CN114396733A - 温控系统的控制方法及温控系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种温控系统的控制方法及温控系统，温控系统的控制方法包括：获取温控系统出口的实际温度值；根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制低温级系统的压缩机与高温级系统的压缩机的输出频率。本发明使用一套PID算法，同时控制高温级系统和低温级系统的压缩机的输出百分比，降低了控制的复杂程度，实现控制方案的简化，也减少了两套PID发生耦合产生出口温度周期性震荡的问题，规避了高低温级两个系统的互相干扰，较为简单的实现复叠制冷系统的精确温控。同时，高低温级系统的压缩机输出比相同，保证了高温级系统和低温级系统同时到达最大输出状态，保证了整个复叠制冷系统能发挥最大的输出。

Description

温控系统的控制方法及温控系统

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种温控系统的控制方法及温控系统。

背景技术

目前的半导体存储芯片制造工艺中，多层堆叠是目前的主流研发方向，其工艺特性需要在刻蚀制程中实现较高的深宽比。控制良好的宽深比，需要刻蚀制程中维持更低的恒定环境温度，目前国内先进的3D NAND工艺对刻蚀过程的温度需求已达到-70℃，目前半导体专用温控系统主流是采用常规的R404a/R23复叠制冷系统实现低温控温。刻蚀加工过程中，温控系统对恒温控制的难点主要有两个：一是为了实现较大的刻蚀深度，射频装置的功率大幅增加，导致射频装置启停过程中温控系统的热负荷变化剧烈，为了保证此过程中温控系统对热负荷的快速反馈，温控系统中制冷系统需要持续运行保持精确控温；二是在工艺制程中，不同的加工步骤中射频输出不同，温控系统需要在不同的热负载水平下维持恒定温控。

在当前主流的温控系统中，主要采用复叠式氟利昂制冷系统。考虑上述对温控系统的需求，制冷系统结构上，一般有如下特征：在其高温级系统中，从压缩机排气管路引出一路支路，通过热气旁通电子膨胀阀后连接至高温级主路膨胀阀和蒸发冷凝器之间；低温级系统中，压缩机排气管引出第一路支路，通过热气旁通电子膨胀阀后接入低温级主路膨胀阀和蒸发器之间，从主路膨胀阀之前引出第二路支路，通过补液电子膨胀阀后接入压缩机吸气管。通过调节热气旁通支路的流量，维持不同热负荷工况的稳定运行。制冷系统控制方案上，采用PID控制，便于对负载变化的快速反馈。其具体控制方案如下：首先，采集温度传感器的值，以此处实测值与设定值的差为输入，使用PID控制算法，以PID输出百分比，控制低温级压缩机的频率输出百分比、低温级主路电子膨胀阀开度百分比、低温级热气旁通电子膨胀阀开度百分比，从而控制蒸发器内的换热量，实现对温度传感器处温度的精确控制；其次，根据温度传感器处的目标值，根据经验设定对应的温度传感器处的目标值，以此处实测值与设定值的差为输入，使用PID控制算法，以PID输出百分比，控制高温级压缩机的频率输出百分比、高温级主路电子膨胀阀开度百分比、高温级热气旁通电子膨胀阀开度百分比，从而控制蒸发冷凝器内的换热量，调节温度传感器的温度值。

即在上述控制方案中，采用两套独立的PID控制，独立维持复叠制冷系统中高温级和低温级制冷系统，对应实现蒸发冷凝器的出口处和蒸发器的出口处的温度精确控制。此控制方法主要的缺点有以下两点：一是在PID调节过程中，两个独立的PID调节可能会相互干扰，影响温控效果，或者发生耦合导致温控的周期性震荡；二是不同工况下，蒸发冷凝器出口的温度传感器处最合适的目标值不同，当蒸发冷凝器出口的温度传感器处目标值设置不合理时，容易出现低温级制冷系统已输出最大，但高温级未到达最大输出，即无法发挥制冷系统的最大带载能力。

发明内容

本发明提供一种温控系统的控制方法及温控系统，用以解决现有技术中温控系统通过两个独立的PID调节可能会相互干扰，影响温控效果，或者发生耦合导致温控的周期性震荡的缺陷，实现控制方案的简化，也减少了两套PID发生耦合产生出口温度周期性震荡的问题，高低温级系统的压缩机输出比相同，保证了高温级系统和低温级系统同时到达最大输出状态，保证了整个复叠制冷系统能发挥最大的输出。

本发明提供一种温控系统的控制方法，包括：

S1，获取温控系统出口的实际温度值；

S2，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制低温级系统的压缩机与高温级系统的压缩机的输出频率。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，在步骤S2中，所述低温级系统的压缩机的运行频率范围与对应PID输出0～100％；所述高温级系统的压缩机的运行频率范围对应PID输出0～100％。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，还包括：

S3，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制低温级系统的主路膨胀阀与热气旁通阀的开度。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，在步骤S3中，所述低温级系统的主路膨胀阀的开度与PID输出0～100％正向线性对应，所述低温级系统的热气旁通阀的开度与PID输出0～100％反向线性对应。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，还包括：

S4，获取所述高温级系统的压缩机的吸气管路的吸气过热度；

S5，根据所述高温级系统的压缩机的吸气管路的吸气过热度和设定过热度范围调节所述高温级系统的主路膨胀阀的开度。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，步骤S4包括：

S41，获取所述高温级系统的压力传感器测量的压力值和温度传感器测量的温度值；

S42，根据压力值和温度值计算获得吸气过热度。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，在步骤S5中，当所述吸气过热度大于所述设定过热度范围的上限时，增大所述高温级系统的主路膨胀阀的开度，当所述吸气过热度小于所述设定过热度范围的下限时，减小所述高温级系统的主路膨胀阀的开度。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，还包括：

S6，获取所述低温级系统的压缩机的吸气管路的吸气过热度；

S7，根据所述低温级系统的压缩机的吸气管路的吸气过热度和设定过热度值调节所述低温级系统的补液旁通阀的开度。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，步骤S6包括：

S61，获取所述低温级系统的压力传感器测量的压力值和温度传感器测量的温度值；

S62，根据压力值和温度值计算获得吸气过热度。

根据本发明提供的一种温控系统的控制方法，在步骤S7中，当所述吸气过热度大于所述设定过热度值时，增大所述低温级系统的补液旁通阀的开度。

本发明还提供一种温控系统，应用于上述的温控系统的控制方法，包括：

高温级系统，包括第一压缩机、冷凝器的放热通路、第一主路膨胀阀和蒸发冷凝器的吸热通路依次连通形成的高温级制冷回路；所述第一压缩机与所述蒸发冷凝器的吸热通路连通的管路上设有第一压力传感器和第一温度传感器；

低温级系统，包括第二压缩机、所述蒸发冷凝器的放热通路、第二主路膨胀阀和蒸发器的吸热通路依次连通形成的低温级制冷回路；所述第二压缩机的出气口与所述蒸发器的吸热通路的进口之间还通过热气旁通管路连通，所述热气旁通管路上设有热气旁通阀；所述蒸发冷凝器的放热通路的出口与所述第二压缩机的吸气口之间还通过补液旁通管路连通，所述补液管路上设有补液旁通阀；所述第二压缩机与所述蒸发器的吸热通路连通的管路上设有第二压力传感器和第二温度传感器；

循环液系统，包括循环泵、所述蒸发器的放热通路、外部负载和水箱依次连通形成的循环液回路；所述蒸发器的放热通路的出口设置第三温度传感器；

控制器，用于通过所述第三温度传感器获取温控系统出口的实际温度值，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制所述第一压缩机与所述第二压缩机的输出频率。

本发明提供的制冷系统的控制方法，是针对复叠式制冷系统的控制方法，复叠式制冷系统通过低温级系统和高温级系统的配合对循环液系统进行制冷温控，在获取温控系统出口的实际温度值后，结合温控系统出口的目标温度值，利用PID控制算法，控制低温级系统的压缩机与高温级系统的压缩机同步调节输出频率，即通过一个PID输出同时控制高温级系统的压缩机和低温级系统的压缩机的频率变化，使两个循环的压缩机保持同样的频率输出比。

相比现有技术中两套独立的PID算法分别控制高温级系统和低温级系统，本发明使用一套PID算法，同时控制高温级系统和低温级系统的压缩机的输出百分比，降低了控制的复杂程度，实现控制方案的简化，也减少了两套PID发生耦合产生出口温度周期性震荡的问题，规避了高低温级两个系统的互相干扰，较为简单的实现复叠制冷系统的精确温控。同时，高低温级系统的压缩机输出比相同，保证了高温级系统和低温级系统同时到达最大输出状态，保证了整个复叠制冷系统能发挥最大的输出。

除了上面所描述的本发明解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明提供的温控系统的控制方法的流程示意图；

图2是本发明提供的温控系统的结构示意图；

附图标记：

100、高温级系统；110、第一压缩机；120、冷凝器；130、第一主路膨胀阀；140、蒸发冷凝器；150、第一压力传感器；160、第一温度传感器；

200、低温级系统；210、第二压缩机；220、第二主路膨胀阀；230、蒸发器；240、热气旁通管路；250、补液旁通管路；260、第二压力传感器；270、第二温度传感器；241、热气旁通阀；251、补液旁通阀；

300、循环液系统；310、循环泵；320、外部负载；330、水箱；340、第三温度传感器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

此外，在本发明实施例的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

如图1和图2所示，本发明实施例提供的温控系统的控制方法，包括：

S1，获取温控系统出口的实际温度值；

S2，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制低温级系统200的压缩机与高温级系统100的压缩机的输出频率。

本发明实施例的制冷系统的控制方法，是针对复叠式制冷系统的控制方法，复叠式制冷系统通过低温级系统200和高温级系统100的配合对循环液系统300进行制冷温控，在获取温控系统出口的实际温度值后，结合温控系统出口的目标温度值，利用PID控制算法，控制低温级系统200的压缩机与高温级系统100的压缩机同步调节输出频率，即通过一个PID输出同时控制高温级系统100的压缩机和低温级系统200的压缩机的频率变化，使两个循环的压缩机保持同样的频率输出比。

相比现有技术中两套独立的PID算法分别控制高温级系统100和低温级系统200，本发明使用一套PID算法，同时控制高温级系统100和低温级系统200的压缩机的输出百分比，降低了控制的复杂程度，实现控制方案的简化，也减少了两套PID发生耦合产生出口温度周期性震荡的问题，规避了高低温级两个系统的互相干扰，较为简单的实现复叠制冷系统的精确温控。同时，高低温级系统200的压缩机输出比相同，保证了高温级系统100和低温级系统200同时到达最大输出状态，保证了整个复叠制冷系统能发挥最大的输出。

根据本发明提供的一个实施例，在步骤S2中，低温级系统200的压缩机的运行频率范围与对应PID输出0～100％；高温级系统100的压缩机的运行频率范围对应PID输出0～100％。本实施例中，根据温控系统出口的实际温度值和目标温度值，利用PID控制算法，控制低温级系统200的压缩机与高温级系统100的压缩机同步调节输出频率百分比。两台压缩机根据特性，设定可调节的运行频率范围，PID输出百分比0～100％，对应压缩机运行频率的下限和上限。

在一个实施例中，设定高温级系统100的压缩机的运行频率为40-60Hz，设定低温级系统200的压缩机的运行频率为50-60Hz，则当PID输出为75％时，高温级系统100的压缩机的输出频率为55Hz，低温级系统200的压缩机的频率输出为57.5Hz。两个压缩机的输出频率与PID输出比对应实时变化，达到快速调整低温级系统200的蒸发器230的换热量，实现温控系统出口温度的恒温控制。

根据本发明提供的一个实施例，本发明实施例的温控系统的控制方法还包括：

S3，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制低温级系统200的主路膨胀阀与热气旁通阀241的开度。

本实施例中，低温级系统200由PID直接控制主路膨胀阀和热气旁通阀241的开度比。为了保证低温级系统200的蒸发器230对循环管路热负荷的快速反馈，低温级系统200仍保留热气旁通管路240，通过热气旁通管路240上的热气旁通阀241和主循环管路上的主路膨胀阀的同时调节，达到低温级系统200的蒸发器230内部换热量的快速调整的目的，保证温控系统的出口温度的精确控制。

根据本发明提供的一个实施例，在步骤S3中，低温级系统200的主路膨胀阀的开度与PID输出0～100％正向线性对应，低温级系统200的热气旁通阀241的开度与PID输出0～100％反向线性对应。本实施例中，低温级系统200中的主路膨胀阀和热气旁通阀241分别设定允许的最大开度值，主路膨胀阀的开度与PID输出比正向线性对应，热气旁通阀241的开度与PID输出比反向线性对应。即PID输出0～100％，主路膨胀阀对应的开度为0到最大开度值，热气旁通阀241对应的开度为最大开度值到0。

根据本发明提供的一个实施例，本发明实施例的温控系统的控制方法还包括：

S4，获取高温级系统100的压缩机的吸气管路的吸气过热度；

S5，根据高温级系统100的压缩机的吸气管路的吸气过热度和设定过热度范围调节高温级系统100的主路膨胀阀的开度。

本实施例中，由于高温级系统100的压缩机的输出频率随着PID输出变化而变化，所以相应吸气过热度也随之改变，根据吸气过热度和设定过热度范围控制高温级系统100中主路膨胀阀的开度值，即高温级系统100仅使用过热度调节的方法实现主路膨胀阀对循环流量的控制，能够简化控制方案。

根据本发明提供的一个实施例，步骤S4包括：

S41，获取高温级系统100的压力传感器测量的压力值和温度传感器测量的温度值；

S42，根据压力值和温度值计算获得吸气过热度。

本实施例中，采集高温级系统100的压缩机的吸气管路上的压力传感器和温度传感器的测量值，计算得到高温级系统100的压缩极的吸气口的吸气过热度，根据吸气过热度和设定过热度范围调节主路膨胀阀的开度。

根据本发明提供的一个实施例，在步骤S5中，当吸气过热度大于设定过热度范围的上限时，增大高温级系统100的主路膨胀阀的开度，当吸气过热度小于设定过热度范围的下限时，减小高温级系统100的主路膨胀阀的开度。本实施例中，根据计算得到的吸气过热度与预设的过热度范围调节高温级系统100的主路膨胀阀的开度，以使高温级系统100的吸气过热度维持在合适的范围内，即实现主路膨胀阀的开度匹配此时高温级系统100的压缩机的输出情况。

在一个实施例中，设定过热度范围为5～15℃，由于高温级系统100的压缩机的输出频率随着PID输出变化，所以当吸气过热度高于15℃时，主路膨胀阀逐步增加开度值，当吸气过热度低于5℃时，主路膨胀阀逐步减小开度值。

根据本发明提供的一个实施例中，本发明实施例的温控系统的控制方法还包括：

S6，获取低温级系统200的压缩机的吸气管路的吸气过热度；

S7，根据低温级系统200的压缩机的吸气管路的吸气过热度和设定过热度值调节低温级系统200的补液旁通阀251的开度。

本实施例中，在低温级系统200中，由于热气旁通阀241的作用，在低负载工况下，进入蒸发器230的热气量较多，主路膨胀阀的低温制冷剂流量较少，容易出现吸气过热度比较高的情况，需要通过低温级系统200的压缩机的吸气过热度对低温级系统200的补液旁通阀251的开度进行调节。

根据本发明提供的一个实施例，步骤S6包括：

S61，获取低温级系统200的压力传感器测量的压力值和温度传感器测量的温度值；

S62，根据压力值和温度值计算获得吸气过热度。

本实施例中，采集低温级系统200的压缩机的吸气管路上的压力传感器和温度传感器的测量值，计算得到低温级系统200的压缩极的吸气口的吸气过热度，根据吸气过热度和设定过热度值调节补液旁通阀251的开度。

根据本发明提供的一个实施例，在步骤S7中，当吸气过热度大于设定过热度值时，增大低温级系统200的补液旁通阀251的开度。本实施例中，根据计算得到的吸气过热度与预设的过热度值调节低温级系统200的热气旁通阀241的开度，以使低温级系统200的吸气过热度维持在合适的范围内，即实现补液旁通阀251的开度匹配此时低温级系统200的压缩机的输出情况。

本实施例中，设定吸气过热度的最大值为15℃，当吸气过热度高于15℃时，逐步开启补液旁通阀251，使吸气过热度控制在15℃以下。

如图2所示，本发明实施例还提供一种温控系统，应用于上述实施例的温控系统的控制方法，包括：

高温级系统100，包括第一压缩机110、冷凝器120的放热通路、第一主路膨胀阀130和蒸发冷凝器140的吸热通路依次连通形成的高温级制冷回路；第一压缩机110与蒸发冷凝器140的吸热通路连通的管路上设有第一压力传感器150和第一温度传感器160；

低温级系统200，包括第二压缩机210、蒸发冷凝器140的放热通路、第二主路膨胀阀220和蒸发器230的吸热通路依次连通形成的低温级制冷回路；第二压缩机210的出气口与蒸发器230的吸热通路的进口之间还通过热气旁通管路240连通，热气旁通管路240上设有热气旁通阀241；蒸发冷凝器140的放热通路的出口与第二压缩机210的吸气口之间还通过补液旁通管路250连通，补液管路上设有补液旁通阀251；第二压缩机210与蒸发器230的吸热通路连通的管路上设有第二压力传感器260和第二温度传感器270；

循环液系统300，包括循环泵310、蒸发器230的放热通路、外部负载320和水箱330依次连通形成的循环液回路；蒸发器230的放热通路的出口设置第三温度传感器340；

控制器，用于通过第三温度传感器340获取温控系统出口的实际温度值，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制第一压缩机110与第二压缩机210的输出频率。

本发明实施例的温控系统，使用一套PID算法，同时控制高温级和低温级系统200的输出百分比，实现控制方案的简化，也规避了高低温级两个系统的互相干扰。为了保证低温级系统200的蒸发器230内对循环管路热负荷的快速反馈，低温级系统200仍保留热气旁通结构，通过热气旁通阀241和主路膨胀阀的同时调节，达到蒸发器230内部换热量的快速调整的目的，保证出口温度的精确控制；高温级系统100仅使用过热度调节的方法实现主路膨胀阀对循环流量的控制，简化控制方案。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (11)

1.一种温控系统的控制方法，其特征在于：包括：

S1，获取温控系统出口的实际温度值；

S2，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制低温级系统的压缩机与高温级系统的压缩机的输出频率。

2.根据权利要求1所述的温控系统的控制方法，其特征在于：在步骤S2中，所述低温级系统的压缩机的运行频率范围与对应PID输出0～100％；所述高温级系统的压缩机的运行频率范围对应PID输出0～100％。

3.根据权利要求1所述的温控系统的控制方法，其特征在于：还包括：

S3，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制低温级系统的主路膨胀阀与热气旁通阀的开度。

4.根据权利要求3所述的温控系统的控制方法，其特征在于：在步骤S3中，所述低温级系统的主路膨胀阀的开度与PID输出0～100％正向线性对应，所述低温级系统的热气旁通阀的开度与PID输出0～100％反向线性对应。

5.根据权利要求1所述的温控系统的控制方法，其特征在于：还包括：

S4，获取所述高温级系统的压缩机的吸气管路的吸气过热度；

S5，根据所述高温级系统的压缩机的吸气管路的吸气过热度和设定过热度范围调节所述高温级系统的主路膨胀阀的开度。

6.根据权利要求5所述的温控系统的控制方法，其特征在于：步骤S4包括：

S41，获取所述高温级系统的压力传感器测量的压力值和温度传感器测量的温度值；

S42，根据压力值和温度值计算获得吸气过热度。

7.根据权利要求5所述的温控系统的控制方法，其特征在于：在步骤S5中，当所述吸气过热度大于所述设定过热度范围的上限时，增大所述高温级系统的主路膨胀阀的开度，当所述吸气过热度小于所述设定过热度范围的下限时，减小所述高温级系统的主路膨胀阀的开度。

8.根据权利要求1所述的温控系统的控制方法，其特征在于：还包括：

S6，获取所述低温级系统的压缩机的吸气管路的吸气过热度；

S7，根据所述低温级系统的压缩机的吸气管路的吸气过热度和设定过热度值调节所述低温级系统的补液旁通阀的开度。

9.根据权利要求8所述的温控系统的控制方法，其特征在于：步骤S6包括：

S61，获取所述低温级系统的压力传感器测量的压力值和温度传感器测量的温度值；

S62，根据压力值和温度值计算获得吸气过热度。

10.根据权利要求8所述的温控系统的控制方法，其特征在于：在步骤S7中，当所述吸气过热度大于所述设定过热度值时，增大所述低温级系统的补液旁通阀的开度。

11.一种温控系统，其特征在于：应用于权利要求1至10任意一项所述的温控系统的控制方法，包括：

高温级系统，包括第一压缩机、冷凝器的放热通路、第一主路膨胀阀和蒸发冷凝器的吸热通路依次连通形成的高温级制冷回路；所述第一压缩机与所述蒸发冷凝器的吸热通路连通的管路上设有第一压力传感器和第一温度传感器；

低温级系统，包括第二压缩机、所述蒸发冷凝器的放热通路、第二主路膨胀阀和蒸发器的吸热通路依次连通形成的低温级制冷回路；所述第二压缩机的出气口与所述蒸发器的吸热通路的进口之间还通过热气旁通管路连通，所述热气旁通管路上设有热气旁通阀；所述蒸发冷凝器的放热通路的出口与所述第二压缩机的吸气口之间还通过补液旁通管路连通，所述补液管路上设有补液旁通阀；所述第二压缩机与所述蒸发器的吸热通路连通的管路上设有第二压力传感器和第二温度传感器；

循环液系统，包括循环泵、所述蒸发器的放热通路、外部负载和水箱依次连通形成的循环液回路；所述蒸发器的放热通路的出口设置第三温度传感器；

控制器，用于通过所述第三温度传感器获取温控系统出口的实际温度值，根据温控系统出口的目标温度值和实际温度值，控制所述第一压缩机与所述第二压缩机的输出频率。

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