CN114384694A - 一种扫描致动器及光纤扫描器 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种扫描致动器及光纤扫描器，本申请中的扫描致动器至少包括：致动基体及用于驱动的电极，致动基体沿后端至前端的轴向具有设定的长度，且所述后端作为固定端，沿所述致动基体的轴向形成有多个相互分隔的致动臂，每一所述致动臂的表面沿所述轴向布设有所述电极，且所述多个致动臂的前端通过连接结构彼此连接，工作时，每个所述致动臂在电极作用下按照设定方向以设定频率振动，共同带动所述连接结构振动。相对于现有的快慢轴结构的扫描致动器，本申请方案中的扫描致动器所制成的光纤扫描器，其扫描轨迹的可控性更高、扫描过程中也更加稳定，不易发生扫描轨迹的畸变。

Description

一种扫描致动器及光纤扫描器

技术领域

本申请涉及扫描显示技术领域，具体涉及一种扫描致动器及光纤扫描器。

背景技术

扫描显示成像作为一种新兴的显示技术，可用于投影显示、近眼显示等多种显示场景。

扫描显示成像可由诸如数字微镜设备(Digital Micromirror Device，DMD)或光纤扫描器所构成的扫描显示模组实现。相比于DMD，光纤扫描器的体积更小，成本更低，且更易集成。

现有的光纤扫描器主要包括：能够在二维方向振动的扫描致动器，以及，在扫描致动器带动下扫动并出光的光纤。图1示出了一种光纤扫描器的示例性结构，扫描致动器沿其轴向的方向从后端向前端依次包括慢轴、隔离部、快轴。其中，慢轴用于在第一方向(竖直方向)以相对较慢的频率振动，快轴用于在第二方向(水平方向)以相对较快的频率振动，慢轴的振动通过隔离部累加在快轴上，并结合快轴自身在第二方向的振动，从而带动光纤以设定的轨迹、设定的频率实现二维方向扫动，光纤输出相应的图像光束，便可投射出图像。

但是，如图1所示的致动器结构中，相对于慢轴而言，快轴振动的频率较高、振幅较大，这样的振动形变将会传递至慢轴，也即，慢轴靠近快轴的部分也会产生一定程度、相同频率的水平振动，从而干扰慢轴自身在竖直方向上的振动。相对地，慢轴产生的振动同样会对快轴靠近慢轴的部分产生影响。从而导致光纤的摆动轨迹产生不可控，进一步造成光纤扫描输出的图像发生畸变。

发明内容

本申请的目的在于提供一种扫描致动器及光纤扫描器，用以减少或避免扫描致动器不同方向的振动之间的相互影响。

本申请实施例提供一种扫描致动器，应用于光纤扫描器中，扫描致动器至少包括：致动基体及用于驱动的电极；其中，

所述致动基体沿后端至前端的轴向具有设定的长度，且所述后端作为固定端，沿所述致动基体的轴向形成有多个相互分隔的致动臂，每一所述致动臂的表面沿所述轴向布设有所述电极，且所述多个致动臂的前端通过连接结构彼此连接；

工作时，每个所述致动臂在电极作用下按照设定方向以设定频率振动，共同带动所述连接结构振动。

可选地，所述致动基体从所述后端至前端依次包括非致动臂部分及多个相互分隔的致动臂。

可选地，所述致动臂与所述致动基体上非致动臂的部分由相同材质构成。

可选地，所述致动基体的后端至前端的直径一致。

可选地，所述扫描致动器还包括基座，所述基座固定连接于所述致动基体的后端。

可选地，所述连接结构上设有多个固定部，所述连接结构通过所述多个固定部同时与所述多个致动臂的前端固定相连；

所述固定部与各所述致动臂的前端的连接方式包括：粘接固定、熔接固定、焊接固定、卡扣固定、一体成型中的至少一种。

可选地，所述连接结构上设有与所述致动基体轴向同向的通孔。

可选地，所述通孔与所述致动基体的轴心共轴。

可选地，所述致动基体采用压电陶瓷材料或其他能够在电极作用下产生压电效应的材料制成。

本申请实施例还提供一种扫描致动器，应用于光纤扫描器中，所述扫描致动器包括：致动基体及用于驱动的电极；其中，

所述致动基体沿后端至前端的轴向具有设定的长度，且所述后端作为固定端，沿所述致动基体后端至前端的轴向依次包括非致动臂部分以及沿所述轴向形成的多个相互分隔的致动臂，每一所述致动臂的表面沿所述轴向布设有所述电极，且所述多个致动臂的前端通过连接结构彼此固定连接；

工作时，每个所述致动臂在电极作用下按照设定方向以设定频率振动，共同带动所述连接结构振动；

所述非致动臂部分及所述致动臂由不同材质构成。

本申请实施例还提供一种扫描致动器，应用于光纤扫描器中，所述扫描致动器至少包括：基座、多个致动臂及用于驱动的电极；其中，

每一所述致动臂沿后端至前端的轴向具有设定的长度，且所述后端作为固定端固定于所述基座上，各所述致动臂相互分隔，每一所述致动臂的表面沿所述轴向布设有所述电极，且所述多个致动臂的前端通过连接结构彼此固定连接；

工作时，每个所述致动臂在电极作用下按照设定方向以设定频率振动，共同带动所述连接结构振动。

本申请实施例提供一种光纤扫描器，至少包括前述方案中的扫描致动器、扫描光纤、镜组及封装壳，其中，

所述扫描致动器及所述扫描光纤固定于所述封装壳内，所述扫描光纤从所述扫描致动器中的所述连接结构的通孔中穿过，延伸形成悬臂式结构，在所述扫描致动器中各致动臂的共同作用下，所述连接结构带动悬臂式的扫描光纤按照设定轨迹扫动；

所述镜组固定于所述封装壳的出光端，所述扫描光纤扫描输出的图像光束经所述镜组后出射。

采用本申请实施例中的技术方案可以实现以下技术效果：

本申请中的方案，扫描致动器并不采用现有的快慢轴的结构形态，而是在扫描致动器的致动基体上，沿其轴向形成多个相互分隔的致动臂结构，每一致动臂可以独立地在特定的方向上进行振动，显然，不采用现有的快慢轴这种“一前一后”的结构形态，也就不会发生前后两个致动轴因为进行不同方向、不同频率的振动而相互造成振动干扰的问题，在本申请的方案中，各致动臂的前端通过一个连接结构将各致动臂连接固定，当制成光纤扫描器时，光纤穿过连接结构上的通孔，如此一来，各致动臂在工作状态下所产生的不同方向、不同频率的振动传递至连接结构后，被连接结构所约束，再通过连接结构带动光纤扫动，从而可实现不同轨迹的扫描输出。

相对于现有的快慢轴结构的扫描致动器，本申请方案中的扫描致动器所制成的光纤扫描器，其扫描轨迹的可控性更高、扫描过程中也更加稳定，不易发生扫描轨迹的畸变。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是现有技术中一种示例性的光纤扫描器的结构示意图；

图2a是本申请实施例提供的一种说明性扫描显示模组的结构示意图；

图2b是图2a所示的说明性扫描显示模组中的光纤扫描器的结构示意图；

图3a是本申请实施例提供的第一种扫描致动器的结构示意图；

图3b是本申请实施例提供的垂直于第一种扫描致动器轴向的侧视图；

图3c是本申请实施例提供的第一种扫描致动器的径向截面示意图；

图4a是本申请实施例提供的第一种扫描致动器包含基座的结构示意图；

图4b是本申请实施例提供的圆管型扫描致动器的结构示意图；

图5是本申请实施例提供的第二种扫描致动器的结构示意图；

图6是本申请实施例提供的具有8个致动臂的扫描致动器的结构示意图；

图7是本申请实施例提供的一种光纤扫描器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。

说明性扫描显示模组

如图2a所示，为本申请中的一种说明性的扫描显示模组，其中主要包括：

处理器100、激光器组110、光纤扫描器120、传输光纤130、光源调制电路140、扫描驱动电路150及合束单元160。其中：

处理器100可以为图形处理器(Graphics Processing Unit，GPU)、中央处理器(Central Processing Unit，CPU)或者其它具有控制功能、图像处理功能的芯片或电路，这里并不进行具体限定。

系统工作时，处理器100可根据待显示的图像数据控制光源调制电路140对激光器组110进行调制，激光器组110中包含多个单色激光器，分别发出不同颜色的光束。从图1中可见，激光器组中具体可采用红(Red，R)、绿(Green，G)、蓝(Blue，B)三色激光器。激光器组110中各激光器发出的光束经由合束单元160合束为一束激光并耦入至传输光纤130中。

处理器100还可控制扫描驱动电路150驱动光纤扫描器120进行扫动，从而将传输光纤130中传输的光束扫描输出。

由光纤扫描器120扫描输出的光束作用于介质表面上某一像素点位置，并在该像素点位置上形成光斑，便实现了对该像素点位置的扫描。在光纤扫描器120带动下，传输光纤130输出端按照一定扫描轨迹扫动，从而使得光束移动至对应的像素点位置进行扫描。实际扫描过程中，传输光纤130输出的光束将在每个像素点位置形成具有相应图像信息(如：颜色、灰度或亮度)的光斑。在一帧的时间里，光束以足够高的速度遍历每一像素点位置完成一帧图像的扫描，由于人眼观察事物存在“视觉残留”的特点，故人眼便无法察觉光束在每一像素点位置上的移动，而是看见一帧完整的图像。

继续参考图2b，为光纤扫描器120的具体结构，其中包括：扫描致动器121、光纤悬臂122、透镜123、扫描器封装壳124以及固定件125。扫描致动器121通过固定件125固定于扫描器封装壳124中，传输光纤130在扫描致动器121的前端延伸形成光纤悬臂122(也可称为扫描光纤)，工作时，扫描致动器121在扫描驱动信号的驱动下沿竖直方向(该竖直方向平行于图2a、2b中参考坐标系内的Y轴，在本申请实施例中，该竖直方向也可称为第一方向)及水平方向(该水平方向平行于图2a、2b中参考坐标系内的X轴，在本申请实施例中，该水平方向也可称为第二方向)振动，受扫描致动器121带动，光纤悬臂122的前端按预设轨迹扫动并出射光束，出射的光束便可透过透镜123实现扫描成像。

需要说明的是，在本申请实施例中，所述的扫描致动器的后端，是指扫描致动器不发生振动并用作固定的一端，也可以称为固定端；所述的扫描致动器的前端，是指扫描致动器上与后端相对的另一端，也可称为自由端，是扫描致动器上形变和振幅最显著的部位。另外，光纤悬臂的出光端，也可以称为光纤悬臂的前端，或，光纤悬臂的自由端。应理解，这样的描述方式不应作为对本申请的限定。

上述说明性扫描显示模组仅是为了便于理解本申请后续方案给出的一种示例性的内容，在实际应用中，光学显示模组内的具体架构可能会发生变化，如：光源调制电路140和扫描驱动电路150可以合并为处理电路；又如：处理器100可以独立于光学显示模组之外，而不是作为光学显示模组中的一个构成单元等等，对于不同的变化形式，这里不再一一赘述。也就是说，上述的示例性内容并不应理解为对本申请的限定。

但正如前述，在快慢轴结构的扫描致动器中，快轴在致动状态下会发生较大的弯曲形变，这样的弯曲形变会传递至慢轴靠近快轴的部分，使得慢轴靠近快轴的部分受到第二方向的形变影响。而慢轴在第一方向的形变同样会传递至快轴，使得快轴靠近慢轴的部分受到第一方向的形变影响。

为此，在本申请后续实施例中所阐述的扫描致动器，采用了分隔式致动臂的结构，尽可能地减少甚至避免不同方向的振动对扫描致动器整体的影响。

第一种扫描致动器

参考图3a，本实施例中提供一种带有分隔式致动臂的扫描致动器，该扫描致动器可应用于光纤扫描器中。具体地，致动基体30在从后端至前端的轴向上具有设定的长度，且其后端用于固定(图3a中致动基体30的左上方认为是后端，致动基体30的右下方认为是前端)。

本实施例中，致动基体30采用圆棒型结构，沿其轴向方向，从致动基体30的后端至中部位置，为非致动臂部分302，该非致动臂部分302可以用作固定支撑。从中部位置起，至致动基体30的前端，形成有四条相互分隔且平行的致动臂301，四条致动臂301彼此平行，在各自的前端通过连接结构303实现相互连接。一般性地，致动基体30后端至前端的直径一致。当然，致动臂301的长度与致动基体30的整体长度之间的关系并不限于图3a中所示。

对于每一条致动臂301而言，主体部分可由压电材料构成，在致动臂301平行于致动基体30轴向的外壁表面布设有电极。在一种较优方式中，致动臂301平行于致动基体30轴向的内壁表面同样布设有电极(可称为内电极)，用于与致动臂301外壁表面布设的电极(可称为外电极)配合，更精确地驱动致动臂301的振动，此方式提供的致动力也更大。

在本实施例中，电极具体可采用诸如涂布、印刷、气相沉积、印刷电路等工艺实现布设，这里并不进行具体限制。无论采用何种布设方式，在电极的作用下，致动臂301可按照设定频率在垂直于轴向的方向上振动。当然，在实际应用时采用何种电极布设方式将视实际需要而定，这里并不进行限制。

由于采用了分离式的致动臂结构，每一条致动臂可以独立地在特定的一个方向上进行振动，本实施例中的各致动臂的振动方向包括：X方向及Y方向，即，连接结构303中十字型所指向的方向(与参考坐标系XY方向一致)，在各方向上独立振动的致动臂所产生的振动不会通过致动基体传递给其他的致动臂，从而减少了振动干扰。

在本实施例中，过大的间隔距离会造成致动臂301的宽度降低，影响致动臂301的机械约束力，同时考虑到使致动臂301之间的相互影响最小，以利于非线性响应的矫正，因此，作为一种较优方式，如图3b所示，各致动臂301之间的间隔距离可为：20μm～500μm，致动臂301的长度L_b与致动基体30整体长度L_z的比例大于1/5，且各个致动臂301的长度L_b相等。

当然，按照应用场景的不同，致动基体30可采用不同的尺寸。如：制成光纤扫描器应用于AR显示设备中，致动基体30的直径可达微米级别，从几微米～几百微米不等，轴向长度可达毫米级别；制成光纤扫描器应用于内窥镜设备中，致动基体30的直径尺寸和轴向尺寸，与应用于AR设备中的尺寸相似；制成光纤扫描器应用于投影显示设备中，致动基体30的直径可为几百微米～几毫米不等，长度可为几厘米～几十厘米不等；当然，致动基体30的具体尺寸将根据实际应用的需要而定，这里并不进行限制。

如图3c所示，为扫描致动器前端面的示意图，在本实施例中，致动基体30上形成的四条致动臂301的径向截面以致动基体30的轴心作为对称轴，彼此对称。连接结构303具有十字型的连接梁3032，连接梁3032的末端形成有固定部3031，用于与致动臂301固定连接。结合图3a～3c可以看出，在本实施例中，固定部3031呈现向致动基体30后端延伸的片状结构，固定部3031与致动臂301的固定连接方式包括但不限于：粘接、熔接、卡扣固定、一体成型或者超高精度的焊接(如：激光点焊)等。

当然，连接结构303的形状及结构并不限制于此，还可以呈现其他形状或结构，例如：在一些实施例中，连接结构303中可以只设置连接梁，而连接梁可以通过上述的连接方式实现与每一致动臂301固定连接。

连接结构303上还设置有与致动基体30轴向同向的通孔3033，用于光纤穿过，以制成光纤扫描器。需要说明的是，通孔3033与致动基体30的轴心之间可以存在一定程度的偏差，偏差范围将视扫描致动器的尺寸而定，一般性地，偏差范围通常在几微米～几十微米量级。作为一种较优的实施方式，通孔3033与致动基体30的轴心共轴。

在本实施例中，非致动臂部分302和致动臂301采用相同的材料构成，从而可减少制备工艺的难度和成本，具体可以采用压电陶瓷材料一体成型。当然，在本申请的另一实施例中，非致动臂部分302和致动臂301所采用的材料可以是不同的，非致动臂部分302可以采用钢材、塑料、碳纤维、合金材料等，也就是说，非致动臂部分302和致动臂301单独制备成型，并可通过注塑、模压等工艺进行组装，并通过胶粘、冷压、铆接等工艺实现装配。

如图4a所示，是基于前述实施例所提供的一种带有分隔式致动臂的扫描致动器，该扫描致动器中还包括：基座31，该基座31用于固定支撑致动基体30，在实际应用中，基座31可以与光纤扫描器封装壳进行固定，也可以与相应地的固定台、安装槽等结构实现固定，这里并不进行具体限制。致动臂301上的电极可以通过电极引线、飞线、印刷电路等方式经过底座40，与外部电路相连，并且，该基座31上设置有用于使光纤穿过的通孔结构(并未在图4中示出)。

在一些实施方式中，基座31与致动基体30之间可以是一体成型的。在另一些实施方式中，基座31与致动基体30之间可以通过粘接、焊接、螺旋连接等方式实现固定连接。在又一些实施方式中，基座31与致动基体30之间可以通过光电连接接口(并未在图4中示出)实现光电连接，通过光电连接接口，可实现光纤-光纤的对接，电极-电极的对接。当然，具体采用何种方式还要视实际应用需要而定。

在实际应用中，致动臂的结构还可能采用其他方式。如图4b所示，致动基体40可以采用圆管型结构，沿其轴向贯通，并固定基座41上，在致动基体40中部至前端形成四条分隔且平行的致动臂401，致动臂401可看作是圆管型致动基体40分割所形成。在致动臂401前端同样设置有连接结构403，以连接固定各致动臂401。连接结构403的结构可参考前述内容，这里便不再过多赘述。

第二种扫描致动器

参考图5，本实施例中的扫描致动器区别于上述实施例，该扫描致动器中并不设置非致动臂部分，而是包括4个致动臂501。各致动臂501相互合围且平行分隔设置，合围形成类似圆柱型的整体结构，各致动臂501的后端均固定连接在基座51上，各致动臂501的前端通过连接结构503相互连接。在本实施例中，扫描致动器从后端至前端，由4个致动臂501合围构成的圆柱型整体结构的直径一致。

对于每一致动臂501而言，主体部分可由压电材料构成，致动臂501平行于轴向的表面布设有电极，具体的布设方式可以参考前述实施例，这里便不再过多赘述。在电极的作用下，每个致动臂501可按照设定频率在垂直于轴向的方向上振动(按照各致动臂501设置位置的不同，可分别实现在Y方向和X方向的振动)。

在本实施例中，各致动臂501之间的间隔距离同样可为：20μm～500μm。各致动臂501的径向截面按照同一轴心作为对称轴，彼此对称设置。

本实施例中所采用的连接结构与前述实施例中的连接结构，这里便不再过多赘述。

另外，本实施例中，每个致动臂501的径向截面的形状并不限于图5中所示的形状，比如，同样可以采用图4b中所示的形状。具体将根据实际应用的需要而定。

在本实施例中，由于采用了相互分隔的致动臂，每一致动臂可以独立地在特定的一个方向上进行振动，并且，由于每个致动臂之间存在间隔，自身独立的振动不会传递给其他的致动臂，同样能够减少彼此间的振动干扰。

其他实施例

除了上述实施例以外，扫描致动器的整体形状并不限定于圆管/棒型，还可以是其他形状，如：三角管/棒型、方管/棒型、多边管/棒型等，均可形成分隔式的致动臂结构。

在一些实施例中，相互分隔的多个致动臂可以是不平行的，具体而言，相互合围且分隔的多个致动臂以一定的角度倾斜设置(均偏向扫描致动器的轴心倾斜，倾斜角度与致动臂的尺寸有关，这里不进行限定)，形成类似锥体的结构，整体上，椎体既可以是后端直径大于前端直径，也可以是前端直径大于后端直径。当然，在此方式下，仍在各致动臂的前端通过连接结构进行固定连接。

在一些实施例中，对于相互合围且分隔的多个致动臂中的每一个致动臂而言，其直径并不一致，既可以是后端直径大于前端直径，也可以是前端直径大于后端直径。

上述两种实施例可使得致动臂的振动频率增高，从而增大摆幅，提高光纤扫描过程的精度，保证扫描成像清晰。

在一些实施例中，扫描致动器中的致动臂的数量也不限于前述实施例中的数量，如图6所示，扫描致动器的致动基体60上形成有8个分隔的致动臂601，相应地，连接结构603也将匹配致动臂601，形成8个固定部及相应数量的连接梁。对于其中非致动部602、连接结构603、底座61的设置方式及结构，可以参考前述实施例中的内容，这里便不再过多赘述。当然，致动臂还可以采用奇数个，如：3个、5个、7个等。

在一些实施例中，致动臂的材料可以不使用压电陶瓷材料，选择具有一定固有频率、可发生一定程度形变的材料制成致动臂。对于此方式，可以根据实际扫描振动的需要，在不同致动臂的特定方向的表面布设压电陶瓷片，压电陶瓷片上预先布设有电极(可采用涂层或印刷电路等方式实现)，压电陶瓷片作为致动源，布设在致动臂表面后，通过压电陶瓷片自身的振动，带动致动臂发生特定频率、特定方向的振动。

光纤扫描器

可参考图7，在本申请中提供一种光纤扫描器700，该光纤扫描器700使用前述方案中的扫描致动器(以前述实施例中的带有4个致动臂的扫描致动器为例)，相应的传输光纤72’经过基座71、并穿过致动基体70后，在致动基体70的前端延伸形成扫描光纤72。

在实际应用时，可参考图2a、2b所示的说明性示例，基座71、致动基体70连同扫描光纤72可固定封装于封装壳(并未在图7中示出)中，在封装壳的出光端，还固定有相应的镜组(同样并未在图7中示出)。工作时，在4个致动臂的协同振动下，共同通过连接结构带动扫描光纤72以设定轨迹、设定频率扫动，同时扫描光纤72扫描出光，以便投射出相应图像。这里的扫描方式包括不限于：栅格式扫描、螺旋式扫描、利萨如式扫描等。

针对前述内容，需要说明的是，本申请中的方案，扫描致动器并不采用现有的快慢轴的结构形态，而是在扫描致动器的致动基体上，沿其轴向形成多个相互分隔的致动臂结构，每一致动臂可以独立地在特定的方向上进行振动，显然，不采用现有的快慢轴这种“一前一后”的结构形态，也就不会发生前后两个致动轴因为进行不同方向、不同频率的振动而相互造成振动干扰的问题，在本申请的方案中，各致动臂的前端通过一个连接结构将各致动臂连接固定，当制成光纤扫描器时，光纤穿过连接结构上的通孔，如此一来，各致动臂在工作状态下所产生的不同方向、不同频率的振动传递至连接结构后，被连接结构所约束，再通过连接结构带动光纤扫动，从而可实现不同轨迹的扫描输出。

相对于现有的快慢轴结构的扫描致动器，本申请方案中的扫描致动器所制成的光纤扫描器，其扫描轨迹的可控性更高、扫描过程中也更加稳定，不易发生扫描轨迹的畸变。

本申请中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。

在本公开的各种实施方式中所使用的表述“第一”、“第二”、“所述第一”或“所述第二”可修饰各种部件而与顺序和/或重要性无关，但是这些表述不限制相应部件。以上表述仅配置为将元件与其它元件区分开的目的。例如，第一用户设备和第二用户设备表示不同的用户设备，虽然两者均是用户设备。例如，在不背离本公开的范围的前提下，第一元件可称作第二元件，类似地，第二元件可称作第一元件。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离上述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种扫描致动器，其特征在于，应用于光纤扫描器中，所述扫描致动器至少包括：致动基体及用于驱动的电极；其中，

所述致动基体沿后端至前端的轴向具有设定的长度，且所述后端作为固定端，沿所述致动基体的轴向形成有多个相互分隔的致动臂，每一所述致动臂的表面沿所述轴向布设有所述电极，且所述多个致动臂的前端通过连接结构彼此连接；

工作时，每个所述致动臂在电极作用下按照设定方向以设定频率振动，共同带动所述连接结构振动。

2.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述致动基体从所述后端至前端依次包括非致动臂部分及多个相互分隔的致动臂。

3.如权利要求2所述的扫描致动器，其特征在于，所述致动臂与所述致动基体上非致动臂的部分由相同材质构成。

4.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述多个致动臂的长度相等。

5.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述致动基体的后端至前端的直径一致。

6.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述扫描致动器还包括基座，所述基座固定连接于所述致动基体的后端。

7.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述连接结构上设有多个固定部，所述连接结构通过所述多个固定部同时与所述多个致动臂的前端固定相连；

所述固定部与各所述致动臂的前端的连接方式包括：粘接固定、熔接固定、焊接固定、卡扣固定、一体成型中的至少一种。

8.如权利要求7所述的扫描致动器，其特征在于，所述连接结构上设有与所述致动基体轴向同向的通孔。

9.如权利要求8所述的扫描致动器，其特征在于，所述通孔与所述致动基体的轴心共轴。

10.一种光纤扫描器，其特征在于，至少包括前述权利要求1至12中任一所述的扫描致动器、扫描光纤、镜组及封装壳，其中，

所述扫描致动器及所述扫描光纤固定于所述封装壳内，所述扫描光纤从所述扫描致动器中的所述连接结构的通孔中穿过，延伸形成悬臂式结构，在所述扫描致动器中各致动臂的共同作用下，所述连接结构带动悬臂式的扫描光纤按照设定轨迹扫动；

所述镜组固定于所述封装壳的出光端，所述扫描光纤扫描输出的图像光束经所述镜组后出射。

Images