CN114353497A - 一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，涉及表面干燥技术领域，包括进气分气板和喷头主体，进气分气板表面设置有卡套接头喷头主体底部固定安装有出气调节挡板，喷头主体的表面固定安装有抽气匀气板，进气分气板的分气流道与出气口垂直分布，进气分气板与喷头主体之间形成2ⁿ分气结构，抽气匀气板与喷头主体之间形成2ⁿ分气结构，具备了通过设置喷头进气分气结构，从总入口到喷头出口每根流道的阻力相同，可以保证出口速度均匀性，并设置匀气流场每根流道均通过2ⁿ结构，于水平方向分布流道，极大减少设备垂直方向浪费的空间，从而实现在较长截面的空间保证气体流速均匀性，提高设备镀膜质量的效果。

Description

一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置

技术领域

本发明涉及表面干燥技术领域，具体为一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置。

背景技术

在真空镀膜设备或太阳能行业设备中，制备薄膜普遍使用的量产设备中的喷头风速靠近总进气口位置风速高于两侧，会导致表面膜层厚度的不均匀，并且工艺所需要的流量和流速很难调节到合适的值，使得设备镀膜质量较差，针对上述问题，有必要提出进一步的解决方案。

发明内容

本发明的目的在于提供一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，具备了通过设置喷头进气分气结构，从总入口到喷头出口每根流道的阻力相同，可以保证出口速度均匀性，并设置匀气流场每根流道均通过2ⁿ结构，于水平方向分布流道，极大减少设备垂直方向浪费的空间，从而实现在较长截面的空间保证气体流速均匀性，提高设备镀膜质量的效果，解决了上述背景技术中所提出的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，包括进气分气板和喷头主体，所述进气分气板和所述喷头主体之间设置有密封垫，所述进气分气板表面设置有卡套接头，所述喷头主体表面设置有快拧接头，所述喷头主体底部固定安装有出气调节挡板，所述喷头主体的表面固定安装有抽气匀气板。

可选的，所述进气分气板的分气流道与出气口垂直分布，从而减小喷头体积。

可选的，所述进气分气板与所述喷头主体之间形成2ⁿ分气结构。

可选的，所述抽气匀气板与所述喷头主体之间形成2ⁿ分气结构，从而保证喷头下方气体被均匀抽走，在喷头下方出气口和抽气口之间形成均匀的气流层。

可选的，所述出气调节挡板可以通过腰形孔调整出气口的间隙，从而控制出气流速。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

一、本发明通过设置进气分气板的分气流道与出气口垂直，可以大幅减小喷头体积，进气分气板从总入口到喷头出口每根流道的阻力相同，可以保证出口速度均匀性。

二、本发明通过设置出气调节挡板，可以通过水平调节出口大小来改变目标流量下的出口流速，以满足特定工艺需求，提高了装置的实用性。

三、本发明通过设置抽气匀气板，抽气匀气板与喷头主体之间形成2ⁿ分气结构，可以保证喷头下方气体被均匀抽走，从而在喷头下方出气口和抽气口之间形成均匀的气流层，保证抽气口下方的压力在垂直于流速方向的一致性，从而避免抽气口中心位置流速过大的问题。

附图说明

图1为本发明结构的轴测图；

图2为本发明进气分气板结构的示意图；

图3为本发明出气调节挡板结构的示意图；

图4为本发明抽气匀气板结构的示意图。

图中：1、进气分气板；2、出气调节挡板；3、密封垫；4、卡套接头；5、喷头主体；6、快拧接头；7、抽气匀气板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一：

请参阅图1至图4，本实施例提供一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，包括进气分气板1和喷头主体5，进气分气板1和喷头主体5之间设置有密封垫3，进气分气板1表面设置有卡套接头4，喷头主体5表面设置有快拧接头6，喷头主体5底部固定安装有出气调节挡板2，喷头主体5的表面固定安装有抽气匀气板7，在使用时通过卡接套头4与外部设备连接，进气分气板1和喷头主体5之间用密封垫进行密封，提高密封性能，防止气体漏出，进气分气板1从总入口到喷头出口每根流道的阻力相同，可以保证出口速度均匀性。

进一步的，进气分气板1的分气流道与出气口垂直分布，从而减小喷头体积，在使用时能够极大减少设备垂直方向浪费的空间。

进一步的，进气分气板1与喷头主体5之间形成2ⁿ分气结构，在使用时通过进气分气板1与喷头主体5之间形成2ⁿ分气结构，可以保证在工艺进气流速下，出气均匀性明显优于传统喷头。

进一步的，抽气匀气板7与喷头主体5之间形成2ⁿ分气结构，从而保证喷头下方气体被均匀抽走，在喷头下方出气口和抽气口之间形成均匀的气流层。

在实施例一的基础上，另一实施例为：

出气调节挡板2可以通过腰形孔调整出气口的间隙，从而控制出气流速。

工作原理：该一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置在使用时，通过卡接套头4与外部设备连接，进气分气板1和喷头主体5之间用密封垫进行密封，提高密封性能，防止气体漏出，通过设置进气分气板1的分气流道与出气口垂直，可以大幅减小喷头体积，当气体从进气分气板1从总入口进入时，由于进气分气板1总入口到喷头出口每根流道的阻力相同，从而可以保证出口速度均匀性。

通过设置出气调节挡板2，在使用时可以通过水平调节出口大小来改变目标流量下的出口流速，以满足特定工艺需求，提高了装置的实用性。

通过设置抽气匀气板7，抽气匀气板7与喷头主体5之间形成2ⁿ分气结构，可以保证喷头下方气体被均匀抽走，从而在喷头下方出气口和抽气口之间形成均匀的气流层，保证抽气口下方的压力在垂直于流速方向的一致性，从而避免抽气口中心位置流速过大的问题，提高了装置使用时的稳定性，从而实现在较长截面的空间保证气体流速均匀性，提高了设备镀膜质量。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，包括进气分气板(1)和喷头主体(5)，其特征在于：所述进气分气板(1)和所述喷头主体(5)之间设置有密封垫(3)，所述进气分气板(1)表面设置有卡套接头(4)，所述喷头主体(5)表面设置有快拧接头(6)，所述喷头主体(5)底部固定安装有出气调节挡板(2)，所述喷头主体(5)的表面固定安装有抽气匀气板(7)。

2.根据权利要求1所述的气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，其特征在于：所述进气分气板(1)的分气流道与出气口垂直分布，从而减小喷头体积。

3.根据权利要求1或2所述的气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，其特征在于：所述进气分气板(1)与所述喷头主体(5)之间形成2ⁿ分气结构。

4.根据权利要求3所述的气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，其特征在于：所述抽气匀气板(7)与所述喷头主体(5)之间形成2ⁿ分气结构，从而保证喷头下方气体被均匀抽走，在喷头下方出气口和抽气口之间形成均匀的气流层。

5.根据权利要求1所述的气流均匀的风速可调式干燥喷头装置，其特征在于：所述出气调节挡板(2)可以通过腰形孔调整出气口的间隙，从而控制出气流速。

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