CN114334692A - 一种表面检测方法、设备以及存储介质 - Google Patents

Abstract

一种表面检测方法、设备以及存储介质，表面检测方法，包括：将背景图像调整至预设颜色，预设颜色包括至少一种颜色；调整待测物体的待测表面至预设角度，预设角度包括至少一个角度，预设角度反映待测表面与水平面的夹角；将背景图像确定为待测表面的成像背景，采集待测表面对应的检测图像，其中，检测图像包括背景图像的部分或全部在待测表面上反射形成的反射图像；根据检测图像，检测待测表面的预设特征。可见，采用上述表面检测方法，可以形成多种光谱、多种成像角度对应的检测图像，通过处理终端对多个检测图像进行缺陷检测，提高自动化程度、提升晶圆缺陷检出率以及提高检测的精确度以及一致性。

Description

一种表面检测方法、设备以及存储介质

技术领域

本发明涉及缺陷检测技术领域，具体涉及一种表面检测方法、设备以及存储介质。

背景技术

晶圆可加工制作成各种电路原件结构，而形成有特定电性功能的集成电路产品。一般晶圆的加工制作过程繁琐且复杂，若晶圆上存在缺陷将导致制备而成的集成电路产品失效，降低产品的良率，提高制作成本。不仅需对晶圆上的缺陷进行实时检测，以便及时去除缺陷或停止制备过程，还需要在来料端和出货端对整片晶圆进行宏观检测。宏观缺陷，一般指尺寸大于100微米的缺陷，可以通过人眼直接观察。

对晶圆进行宏观检测时，不仅需要对晶圆正面图形待测表面的缺陷进行宏观检测，还需对晶圆的背面以及边缘的缺陷进行宏观检测，来实现晶圆全面宏观检测的目的。

传统的宏观检测设备是通过人手动控制晶圆转动和肉眼察看晶圆正面、背面缺陷，手动标注缺陷并进行分类，缺陷检出效率较低。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是现有晶圆的待测表面的宏观缺陷检测的自动化程度较低的技术问题。

根据第一方面，一种实施例中提供一种表面检测方法，包括：

将背景图像调整至预设颜色，预设颜色包括至少一种颜色；

调整待测物体的待测表面至预设角度，预设角度包括至少一个角度，预设角度反映待测表面与水平面的夹角；

将背景图像确定为待测表面的成像背景，采集待测表面对应的检测图像，其中，检测图像包括背景图像的部分或全部在待测表面上反射形成的反射图像；

根据检测图像，检测待测表面的预设特征。

在一种可能的实现方式中，当背景图像的颜色为非黑色中的至少一种颜色时，预设角度包括至少两个角度，每一个预设角度对应至少一种颜色的背景图像；

采集待测表面对应的检测图像，包括：

根据背景图像的颜色，将待测表面调整至对应预设颜色的预设角度；或，根据预设角度，将背景图像调整至对应预设角度的预设颜色；

在非黑色的背景图像为待测表面的成像背景的情况下，采集待测物体对应的检测图像。

在一种可能的实现方式中，当背景图像的颜色为黑色时，预设角度包括至少一个角度；

采集待测表面对应的检测图像，包括：

将待测表面调整至预设角度；

在黑色的背景图像为待测表面的成像背景的情况下，采集待测物体对应的检测图像。

在一种可能的实现方式中，待测物体为晶圆，待测表面为晶圆的正面和/或背面，预设特征为晶圆的宏观缺陷，其中，宏观缺陷包括第一缺陷类别以及第二缺陷类别，第一缺陷类别包括色差、水印以及气泡中的至少一种，第二缺陷类别包括划痕以及工艺微粒中的至少一种；

在背景图像的颜色为非黑色中的至少一种颜色的情况下，方法用于检测第一缺陷类别；

在背景图像的颜色为黑色的情况下，方法用于检测第二缺陷类别。

在一种可能的实现方式中，预设角度为0°～90°，和/或，预设颜色包括黑色、白色、绿色、蓝色以及黄色中的至少一种。

在一种可能的实现方式中，多个相机环绕待测物体的周侧呈现阵列排布；其中，每个相机对应一个预设角度设置；

采集待测表面对应的检测图像包括：

控制待测表面按照预设顺序依次转动至每个相机对应的预设角度；

在待测表面转动至对应的预设角度的情况下，控制相机采集待测表面对应的检测图像，得到多个相机对应的多个检测图像；

根据检测图像，检测待测表面的预设特征，包括：

根据多个相机对应的多个检测图像，检测待测表面的预设特征。

在一种可能的实现方式中，多个相机环绕待测物体的周侧呈现阵列排布；

采集待测表面对应的检测图像包括：

控制待测表面按照预设顺序依次转动至每个相机对应的预设角度；

在待测表面转动至对应的预设角度的情况下，控制相机采集待测表面对应的子检测图像，得到多个相机对应的多个子检测图像；其中，每个子检测图像包括背景图像的部分或全部在待测表面的部分区域上反射形成的反射图像；

对多个子检测图像进行拼接处理，得到拼接后的检测图像；

根据检测图像，检测待测表面的预设特征，包括：

根据拼接后的检测图像，检测待测表面的预设特征。

在一种可能的实现方式中，多个相机环绕待测物体的周侧呈现阵列排布；

采集待测表面对应的检测图像包括：

控制待测表面按照预设顺序依次转动至每个相机对应的预设角度；

在待测表面转动至每个预设角度的情况下，控制多个相机同时采集待测表面对应的检测图像，得到每个预设角度对应的多个检测图像；

根据检测图像，检测待测表面的预设特征，包括：

根据每个预设角度对应的多个检测图像，检测待测表面的预设特征。

根据第二方面，一种实施例中提供一种表面检测设备，包括：

成像背景系统，用于提供预设颜色的背景图像，预设颜色包括至少一种颜色；背景图像为待测表面的成像背景；

面检相机系统，用于采集待测表面对应的检测图像；其中，检测图像包括背景图像的部分或全部在待测表面上反射形成的反射图像；

运动机构，用于调整待测物体的待测表面至预设角度，预设角度包括至少一个角度；

处理终端，用于将背景图像确定为待测表面的成像背景，根据检测图像，检测待测表面的预设特征。

根据第三方面，一种实施例中提供一种计算机可读存储介质，在一种可能的实现方式中，介质上存储有程序，程序能够被处理器执行以实现如第一方面以及第一方面任一种可能的实现方式中所描述的方法。

依据上述实施例的表面检测方法、设备以及存储介质，表面检测方法，包括：将背景图像调整至预设颜色，预设颜色包括至少一种颜色；调整待测物体的待测表面至预设角度，预设角度包括至少一个角度，预设角度反映待测表面与水平面的夹角；将背景图像确定为待测表面的成像背景，采集待测表面对应的检测图像，其中，检测图像包括背景图像的部分或全部在待测表面上反射形成的反射图像；根据检测图像，检测待测表面的预设特征。可见，采用上述表面检测方法，可以形成多种光谱、多种成像角度对应的检测图像，通过处理终端对多个检测图像进行缺陷检测，提高自动化程度、提升晶圆缺陷检出率以及提高检测的精确度以及一致性。

附图说明

图1为一种实施例提供的表面检测设备的结构示意图；

图2与图3为一种实施例提供的表面检测设备的示意图；

图4为一种实施例提供的表面检测方法的流程图；

图5至图9为一种实施例提供的检测图像的示意图。

附图标记：1-成像背景系统；2-面检相机系统；3-运动机构；4-处理终端；10-待测物体；11-多光谱面光源；12-黑色背景组件；21-面检相机。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

晶圆在生产以及各个工艺步骤运输过程中，均会存在产生宏观缺陷的可能性，晶圆的宏观缺陷一般包括待测表面缺陷(包括正面和背面)以及边缘缺陷。常见的待测表面缺陷有色差、水印、气泡、划痕以及工艺微粒等，边缘缺陷一般为崩边。上述宏观缺陷，现有的检测方式为人工肉眼检测以及分类，这就容易出现检测精确率低、个人标准不一的问题，导致检测质量低，自动化程度低等问题。

在本申请中，针对晶圆宏观缺陷的自动检测，提出一种针对待测表面缺陷检测的表面检测方法以及表面检测设备。现有的神经网络技术，在图像识别方面已经较为成熟，例如是采用模板匹配等方式，可以将晶圆图像与预设缺陷的模板图像进行匹配，以获得晶圆图像中的缺陷的类型以及对应类型的数量。因此本申请主要着重于从缺陷图像的获取方面进行改进。

实施例一：

请参考图1，本实施例中提供一种表面检测设备，包括成像背景系统1、面检相机系统2、运动机构3以及处理终端4。

其中，成像背景系统1用于提供预设颜色的背景图像，背景图像为待测表面的成像背景，预设颜色包括至少一种颜色，背景图像理论上为纯色的图像。其中，其中背景图像可以是发光的图像，如面光源；也可以是不发光的图像，如磨砂黑板。

面检相机系统2用于采集待测表面对应的检测图像；其中，检测图像包括可以背景图像的部分或全部在所述待测表面上反射形成的反射图像；背景图像反馈形成的反射图像一般需要完全覆盖待测物体10的待测表面，使得背景图像经待测表面反射的检测图像中，待测表面对应的区域整体呈现一个颜色；在不能完全覆盖待测表面的时候，需要获取多个子检测图像，进行拼接处理，得到拼接后的检测图像。

运动机构3用于调整待测物体10的待测表面至预设角度，预设角度包括至少一个角度。运动机构3可以包括多轴转动以及夹持的功能，将待测表面转动至任一需要的角度。当待测物体10为晶圆时，晶圆的正面与背面均需要进行检测。此时，运动机构3可以通过夹持组件等将晶圆夹持固定，将晶圆180°翻转，将待测表面从正面切换至背面。其中，预设角度为晶圆的正面或背面朝上时与水平面的夹角。

处理终端4用于将背景图像确定为待测表面的成像背景，根据检测图像，检测待测表面的预设特征。在本实施例中，在无特殊说明下，待测物体10为晶圆，待测表面可以包括晶圆的正面与背面，预设特征为晶圆表面的宏观缺陷。例如，处理终端4用于根据面检相机系统2获取的晶圆的正面以及背面的检测图像，检测图像中的宏观缺陷。处理终端4可以采用现有的任一种检测算法进行检测，在实施例中，并不限制具体的检测算法。处理终端4可以是采用计算机来实现，计算机的显示器可以即时显示当前面检相机21采集到的检测图像，作业人员可以控制成像背景系统1，观察不同颜色的背景图像的反射效果，可以手动选择合适背景图像。

当待测物体10的待测表面为镜面或类镜面时，若面检相机21设置在待测表面的上方，面检相机21会采集到面检相机21自身的反射图像，对缺陷检测形成干扰，因此，在检测待测表面时，一般面检相机21与待测物体10的待测表面的法线形成一定夹角。通过获取成像背景系统1经待测表面反射的检测图像，以进行缺陷检测。

结合实际应用，待测物体10的待测表面的不同类型的宏观缺陷，在不同的光线下和/或不同的角度下，均会对应形成明显程度不同的图像。例如，如水印等缺陷，晶圆的表面在白色的光源下照射下更容易被观察，又例如，如划痕等缺陷，需要在磨砂黑板的反射下更容易观察。因此，检测不同类型的宏观缺陷时，并不能只采用一个角度以及一个颜色的背景图像，或者单一种颜色的背景图像形成的检测图像。只采用一个检测图像，各类缺陷并不完全被拍摄清楚或完整，导致检测准确率不高，检出率不高。

在本实施例中，面检相机系统2可以包括至少一个面检相机21(或简称为相机)，每一个面检相机21对应一个预设角度设置。

例如，如图2所示，面检相机系统2可以包括四个面检相机21，对应非黑色的背景图像可以包括四种颜色，每个面检相机21对应设在一个固定的角度，运动机构3以及将待测物体10的待测表面转动到预设角度，随后成像背景系统1提供预设颜色的背景图像，每个面检相机21对应获取到明显性较高的缺陷的图像。由此可以实现多相机多光谱(多颜色)以及多角度的宏观缺陷(预设特征)检测，以提高宏观缺陷检测的检测精确度。

上述四个边检相机21，可以同时对待测表面进行图像采集，也就是说，同一个预设角度下，同一个背景图像下，待测表面可以对应有四个检测图像。

或者，面检相机系统2可以包括面检相机21以及面检相机21运动系统，面检相机21运动系统用于将面检相机21运动至多个预设拍摄位置，每一个预设拍摄位置对应一个预设角度。

例如，面检相机21运动系统可以驱动面检相机21以待测物体10的中心点进行圆周运动，可以在-90°～90°的范围内驱动面检相机21至任一拍摄位置，在需要检测一种预设类型的缺陷或对应一种预设颜色的背景图像时，驱动面检相机21运动至对应的预设拍摄位置。

对应不同的待测物体10的不同类型的宏观缺陷，可以通过试验来调整面检相机21的光轴角度，以及调整待测物体10的待测表面的角度，可以通过显示器显示面检相机21实时获取的图像，以确定对应一种类型的缺陷最合适颜色的背景图像以及一个最合适的成像角度。在批量测试时，在对应的预设角度获取对应的缺陷类型的图像。

如图2与图3所示，在实际应用中，成像背景系统1可以包括多光谱面光源11，或可以包括多光谱面光源11以及黑色背景组件12，其中，多光谱面光源11用于提供非黑色的背景图像；黑色背景组件12用于提供黑色的背景图像，多光谱面光源11还用于提供环境光源。例如是利用磨砂黑板作为黑色背景组件12，此时就需要多光谱面光源11提供环境光。

实施例二：

在本实施例中，以表面检测设备的面检相机系统2包括多个面检相机21，对应背景图像包括多种颜色为例进行说明，其中，成像背景系统1提供固定位置的背景图像，每个面检相机21的光轴为固定的状态，仅采用运动机构3将待测物体10的待测表面进行转动，以使得面检相机21能获取在背景图像确定为待测表面的情况下，采集待测表面对应的检测图像。

下面就表面检测设备进行表面检测方法的具体过程进行阐述，如图4所示，包括如下步骤：

步骤1：将背景图像调整至预设颜色，预设颜色可以包括至少一种颜色。处理终端4对应设置表面检测设备预设的参数，例如，对应一个面检相机21预设至少一种颜色的背景图像；又例如，对应下一个需要进行拍摄的面检相机21，对应将背景图像调整至该面检相机21对应的预设颜色。例如，将背景图像设置为白色，对应多光谱面光源11进行白光照明。

应理解，在一个面检相机21对应多种颜色的背景图像时，可以是面检相机21每获取完一张图像后，切换另一种颜色的背景图像，也可以是，每一种颜色的背景图像，切换多个面检相机21进行拍摄。

步骤2：调整待测物体10的待测表面至预设角度，预设角度可以包括至少一个角度，预设角度反映待测表面与水平面的夹角。

具体地，待测物体10的待测表面的角度，以实现背景图像完全覆盖在待测表面为准。每一个预设角度与面检相机21设置的位置相关，每一个确定的面检相机21位置，可以对应确定一个预设角度。

如图2所示，当晶圆水平设置时，如图中的实线光路所示，顺时针的第一个面检相机21获取此时晶圆角度的图像，此时可以切换背景图像的颜色，调整至下一个预设颜色的背景图像。

第一个面检相机21完成拍摄后，运动机构3驱动晶圆顺时针转动，以此转动至各个面检相机21对应的预设角度。如图2中的虚线光路所示，最后转动到顺时针的第四个面检相机21对一个的预设角度，随后采集晶圆的检测图像。

步骤3：将背景图像确定为待测表面的成像背景，采集待测表面对应的检测图像。

如图5所示，在确定待测物体10的待测表面调整至当前面检相机21对应的预设角度后，可以控制面检相机21进行图像获取，控制成像背景系统1调整背景图像的颜色。通过上述步骤，可以获取多个预设角度的对应的检测图像，以及多种颜色的背景图像对应的检测图像，利用多角度凸显不同类型的缺陷，以及利用多光谱(颜色)凸显不同类型的缺陷。如图5所示的检测图像，为背景图像完全覆盖待测表面的情况对应的一个检测图像；其中，阴影代表背景图像的颜色。

为了减低环境光源的干扰，进行晶圆的待测表面检测时，表面检测设备的机架可以设置为密封的状态，内部黑暗无光，仅利用成像背景系统1提供环境光。当背景图像为非黑色时，多光谱面光源11提供背景图像的同时，还可以实现提供环境光源的效果。当背景图像为黑色时，利用黑色背景组件12提供黑色的背景图像，利用多光谱面光源11提供环境光。

同时，面检相机21的拍摄范围控制在稍大于晶圆的待测表面，可以搭配相应的镜头进行拍摄。

更进一步地，待测物体10为晶圆，待测表面为晶圆的正面和/或背面，预设特征为晶圆的宏观缺陷。根据实际应用的总结，宏观缺陷一般包括色差、水印、气泡、划痕以及工艺微粒等类型，不同类型的缺陷，在不同颜色的背景图像的反射下，显示出来的明显程度并不相同。依据显示的效果，在本实施例中，宏观缺陷可以包括第一缺陷类别以及第二缺陷类别，第一缺陷类别包括色差、水印以及气泡中的至少一种，第二缺陷类别包括划痕以及工艺微粒中的至少一种。也就是说，每个缺陷类别可以包含多个缺陷类型。

当检测第一缺陷类别时，背景图像的颜色对应为非黑色中的至少一种颜色；当检测第二缺陷类别时，当背景图像的颜色对应为黑色。也就是说，处理终端4可以根据这两个缺陷类别，控制成像背景系统1进行背景图像颜色的调整，同时，针对对应缺陷类别的检测图像，也可以只进行该类别的缺陷检测与分类，减少检测的运算量。

因此，上述步骤3可以根据背景图像为非黑色或黑色进行两种情况的区分。

例如，当背景图像的颜色为非黑色中的至少一种颜色时，预设角度包括至少两个角度，每一个预设角度对应至少一种颜色的背景图像。同一颜色(非黑色)的背景图像在不同角度下对应的检测图像的成像效果也是不同的，所以，至少进行两个预设角度的图像拍摄，提高缺陷的检出率。

此时步骤3可以包括：

步骤31：根据背景图像的颜色，将待测表面调整至对应预设颜色的预设角度；或，根据预设角度，将背景图像调整至对应预设角度的预设颜色，例如是白色。

例如，处理终端4根据下一个需要显示的背景图像的颜色，控制运动机构3调整待测表面的角度，或者，在下一个需要调整的预设角度，控制成像背景系统1将调整至预设颜色。

步骤32：在非黑色的背景图像为待测表面的成像背景的情况下，采集待测表面对应的检测图像。此时获得效果示意图可以参见图6所示。

又例如，当背景图像的颜色为黑色时，黑色的背景图像在不同角度下对应的检测图像的成像效果基本一致，因此，当背景图像的颜色为黑色时，预设角度包括至少一个角度。

此时步骤3可以包括：

步骤33：将待测表面调整至预设角度。预设角度可以为一个。

步骤34：在黑色的背景图像为待测表面的成像背景的情况下，采集待测物表面对应的检测图像。此时获得效果示意图可以参见图7所示。

步骤4：根据检测图像，检测待测表面的预设特征。处理终端4可以采用现有任一种检测算法进行预设特征的检测，当待测物体10为晶圆时，预设特征为晶圆的宏观缺陷。处理终端4还可以利用模板匹配等算法识别出缺陷的类别及类型，将检测到的缺陷进行分类。

在步骤4中，处理终端4还可以根据检测图像对应的缺陷类别及类型，进行对应的缺陷检测以及分类。

实施例三：

上述实施例二的步骤3、步骤33以及步骤34中，采集待测物表面对应的检测图像中，检测图像与待测物体的对应关系有很多种，例如，一个背景图像、一个预设角度与一个相机对应，或者是一个背景图像、一个预设角度与多个相机对应。步骤31至步骤34针对背景图像颜色进行分别详细说明。

以下针对多个相机如何对待测表面进行图像获取进行展开描述，其中多个相机环绕待测物体的周侧呈现阵列排布。

场景一：每个相机对应一个预设角度设置；相机对应预设角度设置，使得相机的光轴尽量与待测表面垂直，待测表面能被相机完成拍摄，且图像尽量接近于正视图。

此时，上述步骤3、步骤33或步骤34可以包括：

步骤35：控制待测表面按照预设顺序依次转动至每个相机对应的预设角度。一般是按照顺时针或逆时针进行转动，也可以按照特定的顺序进行转动。

步骤36：在待测表面转动至对应的预设角度的情况下，控制相机采集待测表面对应的检测图像，得到多个相机对应的多个检测图像。

如图8所示，此时，对应一个预设角度，由一个相机对待测表面进行图像获取，可以是一种或多种颜色的背景图像作为成像背景的情况下进行获取。每个相机各自在对应的预设角度下获取待测表面对应的检测图像。一个相机在对应的预设角度，可以是获取到一个或多个背景图像对应的检测图像。其中，图8中的B区域所示的检测图像可以表示为同一相机在同一预设角度下获取的检测图像，对应四种颜色(以阴影表示颜色)的背景图像作为成像背景的检测图像。

图8中的B区域所示的检测图像也可以表示为不同相机在对应的预设角度下，获取对应预设颜色的背景图像的检测图像，也就是说，一个相机对应一种颜色的背景图像，各自在对应的预设角度进行图像获取。

此时，上述步骤4可以包括：

根据多个相机对应的多个检测图像，检测待测表面的预设特征。

场景二：如图9所示，受限于成像背景系统的大小，可能存在背景图像反射形成反射图像不能完全覆盖待测表面的情况，此时可以通过多个相机进行获取多个子检测图像，拼接形成背景图像完全覆盖待测表面的检测图像。具体可以采用现有的任一种可能的拼接算法来实现。

此时，上述步骤3、步骤33或步骤34可以包括：

步骤37：控制待测表面按照预设顺序依次转动至每个相机对应的预设角度。

步骤38：在待测表面转动至对应的预设角度的情况下，控制相机采集待测表面对应的子检测图像，得到多个相机对应的多个子检测图像；其中，每个子检测图像包括背景图像的部分或全部在待测表面的部分区域上反射形成的反射图像。

如图9所示，此时，在一种颜色的背景图像下，通过多个预设角度以及对应的相机进行图像采集，得到与该颜色的背景图像相关的多个子检测图像。图9中的每一个子检测图像由对应的一个相机在各自对应的预设角度采集形成。

随后对多个子检测图像进行拼接处理，得到与该颜色的背景图像相关的拼接后的检测图像。

此时上述步骤4可以包括：

根据拼接后的检测图像，检测待测表面的预设特征。

场景三：多个相机可以在对应每一个预设角度的情况下同时进行检测图像的采集。

此时，上述步骤3、步骤33或步骤34可以包括：

步骤39：控制待测表面按照预设顺序依次转动至每个相机对应的预设角度。

步骤40：在待测表面转动至每个预设角度的情况下，控制多个相机同时采集待测表面对应的检测图像，得到每个预设角度对应的多个检测图像。

如图8所示，此时，对应每一个预设角度以及每一种背景图像，多个相机同时对待测表面进行图像获取，形成对应的多个检测图像。图8中的A区域所示的检测图像可以表示为同多个相机在同一背景图像同一预设角度下同时获取的检测图像。

此时上述步骤4可以包括：

根据每个预设角度对应的多个检测图像，检测待测表面的预设特征。

在本实施例中，预设角度可以为0°～90°，四个面检相机21可以是对应均布在运动机构3的外周。上述预设颜色可以包括黑色、白色、绿色、蓝色以及黄色中的至少一种。

本实施例中阐述的三种场景，并不是局限面检相机系统获取检测图像的具体方式，本申请的重点在于，利用多成像角度(对应多种预设角度)、多光谱(多种颜色的背景图像)以及多相机的方式获取到多个检测图像，相机、光谱以及成像角度三者之间可以进行多种组合，以使得不同的缺陷均能被相机采集到，以保证缺陷的检出率以及精确率。

本实施例与实施例一虽然以晶圆为待测物体10作为例子进行说明，但是本申请提供的表面检测方法以及表面检测装置可以应用于其他适用的待测物体10中，如玻璃、金属板等需要进行表面缺陷检测的待测物体10。

本领域技术人员可以理解，上述实施方式中各种方法的全部或部分功能可以通过硬件的方式实现，也可以通过计算机程序的方式实现。当上述实施方式中全部或部分功能通过计算机程序的方式实现时，该程序可以存储于一计算机可读存储介质中，存储介质可以包括：只读存储器、随机存储器、磁盘、光盘、硬盘等，通过计算机执行该程序以实现上述功能。例如，将程序存储在设备的存储器中，当通过处理器执行存储器中程序，即可实现上述全部或部分功能。另外，当上述实施方式中全部或部分功能通过计算机程序的方式实现时，该程序也可以存储在服务器、另一计算机、磁盘、光盘、闪存盘或移动硬盘等存储介质中，通过下载或复制保存到本地设备的存储器中，或对本地设备的系统进行版本更新，当通过处理器执行存储器中的程序时，即可实现上述实施方式中全部或部分功能。

以上应用了具体个例对本发明进行阐述，只是用于帮助理解本发明，并不用以限制本发明。对于本发明所属技术领域的技术人员，依据本发明的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种表面检测方法，其特征在于，包括：

将背景图像调整至预设颜色，所述预设颜色包括至少一种颜色；

调整待测物体的待测表面至预设角度，所述预设角度包括至少一个角度，所述预设角度反映所述待测表面与水平面的夹角；

将所述背景图像确定为所述待测表面的成像背景，采集所述待测表面对应的检测图像，其中，所述检测图像包括所述背景图像的部分或全部在所述待测表面上反射形成的反射图像；

根据所述检测图像，检测所述待测表面的预设特征。

2.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，当所述背景图像的颜色为非黑色中的至少一种颜色时，所述预设角度包括至少两个角度，每一个所述预设角度对应至少一种颜色的所述背景图像；

所述采集所述待测表面对应的检测图像，包括：

根据所述背景图像的颜色，将所述待测表面调整至对应所述预设颜色的所述预设角度；或，根据所述预设角度，将所述背景图像调整至对应所述预设角度的所述预设颜色；

在非黑色的所述背景图像为所述待测表面的成像背景的情况下，采集所述待测表面对应的检测图像。

3.如权利要求1或2所述的表面检测方法，其特征在于，当所述背景图像的颜色为黑色时，所述预设角度包括至少一个角度；

所述采集所述待测表面对应的检测图像，包括：

将所述待测表面调整至所述预设角度；

在黑色的所述背景图像为所述待测表面的成像背景的情况下，采集所述待测表面对应的检测图像。

4.如权利要求3所述的表面检测方法，其特征在于，所述待测物体为晶圆，所述待测表面为晶圆的正面和/或背面，所述预设特征为晶圆的宏观缺陷，其中，所述宏观缺陷包括第一缺陷类别以及第二缺陷类别，所述第一缺陷类别包括色差、水印以及气泡中的至少一种，所述第二缺陷类别包括划痕以及工艺微粒中的至少一种；

在所述背景图像的颜色为非黑色中的至少一种颜色的情况下，所述方法用于检测所述第一缺陷类别；

在所述背景图像的颜色为黑色的情况下，所述方法用于检测所述第二缺陷类别。

5.如权利要求4所述的表面检测方法，其特征在于，所述预设角度为0°～90°，和/或，所述预设颜色包括黑色、白色、绿色、蓝色以及黄色中的至少一种。

6.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，多个相机环绕待测物体的周侧呈现阵列排布；其中，每个所述相机对应一个所述预设角度设置；

所述采集所述待测表面对应的检测图像包括：

控制所述待测表面按照预设顺序依次转动至每个所述相机对应的所述预设角度；

在所述待测表面转动至对应的所述预设角度的情况下，控制所述相机采集所述待测表面对应的检测图像，得到所述多个相机对应的多个检测图像；

所述根据所述检测图像，检测所述待测表面的预设特征，包括：

根据所述多个相机对应的多个检测图像，检测所述待测表面的预设特征。

7.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，多个相机环绕待测物体的周侧呈现阵列排布；

所述采集所述待测表面对应的检测图像包括：

控制所述待测表面按照预设顺序依次转动至每个所述相机对应的所述预设角度；

在所述待测表面转动至对应的所述预设角度的情况下，控制所述相机采集所述待测表面对应的子检测图像，得到所述多个相机对应的多个所述子检测图像；其中，每个所述子检测图像包括所述背景图像的部分或全部在所述待测表面的部分区域上反射形成的反射图像；

对多个所述子检测图像进行拼接处理，得到拼接后的检测图像；

所述根据所述检测图像，检测所述待测表面的预设特征，包括：

根据拼接后的检测图像，检测所述待测表面的预设特征。

8.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，多个相机环绕待测物体的周侧呈现阵列排布；

所述采集所述待测表面对应的检测图像包括：

控制所述待测表面按照预设顺序依次转动至每个所述相机对应的所述预设角度；

在所述待测表面转动至每个所述预设角度的情况下，控制所述多个相机同时采集所述待测表面对应的检测图像，得到每个所述预设角度对应的多个所述检测图像；

所述根据所述检测图像，检测所述待测表面的预设特征，包括：

根据每个所述预设角度对应的多个所述检测图像，检测所述待测表面的预设特征。

9.一种表面检测设备，其特征在于，包括：

成像背景系统，用于提供预设颜色的背景图像，所述预设颜色包括至少一种颜色；所述背景图像为待测表面的成像背景；

面检相机系统，用于采集所述待测表面对应的检测图像；其中，所述检测图像包括所述背景图像的部分或全部在所述待测表面上反射形成的反射图像；

运动机构，用于调整所述待测物体的待测表面至预设角度，所述预设角度包括至少一个角度；

处理终端，用于将所述背景图像确定为所述待测表面的成像背景，根据所述检测图像，检测所述待测表面的预设特征。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述介质上存储有程序，所述程序能够被处理器执行以实现如权利要求1-8中任一项所述的方法。

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