CN114371153A - 生物芯片、生物检测系统及生物检测方法 - Google Patents

生物芯片、生物检测系统及生物检测方法 Download PDF

Info

Publication number
CN114371153A
CN114371153A CN202110012042.7A CN202110012042A CN114371153A CN 114371153 A CN114371153 A CN 114371153A CN 202110012042 A CN202110012042 A CN 202110012042A CN 114371153 A CN114371153 A CN 114371153A
Authority
CN
China
Prior art keywords
polarizing
biochip
excitation light
sub
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110012042.7A
Other languages
English (en)
Inventor
谢馨仪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VisEra Technologies Co Ltd
Original Assignee
VisEra Technologies Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VisEra Technologies Co Ltd filed Critical VisEra Technologies Co Ltd
Publication of CN114371153A publication Critical patent/CN114371153A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/508—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above
    • B01L3/5085—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above for multiple samples, e.g. microtitration plates
    • B01L3/50855—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above for multiple samples, e.g. microtitration plates using modular assemblies of strips or of individual wells
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6428—Measuring fluorescence of fluorescent products of reactions or of fluorochrome labelled reactive substances, e.g. measuring quenching effects, using measuring "optrodes"
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6445—Measuring fluorescence polarisation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6452—Individual samples arranged in a regular 2D-array, e.g. multiwell plates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6486—Measuring fluorescence of biological material, e.g. DNA, RNA, cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements
    • G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
    • G02B5/3058—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/10—Integrating sample preparation and analysis in single entity, e.g. lab-on-a-chip concept
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
    • B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
    • B01L2300/0654—Lenses; Optical fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
    • B01L2300/0819—Microarrays; Biochips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0896—Nanoscaled
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502715—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N2021/6463—Optics
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/068—Optics, miscellaneous
    • G01N2201/0683—Brewster plate; polarisation controlling elements

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Electrotherapy Devices (AREA)
  • Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)

Abstract

本发明实施例提供一种生物芯片、生物检测系统及生物检测方法，生物芯片包括第一基板、偏光阵列及多个反应区。偏光阵列设置于第一基板上，且偏光阵列包括第一次偏光单元与第二次偏光单元，第一次偏光单元具有第一偏光角度，且第二次偏光单元具有第二偏光角度，第一偏光角度与第二偏光角度不同。反应区设置于偏光阵列上。反应区各对应至第一次偏光单元或第二次偏光单元其中之一。

Description

生物芯片、生物检测系统及生物检测方法
技术领域
本发明实施例涉及一种生物芯片、生物检测系统及生物检测方法，特别是涉及一种具有偏光阵列的生物芯片及一种具有前偏光元件的生物检测系统。
背景技术
整合感测装置近来也用于生物分析。使用此类应用时，会在生物芯片上放置生物或生化样品。可通过荧光分子的发射光谱及/或强度而报道生物反应或交互作用的现象，例如DNA定序与免疫荧光检测。荧光分子可通过短波长的激发光激发，并朝向光检测器产生较长波长的发射光。可通过生物检测系统的光检测器来检测及判断荧光的光谱分布及强度。
在生物芯片演进的过程中，为了追求较低成本且达到较高的产能，生物芯片上的阵列密度一般通过减少间隔宽度或孔洞节距(well pitch)而增加。然而，减少阵列尺寸可能会导致相邻孔洞之间的串扰，且可能无法精确地检测各个单独的荧光信号，进而造成不准确的分析结果。
虽然现有的生物芯片普遍符合它们的需求，但并不是在所有方面皆令人满意。因此，仍需要一种崭新的生物芯片并搭配崭新的生物检测系统及生物检测方法。
发明内容
根据本发明的一些实施例，提供一种生物芯片。生物芯片包括第一基板、偏光阵列及多个反应区。偏光阵列设置于第一基板上。偏光阵列包括第一次偏光单元与第二次偏光单元，第一次偏光单元具有第一偏光角度，且第二次偏光单元具有第二偏光角度，其中第一偏光角度与第二偏光角度不同。反应区设置于偏光阵列上。反应区各对应至第一次偏光单元或第二次偏光单元其中之一。
根据本发明的一些实施例，提供一种生物检测系统。生物检测系统包括激发光源、前偏光元件、上述的生物芯片、透镜及光检测器。激发光源用以发出激发光。前偏光元件用以偏振激发光。生物芯片用以接收偏振的激发光。透镜用以集中发射光，发射光是来自固定于生物芯片的反应区的生物样品。光检测器用以检测发射光。
根据本发明的一些实施例，提供一种生物检测方法。生物检测方法包括以下步骤：提供上述的生物检测系统；将生物样品固定于生物芯片的反应区；进行第一检测步骤以获得第一荧光信号，第一荧光信号是来自固定于对应第一次偏光单元的反应区的生物样品；进行第二检测步骤以获得第二荧光信号，第二荧光信号是来自固定于对应第二次偏光单元的反应区的生物样品；以及结合第一荧光信号与第二荧光信号。
以下实施例中参照附图提供详细叙述。
附图说明
搭配附图阅读后续的详细叙述与范例将能更全面地理解本发明实施例，
其中：
图1A至图1C是根据本发明的一些实施例的生物检测系统剖面图。
图1D是根据本发明的一些实施例的生物芯片剖面图。
图1E是根据本发明的其他实施例的生物检测系统剖面图。
图2A至图2B是根据本发明的一些实施例的生物芯片上视图。
图3是根据本发明的一些实施例的生物检测方法流程图。
图4A至图4B是根据本发明的一些实施例，绘示出使用生物检测系统来检测生物样品。
其中，附图标记说明如下：
10A，10B，10C：生物检测系统
100A，200：生物芯片
102：第一基板
104：偏光阵列
104A：第一次偏光单元
104B：第二次偏光单元
106：样品隔离层
108：反应区
110：前偏光元件
111：激发光源
112：激发光
112’：偏振的激发光
114：透镜
116：滤光元件
118：光检测器
120：平坦化层
122：第二基板
124：间隔物层
126：微流体通道
128：开口
130：分光元件
132：发射光
300：生物检测方法
302，304，306，308，310：步骤
400A，400B：生物样品
400AS：第一荧光信号
400BS：第二荧光信号
A-A’：剖线
具体实施方式
以下详述本发明实施例的生物芯片、生物检测系统及生物检测方法。为了说明的目的，以下详细叙述中阐述许多特定细节与实施例以完整理解本发明实施例。以下详细叙述中所述的特定元件与配置是用以清楚描述本发明实施例。然而，此述的例示性实施例显然仅是为了说明而使用，本发明实施例的概念可以各种形式呈现而并非局限于这些例示性实施例。
此外，为了清楚描述本发明实施例，不同实施例的图示可使用类似及/或相对应的数字，以表示类似及/或相对应的元件。然而，并不表示不同的实施例之间有任何关连。应能理解的是，此例示性实施例的叙述可配合图示一并理解，本发明实施例的图示亦被视为本发明实施例说明的一部分。图式并未以实际装置及元件的比例绘示。此外，结构及装置是以示意的方式绘示，以简化图示。
此外，当述及“一膜层位于另一膜层上方(overlying)”、“一膜层设置于另一模层之上(above)”、“一膜层设置于另一模层上(on)”、“一膜层设置于另一模层上方(over)”可指的是膜层与其他膜层直接接触的情形。或者，亦可能是膜层不与其他膜层直接接触的情形，在此情形中，膜层与其他膜层之间设置有一或更多中间层。
此外，此说明书中使用了相对性的用语。例如，“较低”、“底部”、“较高”或“顶部”，以描述一个元件对于另一元件的相对位置。应能理解的是，如果将装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“较低”侧的元件将会成为在“较高”侧的元件。
应能理解的是，虽然在此可使用用语“第一”、“第二”、“第三”等来叙述各种元件、组件、区域、膜层、及/或部分，这些元件、组件、区域、膜层、及/或部分不应被这些用语限定。这些用语仅是用来区别不同的元件、组件、区域、膜层、及/或部分。因此，以下讨论的第一元件、组件、区域、膜层、及/或部分可在不偏离本发明实施例的教示下被称为第二元件、组件、区域、膜层、及/或部分。
“约(about)”与“大抵(substantially)”的用语通常表示在一给定值或范围的10％之内，优选是5％之内，或3％之内，或2％之内，或1％之内，且更佳是0.5％之内。在此给定的数量为大约的数量，亦即在没有特定说明“约”或“大抵”的情况下，仍可隐含“约”或“大抵”的含义。
除非另外定义，在此使用的所有技术及科学用语具有与本发明所属技术领域中具有通常知识者所通常理解的相同涵义。应能理解的是，这些用语，例如在通常使用的字典中定义的用语，应被解读成具有与相关技术及本发明的背景或上下文一致的意思，而不应以理想化或过度正式的方式解读，除非在本发明实施例有特别定义。
根据本发明的一些实施例，生物芯片的偏光阵列可包括第一次偏光单元与第二次偏光单元，第一次偏光单元具有第一偏光角度且第二次偏光单元具有第二偏光角度。第一偏光角度与第二偏光角度不同。此外，根据本发明的一些实施例，生物检测系统可包括前偏光元件，前偏光元件为可旋转定向的(orientable by rotation)，以使得前偏光元件具有与第一偏光角度或第二偏光角度相同的偏光角度。以这样的配置搭配两步骤的检测方法，可减少相邻反应区荧光信号间的串扰，且可以较高的阵列密度制造生物芯片。
图1A至图1B是根据本发明的一些实施例的生物检测系统10A的剖面图。应能理解的是，根据本发明的一些实施例，可于生物检测系统10A增加额外的部件。
参照图1A，生物检测系统10A包括生物芯片100A。生物芯片100A包括第一基板102、偏光阵列104以及定义于样品隔离层106之间的多个反应区108。第一基板102可包括任何合适的材料。在一些实施例中，第一基板102可为可挠式材料，例如聚对苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate，PET)、聚醚砜(polyethersulfone，PES)、聚酰亚胺(polyimide，PI)、聚碳酸酯(polycarbonate，PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(polymethylmethacrylate，PMMA)、硅氧树脂(silicone)、环氧树脂(epoxy)或前述的组合。在其他实施例中，第一基板102可为刚性(rigid)材料，例如玻璃基板或蓝宝石基板。再者，第一基板102可为透明的或半透明的。具体而言，在第一基板102为透明的实施例中，第一基板102的材料对波长介于400nm至750nm之间的光可具有大于85％的光穿透率，或较佳具有大于92％的光穿透率。在第一基板102为半透明的实施例中，第一基板102的材料对波长介于400nm至750nm之间的光可具有大于25％且小于85％的光穿透率。
偏光阵列104设置于第一基板102上。在一些实施例中，偏光阵列104可包括第一次偏光单元104A与第二次偏光单元104B。第一次偏光单元104A具有第一偏光角度，且第二次偏光单元104B具有第二偏光角度。此述的用词“偏光角度”指的是以90°的角度变化偏振或以与偏光角度垂直的角度偏振的光无法穿过具有此偏光角度的次偏光单元。第一偏光角度与第二偏光角度的绝对值差异可大于0°且小于180°，例如为0°、45°、90°、135°或180°。在一些特定的实施例中，第一偏光角度与第二偏光角度的绝对值差异可为90°。虽然在图1A中，生物芯片100A的偏光阵列104是绘示为具有两种型态的次偏光单元，但本发明并非以此为限。在其他实施例中，偏光阵列104可还包括第三次偏光单元及甚至第四次偏光单元(未绘示)，第三次偏光单元与第四偏光单元各具有与第一次偏光单元104A及第二次偏光单元104B不同的偏光角度。
偏光阵列104可包括一层金属线光栅(grating)。偏光阵列104的材料可为不透明的材料，例如铝(Al)、金(Au)、银(Ag)、钛(Ti)、铌(Nb)或前述的组合。在一些实施例中，金属线光栅可具有约20nm至约300nm的薄膜厚度。在一些实施例中，金属线光栅可具有约20nm至约400nm的周期。在一些实施例中，金属线光栅可具有约0.2至约0.8的填充比(或占空比(duty cycle))。光栅脊(grating ridge)的方向性主要会影响偏振光的穿透百分比。例如，当偏振光与第一次偏光单元104A或第二次偏光单元104B平行、呈45°偏移或90°偏移时，穿过次偏光单元的穿透光强度分别是最大值、约50％或最小值。因此，当激发光为与次偏光单元呈90°偏移的偏振光时，反应区之下的次偏光单元将阻挡激发光穿过次偏光单元。
除了次偏光单元的偏光角度，阻挡效率的消光比(extinction ratio)也会受到金属线的薄膜厚度、光栅周期、光栅轮廓及填充比影响。Peng Li等人已于“Investigation ofachromatic micro polarizer array for polarization imaging in visible-infraredband.”Optik，vol 158，April 2018，pp.1427-1435”中模拟使用厚度为160nm、填充比为0.5及周期为150nm的铝线可达到104的消光比(相当于光学密度(optical density)为4)。在一些实施例中，对于生物感测应用，光照明系统具有大于3的光学密度可足以用于阻挡激发光。
反应区108设置于偏光阵列104上。反应区108可各对应至第一次偏光单元104A或第二次偏光单元104B其中之一。在一些实施例中，反应区108可形成为纳米孔(nanowell)或纳米图案(nanopattern)的形式。图1A中，反应区108是由样品隔离层106中的开口所定义。因此，反应区108的底表面可为偏光阵列104的顶表面。在其他实施例中，样品隔离层106可不具有如图1A中所示的开口。可通过修饰一部分的样品隔离层106表面而形成反应区108，使得修饰的部分可捕获预定的生物样品。例如，可修饰样品隔离层106表面上的一些官能基以捕获所欲的生物样品。
此外，可进一步修饰设置反应区108的样品隔离层106以增强生物样品的固定效果。例如，在一些实施例中，可使用自组装单层(self-assembly monolayer，SAM)、功能聚合物或水凝胶(hydrogel)来涂布或处理样品隔离层106以将生物样品固定于反应区108。在其他实施例中，可不修饰样品隔离层106。生物样品可根据其重量、尺寸、表面电荷或凡得瓦力(Van der Waals force)等而固定于反应区108。
可利用溅镀(sputtering)、蒸镀(evaporation)、旋转涂布(spin-coating)、化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)、分子束沉积(molecular beamdeposition)、任何其他合适的制程或前述的组合来形成样品隔离层106。例如，化学气相沉积可包括低压化学气相沉积(low-pressure CVD，LPCVD)、低温化学气相沉积(low-temperature CVD，LTCVD)、快速热化学气相沉积(rpaid thermal CVD，RTCVD)、等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced CVD，PECVD)、原子层沉积(atomic layer deposition，ALD)或前述的组合。
根据一些实施例，样品隔离层106的材料可为透明的、半透明的或不透明的。具体而言，在样品隔离层106为透明的实施例中，样品隔离层106的材料对波长介于400nm至750nm之间的光可具有大于85％的光穿透率，或较佳具有大于92％的光穿透率。在样品隔离层106为半透明的实施例中，样品隔离层106的材料对波长介于400nm至750nm之间的光可具有大于25％且小于85％的光穿透率。在样品隔离层106为不透明的实施例中，样品隔离层106的材料对波长介于400nm至750nm之间的光可具有小于10％的光穿透率，或优选具有小于5％的光穿透率。
样品隔离层106的材料可包括金属、金属合金、金属氧化物、金属氮化物、硅、氧化硅、氮化硅或前述的组合。在一些实施例中，金属、金属合金、金属氧化物与金属氮化物可包括，但不限于，银(Ag)、铝(Al)、金(Au)、铌(Nb)、钛(Ti)、钨(W)、前述的合金、氧化钛(例如，TiO2)、氧化钽(例如，Ta2O5)、氧化铝(例如，Al2O3)、氧化铌(例如，Nb2O5)、氮化钛、氮化钽或前述的组合。
再次参照图1A，生物检测系统10A还包括激发光源111。激发光源111可用以发出激发光112。在一些实施例中，激发光源111可包括多个次激发光源(未绘示)，且次激发光源可各发出具有单一激发光波长的激发光。在一些实施例中，次激发光源可轮流发出具有各种激发光波长的多个激发光。例如，具有不同激发光波长的次激发光源可依序发出激发光。或者，次激发光源可成组地发出激发光。在一些实施例中，激发光源111为单光仪(monochromator)，其连续发出从短波长到长波长(或从长波长到短波长)的光。例如，单光仪可发出波长介于约200nm至约1000nm的光。
参照图1A与图1B，生物检测系统10A还包括前偏光元件110。前偏光元件110可用以偏振从激发光源111发出的激发光112。因此，生物芯片100A可接收由前偏光元件110所偏振的激发光112。在一些实施例中，如图1A与图1B中所示，前偏光元件110可为可旋转定向的(orientable by rotation)，以使得前偏光元件110可具有与第一次偏光单元104A的第一偏光角度(如图1B中所示)或与第二次偏光单元104B的第二偏光角度(如图1A中所示)相同的偏光角度。例如，图1A中，转动前偏光元件110使其具有第二偏光角度，进而使偏振的激发光可穿过第二次偏光单元104B。图1B中，转动前偏光元件110使其具有第一偏光角度，进而使偏振的激发光可穿过第一次偏光单元104A。
再次参照图1A，生物检测系统10A可还包括透镜114与光检测器118。透镜114可为任何合适的光学透镜，在以偏振的激发光照射生物样品之后，透镜114可集中来自生物样品的发射光。光检测器118可用以检测发射光。光检测器118可为光电二极管或任何可将测量的光转换成电流信号的合适的光感测组件。在光检测器118为光电二极管的实施例中，光检测器118可连接至金属氧化物半导体(metal-oxide-semiconductor，MOS)晶体管的源极与漏极(未绘示)，其可将电流传送至的另一组件，例如另一金属氧化物半导体晶体管。另一组件可包括重置晶体管(reset transistor)、电流源极随耦器(current source follower)或列选择器(row selector)，以将电流转变为数位信号，但并非以此为限。
在一些实施例中，生物检测系统10A可还包括滤光元件116。例如，滤光元件116可为拒斥滤镜(rejection filter)，其可过滤激发光而不让激发光进入光检测器118。在一些实施例中，滤光元件116可设置于如图1A中所示的透镜114与光检测器118之间的光径上，但本发明并非以此为限。在其他实施例中，滤光元件116也可设置于生物芯片100A与透镜114之间的光径上。在一些实施例中，滤光元件116可包括吸收滤镜、干涉滤镜、等离子体子超表面(plasmonic metasurface)结构、介电超表面结构或前述的组合。
如以上所述，根据本发明的实施例，生物芯片的偏光阵列可包括第一次偏光单元与第二次偏光单元，第一次偏光单元具有第一偏光角度且第二次偏光单元具有第二偏光角度。第一偏光角度与第二偏光角度不同。此外，根据本发明的实施例，生物检测系统可包括前偏光元件，前偏光元件为可旋转定向的，以使其具有第一次偏光单元的第一偏光角度或第二次偏光单元的第二偏光角度。借此，生物检测系统可依序地检测对应至不同型态的次偏光单元的生物样品，且接着可结合荧光信号以获得完整及精确的分析结果。因此，在每张影像中，可减少相邻反应区之间的串扰，进而达到更好的空间解析度，且可以较高的阵列密度来制造生物芯片。
接着，参照图1C，图1C是根据本发明的其他实施例的生物检测系统10B的剖面图。图1C中的生物检测系统10B相似于图1A与图1B中的生物检测系统10A，但生物检测系统10B可包括生物芯片100B，生物芯片100B还包括设置于反应区108与偏光阵列104之间的平坦化层120。
平坦化层120可覆盖偏光阵列104面向样品隔离层106的表面，且可为样品隔离层106提供平坦的表面。此外，平坦化层120的一部分可通过反应区108而露出，反应区108是由样品隔离层106的开口所定义。
在一些实施例中，平坦化层120的材料可包括氧化硅(SiO2)、非晶硅(amorphoussilicon，a-Si)、氧化铝(Al2O3)、氧化铌(Nb2O5)、聚合物或前述的组合。例如，聚合物可包括苯并环丁烯(bisbenzocyclobutene，BCB)、聚酰亚胺(PI)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、环状烯烃聚合物(cyclic olefin copolymer，COP)、聚碳酸酯(PC)、另一合适的材料或前述的组合，但并非以此为限。根据一些实施例，平坦化层120可为透明的或半透明的。具体而言，在平坦化层120为透明的实施例中，平坦化层120的材料对波长介于400nm至750nm之间的光可具有大于85％的光穿透率，或较佳具有大于92％的光穿透率。在平坦化层120为半透明的实施例中，平坦化层120的材料对波长介于400nm至750nm之间的光可具有大于25％且小于85％的光穿透率。
参照图1D，图1D是根据本发明的其他实施例的生物芯片200的剖面图。上述实施例中的生物芯片100A为开放式(open chamber)生物芯片的范例，而图1D实施例中所示的生物芯片200为流通槽(flow cell)生物芯片的一范例。如图1D中所示，流通槽生物芯片200可包括生物芯片100A、第二基板122、间隔物层124与微流体通道(microfluidic channel)126，微流体通道126是定义于生物芯片100A的第一基板102与第二基板122之间。第二基板122可与生物芯片100A的第一基板102相对设置。第二基板122的材料可与上述第一基板102的材料相同或相似，于此不再重复说明。
间隔物层124设置于生物芯片100A的第一基板102与第二基板122之间。在一些实施例中，间隔物层124可包括粘着材料，例如环氧丙烯酸酯(epoxy acrylate，EA)、聚胺甲酸酯(polyurethane，PU)、聚醚丙烯酸酯(polyether acrylate)、聚酯聚丙烯酸酯(polyesteracrylate，PEA)或前述的组合。在一些实施例中，间隔物层124可还包括其他材料，例如氧化硅(SiO2)、非晶硅(a-Si)、聚合物或前述的组合。例如，聚合物可包括苯并环丁烯(BCB)、聚酰亚胺(PI)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、环状烯烃聚合物(COP)、聚碳酸酯(PC)、另一合适的材料或前述的组合，但并非以此为限。
根据本发明的其他实施例，第二基板122与间隔物层124可于相同制程中形成而使得第二基板122与间隔物层124整合成相同的结构。在第二基板122与间隔物层124整合成相同的结构的实施例中，可使用聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，PDMS)来形成第二基板122与间隔物层124。形成第二基板122与间隔物层124之后，可利用表面电弧(arc)处理或表面等离子体处理将第二基板122与间隔物层124附接至第一基板102。在一些实施例中，间隔物层124可具有介于约25μm至约1000μm之间的厚度，优选为约50μm至约500μm之间，更优选为约50μm至约200μm之间。
微流体通道126可定义于生物芯片100A的第一基板102与第二基板122之间。图1D中，反应区108可面向微流体通道126。开口128可形成穿过第二基板122并作为生物样品的入口与出口，但本发明并非以此为限。在其他实施例中，开口可不形成于第二基板122上。取而代之的，开口可形成于生物芯片100A所在的那侧上。详细而言，可于生物芯片100A上反应区108以外的区域形成开口(未绘示)。微流体通道126可将生物样品引导至反应区108，且生物样品可固定于反应区108。
接着，参照图1E，图1E是根据本发明的其他实施例的生物检测系统10C的剖面图。图1E中的生物检测系统10C相似于图1A与图1B中的生物检测系统10A，但生物检测系统10C使用反射式装置来将激发光引导至生物芯片100A。
如图1E中所示，生物检测系统10C可还包括作为反射式装置的分光元件130，分光元件130可将激发光引导至生物芯片100A。在一些实施例中，分光元件130可设置于透镜114与滤光元件116之间的光径上。根据本发明的一些实施例，分光元件130可包括分色滤镜(dichroic filter，例如干涉滤镜)，其对于小于580nm的短波长具有反射的特性且对于大于580nm的长波长具有穿透的特性。反射与穿透的截止波长可基于荧光分子的激发及发射特性而改变。由于偏振的激发光112’与来自生物样品的发射光132的光谱具有差异，分光元件130可使偏振的激发光112’反射至生物芯片100A，且可使发射光132穿透。根据一些其他的实施例，分光元件130可包括具有50/50分光比的分光镜(beam splitter)，但本发明并非以此为限。在更一些实施例中，分光元件130也可为具有50/50之外的分光比的分光镜，例如为60/40或70/30。在一些实施例中，分光镜可为立方(cube)分光镜、板式(plate)分光镜或薄膜(pellicle)分光镜。
图1E中，前偏光元件110设置于激发光源111与分光元件130之间的光径上，但本发明并非以此为限。在其他实施例中，前偏光元件110可设置于透镜114与生物芯片100A之间的光径上(未绘示)。
参照图2A与图2B，图2A与图2B是根据本发明的一些实施例的生物芯片100A的上视图。如图2A与图2B中所示，第一次偏光单元104A与第二次偏光单元104B可具有长方形或三角形的形状。在其他实施例中，第一次偏光单元104A与第二次偏光单元104B可具有六角形的形状(未绘示)。应注意的是，图1A与图1B的剖面图是沿着图2A或图2B中的剖线A-A’所截取。此外，为了简明起见，图2A与图2B中省略样品隔离层106。
如图2A或图2B中所示，至少一第一次偏光单元104A可直接邻近于第二次偏光单元104B，且至少一第一次偏光单元104A可经由第二次偏光单元104B与其他第一次偏光单元104A分隔。此述的用语“直接邻近于”指的是至少一第一次偏光单元104A可与第二次偏光单元104B共边。具有上述的配置，可减少对应至第一次偏光单元104A与第二次偏光单元104B的荧光信号之间的串扰，且因此可达到较高的荧光成像空间解析度。
本发明实施例还提供使用上述实施例中的生物检测系统的生物检测方法。参照图3与图4A至图4B，图3是根据本发明的一些实施例的生物检测方法300的流程图，且图4A至图4B是根据本发明的一些实施例，绘示出使用生物检测系统10A来检测生物样品400A与400B。生物检测方法300可包括以下步骤。生物检测方法300始于步骤302以提供包括于生物检测系统10A中的生物芯片100A。
接着，参照图3的步骤304及图4A，将生物样品400A与400B固定于反应区108。详细而言，将含有生物样品的适量溶液施于生物芯片100A。待含有生物样品的溶液干燥后，从反应区108之外的区域移除残留过多的生物样品，且生物样品可固定于各个反应区108。图4A中，生物样品400A指的是固定于对应第一次偏光单元104A的反应区108的生物样品，且生物样品400B指的是固定于对应第二次偏光单元104B的反应区108的生物样品。
在一些实施例中，生物样品400A与400B可包括生物分子、化学分子或前述的组合，但并非以此为限。在一些实施例中，分物分子可包括DNA、RNA、蛋白质或前述的组合，但并非以此为限。根据一些实施例，可分析生物样品400A与400B以判断基因序列、DNA-DNA杂交(hybridization)、单核苷酸多型性(single nucleotide polymorphisms，SNP)、蛋白质的交互作用、胜肽的交互作用、抗原抗体间的交互作用、葡萄糖监测或胆固醇监测等。
接着，参照图3的步骤306及图4A，进行第一检测步骤以获得生物样品400A所发出的第一荧光信号400AS，其中生物样品400A固定于对应至第一次偏光单元104A的反应区108。详细而言，转动前偏光元件110使其具有与第一次偏光单元104A的第一偏光角度相同的偏光角度。以穿过前偏光元件110与第一次偏光单元104A的偏振激发光112’照射生物样品400A。于此同时，生物样品400B不会被偏振激发光112’所照射，因为第二次偏光单元104B阻挡了偏振的激发光112’，且因此生物样品400B不会产生荧光信号，进而防止串扰。步骤306中，只有生物样品400A发出第一荧光信号400AS。可利用透镜114聚焦发散的第一荧光信号400AS以产生较大的信号强度，且接着光检测器118可检测到第一荧光信号400AS。
接着，参照图3的步骤308及图4B，进行第二检测步骤以获得生物样品400B所发出的第二荧光信号400BS，其中生物样品400B固定于对应至第二次偏光单元104B的反应区108。详细而言，转动前偏光元件110使其具有与第二次偏光单元104B的第二偏光角度相同的偏光角度。以穿过前偏光元件110与第二次偏光单元104B的偏振激发光112’照射生物样品400B。于此同时，生物样品400A不会被偏振激发光112’所照射，因为第一次偏光单元104A阻挡了偏振的激发光112’，且因此生物样品400A不会产生荧光信号，进而防止串扰。步骤308中，只有生物样品400B发出第二荧光信号400BS。可利用透镜114聚焦发散的第二荧光信号400BS以产生较大的信号强度，且接着光检测器118可检测到第二荧光信号400BS。
接着，参照图3的步骤310，结合第一荧光信号400AS与第二荧光信号400BS，以获得来自生物样品400A与400B完整的荧光信号，进而完成生物检测的过程。详细而言，可合并分别包括第一荧光信号400AS与第二荧光信号400BS的两个影像，并接着分析合并的影像以获得完整的荧光信号。或者，可分别分析包括第一荧光信号400AS的一张影像以及包括第二荧光信号400BS的一张影像，并接着结合两张影像的结果。可通过来自生物样品的荧光信号存在与否来分析上述的影像，或可通过荧光信号的荧光光谱以区分固定于反应区108的不同分子。虽然第一检测步骤与第二检测步骤的顺序如以上所述，应能理解的是，可在第一检测步骤的前进行第二检测步骤。
总结以上，根据本发明的一些实施例，生物芯片的偏光阵列可包括第一次偏光单元与第二次偏光单元，第一次偏光单元具有第一偏光角度且第二次偏光单元具有第二偏光角度。第一偏光角度与第二偏光角度不同。此外，根据本发明的一些实施例，生物检测系统可包括前偏光元件，前偏光元件为可旋转定向的，以使其具有与第一偏光角度或第二偏光角度相同的偏光角度。具有上述的配置搭配两步骤的检测方法，可减少相邻反应区的荧光信号之间的串扰，且可制造生物芯片使其具有较高的阵列密度。
虽然已详述本发明的一些实施例及其优点，应能理解的是，在不背离如本发明的保护范围所定义的发明的精神与范围下，可作各种更动、取代与润饰。例如，本发明所属技术领域中具有通常知识者应能轻易理解在不背离本发明的范围内可改变此述的许多部件、功能、制程与材料。再者，本申请的范围并不局限于说明书中所述的制程、机器、制造、物质组成、方法与步骤的特定实施例。本发明所属技术领域中具有通常知识者可从本发明轻易理解，现行或未来所发展出的制程、机器、制造、物质组成、方法或步骤，只要可以与此述的对应实施例实现大抵相同功能或达成大抵相同结果者皆可根据本发明实施例使用。因此，本发明的保护范围包括上述制程、机器、制造、物质组成、方法或步骤。

Claims (16)

1.一种生物芯片，包括：
一第一基板；
一偏光阵列，设置于该第一基板上，其中该偏光阵列包括多个第一次偏光单元与多个第二次偏光单元，所述第一次偏光单元具有一第一偏光角度，且所述第二次偏光单元具有一第二偏光角度，该第一偏光角度与该第二偏光角度不同；以及
多个反应区，设置于该偏光阵列上，其中所述反应区各对应至所述第一次偏光单元或所述第二次偏光单元其中之一。
2.如权利要求1所述的生物芯片，其中，所述反应区是形成为纳米孔或纳米图案的形式，且其中该第一基板为透明或半透明的。
3.如权利要求1所述的生物芯片，其中，该第一偏光角度与该第二偏光角度的绝对值差异为90°。
4.如权利要求1所述的生物芯片，其中，至少一第一次偏光单元直接邻近于所述第二次偏光单元，且该至少一第一次偏光单元经由所述第二次偏光单元与其他第一次偏光单元分隔。
5.如权利要求1所述的生物芯片，其中，所述第一次偏光单元与所述第二次偏光单元具有三角形、长方形或六角形的形状。
6.如权利要求1所述的生物芯片，还包括一平坦层，该平坦层设置于所述反应区与该偏光阵列之间。
7.如权利要求1所述的生物芯片，其中，所述反应区是经修饰以将一生物样品固定于所述反应区。
8.如权利要求1所述的生物芯片，还包括：
一第二基板，与该第一基板相对设置；
一间隔物层，设置于该第一基板与该第二基板之间；以及
一微流体通道，该微流体通道是定义于该第一基板与该第二基板之间，其中所述反应区面向该微流体通道，且其中该微流体通道是用以将一生物样品引导至所述反应区。
9.一种生物检测系统，包括：
一激发光源，用以发出一激发光；
一前偏光元件，用以偏振该激发光；
如权利要求1所述的生物芯片，用以接收该偏振的激发光；
一透镜，用以集中一发射光，该发射光是来自固定于该生物芯片的所述反应区的一生物样品；以及
一光检测器，用以检测该发射光。
10.如权利要求9所述的生物检测系统，其中，该前偏光元件为可旋转定向的，以使得该前偏光元件具有与该第一偏光角度或该第二偏光角度相同的一偏光角度。
11.如权利要求9所述的生物检测系统，还包括一滤光元件，该滤光元件是用于过滤进入该光检测器的该激发光。
12.如权利要求9所述的生物检测系统，其中，该激发光源包括多个次激发光源，且其中所述次激发光源各发出具有单一激发光波长的一激发光。
13.如权利要求9所述的生物检测系统，还包括一分光元件，该分光元件是用以将该激发光引导至该生物芯片，其中该分光元件包括一分色滤镜，该分色滤镜对短波长具有一反射的特性且对长波长具有一穿透的特性。
14.一种生物检测方法，包括：
提供如权利要求11所述的生物检测系统；
将生物样品固定于该生物芯片的所述反应区；
进行一第一检测步骤以获得一第一荧光信号，该第一荧光信号是来自固定于对应所述第一次偏光单元的所述反应区的所述生物样品；
进行一第二检测步骤以获得一第二荧光信号，该第二荧光信号是来自固定于对应所述第二次偏光单元的所述反应区的所述生物样品；以及
结合该第一荧光信号与该第二荧光信号。
15.如权利要求14所述的生物检测方法，其中，该第一检测步骤包括：
转动该前偏光元件，使得该前偏光元件具有与该第一偏光角度相同的一偏光角度；以及
以一激发光照射固定于对应所述第一次偏光单元的所述反应区的所述生物样品，其中该激发光穿过该前偏光元件与所述第一次偏光单元。
16.如权利要求14所述的生物检测方法，其中，该第二检测步骤包括：
转动该前偏光元件，使得该前偏光元件具有与该第二偏光角度相同的一偏光角度；以及
以一激发光照射固定于对应所述第二次偏光单元的所述反应区的所述生物样品，其中该激发光穿过该前偏光元件与所述第二次偏光单元。
CN202110012042.7A 2020-10-15 2021-01-06 生物芯片、生物检测系统及生物检测方法 Pending CN114371153A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US17/071,736 2020-10-15
US17/071,736 US20220120683A1 (en) 2020-10-15 2020-10-15 Bio-chip, bio-detection system and bio-detection method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114371153A true CN114371153A (zh) 2022-04-19

Family

ID=73694794

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110012042.7A Pending CN114371153A (zh) 2020-10-15 2021-01-06 生物芯片、生物检测系统及生物检测方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20220120683A1 (zh)
EP (1) EP3985418A1 (zh)
JP (1) JP7216127B2 (zh)
CN (1) CN114371153A (zh)
TW (1) TWI775256B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20230296521A1 (en) * 2022-03-17 2023-09-21 Visera Technologies Company Limited Bio-detection device, bio-detection system, and bio-detection method
US20240009664A1 (en) * 2022-07-06 2024-01-11 Visera Technologies Company Limited Bio-chip, bio-detection system and bio-detection method

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998013683A1 (en) * 1996-09-26 1998-04-02 Sarnoff Corporation Massively parallel detection
US20060012872A1 (en) * 2002-09-30 2006-01-19 Terutake Hayashi Confocal microscope, fluorescence measuring method and polarized light measuring method using cofocal microscope
WO2017184997A1 (en) * 2016-04-22 2017-10-26 Illumina, Inc. Photonic stucture-based devices and compositions for use in luminescent imaging of multiple sites within a pixel, and methods of using the same
CN110018139A (zh) * 2018-01-10 2019-07-16 台达电子国际（新加坡）私人有限公司 多色荧光检测装置
US20190383738A1 (en) * 2018-06-15 2019-12-19 Sharp Kabushiki Kaisha Fluorescence detection sensor

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5999316A (en) * 1997-12-06 1999-12-07 3M Innovative Properties Company Light valve with rotating polarizing element
US5936730A (en) * 1998-09-08 1999-08-10 Motorola, Inc. Bio-molecule analyzer with detector array and filter device
EP1972909A1 (en) * 2007-03-23 2008-09-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Luminescence sensor
JP5582515B2 (ja) * 2008-05-12 2014-09-03 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス板の製造方法及びガラス板の歪測定装置
EP2148187A1 (de) * 2008-07-25 2010-01-27 Roche Diagnostics GmbH Anregungs- und Abbildungsoptik für die Fluoreszenzdetektion
EP2820398B1 (en) * 2012-03-02 2018-10-24 The Regents of The University of California Apparatus for time-resolved fluorescence imaging and pulse shaping
CN112557301A (zh) * 2012-07-25 2021-03-26 赛拉诺斯知识产权有限责任公司 生物学样本的图像分析及测量
US11543407B2 (en) * 2014-05-01 2023-01-03 Arizona Board Of Regents On Behalf Of Arizona State University Flexible optical biosensor for point of use multi-pathogen detection
ES2875759T3 (es) * 2015-12-01 2021-11-11 Illumina Inc Sistema microfluídico digital para aislamiento de células individuales y caracterización de analitos
EP3182095B1 (en) * 2015-12-18 2019-10-09 STMicroelectronics (Research & Development) Limited Apparatus for use in luminescence applications
EP3857368A1 (en) * 2018-09-28 2021-08-04 Convida Wireless, Llc Advanced resource link binding management
CN111202497B (zh) * 2020-01-08 2022-08-30 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于微偏振片阵列的偏振成像皮肤病变检测方法和检测装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998013683A1 (en) * 1996-09-26 1998-04-02 Sarnoff Corporation Massively parallel detection
US20060012872A1 (en) * 2002-09-30 2006-01-19 Terutake Hayashi Confocal microscope, fluorescence measuring method and polarized light measuring method using cofocal microscope
WO2017184997A1 (en) * 2016-04-22 2017-10-26 Illumina, Inc. Photonic stucture-based devices and compositions for use in luminescent imaging of multiple sites within a pixel, and methods of using the same
CN110018139A (zh) * 2018-01-10 2019-07-16 台达电子国际（新加坡）私人有限公司 多色荧光检测装置
US20190383738A1 (en) * 2018-06-15 2019-12-19 Sharp Kabushiki Kaisha Fluorescence detection sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP7216127B2 (ja) 2023-01-31
TW202217270A (zh) 2022-05-01
JP2022065600A (ja) 2022-04-27
US20220120683A1 (en) 2022-04-21
EP3985418A1 (en) 2022-04-20
TWI775256B (zh) 2022-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11467089B2 (en) Arrays of integrated analytical devices
US9404797B2 (en) Plasmonic spectroscopic sensor and cuvette therefor
AU2008233214B2 (en) Calibration and normalization method for biosensors
US7756365B2 (en) Near ultraviolet-wavelength photonic-crystal biosensor with enhanced surface to bulk sensitivity ratio
US20090279093A1 (en) Integrated biosensing device having photo detector
TWI775256B (zh) 生物晶片、生物偵測系統及生物偵測方法
US20090284746A1 (en) Radiation detectors using evanescent field excitation
WO2018012436A1 (ja) 光学的検出装置及び光学的検出方法
WO2005106472A1 (ja) バイオチップの製造方法、バイオチップ、バイオチップ解析装置、バイオチップ解析方法
US11378444B2 (en) Biosensor and bio detection system
EP4246130A1 (en) Bio-detection device, bio-detection system, and bio-detection method
Lo et al. A compact imaging spectroscopic system for biomolecular detections on plasmonic chips
US20230067667A1 (en) Biosensor structure, biosensor system, and method for forming biosensor
WO2014178385A1 (ja) 標的物質捕捉装置及び標的物質検出装置
강인성 Development of Absorbance and Fluorescence Spectrometer for Micro-Volume Nucleic Acids of Bio-Samples Using Total Internal Reflection
JP2014215291A (ja) 標的物質捕捉装置及び標的物質検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination