CN114433904A - 一种测试探针用钯合金底柱头加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及加工装置技术领域，尤其是一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，现提出如下方案，其包括底座，底座的顶面固定连接有第一气缸和支撑板，第一气缸的顶端设有第二钻孔装置，支撑板的一侧固定连接有支撑杆，支撑杆的下方设有第二气缸，第二气缸的底端固定连接有第一钻孔装置，底座上设有位于第一钻孔装置与第二钻孔装置之间的夹持装置，第一气缸远离支撑板的一侧设有与底座固定连接的固定板，固定板靠近第一气缸的一侧固定连接有第二齿条，第二齿条的一侧滑动连接有滑块，滑块的底部设有可转动的电磁线圈和封口机构，电磁线圈和封口机构均位于夹持装置和第一钻孔装置之间。本发明达到了对底柱本体进行钻孔加工的目的。

Description

一种测试探针用钯合金底柱头加工装置

技术领域

本发明涉及加工装置领域，尤其是一种测试探针用钯合金底柱头加工装置。

背景技术

半导体芯片:在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓(砷化镓有毒，所以一些劣质电路板不要好奇分解它)，锗等半导体材料。

半导体芯片在生产出来后，需要随机抽样检测，检测一般是通过探针来测试半导体芯片的性能，这种探针的端部设有钯合金材质的底柱头，用于直接与半导体芯片接触，然后再用另一个导体金属与底柱头相接触，用以传递测试信号，然而这种方式的探针在测试时往往会因为用力过大(缺少缓冲设置)导致芯片受损，同时，两种不同的导体金属间信号传递会受到影响，因此，需要设计出导体与测试体材质相同且具有缓冲作用的钯合金材质的底柱头，且需要设置专门的加工装置来加工此类底柱头，为此，本发明提出了一种测试探针用钯合金底柱头加工装置。

发明内容

为解决现有技术中的问题，本发明提出了一种测试探针用钯合金底柱头加工装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，包括底座，所述底座的顶面固定连接有第一气缸和支撑板，所述第一气缸的顶端设有第二钻孔装置，所述支撑板的一侧固定连接有支撑杆，所述支撑杆的下方设有第二气缸，所述第二气缸的底端固定连接有第一钻孔装置，第一钻孔装置位于第二钻孔装置的上方，所述底座上设有位于第一钻孔装置与第二钻孔装置之间的夹持装置，所述第一气缸远离支撑板的一侧设有与底座固定连接的固定板，固定板靠近第一气缸的一侧固定连接有第二齿条，第二齿条的一侧滑动连接有滑块，所述滑块的底部设有可转动的电磁线圈和封口机构，所述电磁线圈和封口机构均位于夹持装置和第一钻孔装置之间。

进一步地，所述夹持装置包括固定连接在底座顶面的第五杆，所述第五杆靠近第一气缸的一侧转动连接有固定杆，所述固定杆远离第五杆的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽滑动连接有两个夹块，所述第一滑槽中转动连接有螺纹柱，所述夹块均与螺纹柱螺纹连接，所支撑板的一侧开设有第二滑槽，第二滑槽中固定连接有第六柱，第二滑槽中滑动连接有第四杆，第四杆与第六柱滑动连接，第六柱的外部套设有第一弹簧，第一弹簧位于第四杆的下方，第四杆的一端延伸至第二滑槽的外部并固定连接有第一齿条，第五杆远离固定杆的一侧设有第四齿轮，第四齿轮与固定杆固定连接，所述第一齿条与第四齿轮相啮合。

进一步地，所述支撑杆转动连接有第二柱，第二柱的底端固定连接有第一杆，第二气缸固定连接于第一杆的底部，第一杆的一端固定连接有缺齿齿轮，所述支撑板的一侧固定连接有第三杆和第二杆，所述第三杆转动连接有第四柱，第四柱上固定连接有推杆，所述推杆与第四杆相配合，第二杆转动连接有第三柱，第三柱与第四柱传动连接，第三柱的顶端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮与缺齿齿轮相配合。

进一步地，所述支撑杆的上方固定连接有L形杆，所L形杆的顶面设有下料装置，所述下料装置包括固定连接在L形杆顶面的横板，所述横板的顶面固定连接有两个夹板，所述横板和L形杆上均开设有下料孔，两个下料孔相对应并位于两个夹板之间，夹板的上方连接有两个第二导管，两个第二导管均位于两个夹板之间，两个夹板之间设有第一推块和第二推块，所述第一推块远离第二推块的一侧固定连接有第五齿条，所述第五齿条与横板滑动连接，所述横板上滑动连接有第四齿条，所述第五齿条与第四齿条之间通过第五齿轮传动连接，第五齿轮与横板转动连接，横板上固定连接有第四板，第四齿条的一端固定连接有第七柱，所述第七柱与第四板滑动连接，第七柱的外部套设有第二弹簧，第二弹簧位于第四板与第四齿条之间。

进一步地，所述第四齿条远离第四板的一端固定连接有第一板，所述夹板的一侧固定连接有第三板，所述第二推块远离第一推块的一侧固定连接有第八柱，第八柱的一侧固定连接有第十柱，第十柱的外部套设有第三弹簧，所述第八柱的另一端固定连接有第二板，所述第一板位于第二板的上方。

进一步地，所述第二柱的顶端固定连接有第七齿轮，所述支撑杆的顶面固定连接有第五驱动电机，第五驱动电机的输出轴一端固定连接有第六齿轮，所述第六齿轮与第七齿轮相啮合，第六齿轮的顶面固定连接有第九柱，第九柱上固定连接有第六杆和第七杆，第六杆位于第七杆的上方，第六杆与第一板相配合，第七杆与第二板相配合。

进一步地，所述支撑杆上设有转盘，转盘位于L形杆的下方，L形杆的底部固定连接有第一导管，第一导管与下料孔相对应，所述转盘上设有与第一导管相配合的第一通孔，所述转盘的底面固定连接有第一柱，所述第一柱与支撑杆转动连接，第一柱的底端延伸至支撑杆的下方并固定连接有第三齿轮，所述缺齿齿轮与第三齿轮相配合。

进一步地，所述第一杆上贯穿固定连接有第三导管，支撑杆上开设有与第一通孔相对应的第二通孔，第三导管与第二通孔相适配。

进一步地，所述第一钻孔装置包括第一钻头，所述第二钻孔装置包括第二钻头，所述第一钻头的外径大于第二钻头的外径，所述滑块的顶面固定连接有第三驱动电机，所述第三驱动电机的输出轴一端固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第二齿条相啮合。

进一步地，所述底柱头包括底柱本体，所述底柱本体中设有第四弹簧和滑柱，所述滑柱与底柱本体滑动连接，所述滑柱远离第四弹簧的一端固定连接有延长柱，所述延长柱的一端延伸至底柱本体的外部，所述底柱本体远离延长柱的一端为封闭的弧形圆端。

本发明的有益效果：

1、启动第二气缸和第四驱动电机，第二气缸的伸长端伸长，第一钻头对待加工的底柱本体进行钻孔，使得底柱本体上产生如图7所示的具有一定深度的第二孔，在第二孔钻孔结束后，收缩第二气缸使得第一钻头离开第二孔，再启动第一气缸和第二驱动电机，使得第二钻头对底柱本体的底端进行钻孔，产生第一孔，第一孔与第二孔连通，第一孔钻孔结束后，收缩第一气缸，使得第二钻头离开第一孔，从而达到对底柱本体进行钻孔加工的目的；

2、再启动第五驱动电机，第五驱动电机的输出轴转动带动第六齿轮转动，并使得第六齿轮转动180°，第六齿轮转动带动第七齿轮转动，第七齿轮转动带动第二柱转动，第二柱转动带动第一杆转动180°，在此过程中，缺齿齿轮随着第一杆运动并和第一齿轮相互作用使得第一齿轮转动，第一齿轮转动带动第三柱转动，第三柱转动带动第四柱转动，第四柱转动带动推杆转动，推杆推动第四杆向下运动，第四杆带动第一齿条向下运动，第一齿条与第四齿轮相互作用使得第四齿轮转动，第四齿轮转动带动固定杆转动，使得钻完孔的底柱本体转动，使得底柱本体的第二孔孔端朝下，从而达到将底柱本体中的钻孔废屑倒出底柱本体的目的；

3、在第一杆转动180°的过程中，缺齿齿轮在运动的过程中在与第一齿轮相互作用后，又与第三齿轮相互作用使得第三齿轮转动，第三齿轮转动带动第一柱转动，第一柱转动带动转盘转动，在第一杆转动180°后，停止转动，此时，第三导管位于底柱本体的正上方，第三导管与转盘上的第一通孔、第一导管相对应，第一导管中的传导柱和第四弹簧经过第一通孔和第三导管落入到底柱本体中，传导柱位于第四弹簧的下方，从而达到自动对底柱本体装入传导柱和第四弹簧的目的，提高了加工效率，避免了因为钻孔较小，人工装配不方便的问题。

附图说明

图1为本发明的主视图；

图2为本发明的侧视图；

图3为本发明的下料装置的俯视图；

图4为本发明的下料装置的侧视图；

图5为本发明的部分结构示意图；

图6为本发明的底柱头的爆炸图；

图7为本发明的底柱本体钻孔后的结构示意图。

图中标号：1下料装置、2第一柱、3第二柱、4第一杆、5支撑杆、6第一齿轮、7缺齿齿轮、8第二杆、9第三柱、10第三杆、11支撑板、12第四柱、13推杆、14第四杆、15底座、16第三导管、17第一驱动电机、18螺纹柱、19固定杆、20夹块、21第五杆、22第一气缸、23第二驱动电机、24第二钻头、25第一齿条、26电磁线圈、27滑块、28固定板、29第二齿条、30第三驱动电机、31第二齿轮、32第三齿轮、33L形杆、34转盘、35第一钻头、36第四驱动电机、37第二气缸、38第四齿轮、39第一弹簧、40第六柱、41第一导管、42第一推块、43第五齿条、45第二弹簧、46第七柱、47第五齿轮、48夹板、49第二导管、50第三弹簧、51第二推块、52第三齿条、53第一板、54第八柱、55第六杆、56第二板、57第九柱、58第七杆、59第六齿轮、60第五驱动电机、61第七齿轮、62第三板、63第十柱、64第四板、65横板、66旋转装置、67封口机构、68弧形圆端、69第四弹簧、70滑柱、71延长柱、72第一孔、73底柱本体、74第二孔、75第四齿条。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-7，一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，包括底座15，所述底座15的顶面固定连接有第一气缸22和支撑板11，所述第一气缸22的顶端设有第二钻孔装置，所述第二钻孔装置包括第二钻头24和第二驱动电机23，第一气缸22的顶端与第二驱动电机23固定连接，第二钻头24与第二驱动电机23的输出轴固定连接；

所述支撑板11的一侧固定连接有支撑杆5，所述支撑杆5的下方设有第二气缸37，具体的，所述支撑杆5转动连接有第二柱3，第二柱3的底端固定连接有第一杆4，第二气缸37固定连接于第一杆4的底部；

所述第二气缸37的底端固定连接有第一钻孔装置，第一钻孔装置位于第二钻孔装置的上方，所述第一钻孔装置包括第一钻头35和第四驱动电机36，第四驱动电机36与第二气缸37固定连接，第一钻头35与第四驱动电机36的输出轴固定连接，所述第一钻头35的外径大于第二钻头24的外径；

所述底座15上设有位于第一钻孔装置与第二钻孔装置之间的夹持装置，夹持装置用于夹持待加工的底柱本体73，所述夹持装置包括固定连接在底座15顶面的第五杆21，所述第五杆21靠近第一气缸22的一侧转动连接有固定杆19，所述固定杆19远离第五杆21的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽滑动连接有两个夹块20，所述第一滑槽中转动连接有螺纹柱18，所述夹块20均与螺纹柱18螺纹连接，固定杆19固定连接有第一驱动电机17，第一驱动电机17的输出轴一端与螺纹柱18固定连接；

所述第一气缸22远离支撑板11的一侧设有与底座15固定连接的固定板28，固定板28靠近第一气缸22的一侧固定连接有第二齿条29，第二齿条29的一侧滑动连接有滑块27，所述滑块27的顶面固定连接有第三驱动电机30，所述第三驱动电机30的输出轴一端固定连接有第二齿轮31，所述第二齿轮31与第二齿条29相啮合；

所述滑块27的底部设有可转动的电磁线圈26和封口机构67，具体的，滑块27的底部固定连接有升降板，滑块27与升降板通过电动推杆13固定连接，升降板的底部固定连接有驱动电磁线圈26的旋转装置66，例如，旋转电机，旋转装置66的转动端与电磁线圈26固定连接，所述电磁线圈26和封口机构67均位于夹持装置和第一钻孔装置之间；

封口机构67包括用于对底柱本体73一端进行封口的可转动的转动杆，转动杆上设有驱动转动杆转动的旋转电机，旋转电机固定连接在升降板的底部；

所支撑板11的一侧开设有第二滑槽，第二滑槽中固定连接有第六柱40，第二滑槽中滑动连接有第四杆14，第四杆14与第六柱40滑动连接，第六柱40的外部套设有第一弹簧39，第一弹簧39位于第四杆14的下方，第四杆14的一端延伸至第二滑槽的外部并固定连接有第一齿条25，第五杆21远离固定杆19的一侧设有第四齿轮38，第四齿轮38与固定杆19固定连接，所述第一齿条25与第四齿轮38相啮合；

第一杆4的一端固定连接有缺齿齿轮7，所述支撑板11的一侧固定连接有第三杆10和第二杆8，所述第三杆10转动连接有第四柱12，第四柱12上固定连接有推杆13，所述推杆13与第四杆14相配合，第二杆8转动连接有第三柱9，第三柱9与第四柱12通过锥齿轮传动连接，第三柱9的顶端固定连接有第一齿轮6，所述第一齿轮6与缺齿齿轮7相配合；

缺齿齿轮7位于第一杆4靠近第三导管16的一端；

所述支撑杆5的上方固定连接有L形杆33，所L形杆33的顶面设有下料装置1，所述下料装置1包括固定连接在L形杆33顶面的横板65，所述横板65的顶面固定连接有两个夹板48，所述横板65和L形杆33上均开设有下料孔，两个下料孔相对应并位于两个夹板48之间，夹板48的上方连接有两个第二导管49，两个第二导管49分别用于放置多个第四弹簧69和多个连接有滑柱70的延长柱71，起到储存的作用；

连接有滑柱70的延长柱71可称之为传导柱，传导柱为事先加工好的零件；

两个第二导管49均位于两个夹板48之间，两个夹板48之间设有第一推块42和第二推块51，所述第一推块42远离第二推块51的一侧固定连接有第五齿条43，所述第五齿条43与横板65滑动连接，所述横板65上滑动连接有第四齿条75，所述第五齿条43与第四齿条75之间通过第五齿轮47传动连接，第五齿轮47与横板65转动连接，横板65上固定连接有第四板64，第四齿条75的一端固定连接有第七柱46，所述第七柱46与第四板64滑动连接，第七柱46的外部套设有第二弹簧45，第二弹簧45位于第四板64与第四齿条75之间；

所述第四齿条75远离第四板64的一端固定连接有第一板53，所述夹板48的一侧固定连接有第三板62，所述第二推块51远离第一推块42的一侧固定连接有第八柱54，第八柱54的一侧固定连接有第十柱63，第十柱63的外部套设有第三弹簧50，所述第八柱54的另一端固定连接有第二板56，所述第一板53位于第二板56的上方；

所述第二柱3的顶端固定连接有第七齿轮61，所述支撑杆5的顶面固定连接有第五驱动电机60，第五驱动电机60的输出轴一端固定连接有第六齿轮59，所述第六齿轮59与第七齿轮61相啮合，第六齿轮59的顶面固定连接有第九柱57，第九柱57上固定连接有第六杆55和第七杆58，第六杆55位于第七杆58的上方，第六杆55与第一板53相配合，第七杆58与第二板56相配合。

所述支撑杆5上设有转盘34，转盘34位于L形杆33的下方，L形杆33的底部固定连接有第一导管41，第一导管41与下料孔相对应并位于下料孔的正下方，所述转盘34上设有与第一导管41相配合的第一通孔，所述转盘34的底面固定连接有第一柱2，所述第一柱2与支撑杆5转动连接，第一柱2的底端延伸至支撑杆5的下方并固定连接有第三齿轮32，所述缺齿齿轮7与第三齿轮32相配合；

所述第一杆4上贯穿固定连接有第三导管16，支撑杆5上开设有与第一通孔相对应的第二通孔，第三导管16与第二通孔相适配；

所述底柱头包括底柱本体73，所述底柱本体73中设有第四弹簧69和滑柱70，所述滑柱70与底柱本体73滑动连接，所述滑柱70远离第四弹簧69的一端固定连接有延长柱71，所述延长柱71的一端延伸至底柱本体73的外部，底柱本体73的一端开设有第一孔72，延长柱71穿过第一孔72，延长柱71与底柱本体73滑动连接，所述底柱本体73远离延长柱71的一端为封闭的弧形圆端68，底柱本体73、滑柱70和延长柱71均为钯合金材质，其中含有铁质材料，具有此结构的底柱头具有缓冲作用，且信号传递性能好。

工作原理：初始状态时，第一钻头35和第二钻头24位于同一直线上，第一弹簧39处于压缩状态，产生一定的弹力，使得第四杆14与第二滑槽的顶部相接触，使得固定杆19保持水平状态，并将固定杆19固定住，第一导管41的底端与转盘34表面相接触；

将待加工的底柱本体73放在两个夹块20之间，启动第一驱动电机17，第一驱动电机17的输出轴转动带动螺纹柱18转动，螺纹柱18转动使得两个夹块20相互靠近，进而将待加工的底柱本体73夹紧，在两个第二导管49中分别放入多个传导柱和第四弹簧69；

启动第二气缸37和第四驱动电机36，第二气缸37的伸长端伸长，第一钻头35对待加工的底柱本体73进行钻孔，使得底柱本体73上产生如图7所示的具有一定深度的第二孔74，在第二孔74钻孔结束后，收缩第二气缸37使得第一钻头35离开第二孔74，再启动第一气缸22和第二驱动电机23，使得第二钻头24对底柱本体73的底端进行钻孔，产生第一孔72，第一孔72与第二孔74连通，第一孔72钻孔结束后，收缩第一气缸22，使得第二钻头24离开第一孔72，从而达到对底柱本体73进行钻孔加工的目的；

再启动第五驱动电机60，第五驱动电机60的输出轴转动带动第六齿轮59转动，并使得第六齿轮59转动180°，第六齿轮59转动带动第七齿轮61转动，第七齿轮61转动带动第二柱3转动，第二柱3转动带动第一杆4转动180°，在此过程中，缺齿齿轮7随着第一杆4运动并和第一齿轮6相互作用使得第一齿轮6转动，第一齿轮6转动带动第三柱9转动，第三柱9转动带动第四柱12转动，第四柱12转动带动推杆13转动，推杆13推动第四杆14向下运动，第四杆14带动第一齿条25向下运动，第一齿条25与第四齿轮38相互作用使得第四齿轮38转动，第四齿轮38转动带动固定杆19转动，使得钻完孔的底柱本体73转动，使得底柱本体73的第二孔74孔端朝下，从而达到将底柱本体73中的钻孔废屑倒出底柱本体73的目的，在推杆13离开第四杆14之后，在第一弹簧39的作用下，第四杆14以及固定杆19返回到原来的位置；

在第一杆4转动180°的过程中，缺齿齿轮7在运动的过程中在与第一齿轮6相互作用后，又与第三齿轮32相互作用使得第三齿轮32转动，第三齿轮32转动带动第一柱2转动，第一柱2转动带动转盘34转动，在第一杆4转动180°后，停止转动，此时，第三导管16位于底柱本体73的正上方，第三导管16与转盘34上的第一通孔、第一导管41相对应，第一导管41中的传导柱和第四弹簧69经过第一通孔和第三导管16落入到底柱本体73中，传导柱位于第四弹簧69的下方，从而达到自动对底柱本体73装入传导柱和第四弹簧69的目的，提高了加工效率，避免了因为钻孔较小，人工装配不方便的问题；

在第一导管41中的传导柱和第四弹簧69经过第一通孔和第三导管16落入到底柱本体73中之后，停止第五驱动电机60转动，启动第三驱动电机30，第三驱动电机30的输出轴转动带动第二齿轮31转动，第二齿轮31与第二齿条29相互作用，使得滑块27朝着靠近底柱本体73的方向移动，在电磁线圈26移动到底柱本体73的上方后，伸长电动推杆13，使得电磁线圈26套在底柱本体73的外部，然后开启旋转电机和对电磁线圈26通电，电磁线圈26与底柱本体73发生相对转动，电磁线圈26产生交变磁场，使得底柱本体73上产生涡流，进而发热产生高温，使其延展可塑性变强，然后通过调节第三驱动电机30和电动推杆13使得电磁线圈26离开底柱本体73，转动转动杆，转动杆对底柱本体73的第二孔74端进行封口，使其变成弧形圆端68，弧形圆端68为测试端，从而达到对加工后的底柱本体73进行封口的目的；

在封口完成后，使得滑块27移动到原来的位置，启动第五驱动电机60使得第六齿轮59按照与之前相同的方向转动180°，第一杆4和转盘34均回到原来的位置；

在其转动的过程中，第九柱57随之转动，第六杆55和第七杆58先后分别与第一板53和第二板56相接触，第六杆55与第一板53相接触后推动第一板53运动，第一板53推动第四齿条75移动，第二弹簧45被压缩，第四齿条75带动第五齿轮47转动，第五齿轮47转动带动第五齿条43移动，第五齿条43推动第一推块42移动，第一推块42将靠近其的第二导管49下方的传导柱推入取样孔中，并落入到第一导管41中，在第六杆55离开第一板53后，第二弹簧45恢复原长，使得第一推块42回到原来的位置，第二导管49中的一个传导管继续落入到两个夹板48之间，进而方便下一次下料；

同步地，第七杆58推动第二板56移动，第二板56带动第二推块51移动，第二推块51将位于第二导管49下方的第四弹簧69推入到第一导管41中，第四弹簧69位于传导管的上方，在第七杆58与第二板56分离后，在第三弹簧50的作用下第二推块51又恢复到原来的位置，该第二导管49中的一个第四弹簧69落入到两个夹板48之间，进而方便下一次下料；

通过上述步骤，从而达到按照一定的顺序自动放置传导管和第四弹簧69的目的，提高了加工效率。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”、“第七”、“第八”、“第九”、“第十”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于：包括底座(15)，所述底座(15)的顶面固定连接有第一气缸(22)和支撑板(11)，所述第一气缸(22)的顶端设有第二钻孔装置，所述支撑板(11)的一侧固定连接有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)的下方设有第二气缸(37)，所述第二气缸(37)的底端固定连接有第一钻孔装置，第一钻孔装置位于第二钻孔装置的上方，所述底座(15)上设有位于第一钻孔装置与第二钻孔装置之间的夹持装置，所述第一气缸(22)远离支撑板(11)的一侧设有与底座(15)固定连接的固定板(28)，固定板(28)靠近第一气缸(22)的一侧固定连接有第二齿条(29)，第二齿条(29)的一侧滑动连接有滑块(27)，所述滑块(27)的底部设有可转动的电磁线圈(26)和封口机构(67)，所述电磁线圈(26)和封口机构(67)均位于夹持装置和第一钻孔装置之间。

2.根据权利要求1所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述夹持装置包括固定连接在底座(15)顶面的第五杆(21)，所述第五杆(21)靠近第一气缸(22)的一侧转动连接有固定杆(19)，所述固定杆(19)远离第五杆(21)的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽滑动连接有两个夹块(20)，所述第一滑槽中转动连接有螺纹柱(18)，所述夹块(20)均与螺纹柱(18)螺纹连接，所支撑板(11)的一侧开设有第二滑槽，第二滑槽中固定连接有第六柱(40)，第二滑槽中滑动连接有第四杆(14)，第四杆(14)与第六柱(40)滑动连接，第六柱(40)的外部套设有第一弹簧(39)，第一弹簧(39)位于第四杆(14)的下方，第四杆(14)的一端延伸至第二滑槽的外部并固定连接有第一齿条(25)，第五杆(21)远离固定杆(19)的一侧设有第四齿轮(38)，第四齿轮(38)与固定杆(19)固定连接，所述第一齿条(25)与第四齿轮(38)相啮合。

3.根据权利要求2所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述支撑杆(5)转动连接有第二柱(3)，第二柱(3)的底端固定连接有第一杆(4)，第二气缸(37)固定连接于第一杆(4)的底部，第一杆(4)的一端固定连接有缺齿齿轮(7)，所述支撑板(11)的一侧固定连接有第三杆(10)和第二杆(8)，所述第三杆(10)转动连接有第四柱(12)，第四柱(12)上固定连接有推杆(13)，所述推杆(13)与第四杆(14)相配合，第二杆(8)转动连接有第三柱(9)，第三柱(9)与第四柱(12)传动连接，第三柱(9)的顶端固定连接有第一齿轮(6)，所述第一齿轮(6)与缺齿齿轮(7)相配合。

4.根据权利要求3所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述支撑杆(5)的上方固定连接有L形杆(33)，所L形杆(33)的顶面设有下料装置(1)，所述下料装置(1)包括固定连接在L形杆(33)顶面的横板(65)，所述横板(65)的顶面固定连接有两个夹板(48)，所述横板(65)和L形杆(33)上均开设有下料孔，两个下料孔相对应并位于两个夹板(48)之间，夹板(48)的上方连接有两个第二导管(49)，两个第二导管(49)均位于两个夹板(48)之间，两个夹板(48)之间设有第一推块(42)和第二推块(51)，所述第一推块(42)远离第二推块(51)的一侧固定连接有第五齿条(43)，所述第五齿条(43)与横板(65)滑动连接，所述横板(65)上滑动连接有第四齿条(75)，所述第五齿条(43)与第四齿条(75)之间通过第五齿轮(47)传动连接，第五齿轮(47)与横板(65)转动连接，横板(65)上固定连接有第四板(64)，第四齿条(75)的一端固定连接有第七柱(46)，所述第七柱(46)与第四板(64)滑动连接，第七柱(46)的外部套设有第二弹簧(45)，第二弹簧(45)位于第四板(64)与第四齿条(75)之间。

5.根据权利要求4所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述第四齿条(75)远离第四板(64)的一端固定连接有第一板(53)，所述夹板(48)的一侧固定连接有第三板(62)，所述第二推块(51)远离第一推块(42)的一侧固定连接有第八柱(54)，第八柱(54)的一侧固定连接有第十柱(63)，第十柱(63)的外部套设有第三弹簧(50)，所述第八柱(54)的另一端固定连接有第二板(56)，所述第一板(53)位于第二板(56)的上方。

6.根据权利要求5所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述第二柱(3)的顶端固定连接有第七齿轮(61)，所述支撑杆(5)的顶面固定连接有第五驱动电机(60)，第五驱动电机(60)的输出轴一端固定连接有第六齿轮(59)，所述第六齿轮(59)与第七齿轮(61)相啮合，第六齿轮(59)的顶面固定连接有第九柱(57)，第九柱(57)上固定连接有第六杆(55)和第七杆(58)，第六杆(55)位于第七杆(58)的上方，第六杆(55)与第一板(53)相配合，第七杆(58)与第二板(56)相配合。

7.根据权利要求6所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述支撑杆(5)上设有转盘(34)，转盘(34)位于L形杆(33)的下方，L形杆(33)的底部固定连接有第一导管(41)，第一导管(41)与下料孔相对应，所述转盘(34)上设有与第一导管(41)相配合的第一通孔，所述转盘(34)的底面固定连接有第一柱(2)，所述第一柱(2)与支撑杆(5)转动连接，第一柱(2)的底端延伸至支撑杆(5)的下方并固定连接有第三齿轮(32)，所述缺齿齿轮(7)与第三齿轮(32)相配合。

8.根据权利要求7所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述第一杆(4)上贯穿固定连接有第三导管(16)，支撑杆(5)上开设有与第一通孔相对应的第二通孔，第三导管(16)与第二通孔相适配。

9.根据权利要求8所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述第一钻孔装置包括第一钻头(35)，所述第二钻孔装置包括第二钻头(24)，所述第一钻头(35)的外径大于第二钻头(24)的外径，所述滑块(27)的顶面固定连接有第三驱动电机(30)，所述第三驱动电机(30)的输出轴一端固定连接有第二齿轮(31)，所述第二齿轮(31)与第二齿条(29)相啮合。

10.根据权利要求9所述的一种测试探针用钯合金底柱头加工装置，其特征在于，所述底柱头包括底柱本体(73)，所述底柱本体(73)中设有第四弹簧(69)和滑柱(70)，所述滑柱(70)与底柱本体(73)滑动连接，所述滑柱(70)远离第四弹簧(69)的一端固定连接有延长柱(71)，所述延长柱(71)的一端延伸至底柱本体(73)的外部，所述底柱本体(73)远离延长柱(71)的一端为封闭的弧形圆端(68)。

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