CN114324414A - 一种靶材组件和x射线显微镜 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种靶材组件和X射线显微镜，该靶材组件包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜设置。本发明提供一种靶材组件和X射线显微镜，增大了有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量。

Description

一种靶材组件和X射线显微镜

技术领域

本发明属于显微镜技术领域，具体地说，涉及一种靶材组件和X射线显微镜。

背景技术

现有技术中，X射线显微镜是用X射线束对待测样品某部一定厚度的层面进行扫描，由探测器接收透过该层面的X射线，转变为可见光后，由光电转换变为电信号，经过计算机处理后构成三维的CT图像。CT图像可体现待测样品的几何信息和结构信息等。前者包括待测样品的尺寸、体积和各点的空间坐标，后者包括待测样品的衰减值、密度和多孔性等材料学信息。

电子束作用于靶材上会在作用区域产生X射线，X射线由作用区域向四周散射，X射线显微镜的成像质量在很大程度上与有效照射区域内的X射线密度有关，虽然一些X射线生成设备使用聚焦光学器件来聚焦生产的X射线，但是X射线显微镜空间有限，不具有聚焦光学器件，如何增大有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量成为本领域技术人员亟待解决的问题。

有鉴于此特提出本发明。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种靶材组件和X射线显微镜，增大了有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量。

为解决上述技术问题，本发明采用技术方案的基本构思是：一种靶材组件，包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜设置。

进一步的，所述第一散热层设置有至少两个所述第一凹槽，每个所述第一凹槽内设置有一个所述第一靶材，至少两个所述第一作用面的倾斜角度不同。

进一步的，还包括第二段，所述第二段包括第二散热层，所述第二散热层设置有第二凹槽，所述第二凹槽内设置有第二靶材，所述第二靶材具有受电子束作用的第二作用面，所述第二作用面相对于所述第二凹槽的底面平行设置。

进一步的，多个所述第一靶材的材质不同；

多个所述第二靶材的材质不同。

进一步的，包括安装座，所述安装座设置有卡槽，所述靶材组件可拆卸的安装于所述卡槽中，所述安装座设置有冷却组件，用于对所述靶材组件冷却。

进一步的，所述安装座包括第一冷却侧板、第二冷却侧板、冷却底板、冷却背板；

所述冷却组件包括第一冷却盘管、第二冷却盘管、第三冷却盘管、第四冷却盘管；

所述第一冷却侧板内腔设置有所述第一冷却盘管，所述第二冷却侧板内腔设置有所述第二冷却盘管，所述冷却底板内腔设置有所述第三冷却盘管，所述冷却背板内腔设置有所述第四冷却盘管。

在一些可选的实施方式中，X射线显微镜还包括：

电子光学镜筒，用于发射电子束，所述电子光学镜筒下端连接有真空腔室，所述真空腔室设置有真空窗；

样品台，用于放置待测样品，所述样品台设置于所述真空腔室内；

所述靶材组件位于所述真空腔室内，所述电子束作用于所述靶材组件上产生X射线照射于所述待测样品上经过所述真空窗被X射线探测器接收。

进一步的，还包括：

机械手，所述机械手夹持所述靶材组件在所述真空腔室内运动。

在一些可选的实施方式中，还包括：

波纹管，所述波纹管一端与所述X射线探测器连接，所述波纹管的另一端与所述真空窗四周的所述真空腔室的外侧壁连接。

进一步的，所述真空腔室的外侧壁、所述波纹管、所述X射线探测器、所述真空窗之间围绕形成密闭腔室，所述密闭腔室中充入氦气，或者是氮气。

采用上述技术方案后，本发明与现有技术相比具有以下有益效果。

本发明提供的一种靶材组件和X射线显微镜，靶材组件的第一散热层设置有第一凹槽，第一凹槽内设置有第一靶材，第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，第一作用面相对于第一凹槽的底面倾斜设置。电子束作用于第一作用面时，由于第一作用面与第一凹槽底面倾斜设置，所以第一作用面的倾斜角度可以控制调节产生的X射线束的高密度X射线区域的发射方向。增大了有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量。

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的描述。

附图说明

附图作为本发明的一部分，用来提供对本发明的进一步的理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，但不构成对本发明的不当限定。显然，下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附图中：

图1是本发明提供的一种靶材组件结构示意图；

图2是本发明提供的安装座及冷却组件结构分布示意图；

图3是本发明提供的安装座与靶材组件配合安装结构示意图；

图4是本发明提供的一种X射线显微镜整体结构示意图。

图中：1、靶材组件；101、第一段；102、第二段；2、第一靶材；201、第一作用面；3、第一散热层；301、第一凹槽；4、第二靶材；401、第二作用面；5、第二散热层；501、第二凹槽；6、冷却组件；601、第一冷却盘管；602、第二冷却盘管；603、第三冷却盘管；604、第四冷却盘管；7、安装座；701、第一冷却侧板；702、第二冷却侧板；703、冷却底板；704、冷却背板；8、电子光学镜筒；801、电子源；802、电子加速结构；803、物镜系统；9、电子束；10、真空腔室；11、机械手；12、X射线；13、待测样品；14、样品台；15、真空窗；16、波纹管；17、X射线探测器。

需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本发明的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1所示，本发明提供的一种靶材组件1，该靶材组件1包括第一段101，第一段101包括第一散热层3，第一散热层3设置有第一凹槽301，第一凹槽301内设置有第一靶材2，第一靶材2具有受电子束9作用的第一作用面201，第一作用面201相对于第一凹槽301的底面倾斜设置。

具体的，第一段101包括第一散热层3，第一散热层3可以是导热金属，或者是金刚石，或者是石墨，或者是石墨的改性材料。

第一散热层3设置有第一凹槽301，第一靶材2设置于第一凹槽301内，第一凹槽301的底面和侧壁与第一靶材2贴合。电子束9作用于第一靶材2上，产生的热量会通过与第一靶材2贴合的第一凹槽301散发出去。第一凹槽301的底面和侧壁与第一靶材2贴合，可以提高散热效率。

第一靶材2具有受电子束9作用的第一作用面201，第一作用面201相对于第一凹槽301的底面倾斜设置。

电子束9作用于第一作用面201时，由于第一作用面201与第一凹槽301底面倾斜设置，所以第一作用面201的倾斜角度可以控制调节产生的X射线12束的高密度X射线12区域的发射方向。增大了有效照射区域内的X射线12密度，提高X射线显微镜的成像质量。

如图1所示，在一些可选的实施方式中，第一散热层3设置有至少两个第一凹槽301，每个第一凹槽301内设置有一个第一靶材2，至少两个第一作用面201的倾斜角度不同。

具体的，第一散热层3设置有至少两个第一凹槽301，多个第一凹槽301依次平行排列，相邻两个第一凹槽301之间的距离优选不小于500纳米。第一凹槽301的槽宽度优选不大于100纳米。第一靶材2的宽度小于等于第一凹槽301的槽宽。每个第一凹槽301内设置有一个第一靶材2，至少两个第一作用面201的倾斜角度不同。

电子束9作用于第一靶材2的第一作用上产生X射线12，由于第一靶材2的第一作用面201较小，用机械机构控制第一作用面201旋转，改变第一作用面201与电子束9之间的角度无法达到精度要求，所以不能精确的控制产生的X射线12束的高密度X射线12区域的发射方向。

采用多个第一作用面201的倾斜角度不同的设置方式。由于在靶材组件1上设置有多个倾斜角度不同的第一作用面201，可以通过机械结构控制靶材组件1直线运动，从而带动不同倾斜角度的第一作用面201移动，可选择的将需要的倾斜角度的第一作用面201的第一靶材2直线移动到电子束9下方。从而可以控制调节产生的X射线12束的高密度X射线12区域的发射方向。增大了有效照射区域内的X射线12密度，提高X射线显微镜的成像质量。

如图1所示，本发明提供的一种靶材组件1，该靶材组件1还包括第二段102，第二段102包括第二散热层5，第二散热层5设置有第二凹槽501，第二凹槽501内设置有第二靶材4，第二靶材4具有受电子束9作用的第二作用面401，第二作用面401相对于第二凹槽501的底面平行设置。

具体的，第二段102包括第二散热层5，第二散热层5可以是导热金属，或者是金刚石，或者是石墨，或者是石墨的改性材料。

第二散热层5设置有第二凹槽501，第二靶材4设置于第二凹槽501内，第二凹槽501的底面和侧壁与第二靶材4贴合。电子束9作用于第二靶材4上，产生的热量会通过与第二靶材4贴合的第二凹槽501散发出去。第二凹槽501的底面和侧壁与第二靶材4贴合，可以提高散热效率。

第二靶材4具有受电子束9作用的第二作用面401，第二作用面401相对于第二凹槽501的底面平行设置。第二作用面401与第二凹槽501的底面平行设置，电子束9作用于第二作用面401上产生的X射线12，与电子束9作用于倾斜的第一作用面201上产生的高密度X射线12发射方向不同，可选择更多的高密度X射线12区域的发射方向。

如图1所示，在一些可选的实施方式中，第二散热层5设置有至少两个第二凹槽501，多个第二凹槽501依次平行排列，相邻两个第二凹槽501之间的距离优选不小于500纳米。第二凹槽501的槽宽度优选不大于100纳米。第二靶材4的宽度小于等于第二凹槽501的槽宽。

可以通过机械结构控制靶材组件1直线运动，从而带动不同的第二作用面401移动，可选择的将需要的第二作用面401的第二靶材4直线移动到电子束9下方。

如图1所示，在一些可选的实施方式中，靶材组件1由第一段101与第二段102一体成型设置，第一散热层3与第二散热层5一体成型设置，优选金刚石材质，可以通过等离子化学气相沉积法一体制成。第一凹槽301与第二凹槽501可以在等离子化学气相沉积时采用遮挡的方式形成，也可以通过聚焦离子束加工形成。多个第一凹槽301与第二凹槽501依次平行排列，第一靶材2可以通过物理气相沉积法设置于第一凹槽301，第二靶材4可以通过物理气相沉积法设置于第二凹槽501，第一靶材2的第一作用面201的倾斜角度可以通过聚焦离子束加工形成。由第一靶材2向第二靶材4方向上，多个第一靶材2的第一作用面201的倾斜角度依次增大设置。

如图1所示，靶材组件1设置有六个第一靶材2和一个第二靶材4，由第一靶材2向第二靶材4方向上，第一个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为二十度，第二个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为二十五度，第三个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为三十度，第四个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为三十五度，第五个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为四十度，第六个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为四十五度。第二靶材4的第二作用面401相对于第二凹槽501的底面平行设置，可以通过机械结构控制靶材组件1直线运动，从而带动不同倾斜角度的第一作用面201移动，可选择的将需要的倾斜角度的第一作用面201，或者是第二作用面401直线移动到电子束9下方。从而可以控制调节产生的X射线12束的高密度X射线12区域的发射方向。增大了有效照射区域内的X射线12密度，提高X射线显微镜的成像质量。

需要说明的是，第一靶材2的具体数量，第二靶材4的具体数量，第一靶材2的第一作用面201倾斜角度选择，以及不同倾斜角度的第一作用面201的第一靶材2分布，以及第二靶材4分布，不局限于上述实施方式的限制，本领域技术人员可以根据实际情况需要自行选择设置。

在一些可选的实施方式中，靶材组件1包括多个第一靶材2，多个第二靶材4，具体的，多个第一靶材2的材质不同，多个第二靶材4的材质不同。

多个第一靶材2可以选择不同的材质，可以是锰，或者是铬，或者是铜，或者是钴，或者是镍，或者是钨，或者是钛等常用靶材材质。

多个第二靶材4可以选择不同的材质，可以是锰，或者是铬，或者是铜，或者是钴，或者是镍，或者是钨，或者是钛等常用靶材材质。

如图1所示，靶材组件1设置有六个第一靶材2和一个第二靶材4，由第一靶材2向第二靶材4方向上。

可选的，第一个至第三个第一靶材2的材质为猛，第四个至第五个第一靶材2的材质为铬，第六个第一靶材2与第二靶材4的材质均为钨。

需要说明的是，第一靶材2的具体数量，第二靶材4的具体数量，第一靶材2的材质选择，以及不同材质的第一靶材2分布，第二靶材4的材质选择，以及不同材质的第二靶材4分布，不局限于上述实施方式的限制，本领域技术人员可以根据实际情况需要自行选择设置。

如图1至图4所示，本发明提供的一种X射线显微镜，该X射线显微镜包括如上实施方式中任一一种靶材组件1。该X射线显微镜包括安装座7，安装座7设置有卡槽，靶材组件1可拆卸的安装于卡槽中，安装座7设置有冷却组件6，用于对靶材组件1冷却。

具体的，靶材组件1可拆卸的安装于卡槽中，可以备用多个靶材组件1，本领域技术人员可以自行拆装更换靶材组件1，选择需要的倾斜角度的靶材组件1，需要的材质的靶材组件1，安装到安装座7上的卡槽上。

由于电子束9作用于第一靶材2，或者是第二靶材4上会产生热量，为了保证第一靶材2，或者是第二靶材4正常使用，需要保证第一靶材2，或者是第二靶材4的散热，在安装座7设置有冷却组件6，冷却组件6用于对靶材组件1冷却。

电子束9作用于第一靶材2，或者是第二靶材4上会产生热量，热量传递到第一散热层3和第二散热层5，热量经过第一散热层3和第二散热层5传递到安装座7上，安装座7上设置有冷却组件6，冷却组件6将安装座7的热量传输出去。

进一步的，安装座7包括第一冷却侧板701、第二冷却侧板702、冷却底板703、冷却背板704。冷却组件6包括第一冷却盘管601、第二冷却盘管602、第三冷却盘管603、第四冷却盘管604。第一冷却侧板701内腔设置有第一冷却盘管601，第二冷却侧板702内腔设置有第二冷却盘管602，冷却底板703内腔设置有第三冷却盘管603，冷却背板704内腔设置有第四冷却盘管604。

安装座7由第一冷却侧板701、第二冷却侧板702、冷却底板703、冷却背板704可以一体成型设置，也可以是拼接设置。

第一冷却侧板701内腔设置有第一冷却盘管601，第二冷却侧板702内腔设置有第二冷却盘管602，冷却底板703内腔设置有第三冷却盘管603，冷却背板704内腔设置有第四冷却盘管604。

可选的，第一冷却盘管601、第二冷却盘管602、第三冷却盘管603、第四冷却盘管604依次首尾连通，一端设置进液口，另一端设置出液口。冷却液由进液口进入，依次穿过第一冷却盘管601、第二冷却盘管602、第三冷却盘管603、第四冷却盘管604由出液口排出。冷却液依次带走第一冷却侧板701、第二冷却侧板702、冷却底板703、冷却背板704的热量，为安装座7进行散热，间接的为靶材组件1进行散热。

可选的，第一冷却盘管601的一端为进液口，另一端为出液口，冷却液由进液口进入，经过第一冷却盘管601，由出液口排出，冷却液带走第一冷却侧板701的热量，单独为第一冷却侧板701散热。

第二冷却盘管602的一端为进液口，另一端为出液口，冷却液由进液口进入，经过第二冷却盘管602，由出液口排出，冷却液带走第二冷却侧板702的热量，单独为第二冷却侧板702散热。

第三冷却盘管603的一端为进液口，另一端为出液口，冷却液由进液口进入，经过第三冷却盘管603，由出液口排出，冷却液带走冷却底板703的热量，单独为冷却底板703散热。

第四冷却盘管604的一端为进液口，另一端为出液口，冷却液由进液口进入，经过第四冷却盘管604，由出液口排出，冷却液带走冷却背板704的热量，单独为冷却背板704散热。

需要说明的是，冷却液优选水，或者是冷却液可以为本领域常用种类的冷却液，本领域技术人员可以根据需要自行选择冷却液的种类。

如图1至图4所示，本发明提供的一种X射线显微镜，该X射线显微镜包括电子光学镜筒8、样品台14、真空腔室10、X射线探测器17。

电子光学镜筒8用于发射电子束9，电子光学镜筒8下端连接有真空腔室10，真空腔室10设置有真空窗15；

样品台14用于放置待测样品13，样品台14设置于真空腔室10内；

靶材组件1位于真空腔室10内，电子束9作用于靶材组件1上产生X射线12照射于待测样品13上经过真空窗15被X射线探测器17接收。

具体的，电子光学镜筒8用于产生电子束9，并将发射扫描电子束9，电子光学镜筒8包括电子源801、电子加速结构802、物镜系统803。

电子源801用于产生发射电子束9。电子加速结构802为阳极，沿着电子束9发射方向，用于形成一电场，增加电子束9的运动速度。

物镜系统803用于控制电子源801所发出电子束9的束流大小和电子束9前进方向。

物镜系统803包括物镜和偏转装置，物镜可以为磁透镜、或者是电透镜、或者是电磁复合透镜。偏转装置可以为磁偏转装置，或者是电偏转装置。偏转装置用于改变电子源801发射出的电子束9的运动方向，能够产生任意偏转方向的扫描场。

如图1至图4所示，本发明提供的一种X射线显微镜，由上至下依次包括电子光学镜筒8，电子光学镜筒8下端连接有真空腔室10，样品台14设置于真空腔室10内，用于放置待测样品13，样品台14设置于真空腔室10内，真空腔室10设置有真空窗15。

样品台14能够进行五自由度的运动，五自由度的运动包括：三维平移(X、Y和Z三个方向上的平移)、绕中心轴的旋转(R)以及倾斜(T)。样品台14能够带动待测样品13在真空腔室10内进行五自由度的运动。

如图1至图4所示，本发明提供的一种X射线显微镜还包括机械手11，机械手11夹持靶材组件1在真空腔室10内运动。机械手11能够进行六自由度的运动，机械手11夹持靶材组件1，可以控制靶材组件1在真空腔室10内做空间直线运动和旋转运动。

真空腔室10设置有真空窗15，在真空腔室10外侧，对应在真空窗15处，设置有X射线探测器17。电子光学镜筒8产生电子束9作用于靶材组件1上产生X射线12，产生X射线12照射于待测样品13上经过真空窗15被X射线探测器17接收。

如图1至图4所示，在一些可选的实施方式中，本发明提供的一种X射线显微镜包括波纹管16，波纹管16一端与X射线探测器17连接，波纹管16的另一端与真空窗15四周的真空腔室10的外侧壁连接。

具体的，X射线探测器17能够进行五自由度的运动，五自由度的运动包括：三维平移(X、Y和Z三个方向上的平移)、绕中心轴的旋转(R)以及倾斜(T)。由于X射线探测器17通过波纹管16与真空窗15四周的真空腔室10的外侧壁连接，且X射线探测器17能够进行五自由度的运动，所以X射线探测器17可以灵活调节相对于真空窗15的位置关系。

更进一步的，真空腔室10的外侧壁、波纹管16、X射线探测器17、真空窗15之间围绕形成密闭腔室，密闭腔室中充入氦气，或者是氮气。

X射线探测器17通过波纹管16与真空窗15四周的真空腔室10的外侧壁连接，所以真空腔室10的外侧壁、波纹管16、X射线探测器17、真空窗15之间围绕形成密闭腔室，在密闭腔室中充入氦气，或者是氮气，可以减少X射线12传输的衰减，提高X射线显微镜的信噪比。

如图1至图4所示，以一个具体实施例说明本发明提供的一种X射线显微镜。靶材组件1由第一段101与第二段102一体成型设置，第一散热层3与第二散热层5一体成型设置，第一散热层3与第二散热层5均为金刚石材质。

靶材组件1设置有六个第一靶材2和一个第二靶材4，由第一靶材2向第二靶材4方向上，第一个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为二十度，第二个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为二十五度，第三个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为三十度，第四个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为三十五度，第五个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为四十度，第六个第一靶材2的第一作用面201倾斜角度为四十五度，第二靶材4的第二作用面401相对于第二凹槽501的底面平行设置。

第一个至第三个第一靶材2的材质为猛，第四个至第五个第一靶材2的材质为铬，第六个第一靶材2与第二靶材4的材质均为钨。

靶材组件1卡接在安装座7的卡槽中，在安装座7设置有冷却组件6，冷却组件6用于对靶材组件1冷却。机械手11通过安装座7夹持靶材组件1，可以控制靶材组件1在真空腔室10内进行六自由度的运动，电子光学镜筒8产生电子束9作用于靶材组件1上产生X射线12，产生X射线12照射于样品上经过真空窗15被X射线探测器17接收。

具体的，电子光学镜筒8产生电子束9可选择的作用于任意一个第一靶材2的第一作用面201，或者是第二靶材4的第二作用面401。

可以通过机械手11控制靶材组件1直线运动，从而带动不同倾斜角度的第一作用面201移动，可选择的将需要的倾斜角度的第一作用面201，或者是第二作用面401直线移动到电子束9下方。从而可以控制调节产生的X射线12束的高密度X射线12区域的发射方向。增大了有效照射区域内的X射线12密度，提高X射线显微镜的成像质量。

由于第一个至第三个第一靶材2的材质为猛，第四个至第五个第一靶材2的材质为铬，第六个第一靶材2与第二靶材4的材质均为钨。还可以通过机械手11控制靶材组件1直线运动，从而带动不同材质的第一作用面201移动，可选择的将需要的材质的第一作用面201，或者是第二作用面401直线移动到电子束9下方。从而调节不同的材质的第一靶材2或者是第二靶材4被电子束9作用，进而产生不同的X射线12照射待测样品13。

样品台14能够带动待测样品13在真空腔室10内进行五自由度的运动。待测样品13通过样品台14的带动，在真空腔室10内进行空间位置变换。例如，待测样品13在真空腔室10内转动一周运动，那么X射线12可以照射待测样品13一周。真空腔室10设置有真空窗15，真空窗15可以采用铍窗，或者是玻璃窗。在真空腔室10外侧，对应在真空窗15处，设置有X射线探测器17。产生的X射线12照射于待测样品13上经过真空窗15被X射线探测器17接收。由于X射线探测器17能够进行五自由度的运动，所以X射线探测器17可以灵活调节相对于真空窗15的位置关系。X射线探测器17能够更好的接收X射线12。

更进一步的，X射线探测器17通过波纹管16与真空窗15四周的真空腔室10的外侧壁连接，真空腔室10的外侧壁、波纹管16、X射线探测器17、真空窗15之间围绕形成密闭腔室，密闭腔室中充入氦气，或者是氮气。且X射线探测器17能够进行五自由度的运动，所以X射线探测器17可以灵活调节相对于真空窗15的位置关系。X射线探测器17能够更好的接收X射线12。

X射线探测器17通过波纹管16与真空窗15四周的真空腔室10的外侧壁连接，所以空腔室的外侧壁、波纹管16、X射线探测器17、真空窗15之间围绕形成密闭腔室，在密闭腔室中充入氦气，或者是氮气，可以减少X射线12传输的衰减，提高X射线显微镜的信噪比。

以上所述仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专利的技术人员在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述提示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明方案的范围内。

Claims (10)

1.一种靶材组件，其特征在于，包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述第一散热层设置有至少两个所述第一凹槽，每个所述第一凹槽内设置有一个所述第一靶材，至少两个所述第一作用面的倾斜角度不同。

3.根据权利要求2所述的靶材组件，其特征在于，还包括第二段，所述第二段包括第二散热层，所述第二散热层设置有第二凹槽，所述第二凹槽内设置有第二靶材，所述第二靶材具有受电子束作用的第二作用面，所述第二作用面相对于所述第二凹槽的底面平行设置。

4.根据权利要求3所述的靶材组件，其特征在于，多个所述第一靶材的材质不同；

多个所述第二靶材的材质不同。

5.一种X射线显微镜，包括如权利要求1-4任一项所述靶材组件，其特征在于，包括安装座，所述安装座设置有卡槽，所述靶材组件可拆卸的安装于所述卡槽中，所述安装座设置有冷却组件，用于对所述靶材组件冷却。

6.根据权利要求5所述的X射线显微镜，其特征在于，所述安装座包括第一冷却侧板、第二冷却侧板、冷却底板、冷却背板；

所述冷却组件包括第一冷却盘管、第二冷却盘管、第三冷却盘管、第四冷却盘管；

所述第一冷却侧板内腔设置有所述第一冷却盘管，所述第二冷却侧板内腔设置有所述第二冷却盘管，所述冷却底板内腔设置有所述第三冷却盘管，所述冷却背板内腔设置有所述第四冷却盘管。

7.根据权利要求5所述的X射线显微镜，其特征在于，还包括：

电子光学镜筒，用于发射电子束，所述电子光学镜筒下端连接有真空腔室，所述真空腔室设置有真空窗；

样品台，用于放置待测样品，所述样品台设置于所述真空腔室内；

所述靶材组件位于所述真空腔室内，所述电子束作用于所述靶材组件上产生X射线照射于所述待测样品上经过所述真空窗被X射线探测器接收。

8.根据权利要求7所述的X射线显微镜，其特征在于，还包括：

机械手，所述机械手夹持所述靶材组件在所述真空腔室内运动。

9.根据权利要求7所述的X射线显微镜，其特征在于，还包括：

波纹管，所述波纹管一端与所述X射线探测器连接，所述波纹管的另一端与所述真空窗四周的所述真空腔室的外侧壁连接。

10.根据权利要求9所述的X射线显微镜，其特征在于，所述真空腔室的外侧壁、所述波纹管、所述X射线探测器、所述真空窗之间围绕形成密闭腔室，所述密闭腔室中充入氦气，或者是氮气。

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