CN114326200B - 彩膜基板制备装置、制备方法及彩膜基板 - Google Patents
彩膜基板制备装置、制备方法及彩膜基板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114326200B CN114326200B CN202111682505.7A CN202111682505A CN114326200B CN 114326200 B CN114326200 B CN 114326200B CN 202111682505 A CN202111682505 A CN 202111682505A CN 114326200 B CN114326200 B CN 114326200B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- color
- substrate
- electric field
- spray
- resistance layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 215
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 129
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 121
- 230000009471 action Effects 0.000 claims abstract description 74
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 65
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 57
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 34
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000009718 spray deposition Methods 0.000 claims description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 70
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 8
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 3
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 3
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 3
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 3
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007590 electrostatic spraying Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000000520 microinjection Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002572 peristaltic effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
本申请公开了一种彩膜基板制备装置,彩膜基板制备装置包括喷雾生成机构和镀膜机构,待镀基板安装于镀膜机构上,喷雾生成机构包括溶液容置箱、第一导电板、多个喷雾装置以及高压发生器,镀膜机构包括固定件和第二导电板。溶液容置箱内的目标溶液在多个喷雾装置上形成目标液滴,高压发生器在第一导电板和第二导电板之间形成电场,并给目标液滴带上电荷,目标液滴在电场的作用下形成目标喷雾,目标喷雾在电场的作用下定向偏转并移动到待镀基板上形成目标层。本申请还公开了一种彩膜基板制备方法。因此,彩膜基板制备装置和方法具有流程简单、制作方便、成本低和生产效率高等优点。本申请还公开了一种由上述彩膜基板制备装置或方法形成的彩膜基板。
Description
技术领域
本申请涉及液晶显示制备技术领域,尤其涉及一种彩膜基板制备装置、制备方法及彩膜基板。
背景技术
液晶显示器以功耗低、机身薄、无辐射、画面柔和等优点被广泛地应用在各个显示领域。液晶显示器通常包括提供光源的背光模组和显示面板,显示面板主要由显示色彩的彩膜基板、控制电信号的阵列基板、夹于彩膜基板与阵列基板之间的液晶组成。
目前,彩膜基板的制备主要是通过光刻工艺在衬底基板上依次形成遮光图案层和色阻层。光刻工艺的原理为:负性光刻胶被紫外光照射的部分发生交联反应,增强了与衬底基板之间的粘附力且在显影时不与显影液反应而被保留,而未被紫外光照射的负性光刻胶溶解于显影液,从而在衬底基板上形成对应形状的遮光图案层和色阻层。虽然现有的光刻技术比较成熟,但是目前的光刻工艺路线复杂、过程管控参数较多,导致所使用的光刻胶材料和光刻设备的价格昂贵使得制备彩膜基板的成本居高不下。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足,本申请提供一种彩膜基板制备装置、制备方法以及彩膜基板,其解决了现有技术中存在的彩膜基板制作成本高的问题。
为解决上述问题,本申请提供了一种彩膜基板制备装置,所述彩膜基板制备装置包括喷雾生成机构和镀膜机构,待镀基板安装于所述镀膜机构上。所述喷雾生成机构包括溶液容置箱、高压发生器、与所述高压发生器电性连接的第一导电板以及多个喷雾装置,所述溶液容置箱内容置有目标溶液,所述第一导电板位于所述溶液容置箱面对所述镀膜机构的一侧,每个所述喷雾装置与所述第一导电板电性连接,每个所述喷雾装置穿过所述第一导电板与所述溶液容置箱连通,所述目标溶液在所述喷雾装置面对所述待镀基板的一端形成目标液滴。所述镀膜机构包括固定件以及与所述高压发生器电性连接的第二导电板,多个所述待镀基板通过所述固定件固定至所述第二导电板上,并与所述喷雾装置相对应,所述高压发生器用于为所述第一导电板和所述第二导电板供电,所述第一导电板和所述第二导电板之间形成电场,所述喷雾装置上的所述目标液滴在电场的作用下生成目标喷雾,所述目标喷雾用于在所述待镀基板上形成相应的目标层。
在示例性实施方式中,所述喷雾生成机构还包括第一绝缘支座、第一推进器、推进器控制器以及供液装置,所述第一绝缘支座分别与所述溶液容置箱和所述第一推进器固定连接,所述第一绝缘支座用于绝缘所述溶液容置箱和所述第一推进器,所述推进器控制器用于控制所述第一推进器靠近或远离所述第二导电板,所述第一推进器用于带动所述第一绝缘支座以及位于所述第一绝缘支座上的多个所述喷雾装置向靠近或远离所述第二导电板的方向运动,所述供液装置与所述溶液容置箱连通,所述供液装置用于向所述溶液容置箱内填充所述目标溶液。所述镀膜机构还包括第二绝缘支座以及第二推进器,所述第二绝缘支座分别与所述固定件和所述第二推进器固定连接,所述第二绝缘支座用于绝缘所述固定件和所述第二推进器,所述推进器控制器还用于控制所述第二推进器靠近或远离喷雾装置,所述第二推进器用于带动所述第二绝缘支座以及位于所述第二绝缘支座上的所述第二导电板向靠近或远离所述喷雾装置的方向运动。
在示例性实施方式中,所述目标层包括遮光图案层、第一色阻层、第二色阻层以及第三色阻层。
综上所述,本申请实施例提供的彩膜基板制备装置包括所述喷雾生成机构和所述镀膜机构,所述喷雾生成机构包括溶液容置箱、第一导电板、多个喷雾装置以及高压发生器,所述镀膜机构包括固定件和第二导电板,所述待镀基板固定于所述固定件上。所述高压发生器分别与所述第一导电板和所述第二导电板电性连接,并在所述第一导电板和所述第二导电板之间形成电场,所述喷雾装置上的所述目标液滴在电场的作用下生成目标喷雾,所述目标喷雾在所述电场的作用下定向偏转并移动到所述待镀基板上形成目标层,从而形成彩膜基板。因此,该制备装置为彩膜基板的制作提供了一种全新的工艺,具有流程简单、制作方便、成本低以及生产效率高等优点。
基于同样的发明构思,本申请还提供了一种彩膜基板制备方法,包括:提供待镀基板;在第一电场作用下提供遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾落在所述待镀基板上形成遮光图案层;在第二电场作用下提供色阻层喷雾,所述色阻层喷雾在所述待镀基板上形成对应的色阻层。
在示例性实施方式中,所述在第一电场作用下提供遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾落在所述待镀基板上形成遮光图案层,包括:固定所述待镀基板;调整多个喷雾装置与遮光图案层导电板之间的距离为第一预定间距;生成遮光图案层液滴;生成第一电场;所述遮光图案层液滴在所述第一电场作用下形成遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾在所述第一电场作用下落在所述待镀基板上形成遮光图案层。
在示例性实施方式中,所述在第二电场作用下提供色阻层喷雾,所述色阻层喷雾在所述待镀基板上形成对应的色阻层,包括:安装固定已镀遮光图案层的所述待镀基板;调整多个所述喷雾装置与色阻层导电板之间的距离为第二预定间距;在第一子电场作用下提供第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第一色阻层;在第二子电场作用下提供第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第二色阻层;在第三子电场作用下提供第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第三色阻层。
在示例性实施方式中,所述在第一子电场作用下提供第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第一色阻层,包括:生成第一色阻层液滴;生成所述第一子电场;所述第一色阻层液滴在所述第一子电场作用下形成第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述第一子电场作用下落在所述待镀基板上形成第一色阻层。
在示例性实施方式中,所述在第二子电场作用下提供第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第二色阻层,包括:生成第二色阻层液滴;生成所述第二子电场;所述第二色阻层液滴在所述第二子电场作用下形成第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述第二子电场作用下落在所述待镀基板上形成第二色阻层。
在示例性实施方式中,所述在第三子电场作用下提供第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第三色阻层,包括:生成第三色阻层液滴;生成所述第三子电场;所述第三色阻层液滴在所述第三子电场作用下提供第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述第三子电场作用下落在所述待镀基板上形成第三色阻层。
综上所述,本申请实施例提供的一种彩膜基板的制备方法包括:提供待镀基板,所述待镀基板对准多个喷雾装置;在遮光图案层导电板上固定所述待镀基板,多个所述喷雾装置提供遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾在所述待镀基板上形成遮光图案层;在色阻层导电板上固定已形成遮光图案层的所述待镀基板,多个所述喷雾装置提供色阻层喷雾,所述色阻层喷雾在所述待镀基板上形成对应的色阻层。因此,该制备方法为彩膜基板的制作提供了一种全新的方法,具有流程简单、制作方便、成本低以及生产效率高等优点。
本申请还提供了一种彩膜基板,所述彩膜基板由上述的彩膜基板装置形成,或者,由上述的彩膜基板制备方法制备,所述彩膜基板包括衬底基板以及设置于所述衬底基板上的遮光图案层、第一色阻层、第二色阻层以及第三色阻层。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例公开的一种彩膜基板制备装置的结构示意图;
图2为本申请实施例公开的遮光图案层导电板的俯视图;
图3为本申请实施例公开的色阻层导电板的俯视图;
图4为本申请实施例公开的彩膜基板的制备方法的流程示意图;
图5为图4所示彩膜基板的制备方法中步骤S420的流程示意图;
图6为图4所示彩膜基板的制备方法中步骤S430的流程示意图;
图7为图6所示彩膜基板的制备方法中步骤S433的流程示意图;
图8为图6所示彩膜基板的制备方法中步骤S434的流程示意图;
图9为图6所示彩膜基板的制备方法中步骤S435的流程示意图;
图10为本申请实施例公开的一种彩膜基板的层结构示意图。
附图标记:
1000-彩膜基板制备装置;100-喷雾生成机构;110-溶液容置箱;115-第一导电板;120-喷雾装置;130-高压发生器;140-第一绝缘支座;150-第一推进器;160-推进器控制器;170供液装置;180-第一壳体;185-顶板;200-镀膜机构;210-固定件;220-第二导电板;221-遮光图案层导电板;226-色阻层导电板;230-第二绝缘支座;240-第二推进器;250-第二壳体;255-底板;S410-S430-彩膜基板的制备方法的步骤;S421-S425-步骤S420的步骤;S431-S435-步骤S430的步骤;S433a-S433c-步骤S433的步骤;S434a-S434c-步骤S434的步骤;S435a-S435c-步骤S435的步骤。
具体实施方式
为了便于理解本申请,下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是,本申请可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施方式。相反地,提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。
以下各实施例的说明是参考附加的图示,用以例示本申请可用以实施的特定实施例。本文中为部件所编序号本身,例如“第一”、“第二”等,仅用于区分所描述的对象,不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”,如无特别说明,均包括直接和间接连接(联接)。本申请中所提到的方向用语,例如,“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等,仅是参考附加图式的方向,因此,使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本申请,而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸地连接,或者一体地连接;可以是机械连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。需要说明的是,本申请的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。此外,本申请中使用的术语“包括”、“可以包括”、“包含”、或“可以包含”表示公开的相应功能、操作、元件等的存在,并不限制其他的一个或多个更多功能、操作、元件等。此外,术语“包括”或“包含”表示存在说明书中公开的相应特征、数目、步骤、操作、元素、部件或其组合,而并不排除存在或添加一个或多个其他特征、数目、步骤、操作、元素、部件或其组合,意图在于覆盖不排他的包含。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本申请。
请参阅图1,图1为本申请实施例公开的一种彩膜基板制备装置的结构示意图。本申请实施例提供的彩膜基板制备装置是基于静电喷雾技术执行和实施的,其原理是在高压电场的作用下使液滴内部具有很强的静电排斥作用,克服自身的表面张力后雾化形成带电的纳米级液滴,再通过第一导电板和第二导电板调整电场,从而实现微小液滴在电场之间得定向偏转并收集。因此,制备的纳米级液滴具有应用于微观器件制造的潜力,如薄膜晶体管液晶显示器(Thin film transistor liquid crystal display,TFT-LCD)的彩膜制备工艺,能进一步拓展静电喷雾技术的应用场景。
如图1所示,本申请实施例提供的彩膜基板制备装置1000可用于在待镀基板(图未示)上形成目标层,在本申请实施例中,所述目标层可包括遮光图案层、第一色阻层、第二色阻层以及第三色阻层。
所述彩膜基板制备装置1000包括喷雾生成机构100以及与所述喷雾生成机构100对应设置的镀膜机构200,所述喷雾生成机构100用于提供目标喷雾,所述待镀基板安装于所述镀膜机构200上且对应所述喷雾生成机构100的位置,所述待镀基板接收目标喷雾并于其上形成相应的目标层。具体为,所述喷雾生成机构100位于所述镀膜机构200的上方,所述待镀基板安装于所述镀膜机构200上,即所述待镀基板位于所述喷雾生成机构100和所述镀膜机构200之间,所述喷雾生成机构100提供的所述目标喷雾落在位于所述镀膜机构200上的待镀基板上,以形成相应的目标层。
在本申请实施方式中,所述待镀基板可为衬底基板。
如图1所示,在本申请实施例中,所述喷雾生成机构100包括溶液容置箱110、第一导电板115、多个喷雾装置120以及高压发生器130。所述溶液容置箱110内容置有所述目标溶液,所述第一导电板115位于所述溶液容置箱110面对所述镀膜机构200的一侧(第一导电板115具体可位于溶液容置箱110朝向所述待镀基板的一侧),多个所述喷雾装置120可按照密度呈阵列排布,每个所述喷雾装置120与所述第一导电板115电性连接,每个所述喷雾装置120穿过所述第一导电板115与所述溶液容置箱110连通,便于所述溶液容置箱110内的目标溶液可以进入到每个所述喷雾装置120中,并在所述喷雾装置120面对所述待镀基板的一端形成目标液滴。
在示例性实施方式中,每个所述喷雾装置120的一部分(例如喷雾装置120背对所述待镀基板的一端)位于所述溶液容置箱110内,并与所述溶液容置箱110连通,每个所述喷雾装置120的另一部分(例如喷雾装置120靠近所述待镀基板的一端)则穿过所述溶液容置箱110的外壳和所述第一导电板115,朝向位于所述镀膜机构200上的待镀基板。所述喷雾装置120用于将所述目标溶液生成所述目标液滴。所述高压发生器130与所述第一导电板115电性连接,用以使所述喷雾装置120上的目标液滴带上电荷。
在本申请实施例中,所述喷雾装置120可为喷雾针管。
在示例性实施方式中,所述目标溶液可为遮光图案层溶液、第一色阻层溶液、第二色阻层溶液以及第三色阻层溶液。相应地,所述目标液滴可为遮光图案层液滴、第一色阻层液滴、第二色阻层液滴以及第三色阻层液滴,所述目标喷雾可为遮光图案层喷雾、第一色阻层喷雾、第二色阻层喷雾以及第三色阻层喷雾。相应地,所述目标层也可为遮光图案层、第一色阻层、第二色阻层以及第三色阻层。
在示例性实施方式中,所述第一色阻层溶液可为红色色阻层溶液,所述第二色阻层溶液可为绿色色阻层溶液,所述第三色阻层溶液可为蓝色色阻层溶液。
在示例性实施方式中,所述喷雾装置120的数量可为100~200个,且通常为偶数,例如,100个、140个、160个、180个、200个、或其他数量个。所述喷雾装置120的直径可为0.2~1.0mm,例如,0.2mm、0.4mm、0.6mm、0.8mm、1.0mm、或其他数值。
在示例性实施方式中,所述溶液容置箱110包括推送泵(图未示),所述推送泵用于将所述目标溶液从所述溶液容置箱110内推送到所述喷雾装置120中,并在所述喷雾装置120背离所述溶液容置箱110的一端生成所述目标液滴。所述高压发生器130使所述目标液滴带上电荷。
在示例性实施方式中,所述推送泵可为微量注射泵、计量泵、柱塞泵和蠕动泵等任一动力设备或装置。
在本申请实施例中,所述镀膜机构200包括固定件210和第二导电板220。所述固定件210整体可为板状结构,其与所述喷雾装置120对应设置。所述固定件210用于固定所述待镀基板,具体为,所述固定件210朝向所述喷雾装置120的一侧安装固定有所述待镀基板。所述第二导电板220位于所述固定件210背对所述喷雾装置120的一侧,所述第二导电板220与所述喷雾装置120间隔预定间距。所述第二导电板220与所述高压发生器130电性连接,所述高压发生器130在所述第一导电板115和所述第二导电板220之间形成电场,所述喷雾装置120上的所述目标液滴在电场的作用下克服其内部分子间表面张力的作用生成目标喷雾,所述目标喷雾在所述电场中定向偏转并移动到所述待镀基板上形成相应的目标层。
在示例性实施方式中,所述第二导电板220与所述喷雾装置120之间的预定间距可为10~40cm,例如,10cm、20cm、25cm、30cm、40cm、或其他数值。所述高压发生器130输出的正电压可为10~30KV,例如,10KV、15KV、20KV、25KV、30KV、或其他数值,所述高压发生器130输出的负电压可为-0.5~-2KV,例如,-0.5KV、-1KV、-1.5KV、-2KV、或其他数值。
在示例性实施方式中,所述高压发生器130的正极与所述第一导电板115电性连接,所述高压发生器130的负极与所述第二导电板220电性连接,相应地,所述目标喷雾带上正电荷。
在示例性实施方式中,所述固定件210与所述待镀基板之间可通过卡扣连接、螺栓连接、弹片压合等可拆卸连接方式实现固定。
请参阅图2和图3,图2为本申请实施例公开的遮光图案层导电板的俯视图,图3为本申请实施例公开的色阻层导电板的俯视图。
在示例性实施方式中,所述第二导电板220包括遮光图案层导电板221与色阻层导电板226,所述遮光图案层导电板221与所述色阻层导电板226均包括导电区域和绝缘区域,图2和图3中,黑色部分为导电区域,白色部分为绝缘区域。当所述高压发生器130对所述第一导电板115和所述第二导电板220施加电压时,所述第一导电板115和所述第二导电板220之间产生定向可控的电场,此时在所述导电区域与所述第一导电板115之间形成电场,所述目标喷雾在电场的作用下定向偏转并落在所述导电区域上。所述色阻层导电板226的导电区域包括多个第一色阻区域、多个第二色阻区域以及多个第三色阻区域,其中,第一色阻区域可为红色色阻区域(R)、第二色阻区域可为绿色色阻区域(G)、第三色阻区域可为蓝色色阻区域(B)。
在示例性实施方式中,所述导电区域的材料可为Pt、Au、Al、Cu、Ti、Ag、Sc、Y、Cr、Ni等金属材料中的任意一种或者多种。所述绝缘区域的材料可为石英、云母、氧化铝或者透明塑料等电绝缘材料中的任意一种或者多种。
在本申请实施例中,所述推送泵将所述溶液容置箱110内的所述目标溶液传输至所述喷雾装置120中,所述目标溶液在所述喷雾装置120背对所述溶液容置箱110的一端生成所述目标液滴。所述待镀基板通过基准标记实现与所述第二导电板220的精准定位,所述固定件210固定住所述待镀基板,即所述待镀基板通过所述固定件210固定在所述第二导电板220上。所述高压发生器130给所述第一导电板115和所述第二导电板220通电,所述目标液滴带上电荷,并在所述第一导电板115和所述第二导电板220之间形成定向可控的电场。所述目标液滴在所述电场的作用下克服其内部分子间表面张力的作用并形成纳米级的所述目标喷雾。所述目标喷雾在电场的作用下定向偏转并移动到所述待镀基板上,并在所述待镀基板上形成相应的目标层,例如,遮光图案层和相应的色阻层。
本实施例中,所述高压发生器在所述第一导电板115和所述第二导电板220之间形成电场,所述喷雾装置120上的所述目标液滴在电场的作用下生成目标喷雾,所述目标喷雾在所述电场的作用下定向偏转并移动到所述待镀基板上形成目标层,从而形成彩膜基板。因此,该制备装置为彩膜基板的制作提供了一种全新的工艺,具有流程简单、制作方便、成本低以及生产效率高等优点。
请参阅图1,在本申请实施例中,所述喷雾生成机构100还包括第一绝缘支座140和第一推进器150。所述第一绝缘支座140分别与所述溶液容置箱110和所述第一推进器150固定连接,所述第一绝缘支座140用于绝缘所述溶液容置箱110和所述第一推进器150,防止所述电场干扰所述第一推进器150正常工作,同时也可提高所述目标喷雾在所述电场中定向偏转的喷射精度。所述第一导电板115位于所述第一绝缘支座140和所述溶液容置箱110之间,所述喷雾装置120依次穿过所述第一导电板115和所述第一绝缘支座140朝向位于所述待镀基板。多个所述喷雾装置120可嵌设于所述第一绝缘支座140上,且通过所述第一绝缘支座140与所述第一推进器150连接。所述第一推进器150用于推动所述第一绝缘支座140和所述溶液容置箱110靠近或远离所述第二导电板220,相应地,所述第一导电板115和所述喷雾装置120也应当靠近或远离所述第二导电板220。所述第一推进器150用于带动所述第一绝缘支座140以及安装于所述第一绝缘支座140上的溶液容置箱110以及多个所述喷雾装置120向靠近或远离所述第二导电板220的方向移动。
在本申请实施例中,所述喷雾生成机构100还包括推进器控制器160和供液装置170,所述推进器控制器160用于控制所述第一推进器150靠近或远离所述第二导电板220,相应地,所述第一绝缘支座140和所述溶液容置箱110也靠近或远离所述第二导电板220,所述第一导电板115和所述喷雾装置120也应当靠近或远离所述第二导电板220。所述供液装置170与所述溶液容置箱110连通,用于向所述溶液容置箱110内填充所述目标溶液。
在示例性实施方式中,所述第一绝缘支座140的材料可为石英、云母、氧化铝或者透明塑料等电绝缘材料中的任意一种或者多种。
在示例性实施方式中,所述供液装置170可通过管道与所述溶液容置箱110连通,用于向所述溶液容置箱110内填充所述目标溶液。所述供液装置170可为微量注射泵、计量泵、柱塞泵、蠕动泵和螺杆泵等任一动力设备或装置。
在本申请实施例中,所述镀膜机构200还包括第二绝缘支座230和第二推进器240。所述第二绝缘支座230分别与所述固定件210和所述第二推进器240固定连接,所述第二绝缘支座230安装于所述固定件210和所述第二推进器240之间,所述第二绝缘支座230用于绝缘所述固定件210和所述第二推进器240,防止所述电场干扰所述第二推进器240的正常工作,同时也可提高所述目标喷雾在所述电场中定向偏转的喷射精度。所述第二推进器240与所述推进器控制器160电性连接,所述推进器控制器160还用以控制所述第二推进器240靠近或远离所述喷雾装置120,相应地,所述第二绝缘支座230和所述固定件210以及所述第二导电板220也靠近或远离所述喷雾装置120。
在示例性实施方式中,所述第二绝缘支座230的材料可为石英、云母、氧化铝或者透明塑料等电绝缘材料中的任意一种或者多种。
具体为,所述推进器控制器160控制所述第一推进器150和所述第二推进器240调整所述喷雾装置120与所述第二导电板220的之间的所述预定间距。在本申请实施方式中,所述推进器控制器160可同时控制所述第一推进器150和所述第二推进器240分别带动所述第一导电板115和所述第二导电板220互相靠近或远离。所述推进器控制器160还可以单独控制所述第一推进器150带动所述第一导电板115靠近或远离所述第二导电板220,所述推进器控制器160也可以单独控制第二推进器240带动所述第二导电板220靠近或远离所述喷雾装置120。
本实施例中,所述第一绝缘支座140用于绝缘所述溶液容置箱110和所述第一推进器150,所述第二绝缘支座230用于绝缘所述固定件210和所述第二推进器240,避免所述第一导电板115和所述第二导电板220上的高压影响所述第一推进器150和所述第二推进器240正常工作,同时也提高了所述目标喷雾在所述电场中的定向偏转的喷射精度,进而提高了形成的所述目标层的质量。
在本申请实施例中,所述喷雾生成机构100还包括第一壳体180,所述溶液容置箱110、所述第一导电板115、所述喷雾装置120、所述第一绝缘支座140、所述第一推进器150和所述供液装置170位于所述第一壳体180内。所述第一壳体180包括顶板185,所述顶板185背离所述镀膜机构200的一侧安装固定有所述高压发生器130和所述推进器控制器160,所述顶板185面对所述镀膜机构200的一侧安装固定有所述第一推进器150和所述供液装置170。
在示例性实施方式中,所述第一壳体180与所述高压发生器130、所述第一推进器150、所述推进器控制器160以及供液装置170之间可通过卡扣连接、焊接、螺栓连接、铆接等方式实现固定。
在申请实施例中,所述镀膜机构200还包括第二壳体250,所述第二推进器240、所述第二绝缘支座230、所述第二导电板220和所述固定件210位于所述第二壳体250内。所述第二壳体250包括底板255,所述底板255面对所述喷雾生成结构200的一侧安装固定有所述第二推进器240。
在示例性实施方式中,所述第二壳体250与所述第二推进器240之间可通过卡扣连接、焊接、螺栓连接和铆接等方式实现固定。
综上所述,本申请实施例提供的彩膜基板制备装置包括所述喷雾生成机构100和所述镀膜机构200,所述喷雾生成机构100包括溶液容置箱110,第一导电板115,多个喷雾装置120以及高压发生器130,所述镀膜机构200包括固定件210和第二导电板220,所述待镀基板固定于所述固定件210上。所述高压发生器130分别与所述第一导电板115和所述第二导电板220电性连接,并在所述第一导电板115和所述第二导电板220之间形成电场,所述喷雾装置120上的所述目标液滴在电场的作用下生成目标喷雾,所述目标喷雾在所述电场的作用下定向偏转并移动到所述待镀基板上形成目标层,从而形成彩膜基板。因此,该制备装置为彩膜基板的制作提供了一种全新的工艺,具有流程简单、制作方便、成本低以及生产效率高等优点。
请参阅图4,图4为本申请实施例公开的彩膜基板的制备方法的流程示意图。所述彩膜基板的制备方法由上述图1-图3所示实施例的彩膜基板制备装置1000执行,用以形成相应的彩膜基板。如图4所示,在本申请实施方式中,所述彩膜基板的制备方法至少包括以下步骤。
S410、提供待镀基板;
S420、在第一电场作用下提供遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾落在所述待镀基板上形成遮光图案层;
S430、在第二电场作用下提供色阻层喷雾,所述色阻层喷雾在所述待镀基板上形成对应的色阻层。
具体为,所述色阻层喷雾包括第一色阻层喷雾、第二色阻层喷雾以及第三色阻层喷雾,相应地,所述色阻层包括第一色阻层、第二色阻以及第三色阻层。在本申请实施方式中,所述第一色阻层喷雾为红色色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾为绿色色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾为蓝色色阻层喷雾,相应地,所述第一色阻层红色色阻层,所述第二色阻层为绿色色阻层,所述第三色阻层为蓝色色阻层。
在本申请实施方式中,所述待镀基板可为衬底基板。
本实施例中,所述彩膜基板制备方法首先通过多个所述喷雾装置提供的遮光图案层喷雾在所述待镀基板上形成遮光图案层,再通过多个所述喷雾装置提供的色阻层喷雾在已形成遮光图案层的所述待镀基板上形成色阻层。因此,该制备方法为彩膜基板的制作提供了一种全新的工艺,所述彩膜基板制备方法具有流程简单和制作方便等优点。
可以理解的是,遮光图案层和色阻层在制备所述彩膜基板时的顺序可以调整,二者工艺顺序的调整不影响彩膜基板的制备和生成,本申请实施例以先形成遮光图案层后形成色阻层为例进行说明。在其他实施方式中,在制备彩膜基板时,也可以先形成色阻层,即先执行步骤S440,再形成遮光图案层,即后执行步骤S430,本申请对此不作具体限制。
在本申请实施例中,如图5所示本申请实施例公开的彩膜基板的制备方法中步骤S420的流程示意图,所述步骤S420至少包括以下步骤。
S421、固定所述待镀基板。
具体为,通过遮光图案层导电板221的基准标记和所述待镀基板的基准标记实现精准定位,并将所述待镀基板通过固定件210安装固定在所述遮光图案层导电板221上。所述固定件210与所述喷雾装置120对应设置,所述固定件210朝向所述喷雾装置120的一侧安装固定有所述待镀基板,遮光图案层导电板221位于所述固定件210背对所述喷雾装置120的一侧。
S422、调整多个喷雾装置120与遮光图案层导电板221之间的距离为第一预定间距。
具体为,推进器控制器160控制第一推进器150和第二推进器240调整所述喷雾装置120与所述遮光图案层导电板221之间的距离为第一预定间距,所述第一预定间距在10~40cm之间。
S423、生成遮光图案层液滴。
具体为,供液装置170将遮光图案层溶液输送到溶液容置箱110中,推送泵将溶液容置箱110内的所述遮光图案层溶液输送到所述喷雾装置120中,并在所述喷雾装置120背对所述溶液容置箱110的一端形成所述遮光图案层液滴。
S424、生成第一电场。
具体为,所述高压发生器130的正极与第一导电板115电性连接,正极的电压为10~30KV。所述高压发生器130的负极与所述遮光图案层导电板221电性连接,负极的电压为-0.5~-2KV。相应地,在所述第一导电板115和所述遮光图案层导电板221之间形成所述第一电场,并给所述遮光图案层液滴带上正电荷。
S425、所述遮光图案层液滴在所述第一电场作用下形成遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾在所述第一电场作用下落在所述待镀基板上形成遮光图案层。
具体为,所述遮光图案层液滴在所述第一电场的作用下克服其内部分子间表面张力的作用,形成所述遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾在所述第一电场的作用下定向偏转并移动到所述待镀基板上,从而形成遮光图案层。
可以理解的是,待遮光图案层形成后,关闭所述高压发生器130,松开所述固定件210对所述待镀基板的固定,松开所述待镀基板与所述遮光图案层导电板221之间的固定。
本实施例中,调整喷雾装置与所述遮光图案层导电板之间的距离为第一预定间距以及在所述第一导电板和所述遮光图案层导电板之间生成的第一电场提高了所述遮光图案层喷雾定向偏转的精度。
在本申请实施例中,如图6所示,图6为本申请实施例公开的彩膜基板的制备方法中步骤S430的流程示意图,所述步骤S430至少包括以下步骤。
S431、安装固定已镀遮光图案层的所述待镀基板。
具体为,通过所述色阻层导电板226的基准标记和已镀遮光图案层的所述待镀基板的基准标记实现精准定位,并将所述待镀基板通过所述固定件210安装固定在所述色阻层导电板226上,所述固定件210与所述喷雾装置120对应设置,所述固定件210朝向所述喷雾装置120的一侧安装固定有已镀遮光图案层的所述待镀基板,色阻层导电板226位于所述固定件210背对所述喷雾装置120的一侧。
S432、调整多个所述喷雾装置120与色阻层导电板226之间的距离为第二预定间距。
具体为,所述推进器控制器160控制所述第一推进器150和所述第二推进器240调整所述喷雾装置120与所述色阻层导电板226之间的距离为第二预定间距,所述第二预定间距在10~40cm之间。
S433、在第一子电场作用下提供第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第一色阻层。
S434、在第二子电场作用下提供第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第二色阻层。
S435、在第三子电场作用下提供第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第三色阻层。
在本申请实施例中,所述第二电场包括第一子电场、第二子电场以及第三子电场。所述第一子电场、所述第二子电场以及所述第三子电场分别是加载在所述第一导电板和所述色阻层导电板之间不同大小的电压形成的,用以满足不同色阻层的形成需要。
本实施例中,在形成第一色阻层、第二色阻层以及第三色阻层前调整所述喷雾装置与所述色阻层导电板之间的距离为第二预定间距,之后就不再调整所述喷雾装置与所述色阻层导电板之间的距离,提高了第一色阻层、第二色阻层以及第三色阻层的形成速度,进而提高了生产效率。
在本申请实施例中,如图7所示,图7为本申请实施例公开的彩膜基板的制备方法中步骤S433的流程示意图,所述步骤S433至少包括以下步骤。
S433a、生成第一色阻层液滴。
具体为,所述供液装置170将第一色阻层溶液输送到所述溶液容置箱110中,所述推送泵将溶液容置箱110内的所述第一色阻层溶液输送到所述喷雾装置120中,并在所述喷雾装置120背对所述溶液容置箱110的一端形成所述第一色阻层液滴。
S433b、生成所述第一子电场。
具体为,所述高压发生器130的正极与所述第一导电板115电性连接,正极的电压为10~30KV。所述高压发生器130的负极与所述色阻层导电板226电性连接,负极的电压为-0.5~-2KV。相应地,在所述第一导电板115和所述色阻层导电板226之间形成所述第一子电场,并给所述第一色阻层液滴带上正电荷。
S433c、所述第一色阻层液滴在所述第一子电场作用下形成第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述第一子电场作用下落在所述待镀基板上形成第一色阻层。
具体为,所述第一色阻层液滴在所述第一子电场的作用下克服其内部分子间表面张力的作用,形成所述第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述第一子电场的作用下定向偏转并移动到所述待镀基板上,从而形成第一色阻层。
本实施例中,在第一导电板和所述色阻层导电板之间生成的第一子电场提高了所述第一色阻层喷雾定向偏转的精度。
在本申请实施例中,如图8所示,图8为本申请实施例公开的彩膜基板的制备方法中步骤S434的流程示意图,所述步骤S434至少包括以下步骤。
S434a、生成第二色阻层液滴。
具体为,供液装置170将第二色阻层溶液输送到溶液容置箱110中,推送泵将溶液容置箱110内的所述第二色阻层溶液输送到所述喷雾装置120中,并在所述喷雾装置120背对所述溶液容置箱110的一端形成所述第二色阻层液滴。
S434b、生成所述第二子电场。
具体为,所述高压发生器130的正极与所述第一导电板115电性连接,正极的电压为10~30KV。所述高压发生器130的负极与所述色阻层导电板226电性连接,负极的电压为-0.5~-2KV。相应地,在所述第一导电板115和所述色阻层导电板226之间形成所述第二子电场,并给所述第二色阻层液滴带上正电荷。
S434c、所述第二色阻层液滴在所述第二子电场作用下形成第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述第二子电场作用下落在所述待镀基板上形成第二色阻层。
具体为,所述第二色阻层液滴在所述第二子电场的作用下克服其内部分子间表面张力的作用,形成所述第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述第二子电场的作用下定向偏转并移动到所述待镀基板上,从而形成第二色阻层。
本实施例中,在第一导电板和所述色阻层导电板之间生成的第二子电场提高了所述第二色阻层喷雾定向偏转的精度。
在本申请实施例中,如图9所示,图9为本申请实施例公开的彩膜基板的制备方法中步骤S435的流程示意图,所述步骤S435至少包括以下步骤。
S435a、生成第三色阻层液滴。
具体为,供液装置170将第三色阻层溶液输送到溶液容置箱110中,推送泵将溶液容置箱110内的所述第三色阻层溶液输送到所述喷雾装置120中,并在所述喷雾装置120背对所述溶液容置箱110的一端形成所述第三色阻层液滴。
S435b、生成所述第三子电场。
具体为,所述高压发生器130的正极与所述第一导电板115电性连接,正极的电压为10~30KV。所述高压发生器130的负极与所述色阻层导电板226电性连接,负极的电压为-0.5~-2KV。相应地,在所述第一导电板115和所述色阻层导电板226之间形成所述第三子电场,并给所述第三色阻层液滴带上正电荷。
S435c、所述第三色阻层液滴在所述第三子电场作用下提供第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述第三子电场作用下落在所述待镀基板上形成第三色阻层。
具体为,所述第三色阻层液滴在所述第三子电场的作用下克服其内部分子间表面张力的作用,形成所述第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述第三子电场的作用下定向偏转并移动到所述待镀基板上,从而形成第三色阻层。
本实施例中,在第一导电板和所述色阻层导电板之间生成的第三子电场提高了所述第三色阻层喷雾定向偏转的精度。
可以理解的是,待所述第三色阻层形成后,关闭高压发生器130,松开所述固定件210对所述待镀基板的固定,松开所述待镀基板与所述色阻层导电板221之间的固定,取出镀好的基板,完成喷雾工艺。
综上所述,本申请实施例提供的一种彩膜基板的制备方法包括:提供待镀基板,所述待镀基板对准多个喷雾装置;在遮光图案层导电板221上固定所述待镀基板,多个所述喷雾装置提供遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾在所述待镀基板上形成遮光图案层;在色阻层导电板226上固定已形成遮光图案层的所述待镀基板,多个所述喷雾装置提供色阻层喷雾,所述色阻层喷雾在所述待镀基板上形成对应的色阻层。因此,该制备方法为彩膜基板的制作提供了一种全新的方法,具有流程简单、制作方便、成本低以及生产效率高等优点。
请参阅图10,图10为本申请实施例公开的一种彩膜基板的层结构示意图。本发明实施例还提供了一种彩膜基板300,所述彩膜基板300可由上述图1至图3所示实施例的彩膜基板制备装置制成,或者,可由上述图4至图9所示实施例的彩膜基板的制备方法制备。
所述彩膜基板300包括衬底基板310以及由上述彩膜基板制备装置1000形成的遮光图案层320,第一色阻层330、第二色阻层340以及第三色阻层350,所述遮光图案层320、所述第一色阻层330和第二色阻层340以及第三色阻层350在所述衬底基板310上形成。
基于同一发明构思,针对上述实施例中的彩膜基板,本申请实施例还提供了一种显示面板,所述显示面板包括如上所述的彩色基板300、阵列基板以及位于彩色基板300和阵列基板之间的液晶。
根据本发明的实施例,该显示面板的具体类型不受特别的限制,具体例如TFT显示面板等,本领域技术人员可根据该显示面板的具体用途进行相应地选择,在此不再赘述。还需要说明的是,该显示面板除了上述薄膜晶体管背板结构以外,还包括其他必要的部件和组成,具体例如玻璃盖板或偏光片,等等,本领域技术人员可根据该显示面板的具体类型和实际功能进行相应地补充,在此不再赘述。
基于同一发明构思,针对上述实施例中的背光结构,本申请实施例还提供了一种显示装置,所述显示装置包括背光模组和如上所述的显示面板,所述显示面板设置于所述背光模组的出光侧,所述背光模组为所述显示面板提供背光。其中,所述显示面板的结构以及工作原理同上述实施例,在此不再赘述。
具体地,该显示装置包括但不限于手机、平板电脑、笔记本电脑、具有显示功能的可穿戴电子设备。根据本发明的实施例,该显示装置的具体种类不受特别的限制,例如薄膜晶体管液晶显示器等,本领域技术人员可根据该显示面板具体的使用要求进行相应地设计,在此不再赘述。还需要说明的是,该显示装置除了显示面板以外,还包括其他必要的部件和组成,具体例如外壳、电路控制板或电源线等,本领域技术人员可根据该显示面板的具体类型和实际功能进行相应地补充,在此不再赘述。
本申请中所描述的流程图仅仅为一个实施例,在不偏离本申请的精神的情况下对此图示或者本申请中的步骤可以有多种修改变化。比如,可以不同次序的执行这些步骤,或者可以增加、删除或者修改某些步骤。本领域的一般技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本申请权利要求所作的等同变化,仍属于发明所涵盖的范围。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
应当理解的是,本申请的应用不限于上述的举例,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,所有这些改进和变换都应属于本申请所附权利要求的保护范围。本领域的一般技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分方法,并依本申请权利要求所作的等同变化,仍属于申请所涵盖的范围。
Claims (10)
1.一种彩膜基板制备装置,包括喷雾生成机构和镀膜机构,待镀基板安装于所述镀膜机构上,其特征在于,所述喷雾生成机构包括溶液容置箱、高压发生器、与所述高压发生器电性连接的第一导电板以及多个喷雾装置,所述溶液容置箱内容置有目标溶液,所述第一导电板位于所述溶液容置箱面对所述镀膜机构的一侧,每个所述喷雾装置与所述第一导电板电性连接,每个所述喷雾装置穿过所述第一导电板与所述溶液容置箱连通,所述目标溶液在所述喷雾装置面对所述待镀基板的一端形成目标液滴;
所述镀膜机构包括固定件以及与所述高压发生器电性连接的第二导电板,多个所述待镀基板通过所述固定件固定至所述第二导电板上,并与所述喷雾装置相对应,所述高压发生器用于为所述第一导电板和所述第二导电板供电,所述第一导电板和所述第二导电板之间形成电场,所述目标液滴在电场的作用下生成目标喷雾,所述目标喷雾用于在所述待镀基板上形成相应的目标层;
所述喷雾生成机构还包括第一绝缘支座、第一推进器以及推进器控制器,所述第一绝缘支座分别与所述溶液容置箱和所述第一推进器固定连接,所述第一绝缘支座用于绝缘所述溶液容置箱和所述第一推进器,所述推进器控制器用于控制所述第一推进器靠近或远离所述第二导电板,所述第一推进器用于带动所述第一绝缘支座以及位于所述第一绝缘支座上的多个所述喷雾装置向靠近或远离所述第二导电板的方向运动;
所述镀膜机构还包括第二绝缘支座和第二推进器,所述第二绝缘支座分别与所述固定件和所述第二推进器固定连接,所述第二绝缘支座用于绝缘所述固定件和所述第二推进器,所述推进器控制器还用于控制所述第二推进器靠近或远离喷雾装置,所述第二推进器用于带动所述第二绝缘支座以及位于所述第二绝缘支座上的所述第二导电板向靠近或远离所述喷雾装置的方向运动。
2.如权利要求1所述的彩膜基板制备装置,其特征在于,所述喷雾生成机构还包括供液装置,所述供液装置与所述溶液容置箱连通,所述供液装置用于向所述溶液容置箱内填充所述目标溶液。
3.如权利要求1或2所述的彩膜基板制备装置,其特征在于,所述目标层包括遮光图案层、第一色阻层、第二色阻层以及第三色阻层。
4.一种彩膜基板制备方法,其特征在于,由权利要求1-3任一项所述的彩膜基板制备装置执行,所述彩膜基板制备方法包括:
提供待镀基板;
在第一电场作用下提供遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾落在所述待镀基板上形成遮光图案层;
在第二电场作用下提供色阻层喷雾,所述色阻层喷雾在所述待镀基板上形成对应的色阻层。
5.如权利要求4所述的彩膜基板制备方法,其特征在于,所述在第一电场作用下提供遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾落在所述待镀基板上形成遮光图案层,包括:
固定所述待镀基板;
调整多个喷雾装置与遮光图案层导电板之间的距离为第一预定间距;
生成遮光图案层液滴;
生成第一电场;
所述遮光图案层液滴在所述第一电场作用下形成遮光图案层喷雾,所述遮光图案层喷雾在所述第一电场作用下落在所述待镀基板上形成遮光图案层。
6.如权利要求5所述的彩膜基板制备方法,其特征在于,所述在第二电场作用下提供色阻层喷雾,所述色阻层喷雾在所述待镀基板上形成对应的色阻层,包括:
安装固定已镀遮光图案层的所述待镀基板;
调整多个所述喷雾装置与色阻层导电板之间的距离为第二预定间距;
在第一子电场作用下提供第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第一色阻层;
在第二子电场作用下提供第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第二色阻层;
在第三子电场作用下提供第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第三色阻层。
7.如权利要求6所述的彩膜基板制备方法,其特征在于,所述在第一子电场作用下提供第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第一色阻层,包括:
生成第一色阻层液滴;
生成所述第一子电场;
所述第一色阻层液滴在所述第一子电场作用下形成第一色阻层喷雾,所述第一色阻层喷雾在所述第一子电场作用下落在所述待镀基板上形成第一色阻层。
8.如权利要求7所述的彩膜基板制备方法,其特征在于,所述在第二子电场作用下提供第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第二色阻层,包括:
生成第二色阻层液滴;
生成所述第二子电场;
所述第二色阻层液滴在所述第二子电场作用下形成第二色阻层喷雾,所述第二色阻层喷雾在所述第二子电场作用下落在所述待镀基板上形成第二色阻层。
9.如权利要求8所述的彩膜基板制备方法,其特征在于,所述在第三子电场作用下提供第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述待镀基板上形成第三色阻层,包括:
生成第三色阻层液滴;
生成所述第三子电场;
所述第三色阻层液滴在所述第三子电场作用下提供第三色阻层喷雾,所述第三色阻层喷雾在所述第三子电场作用下落在所述待镀基板上形成第三色阻层。
10.一种彩膜基板,其特征在于,所述彩膜基板由上述权利要求1-3任一项所述的彩膜基板装置形成,所述彩膜基板包括衬底基板以及设置于所述衬底基板上的遮光图案层、第一色阻层、第二色阻层以及第三色阻层。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111682505.7A CN114326200B (zh) | 2021-12-31 | 2021-12-31 | 彩膜基板制备装置、制备方法及彩膜基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111682505.7A CN114326200B (zh) | 2021-12-31 | 2021-12-31 | 彩膜基板制备装置、制备方法及彩膜基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114326200A CN114326200A (zh) | 2022-04-12 |
CN114326200B true CN114326200B (zh) | 2024-01-09 |
Family
ID=81022425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111682505.7A Active CN114326200B (zh) | 2021-12-31 | 2021-12-31 | 彩膜基板制备装置、制备方法及彩膜基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114326200B (zh) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200537131A (en) * | 2004-05-03 | 2005-11-16 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | Method of fabricating color filter of liquid crystal display panel |
JP2012135704A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Hitachi High-Technologies Corp | エレクトロスプレーデポジション装置 |
WO2013155747A1 (zh) * | 2012-04-16 | 2013-10-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光片、彩色滤光片的制作方法及液晶面板 |
CN104417058A (zh) * | 2013-08-27 | 2015-03-18 | 株式会社Enjet | 利用静电力的喷雾及构图装置 |
CN106773265A (zh) * | 2017-02-15 | 2017-05-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩膜基板及其制备方法、显示装置和涂胶系统 |
CN108165990A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-06-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 量子点镀膜方法及系统 |
CN110484913A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-11-22 | 山东大学 | 温控装置辅助电场力作用喷射沉积MoS2/Ti复合薄膜 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102354975B1 (ko) * | 2015-06-18 | 2022-01-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기상 증착 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 |
-
2021
- 2021-12-31 CN CN202111682505.7A patent/CN114326200B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200537131A (en) * | 2004-05-03 | 2005-11-16 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | Method of fabricating color filter of liquid crystal display panel |
JP2012135704A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Hitachi High-Technologies Corp | エレクトロスプレーデポジション装置 |
WO2013155747A1 (zh) * | 2012-04-16 | 2013-10-24 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光片、彩色滤光片的制作方法及液晶面板 |
CN104417058A (zh) * | 2013-08-27 | 2015-03-18 | 株式会社Enjet | 利用静电力的喷雾及构图装置 |
CN106773265A (zh) * | 2017-02-15 | 2017-05-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩膜基板及其制备方法、显示装置和涂胶系统 |
CN108165990A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-06-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 量子点镀膜方法及系统 |
CN110484913A (zh) * | 2019-08-22 | 2019-11-22 | 山东大学 | 温控装置辅助电场力作用喷射沉积MoS2/Ti复合薄膜 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114326200A (zh) | 2022-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20050090363A (ko) | 패널층 가공을 위한 액체 제조 프로세스 | |
CN100532103C (zh) | 静电吸引式液体喷射头的制造方法,喷嘴板的制造方法,静电吸引式液体喷射装置 | |
CN104191819B (zh) | 喷嘴喷射独立可控的阵列化电流体喷印头及其实现方法 | |
JP2005536016A (ja) | マイクロコンポーネントを配置するための印刷および他の技術の使用 | |
JP2007220673A (ja) | バックライトアセンブリ、液晶表示装置用収納容器及び液晶表示装置 | |
CN101330801B (zh) | 图案形成方法、电光学装置制造方法和电子机器制造方法 | |
KR20030074612A (ko) | 발광패널과 그 내부 구성요소의 테스트 방법 | |
CN100396488C (zh) | 液体喷射装置 | |
KR20040030304A (ko) | 액적 토출 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학장치, 및 전자 기기 | |
TW200540023A (en) | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electrooptical device, electrooptical device and electronic equipment | |
US7090966B2 (en) | Process of surface treatment, surface treating device, surface treated plate, and electro-optic device, and electronic equipment | |
CN114326200B (zh) | 彩膜基板制备装置、制备方法及彩膜基板 | |
KR20050024224A (ko) | 도전막 패턴의 형성 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기 | |
US20050128267A1 (en) | Method of manufacturing electronic device, electron source substrate, and image forming apparatus, and apparatus for manufacturing electronic device and electron source substrate | |
CN101149506B (zh) | 液晶显示面板的制造方法以及液晶显示面板 | |
CN110085618B (zh) | 显示面板制备方法 | |
KR20040084717A (ko) | 디바이스와 그 제조 방법 및 전기 광학 장치 및 전자 기기 | |
CN1318154C (zh) | 图案形成方法及器件的制造方法 | |
CN108906524B (zh) | 一种基于静电雾化成膜封装量子点导光板的方法 | |
CN1930000B (zh) | 液体喷射装置 | |
US11714353B2 (en) | Mask and method of manufacturing the same, evaporation apparatus and display device | |
CN218767732U (zh) | 显示基板、液晶显示装置和电子纸显示装置 | |
CN1251204A (zh) | 显示板的场致发射体阴极的背板结构 | |
KR20170058685A (ko) | 전기수력학적 잉크젯 장치 | |
CN218315855U (zh) | 电流体动力学喷印装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |