CN114397985A - 一种晶圆良率数据的处理方法及装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶圆良率数据处理的方法及装置，其中，所述方法包括：在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件；响应于用户在所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的数据范围；确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果；根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果。

Description

一种晶圆良率数据的处理方法及装置

技术领域

本申请涉及半导体数据处理技术领域，尤其涉及一种晶圆良率数据的处理方法及装置。

背景技术

芯片是从晶圆上纵横切割下来的，根据芯片大小的不同，一片晶圆可以切下数百上千甚至几万颗芯片，其中能达到设计性能和功能要求的有效芯片，才能交付使用；有效芯片占晶圆片上的总芯片数量的比例，被称为成品率或良率。良率越高，一片晶圆的商业价值就越高。如果良率低下，代表制造工艺尚不成熟，该产品就不能进入量产。提升芯片良率的关键在于对制造工艺过程进行完整有效地监控检测，同时结合制造过程中其他数据进行精准快速的分析，及时发现问题和潜在风险，并反馈至集成电路制造端（Foundry厂商）和设计端（Fabless厂商），改进工艺和设计以提升良率。在先进工艺的推进下，器件密度越来越高、制造工艺越来越复杂，会产生海量的设计、测试、产线生产等数据，如何快速实现大数据的有效关联分析和分析效率，将影响产品良率的提升速度和产品成熟周期。

目前，相关技术中提供能够对晶圆良率数据进行管理的良率管理系统，以实现集成电路生产制造过程中的数据智能化分析，为Foundry和Fabless提供数据管理、良率分析、低良率成因下钻分析等方案。但是，相关技术中的良率管理系统，只能向用户提供比较单一的功能，用户需要查看多种不同类型的数据或者数据相关性情况，往往需要打开多个窗口或者切换不同良率管理系统，甚至无法向用户提供所需要的数据，这样的良率管理系统往往很难满足用户对良率分析的需求且分析效率低下，无法满足提高产品良率速度和缩短产品成熟周期的使用需求。

因此，相关技术中亟需一种能够满足用户复杂良率分析需求的良率管理系统。

发明内容

本申请实施例提供了一种晶圆良率数据处理的方法及装置，以至少解决相关技术中无法晶圆良率数据处理的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种晶圆良率数据处理的方法，包括：

在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件；

响应于用户在所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的数据范围；

确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果；

根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果。

可选的，在本申请的一个实施例中，在所述在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件之前，所述方法还包括：

获取晶圆测试的生数据，并按照至少一种数据维度对所述生数据进行预统计并存储预统计结果；

对应地，所述确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果，包括：

根据与所述数据范围相匹配的数据维度所对应的预统计结果，生成所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果。

可选的，在本申请的一个实施例中，在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件之后，所述方法还包括：

响应于用户对所述主显示组件中晶圆良率和/或良率相关参数的切换，切换显示与所述主显示组件相匹配的至少一个从显示组件。

可选的，在本申请的一个实施例中，所述至少一个从显示组件包括晶圆良率堆叠图和/或失效类型失效率图表，其中，所述失效类型失效率图表用于展示在不同预设失效类型下的晶圆失效率；

对应地，所述确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果，包括：

确定所述数据范围所对应的良率及良率相关参数的数值、晶圆良率的堆叠值和/或失效类型失效率的统计值；

对应地，所述根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果，包括：

根据所述良率及良率相关参数的数值调整所述图表组件的展示结果，根据所述晶圆良率的堆叠值调整所述晶圆良率堆叠图的展示结果和/或根据所述失效类型失效率的统计值调整所述失效类型失效率图表的展示结果。

可选的，在本申请的一个实施例中，还包括：

响应于用户在所述晶圆良率堆叠图上的预设操作，展示参与统计所述晶圆良率堆叠图的各个晶圆的晶圆良率图。

可选的，在本申请的一个实施例中，所述根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果，包括：

根据所述数据结果调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件，并在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对比显示所述数据结果所对应的基准数据结果。

可选的，在本申请的一个实施例中，在所述主显示组件包括可在多维度展示失效类型失效率趋势的图表组件的情况下，所述从显示组件至少包括多种失效类型的可选择控件；对应地，所述方法还包括：

响应于用户选择的至少一种失效类型，执行下述中的至少一种调整：

将所述主显示组件切换至所述至少一种失效类型所对应的失效率趋势；

在所述主显示组件突出显示所述至少一种失效类型所对应的失效率；

在所述从显示组件中所述至少一种失效类型所对应的失效率堆叠图。

可选的，在本申请的一个实施例中，所述筛选操作包括下述中的至少一种：在所述图表组件中自由圈选数据范围、在提供的数据可选项中选择数据范围。

第二方面，本申请实施例还提供一种晶圆良率数据处理的装置，包括：

组件展示模块，用于在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件；

数据筛选模块，用于响应于用户在所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的数据范围；

数据结果确定模块，用于确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果；

展示结果调整模块，用于根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果。

第三方面，本申请实施例还提供一种电子设备，包括处理器以及用于存储处理器可执行指令的存储器、显示器，其中，

所述处理器，用于被配置为执行所述指令时实现上述方法；

所述显示器，用于展示所述数据可视化界面，并在所述数据可视化界面中展示所述主显示组件和所述至少一个从显示组件。

第四方面，本申请实施例还提供一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现所述的方法。

第五方面，本申请实施例还提供一种计算机程序产品，包括计算机可读代码，或者承载有计算机可读代码的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机可读代码在电子设备的处理器中运行时，所述电子设备中的处理器执行所述的方法。

本申请实施例提供一种晶圆良率数据处理的方法及装置，能够在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，并向用户提供在所述主显示组件的数据筛选功能，便于用户选取自己感兴趣的数据范围。基于用户所选取的数据范围，可以确定该数据范围所对应的数据结果，并根据所述数据结果调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件的展示结果，也就是，基于用户的筛选操作，能够实现所述主显示组件和所述至少一个从显示组件联动展示的效果。通过这样的联动展示，能够极大地满足用户分析良率数据的需求。

本申请的一个或多个实施例的细节在以下附图和描述中提出，以使本申请的其他特征、目的和优点更加简明易懂。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是本申请实施例提供的晶圆良率数据处理方法的方法流程图；

图2是本申请实施例提供的用户界面示意图；

图3是本申请实施例提供的用户界面示意图；

图4是本申请实施例提供的用户界面示意图；

图5是本申请实施例提供的晶圆良率数据处理装置500的模块结构示意图；

图6是本申请实施例提供的电子设备600的模块结构示意图；

图7是本申请实施例提供的计算机程序产品700的概念性局部视图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行描述和说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。基于本申请提供的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。此外，还可以理解的是，虽然这种开发过程中所作出的努力可能是复杂并且冗长的，然而对于与本申请公开的内容相关的本领域的普通技术人员而言，在本申请揭露的技术内容的基础上进行的一些设计，制造或者生产等变更只是常规的技术手段，不应当理解为本申请公开的内容不充分。

在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域普通技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例在不冲突的情况下，可以与其它实施例相结合。

除非另作定义，本申请所涉及的技术术语或者科学术语应当为本申请所属技术领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请所涉及的“一”、“一个”、“一种”、“该”等类似词语并不表示数量限制，可表示单数或复数。本申请所涉及的术语“包括”、“包含”、“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；例如包含了一系列步骤或模块（单元）的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可以还包括没有列出的步骤或单元，或可以还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。本申请所涉及的“连接”、“相连”、“耦接”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电气的连接，不管是直接的还是间接的。本申请所涉及的“多个”是指大于或者等于两个。“和/或”描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，“A和/或B”可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。本申请所涉及的术语“第一”、“第二”、“第三”等仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定排序。

下面结合附图对本申请所述的晶圆良率数据处理方法进行详细的说明。图1是本申请提供的晶圆良率数据处理方法的一种实施例的流程示意图。虽然本申请提供了如下述实施例或附图所示的方法操作步骤，但基于常规或者无需创造性的劳动在所述方法中可以包括更多或者更少的操作步骤。在逻辑性上不存在必要因果关系的步骤中，这些步骤的执行顺序不限于本申请实施例提供的执行顺序。所述方法在实际中的晶圆良率数据处理过程中或者方法执行时，可以按照实施例或者附图所示的方法顺序执行或者并行执行（例如并行处理器或者多线程处理的环境）。

具体的，本申请提供的晶圆良率数据处理方法的一种实施例如图1所示，所述方法可以包括：

S101：在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件。

图2展示了数据可视化界面200的一种模块结构的示意图，如图2所示，所述主显示组件201可以包括所述数据可视化界面200中重要度较高或者较符合用户需求的显示组件，所述至少一个从显示组件203与所述主显示组件201具有从属关系。由于本申请所提供的数据可视化界面200主要用于展示与晶圆良率相关的数据，基于此，所述主显示组件201可以包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件。具体来说，所述主显示组件201可以展示不同数据维度下的晶圆良率值的变化趋势，和/或展示良率相关参数的变化趋势。其中，所述良率相关参数可以包括与良率相关的一些参数，例如失效类型失效率（bin loss）等等，所述失效类型失效率可以表示晶圆在不同失效类型上的失效率。既然所述晶圆良率与所述良率相关参数属于不同的参数，因此，所述主显示组件201中可以设置有切换控件，该切换控件用于控制切换所述主显示组件201显示不同参数的趋势。对于所述晶圆良率和/或良率相关参数展示的数据维度，可以包括下述中的至少一种：测试时间、测试项目、测试设备、测试用户、批次、晶圆编号等等。示例性地，基于对所述切换控件的切换，可以展示下述几种不同数据维度的变化趋势：每个晶圆的晶圆良率随测试时间的变化趋势、不同测试项目的晶圆良率变化趋势、不同测试设备的晶圆良率变化趋势、每个批次中所有晶圆的晶圆良率变化趋势、基于预设数据维度范围内的晶圆良率变化趋势。值得说明的是，针对不同数据维度的良率变化趋势的切换，不同数据维度的切换采用的切换控件可能存在不同，即在此所述的切换控件是所有不同数据维度切换功能实现的总称。在一个具体的示例中，可以只按照时间维度展示所述晶圆良率和/或良率相关参数的趋势，那么，每个数据点即对应在某个时间点上的良率值，如果按照时间+批次+晶圆编号展示，那么图表组件横轴可以是（时间+批次+晶圆编号）这样的粒度，如（2021年12月11日-L5289批次-W2902号晶圆）。基于此，所述主显示组件201中还可以设置有数据维度切换控件，所述数据维度切换控件用于切换不同的数据维度。

需要说明的是，本申请实施例中，所述主显示组件201的图表组件可以包括线形图（line chart）、箱型图（box chart）、柱形图等多种不同类型的图形展示方式，本申请在此不做限制。在本申请的一个实施例中，所述主显示组件201还可以设置有图表切换控件，用于切换所述晶圆良率和/或良率相关参数趋势展示的图表类型，以符合不同用户的需求。当然，在本申请实施例中，还可以设置与参数相匹配的图表类型，以达到直观易懂的技术效果。例如，可以优选使用线形图或者箱型图展示晶圆良率的变化趋势，优选使用堆积柱形图展示失效类型失效率的变化趋势，这样，可以清晰地展示每个晶圆上不同失效类型所对应的失效率。

本申请实施例中，所述主显示组件201可以具有与之匹配的至少一个从显示组件203。一般来说，对于用户分析来说，仅仅展示晶圆良率和/或良率相关参数的趋势是不够的，用户可能期望了解哪些因素导致这样的良率趋势或者晶圆中哪些区域容易失效。基于此，所述至少一个从显示组件203可以包括晶圆良率堆叠图2031和/或失效类型失效率图表2033。

其中，所述晶圆良率堆叠图2031可以根据多个晶圆的良率统计生成，即能够利用一张晶圆拓扑图展示多个晶圆中各个裸片位置处的良率统计值（如平均良率），以便于用户了解晶圆中哪些区域的失效率较低或较高。当然，所述晶圆良率堆叠图2031不仅可以展示多个晶圆的良率分布情况，也就可以展示单个晶圆的良率分布情况，以方便用户查看多个或者单个晶圆的良率情况，以满足用户的不同需求。可选的，在本申请的一个实施例中，在所述晶圆良率堆叠图2031中，可以设置裸片位置的显示样式与所述裸片位置对应的良率值相匹配，所述显示样式包括色彩、透明度等参数。在一个具体的示例中，可以利用不同的颜色表示良率的高低，如良率较高的裸片位置显示为绿色、良率较低的裸片位置显示为红色，介于高良率和低良率之间的裸片位置可以采用绿色和红色之间的渐变颜色显示。晶圆良率堆叠图2031中利用不同的裸片显示样式显示对应的裸片位置，能够帮助用户清楚得知整片晶圆的良率高低分布情况和失效位置情况。

所述失效类型失效率图表2033可以展示不同失效类型所对应的失效率，由于每种失效类型的失效率一般在每个晶圆上是不相同的，所以，失效类型失效率可以包括多个晶圆在相同失效类型的失效率的中位值、平均值等。例如，在CP（Chip Probing）测试中，可以将因为不同测试参数所失效的原因设置成不同的失效类型，该失效类型例如包括CP测试中常用的bin，例如，可以将因为扫描（scan）没通过而失效的原因归为一类bin，将因为漏电流值没通过而失效的原因归为一类bin。可选的，在本申请的一个实施例中，如图2所示，可以利用条形图按照从高到低的顺序展示各个失效类型所对应的失效率情况，便于用户了解哪些失效类型对失效率的影响较大。进一步地，在所述条形图中，可以利用不用的色彩参数表示不同失效类型所对应的条形数值。在上述实施例中已说明所述主显示组件201表示晶圆良率和/或良率相关参数趋势，对于不同的主显示组件201，可以展示与之相匹配的至少一个从显示组件203。在一个示例中，在所述主显示组件201中显示晶圆良率趋势图表组件的情况下，对应的从显示组件203可以包括晶圆良率堆叠图2031和/或失效类型失效率图表2033，还可包括晶圆失效图（wafer bin map）。

S103：响应于用户在所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的数据范围。

本申请实施例中，所述主显示组件201中的图表组件往往默认展示数据范围内所有晶圆的晶圆良率和/或良率相关参数的趋势图，例如，共涉及到6000个晶圆的良率数据，那么，所述主显示组件201所展示的是这6000个晶圆的良率变化趋势。在实际应用中，用户不仅关注整体的良率变化趋势，但更可能关注其中部分晶圆的良率变化趋势等晶圆良率情况，尤其是良率偏低的晶圆的良率变化趋势，以分析造成良率偏低的内在影响因素。基于此，在本申请实施例中，可以在所述主显示组件201中设置数据筛选功能，这样，用户可以在所述图表组件中对至少一个数据维度的数据进行筛选操作。具体来说，所述筛选操作可以包括下述中的至少一种：在所述图表组件中自由圈选数据范围、在提供的数据可选项中选择数据范围。在其中的一个实施例中，用户可以在所述图表组件中自由圈选数据范围，这样，用户可以自由选择感兴趣的数据点或者选择感兴趣的晶圆，从客户端的角度来说，在所述图表组件区域内检测到框选事件的情况下，可以确定框选区域内所包含的数据点，并确定数据范围。在另一个实施例中，用户可以在提供的数据可选项中选择数据范围，例如，可以选择感兴趣的晶圆的时间范围、良率值范围、批次等。当然，也可以是上述两种选择方式的组合，例如用户在圈选一部分数据点之后，可以弹出对话框，并提供可选项，以指示用户选择所圈选的数据范围还是所述圈选的数据范围的补集，本申请对于用户筛选感兴趣数据范围的方式不做限制。

需要说明的是，用户可以在所述图表组件进行至少一个数据维度的筛选，所述数据维度可以包括下述中的至少一种：时间、批次、晶圆编码、良率值、测试参数等等。例如，用户可以选择2020年11月内测试的良率值低于70%的晶圆。本申请对于所述数据维度不做限制。在至少一个数据维度上筛选之后，可以生成基于所述至少一个数据维度的数据范围，例如，上述示例的数据范围即为时间=（2020年11月1日-2020年11月30日）、良率<70%。

另外，由于所述数据可视化界面200中包含主显示组件201和至少一个从显示组件203，因此，所述筛选操作不仅可在所述主显示组件201上进行，亦可在所述至少一个从显示组件203上进行，本申请在此不做限制。在所述从显示组件203执行筛选操作的过程中，用户可以在所述至少一个从显示组件203所对应的数据维度上筛选感兴趣的数据范围。例如，在晶圆良率堆叠图2031中，用户也可以选择感兴趣的多个目标晶圆。

S105：确定所述数据范围分别在所述主显示组件201和所述至少一个从显示组件203中对应的数据结果。

本申请实施例中，在确定用户所选择的数据范围之后，可以确定所述数据范围分别在所述主显示组件201和所述至少一个从显示组件203中对应的数据结果，以实现所述从显示组件203与所述主显示组件201联动展示的效果。在本申请的一个实施例中，在所述至少一个从显示组件203包括晶圆良率堆叠图2031和/或失效类型失效率图表2033的情况下，所述确定所述数据范围分别在所述主显示组件201和所述至少一个从显示组件203中对应的数据结果，可以包括：确定所述数据范围所对应的良率及良率相关参数的数值、晶圆良率的堆叠值和/或失效类型失效率的统计值。

具体来说，可以获取用户所筛选的数据范围所对应的生数据，并根据所述生数据统计得到所述数据范围对应的数据结果。所述生数据可以包括从晶圆厂或者测试公司获取的未经处理的原始数据。在一个示例中，用户在所述主显示组件201中筛选了四个晶圆，那么，获取该四个晶圆的晶圆测试生数据，例如每个晶圆中的各个裸片（die）是否失效的结果以及失效类型。基于四个晶圆的生数据，可以统计得到晶圆良率堆叠图2031所需要的良率堆叠值和/或失效类型失效率图表2033所需要的失效类型失效率的统计值，使得所述晶圆良率堆叠图2031和/或失效类型失效率图表2033中的展示结果为用户所筛选的四个晶圆的统计结果。

在实际的应用中，晶圆测试生数据的数据量较大，6000个晶圆可能有几万甚至几十万条测试数据。如果用户筛选的数据范围较小，例如四个晶圆，则能够快速计算得到各个组件的数据结果，如果用户筛选的数据范围较大，则需要较长的时间方可计算得到各个组件的数据结果，如何快速在大量数据中筛选出所需数据并计算以绘制主显示组件201和至少一个从显示组件203的相关参数趋势是一大问题。基于此，在本申请的一个实施例中，可以按照至少一种数据维度对所述生数据进行预统计并存储预统计结果，通过这种预聚合的方式能够在后续联动展示的过程中快速获取到所需要的数据结果，实现数据的快速实时展示。本申请实施例中，可以在至少一种数据维度对所述生数据进行预统计，表1展示了在晶圆维度所做的预统计数据，如表1所示，对于每个晶圆，不仅可以统计其失效信息，还可以统计其良率信息，其中良率信息还可以统计边缘良率、非边缘良率等信息。当然，在其他实施例中，还可以针对项目、批次、测试项目等数据维度进行预统计，本申请在此不做限制。基于已经预统计得到的预统计结果，对应地，所述确定所述数据范围分别在所述主显示组件201和所述至少一个从显示组件203中对应的数据结果，包括：根据与所述数据范围相匹配的数据维度所对应的预统计结果，生成所述主显示组件201和所述至少一个从显示组件203中对应的数据结果。例如，用户筛选了1000个晶圆的情况下，可以快速地从表1中获取到每个晶圆对应的失效信息、良率信息，从而能够快速地调整所述晶圆良率堆叠图2031和/或失效类型失效率图表2033等从显示组件203的展示结果。

表1 晶圆预统计数据

S107：根据所述数据结果分别调整所述主显示组件201和所述至少一个从显示组件203中的展示结果。

本申请实施例中，在确定所述数据范围分别在所述主显示组件201和所述至少一个从显示组件203中对应的数据结果之后，可以根据所述数据结果分别调整各个显示组件的展示结果。具体可以根据所述数据结果重新渲染生成新的图表，以达到联动展示的效果。对于所述至少一个从显示组件203包括晶圆良率堆叠图2031和/或失效类型失效率图表2033的情况，还有晶圆失效图（wafer bin map）；根据所述良率及良率相关参数的数值调整所述图表组件的展示结果，根据所述晶圆良率的堆叠值调整所述晶圆良率堆叠图2031的展示结果和/或根据所述失效类型失效率的统计值调整所述失效类型失效率图表2033的展示结果。通过这样的调整，可以让用户快速了解到感兴趣点（如多个良率偏低的晶圆）的良率或者良率相关参数的变化趋势、晶圆良率堆叠展示、晶圆种具体失效位置和失效类型、失效类型失效率数据等内容，对于用户分析晶圆良率具有重要的作用。

本申请实施例中，对于所述主显示组件201展示结果的调整，可以包括多种调整方式。在其中的一种调整方式中，可以展示用于选择所述数据范围的数据选择框，还可以突出展示所选择的数据范围，以区别于其他未被选择的数据，在另一种调整方式中，还可以在所述主显示组件201中切换显示所选择数据范围所对应的晶圆良率和/或良率相关参数趋势，本申请对于所述主显示组件201展示结果的调整方式不做限制。

进一步地，在本申请的一个实施例中，还可以包括：响应于用户在所述晶圆良率堆叠图2031上的预设操作，展示参与统计所述晶圆良率堆叠图2031的各个晶圆的晶圆良率图。

本申请实施例中，所述晶圆良率堆叠图2031可以从整体上反应多个晶圆的平均良率，但是，有时候用户可能也想了解到所述多个晶圆分别所对应的良率分布。基于此，可以允许用户在所述晶圆良率堆叠图2031上实施预设操作，所述预设操作例如包括点击预设控件、双击、单击等操作。如图3所示，通过所述预设操作，可以展示参与统计所述晶圆良率堆叠图2031的晶圆10、晶圆20、晶圆30的晶圆良率图。通过这样的交互方式，用户能够对每个晶圆的良率进行分析，进一步提升工具的实用性。

在实际的应用中，因为晶圆良率堆叠图2031可能包括基于多个数据维度下的良率堆叠情况。可选的，在本申请的一个实施例中，所述从显示组件203中还可展示基于目标数据维度所对应的多个晶圆良率堆叠图。其中，所述目标数据维度可以包括用户所选择的数据维度，所述数据维度包括晶圆、晶圆批次、测试时间等不同的维度。如何调出基于所述目标数据维度分析的晶圆良率堆叠图形成对比观察可通过预设操作实现，在一个示例中，可以基于批次（lot）的数据维度对比展示所述晶圆良率堆叠图2031，一个总的晶圆良率堆叠图2031含有3个批次的晶圆数据，那么基于用户的预设操作，可形成3个对于批次的晶圆良率堆叠图，并与该总的晶圆良率堆叠图2031形成对比，以便于用户观察分析。

在实际应用中，用户在筛选数据范围之后，往往还想保留对全部数据范围的数据结果，并对比筛选后的数据范围和全部数据范围对应的数据结果。相关技术的方式通常是打开新的用户界面，并在新的用户界面中展示全部数据范围的数据结果，这种对比的方式比较繁琐，不够便捷。基于此，在本申请的一个实施例中，可以在所述主显示组件201和所述至少一个从显示组件203中对比显示所述数据结果所对应的基准数据结果。所述基准数据结果可以包括全部数据范围对应的数据结果，例如，全部数据范围为6000个晶圆的数据，那所述基准数据结果可以包括这6000个晶圆的晶圆良率堆叠图2031、失效类型失效率等。当然，所述基准数据结果还可以通过这种对比显示方式，能够给用户提供更多分析上的便捷。图4展示了显示基准数据结果的示意图，如图4所示，可以在展示所述晶圆良率堆叠图2031的时候展示与之对应的基准晶圆良率堆叠图401，并展示新的失效类型失效率图表403，新的失效类型失效率图表403不仅可以展示筛选之后的数据范围内单个晶圆或者多个晶圆所对应的失效类型失效率，还可以包括各个失效类型对应的基准失效类型失效率，并形成对比，便于用户产生直观的了解。

实际应用中，用户具有分析各种失效类型在晶圆中所处位置的需求，由此在具有失效类型失效率图表2033的情况下，从显示组件203中还可包含晶圆失效图（wafer binmap），用于展示晶圆中不同失效类型的具体位置，像在失效类型失效率图表2033中，不同的失效类型可以设置不同的颜色，那么在晶圆图中的不同位置上，对应着色相应失效类型的颜色，以此形成晶圆失效图（wafer bin map），对于含有多个晶圆的情况，可根据数据维度形成堆叠图，或者形成多个晶圆失效图（wafer bin map），具体形式不做具体限定。

实际应用中，用户具有分析各种失效类型对应的失效率趋势的需求，并且还具有分析单个失效类型在不同数据维度对应的失效率趋势的需求。基于此，本申请实施例中，在所述主显示组件201包括可在多维度展示失效类型失效率趋势的图表组件的情况下，所述从显示组件203至少包括多种失效类型的可选择控件；对应地，所述方法还可以包括：

响应于用户选择的至少一种失效类型，执行下述中的至少一种调整：

将所述主显示组件201切换至所述至少一种失效类型所对应的失效率趋势；

在所述主显示组件201突出显示所述至少一种失效类型所对应的失效率；

在所述从显示组件203中所述至少一种失效类型所对应的失效率堆叠图。

本申请实施例中，晶圆失效所引起的失效类型可以包括几百种，当然，一些失效类型所引起的失效率较高，因此，用户往往需要分析其中某一种失效类型在不同数据维度下所对应的失效率情况。基于此，可以在所述数据可视化界面200设置从显示组件203，用于展示多种失效类型的可选择控件，用户可以通过所述可选择控件选择自己感兴趣的失效类型。在选择感兴趣的失效类型之后，可以在各个显示组件中做多种调整。在一种调整中，可以将所述主显示组件201切换至所述至少一种失效类型所对应的失效率趋势。在另一种调整中，还可以在所述主显示组件201中突出显示所述至少一种失效类型所对应的失效率，尤其针对堆积柱形图。在堆积柱形图中，可以展示每个晶圆中不同失效类型对应的失效类型失效率，且每个失效类型都对应一部分面积区域，那么，可以突出显示用户所选择的失效类型。在另一种调整中，在所述从显示组件203中显示所述至少一种失效类型所对应的失效率堆叠图，即可以将晶圆良率堆叠图2031调整成只针对所述至少一种失效类型所对应的失效率堆叠图。在另一种调整中，还可以在所述从显示组件203中显示所述至少一种失效类型所对应的晶圆失效图。

值得说明的是，当用户选择至少两种失效类型的可选择控件时，如选择两种失效类型，那么主显示组件201中失效率趋势和从显示组件203中的失效率堆叠图均可对比显示两种失效类型的失效率情况，如主显示组件201的失效率趋势采用折线图，那么主显示组件201会出现两条折线图进行对比显示。

当然，在其他调整中，还可以同时展示所述失效类型失效率和晶圆良率的变化趋势，本申请对于所述主显示组件201的切换调整方式不做限制。

需要说明的是，所述数据可视化界面200中不仅可以展示上述各个实施例所涉及的显示组件，还可以展示更多的显示组件，如可以展示产品测试时间、平均良率值、失效率最高的失效类型信息、晶圆边缘良率和非边缘良率信息等等，本申请在此对于所述数据可视化界面200中可显示的组件不做限制。

本申请各个实施例提供的晶圆良率数据处理方法，能够在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，并向用户提供在所述主显示组件的数据筛选功能，便于用户选取自己感兴趣的数据范围。基于用户所选取的数据范围，可以确定该数据范围所对应的数据结果，并根据所述数据结果调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件的展示结果，也就是，基于用户的筛选操作，能够实现所述主显示组件和所述至少一个从显示组件联动展示的效果。通过这样的联动展示，能够极大地满足用户分析良率数据的需求。

上文详细描述了本申请所提供的晶圆良率数据处理的方法，下面将结合附图5，描述根据本申请所提供的晶圆良率数据处理装置500，包括：

组件展示模块501，用于在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件；

数据筛选模块503，用于响应于用户在所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的数据范围；

数据结果确定模块505，用于确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果；

展示结果调整模块507，用于根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果。

可选的，在本申请的一个实施例中，所述装置还包括：

生数据预统计模块，用于获取晶圆测试的生数据，并按照至少一种数据维度对所述生数据进行预统计并存储预统计结果；

对应地，所述数据结果确定模块505，具体用于根据与所述数据范围相匹配的数据维度所对应的预统计结果，生成所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果。

可选的，在本申请的一个实施例中，述装置还包括：

组件切换模块，用于响应于用户对所述主显示组件中晶圆良率和/或良率相关参数的切换，切换显示与所述主显示组件相匹配的至少一个从显示组件。

可选的，在本申请的一个实施例中，所述至少一个从显示组件包括晶圆良率堆叠图和/或失效类型失效率图表，其中，所述失效类型失效率图表用于展示在不同预设失效类型下的晶圆失效率；

对应地，数据结果确定模块505，具体用于确定所述数据范围所对应的良率及良率相关参数的数值、晶圆良率的堆叠值和/或失效类型失效率的统计值；

所述展示结果调整模块507，具体用于根据所述良率及良率相关参数的数值调整所述图表组件的展示结果，根据所述晶圆良率的堆叠值调整所述晶圆良率堆叠图的展示结果和/或根据所述失效类型失效率的统计值调整所述失效类型失效率图表的展示结果。

可选的，在本申请的一个实施例中，所述装置还包括：

晶圆良率图展示模块，用于响应于用户在所述晶圆良率堆叠图上的预设操作，展示参与统计所述晶圆良率堆叠图的各个晶圆的晶圆良率图。

可选的，在本申请的一个实施例中，所述展示结果调整模块507，具体用于根据所述数据结果调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件，并在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对比显示所述数据结果所对应的基准数据结果。

可选的，在本申请的一个实施例中，在所述主显示组件包括可在多维度展示失效类型失效率趋势的图表组件的情况下，所述从显示组件至少包括多种失效类型的可选择控件；所述装置还包括：

组件调整模块，用于响应于用户选择的至少一种失效类型，执行下述中的至少一种调整：

将所述主显示组件切换至所述至少一种失效类型所对应的失效率趋势；

在所述主显示组件突出显示所述至少一种失效类型所对应的失效率；

在所述从显示组件中所述至少一种失效类型所对应的晶圆良率堆叠图。

可选的，在本申请的一个实施例中，所述筛选操作包括下述中的至少一种：在所述图表组件中自由圈选数据范围、在提供的数据可选项中选择数据范围。

根据本申请实施例的晶圆良率数据处理装置500可对应于执行本申请实施例中描述的方法，并且晶圆良率数据处理装置500中的各个模块的上述和其它操作和/或功能分别为了实现上述各个实施例提供的方法的相应流程，为了简洁，在此不再赘述。

另外需说明的是，以上所描述的实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的，作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理模块，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络模块上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。另外，本申请提供的装置实施例附图中，模块之间的连接关系表示它们之间具有通信连接，具体可以实现为一条或多条通信总线或信号线。

如图6所示，本申请的实施例还提供了一种电子设备600，该电子设备600包括：处理器以及用于存储处理器可执行指令的存储器；其中，所述处理器被配置为执行所述指令时实现上述方法。电子设备600包括存储器601、处理器603、总线605、通信接口607和显示器609。存储器601、处理器603和通信接口607之间通过总线605通信。总线605可以是外设部件互连标准（peripheral component interconnect，PCI）总线或扩展工业标准结构（extended industry standard architecture，EISA）总线等。总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，图6中仅用一条粗线表示，但并不表示仅有一根总线或一种类型的总线。通信接口607用于与外部通信。其中，处理器603可以为中央处理器(centralprocessing unit，CPU)。存储器601可以包括易失性存储器(volatile memory)，例如随机存取存储器(random access memory，RAM)。存储器601还可以包括非易失性存储器(non-volatile memory)，例如只读存储器(read-only memory，ROM)，快闪存储器，HDD或SSD。存储器601中存储有可执行代码，处理器603执行该可执行代码以执行前述晶圆良率数据处理的方法。显示器609用于展示所述数据可视化界面，并在所述数据可视化界面中展示所述主显示组件和所述至少一个从显示组件。

本申请的实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现上述方法。

本申请的实施例提供了一种计算机程序产品，包括计算机可读代码，或者承载有计算机可读代码的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机可读代码在电子设备的处理器中运行时，所述电子设备中的处理器执行上述方法。

在一些实施例中，所公开的方法可以实施为以机器可读格式被编码在计算机可读存储介质上的或者被编码在其它非瞬时性介质或者制品上的计算机程序指令。图7示意性地示出根据这里展示的至少一些实施例而布置的示例计算机程序产品的概念性局部视图，所述示例计算机程序产品包括用于在计算设备上执行计算机进程的计算机程序。在一个实施例中，示例计算机程序产品700是使用信号承载介质701来提供的。所述信号承载介质701可以包括一个或多个程序指令702，其当被一个或多个处理器运行时可以提供以上针对图1描述的功能或者部分功能。此外，图7中的程序指令702也描述示例指令。

在一些示例中，信号承载介质701可以包含计算机可读介质703，诸如但不限于，硬盘驱动器、紧密盘(CD)、数字视频光盘(DVD)、数字磁带、存储器、只读存储记忆体（Read-Only Memory，ROM）或随机存储记忆体（Random Access Memory，RAM）等等。在一些实施方式中，信号承载介质701可以包含计算机可记录介质704，诸如但不限于，存储器、读/写(R/W)CD、R/W DVD、等等。在一些实施方式中，信号承载介质701可以包含通信介质705,诸如但不限于，数字和/或模拟通信介质(例如，光纤电缆、波导、有线通信链路、无线通信链路、等等）。因此，例如，信号承载介质701可以由无线形式的通信介质705(例如，遵守IEEE 802.11标准或者其它传输协议的无线通信介质)来传达。一个或多个程序指令702可以是，例如，计算机可执行指令或者逻辑实施指令。在一些示例中，诸如针对图6描述的电子设备的计算设备可以被配置为，响应于通过计算机可读介质703、计算机可记录介质704、和/或通信介质705中的一个或多个传达到计算设备的程序指令702，提供各种操作、功能、或者动作。应该理解，这里描述的布置仅仅是用于示例的目的。因而，本领域技术人员将理解，其它布置和其它元素(例如，机器、接口、功能、顺序、和功能组等等)能够被取而代之地使用，并且一些元素可以根据所期望的结果而一并省略。另外，所描述的元素中的许多是可以被实现为离散的或者分布式的组件的、或者以任何适当的组合和位置来结合其它组件实施的功能实体。

附图中的流程图和框图显示了根据本申请的多个实施例的装置、系统和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或指令的一部分，所述模块、程序段或指令的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。

也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行相应的功能或动作的硬件（例如电路或ASIC（Application SpecificIntegrated Circuit，专用集成电路））来实现，或者可以用硬件和软件的组合，如固件等来实现。

尽管在此结合各实施例对本发明进行了描述，然而，在实施所要求保护的本发明过程中，本领域技术人员通过查看所述附图、公开内容、以及所附权利要求书，可理解并实现所述公开实施例的其它变化。单个处理器或其它单元可以实现权利要求中列举的若干项功能。相互不同的从属权利要求中记载了某些措施，但这并不表示这些措施不能组合起来产生良好的效果。

以上已经描述了本申请的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。

Claims (12)

1.一种晶圆良率数据的处理方法，其特征在于，包括：

在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件；

响应于用户在所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的数据范围；

确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果；

根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件之前，所述方法还包括：

获取晶圆测试的生数据，并按照至少一种数据维度对所述生数据进行预统计并存储预统计结果；

对应地，所述确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果，包括：

根据与所述数据范围相匹配的数据维度所对应的预统计结果，生成所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件之后，所述方法还包括：

响应于用户对所述主显示组件中晶圆良率和/或良率相关参数的切换，切换显示与所述主显示组件相匹配的至少一个从显示组件。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一个从显示组件包括晶圆良率堆叠图和/或失效类型失效率图表，其中，所述失效类型失效率图表用于展示在不同预设失效类型下的晶圆失效率；

对应地，所述确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果，包括：

确定所述数据范围所对应的良率及良率相关参数的数值、晶圆良率的堆叠值和/或失效类型失效率的统计值；

对应地，所述根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果，包括：

根据所述良率及良率相关参数的数值调整所述图表组件的展示结果，根据所述晶圆良率的堆叠值调整所述晶圆良率堆叠图的展示结果和/或根据所述失效类型失效率的统计值调整所述失效类型失效率图表的展示结果。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，还包括：

响应于用户在所述晶圆良率堆叠图上的预设操作，展示参与统计所述晶圆良率堆叠图的各个晶圆的晶圆良率图。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果，包括：

根据所述数据结果调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件，并在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对比显示所述数据结果所对应的基准数据结果。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述主显示组件包括可在多维度展示失效类型失效率趋势的图表组件的情况下，所述从显示组件至少包括多种失效类型的可选择控件；对应地，所述方法还包括：

响应于用户选择的至少一种失效类型，执行下述中的至少一种调整：

将所述主显示组件切换至所述至少一种失效类型所对应的失效率趋势；

在所述主显示组件突出显示所述至少一种失效类型所对应的失效率；

在所述从显示组件中所述至少一种失效类型所对应的失效率堆叠图。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述筛选操作包括下述中的至少一种：在所述图表组件中自由圈选数据范围、在提供的数据可选项中选择数据范围。

9.一种晶圆良率数据处理的装置，其特征在于，包括：

组件展示模块，用于在数据可视化界面中展示主显示组件和至少一个从显示组件，其中，所述主显示组件包括可在多数据维度展示晶圆良率和/或良率相关参数趋势的图表组件；

数据筛选模块，用于响应于用户在所述图表组件中至少一个数据维度的筛选操作，获取筛选后的数据范围；

数据结果确定模块，用于确定所述数据范围分别在所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中对应的数据结果；

展示结果调整模块，用于根据所述数据结果分别调整所述主显示组件和所述至少一个从显示组件中的展示结果。

10.一种电子设备，其特征在于，包括处理器以及用于存储处理器可执行指令的存储器、显示器，其中，

所述处理器，用于被配置为执行所述指令时实现权利要求1-8中任意一项所述的方法；

所述显示器，用于展示所述数据可视化界面，并在所述数据可视化界面中展示所述主显示组件和所述至少一个从显示组件。

11.一种非易失性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序指令，其特征在于，所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1-8中任意一项所述的方法。

12.一种计算机程序产品，其特征在于，包括计算机可读代码，或者承载有计算机可读代码的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机可读代码在电子设备的处理器中运行时，所述电子设备中的处理器执行上述权利要求1-8中任意一项所述的方法。

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