方设置绝缘导热层。
7.根据权利要求4所述的电导率温度传感器系统，其特征在于，所述第一圆形电极、所述第二环形电极、所述第三环形电极及所述第四环形电极由硼掺杂或氮掺杂或磷掺杂或硼氮磷两两掺杂的材料构成。
8.根据权利要求1所述的电导率温度传感器系统，其特征在于，所述衬底为方形或长方形，其为玻璃、碳化硅或蓝宝石材料构成，所述N+2个通孔为圆柱形或棱柱形。
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Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4227151A (en) * | 1977-08-27 | 1980-10-07 | Malcom-Ellis (Liverpool) Limited | Measurement and monitoring of the electrical conductivity of liquor samples |
| US20070018652A1 (en) * | 2005-02-21 | 2007-01-25 | Broadbent Heather A | Micro sensor system for liquid conductivity, temperature and depth |
| CN102539932A (zh) * | 2010-10-19 | 2012-07-04 | 恩德莱斯和豪瑟尔测量及调节技术分析仪表两合公司 | 电导率传感器 |
| CN102947683A (zh) * | 2010-04-26 | 2013-02-27 | Hme有限公司 | 温度传感器及采用该温度传感器的辐射温度计、温度传感器的制造方法、采用光刻胶膜的多层薄膜热电堆及采用该热电堆的辐射温度计、以及多层薄膜热电堆的制造方法 |
| US20150192535A1 (en) * | 2012-09-20 | 2015-07-09 | University Of Southampton | Apparatus for sensing at least one parameter in water |
| CN106104236A (zh) * | 2014-03-06 | 2016-11-09 | 西铁城控股株式会社 | 无线温度传感器 |
| CN106645306A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-05-10 | 中国科学院计算技术研究所 | 电导率传感器的电极装置 |
| CN109632121A (zh) * | 2018-12-10 | 2019-04-16 | 上海交通大学 | 一种基于导电通孔的温度传感器封装结构及制备方法 |
| CN111805024A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-10-23 | 清华大学 | 加工检测一体化硅电极及其制备方法 |
-
2020
- 2020-11-03 CN CN202011213343.8A patent/CN114440960A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4227151A (en) * | 1977-08-27 | 1980-10-07 | Malcom-Ellis (Liverpool) Limited | Measurement and monitoring of the electrical conductivity of liquor samples |
| US20070018652A1 (en) * | 2005-02-21 | 2007-01-25 | Broadbent Heather A | Micro sensor system for liquid conductivity, temperature and depth |
| CN102947683A (zh) * | 2010-04-26 | 2013-02-27 | Hme有限公司 | 温度传感器及采用该温度传感器的辐射温度计、温度传感器的制造方法、采用光刻胶膜的多层薄膜热电堆及采用该热电堆的辐射温度计、以及多层薄膜热电堆的制造方法 |
| CN102539932A (zh) * | 2010-10-19 | 2012-07-04 | 恩德莱斯和豪瑟尔测量及调节技术分析仪表两合公司 | 电导率传感器 |
| US20150192535A1 (en) * | 2012-09-20 | 2015-07-09 | University Of Southampton | Apparatus for sensing at least one parameter in water |
| CN106104236A (zh) * | 2014-03-06 | 2016-11-09 | 西铁城控股株式会社 | 无线温度传感器 |
| CN106645306A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-05-10 | 中国科学院计算技术研究所 | 电导率传感器的电极装置 |
| CN109632121A (zh) * | 2018-12-10 | 2019-04-16 | 上海交通大学 | 一种基于导电通孔的温度传感器封装结构及制备方法 |
| CN111805024A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-10-23 | 清华大学 | 加工检测一体化硅电极及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 杨永强: "石墨烯材料及其应用研究进展概述", 31 July 2021, 吉林大学出版社, pages: 70 * |
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