CN114280465B - 一种应用于芯片测试设备的平台移动装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种应用于芯片测试设备的平台移动装置，平台移动装置包括底座、设置在底座上方的滑动平台，在滑动平台下方设置滑动连接的第一导轨和第二导轨，滑动平台一侧设有凸轮随动器，凸轮的一端与凸轮随动器抵接，其中，凸轮与凸轮随动器抵接端的表面包括平面区域和非平面区域，凸轮的另一端穿过设置在电机一侧的电机座与电机连接，电机驱动凸轮转动，当凸轮转动到非平面区域时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，当凸轮转动到所述平面区域时，滑动平台相对底座静止。本申请通过凸轮进行驱动，以实现滑动平台的微小行程移动，在保证移动的精度的同时，节省了生产成本。

Description

一种应用于芯片测试设备的平台移动装置

技术领域

本申请涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种应用于芯片测试设备的平台移动装置。

背景技术

在芯片的测试、生产过程中经常需要用到运动平台，常用到标准的直线运动平台模块中行程较大的运动平台，常见的驱动形式有丝杆螺母、同步带、直线电机等形式。微小行程的运动平台，常见的驱动形式有音圈电机、超声马达（压电陶瓷）等形式。

但是在运动平台的实际应用过程中发现，丝杆螺母、同步带、直线电机等驱动形式驱动精度高，但体积较大，在不降低精度的情况下，很难做到非常小巧，所以微小行程的运动平台，较少采用这类驱动形式。通过音圈电机、超声马达（压电陶瓷）等驱动形式的运动平台，虽然驱动精度超高、体积小巧、质量轻便，但造价昂贵。因此，适用于芯片测试的微小运动平台装置生产成本高。

发明内容

本申请实施例提供一种应用于芯片测试设备的平台移动装置，用以在保证平台移动精度的同时，节省了生产成本。

本申请实施例提供一种应用于芯片测试设备的平台移动装置，包括：

底座，在所述底座上方设置第一导轨和用于固定复位弹簧的第一弹簧销；

滑动平台，滑动平台设于底座上方，在滑动平台下方设置第二导轨，第一导轨与第二导轨滑动连接，滑动平台一侧设有凸轮随动器，滑动平台上设置有第二弹簧销，底座与滑动平台通过固定在第一弹簧销和第二弹簧销上的复位弹簧相连；

凸轮，凸轮一端与电机连接，另一端与凸轮随动器抵接，凸轮与凸轮随动器抵接端的表面包括平面区域和非平面区域；

电机，凸轮穿过设置在电机一侧的电机座与电机连接，并驱动凸轮转动，当凸轮转动到非平面区域时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，复位弹簧在滑动平台相对底座移动时收缩或复位，当凸轮转动到平面区域时，滑动平台相对底座静止。

在本申请一种可能的实现方式中，非平面区域包括多个斜面区域。

在本申请一种可能的实现方式中，多个斜面包括上斜面区域和下斜面区域；

当凸轮转动到上斜面区域，且凸轮与凸轮随动器的接触面由上斜面区域向平面区域移动时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，复位弹簧在滑动平台相对底座移动时收缩，当凸轮转动到下斜面区域，且凸轮与凸轮随动器的接触面由平面区域向下斜面区域移动时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，复位弹簧在滑动平台相对底座移动时复位。

在本申请一种可能的实现方式中，上斜面区域的倾斜角度对应预设的第一运动曲线，下斜面区域的倾斜角度对应预设的第二运动曲线，第一运动曲线和第二运动曲线不同，第一运动曲线和第二运动曲线与滑动平台上放置的物品相关联。

在本申请一种可能的实现方式中，平面区域包括第一平面区域和第二平面区域，第一平面区域两侧分别和上斜面区域和下斜面区域相邻，第二平面区域两侧也分别和上斜面区域和下斜面区域相邻，上斜面区域沿平行滑动平台移动方向的顶点与第一平面区域在同一竖直平面，下斜面区域沿平行滑动平台移动方向的最低点与第二平面区域在同一竖直平面；

第一平面区域和上斜面区域面积之和，等于第二平面区域与下斜面区域面积之和。

在本申请一种可能的实现方式中，上斜面区域沿平行滑动平台移动方向的顶点和最低点的距离差为1-3mm；

下斜面区域沿平行滑动平台移动方向的顶点和最低点的距离差为1-3mm。

在本申请一种可能的实现方式中，凸轮为空心圆柱。

在本申请一种可能的实现方式中，第一导轨和第二导轨为交叉滚子导轨。

在本申请一种可能的实现方式中，凸轮随动器为圆柱形，凸轮随动器的高度与凸轮的厚度相同。

在本申请一种可能的实现方式中，滑动平台背离底座的一侧设置有用于固定物品的若干凹槽。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的应用于芯片测试设备的平台移动装置的主视图。

图2为本申请实施例提供的应用于芯片测试设备的平台移动装置的爆炸图。

图3为本申请实施例提供的凸轮表面结构示意图。

图4为本申请实施例提供的凸轮表面中非平面结构示意图。

图5为本申请实施例提供的滑动平台的运动曲线。

图6a为本申请实施例提供的凸轮的主视图。

图6b为本申请实施例提供的图6a中凸轮对应的右视图。

图6c为本申请实施例提供的凸轮随动器与凸轮的下斜面相接触的主视图。

图7为本申请实施例提供的凸轮随动器与凸轮的结构示意图。

图8为本申请实施例提供的滑动平台的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

在本申请中，滑台平台可以用于搭载芯片测试载台、芯片测试探头等芯片测试装置。

如图1所示为本申请实施例提供的应用于芯片测试设备的平台移动装置的主视图，如图2所示为本申请实施例提供的应用于芯片测试设备的平台移动装置的爆炸图，由图2可以看出，本申请中的平台移动装置包括底座1，在底座1上方设置第一导轨21和用于固定复位弹簧的第一弹簧销91，在底座1上方设置滑动平台3，在滑动平台3下方设置第二导轨20，导轨2分为第一导轨21和第二导轨20，第一导轨21与第二导轨20滑动连接，滑动平台3一侧设有凸轮随动器4，滑动平台3上设置有第二弹簧销90，底座1与滑动平台3通过固定在第一弹簧销91和第二弹簧销90上的复位弹簧8相连。凸轮5一端与凸轮随动器4抵接，其中，凸轮5与凸轮随动器4抵接端的表面包括平面区域和非平面区域，凸轮5的另一端穿过设置在电机一侧的电机座6与电机7连接，电机7工作时驱动凸轮5转动，当凸轮5转动到非平面区域时，推进第一导轨21与第二导轨20相对滑动，以使得滑动平台3相对底座1移动，复位弹簧8在滑动平台3相对底座1移动时收缩或复位，当凸轮5转动到平面区域时，滑动平台3相对底座1静止，其中，滑动平台3相对底座1移动时，复位弹簧8是收缩还是复位由凸轮5的非平面区域的倾斜方向和凸轮5的运动方向来确定。

在一种实施例中，凸轮5的非平面区域包括多个斜面区域。如图3所示，凸轮5的非平面包括第一斜面51和第二斜面53，其中，第一斜面51与第二斜面53的倾斜角度的方向不同，倾斜大小可以相同，也可以不相同，可根据具体实际情况进行选择，在此不做限定。

在一种实施例中，多个斜面包括上斜面区域和下斜面区域；当凸轮转动到上斜面区域，且凸轮与凸轮随动器的接触面由上斜面区域向平面区域移动时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，复位弹簧在滑动平台相对底座移动时收缩，当凸轮转动到下斜面区域，且凸轮与凸轮随动器的接触面由平面区域向下斜面区域移动时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，复位弹簧在滑动平台相对底座移动时复位。

以下内容为例进行说明，如图3所示，第一斜面51为上斜面，第二斜面53为下斜面，若凸轮随动器4与凸轮5的接触面转到第一斜面51上，且从第一斜面51向平面52的方向移动时，复位弹簧收缩，从而使滑动平台3朝着远离电机7的方向水平移动，若凸轮随动器4与凸轮5的接触面转到第一斜面51上，且接触面从平面52向第一斜面51的方向移动时，复位弹簧复位，从而使滑动平台3朝着靠近电机7的方向水平移动。

若凸轮随动器4与凸轮5的接触面在平面52上时，弹簧伸缩的长度不变，即滑动平台3保持静止。

若凸轮随动器4与凸轮5的接触面转到第二斜面53上，且从第二斜面53向平面52的方向移动时，复位弹簧收缩，从而使滑动平台3朝着远离电机7的方向水平移动，若凸轮随动器4与凸轮5的接触面转到第二斜面53上，且接触面从平面52向第二斜面53的方向移动时，复位弹簧复位，从而使滑动平台3朝着靠近电机7的方向水平移动。

在一种实施例中，上斜面区域的倾斜角度对应预设的第一运动曲线，下斜面区域的倾斜角度对应预设的第二运动曲线，第一运动曲线和第二运动曲线不同，第一运动曲线和第二运动曲线与滑动平台上放置的物品相关联。

如图4所示，第一斜面51对应的倾斜角度为a1，第二斜面53对应的倾斜角度为a2，其中，a1对应的第一斜面51的高度为h1，a2对应的第二斜面53的高度为h2，第一斜面51的高度h1和第二斜面53的高度h2各自决定着滑动平台移动的距离，角度a1和角度a2决定着滑动平台的移动的速度，即a1的角度大滑动平台移动的速度快，a1角度小滑动平台3移动的速度慢，同理，a2角度大滑动平台3移动的速度快，a2角度小滑动平台3移动的速度慢。

若高度h1和h2相等的情况下，若滑动平台3需要水平移动的速度大小是相同，则a1的角度与a2的角度大小相同。如图5所示为在高度h1和h2相等的情况下，滑动平台3靠近电机7移动时与远离电机7移动时速度相同对应的曲线图，其中，第一运动曲线对应第一斜面51，第二运动曲线对应第二斜面53，图4中的行程与时间为方便说明所取得数值，具体数据根据实际情况而定，在此只为方便说明，不应理解为对本申请的内容限制。

在本申请中可以根据滑动平台3上放置的物品对应运行曲线，来选择对应的凸轮5，其中，凸轮5与凸轮随动器4抵接端的表面形状与物品的运行曲线相对应。

在一种实施例中，平面区域包括第一平面区域和第二平面区域，第一平面区域两侧分别和上斜面区域和下斜面区域相邻，第二平面区域两侧也分别和上斜面区域和下斜面区域相邻，上斜面区域沿平行滑动平台移动方向的顶点与第一平面区域在同一竖直平面，下斜面区域沿平行滑动平台移动方向的最低点与第二平面区域在同一竖直平面；第一平面区域和上斜面区域面积之和，等于第二平面区域与下斜面区域面积之和。

如图6a所示为本申请实施例所提供的凸轮的主视图，如图6b所示为本申请实施例所提供的图6a中凸轮对应的右视图，凸轮5可以为实心，也可以为空心，在此方便理解，如图6a中将凸轮5画为空心圆柱，其中，平面52分为第一平面521和第二平面522，其中，第一平面521的区域面积加上第一斜面51的区域面积，等于第二平面522的面积加上第二斜面53的面积。

当凸轮随动器4与凸轮5的接触面转到第一斜面51上，且从第一斜面51向第二平面522的方向移动时，复位弹簧收缩，从而使滑动平台3朝着远离电机7的方向水平移动；当凸轮随动器4与凸轮5的接触面转到第二平面522上时，弹簧的形状不发生改变，即滑动平台3静止；如图6c所示为本申请实施例提供的凸轮随动器与凸轮的下斜面相接触的主视图，当凸轮随动器4与凸轮5的接触面转到第二斜面53上，且从第二平面522向第二斜面53的方向移动时，复位弹簧复位，从而使滑动平台3朝着靠近电机7的方向水平移动；当凸轮随动器4与凸轮5的接触面转到第一平面521上时，弹簧的形状不发生改变，即滑动平台3静止。此过程为第一平面区域和上斜面区域面积之和，等于第二平面区域与下斜面区域面积之和时，凸轮5转动一圈对应的滑动平台3的运动情况。

在一种实施例中，为保证滑动平台3实现微小距离移动，将图4中第一斜面对应的高度h1，以及第二斜面对应的高度h2设为1-3mm，这样设置的目的是让滑动平台3的移动行程为1-3mm，即实现滑动平台微小行程移动，其中，h1和h2的高度可以相同，也可以不相同，根据实际情况进行设定，在此不做限定。由于本申请中可以设置凸轮5中斜面对应的高度来实现滑动平台3的微小行程移动，保证滑动平台3移动的精度，且通过凸轮5驱动节省了生产成本。

在一种实施例中，第一导轨21和第二导轨20为交叉滚子导轨。

在一种实施例中，在凸轮5为空心圆柱时，凸轮随动器4为圆柱形，凸轮随动器4的高度与凸轮5的厚度相同。

如图7所示，凸轮随动器4的高度与凸轮5的厚度相同，使凸轮5与凸轮随动器4的接触面积增大，进而使凸轮5与凸轮随动器4更加耐磨。

如图8所示，滑动平台3背离底座1的一侧设置有用于固定物品的若干凹槽10，凹槽10的个数在此不做限定，可以是一个，也可以是多个，具体的分布方式也不做限定，可以是任意分布，也可以是等间距分布。

其中，滑动平台3上放置的物品包括但不局限于芯片测试载台、芯片测试探头等芯片测试装置。例如可以将芯片测试探头放在滑动平台3上，并通过滑动平台3上的凹槽10进行固定。

本申请实施例提供了一种应用于芯片测试设备的平台移动装置，平台移动装置包括底座、设置在底座上方的滑动平台，在滑动平台下方设置滑动连接的第一导轨和第二导轨，滑动平台一侧设有凸轮随动器，凸轮的一端与凸轮随动器抵接，其中，凸轮与凸轮随动器抵接端的表面包括平面区域和非平面区域，凸轮的另一端穿过设置在电机一侧的电机座与电机连接，电机驱动凸轮转动，当凸轮转动到非平面区域时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，当凸轮转动到平面区域时，滑动平台相对底座静止。本申请通过凸轮进行驱动，以实现滑动平台的微小行程移动，在保证移动的精度的同时，节省了生产成本。在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

以上实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上对本申请实施例所提供的一种应用于芯片测试设备的平台移动装置进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，包括：

底座，在所述底座上方设置第一导轨和用于固定复位弹簧的第一弹簧销；

滑动平台，所述滑动平台设于所述底座上方，在所述滑动平台下方设置第二导轨，所述第一导轨与所述第二导轨滑动连接，所述滑动平台一侧设有凸轮随动器，所述滑动平台上设置有第二弹簧销，所述底座与所述滑动平台通过固定在第一弹簧销和所述第二弹簧销上的复位弹簧相连；

凸轮，所述凸轮一端与电机连接，另一端与所述凸轮随动器抵接，所述凸轮与所述凸轮随动器抵接端的表面包括平面区域和非平面区域；

电机，所述凸轮穿过设置在所述电机一侧的电机座与所述电机连接，并驱动所述凸轮转动，当所述凸轮转动到所述非平面区域时，推进所述第一导轨与所述第二导轨相对滑动，以使得所述滑动平台相对所述底座移动，所述复位弹簧在所述滑动平台相对所述底座移动时收缩或复位，当所述凸轮转动到所述平面区域时，所述滑动平台相对所述底座静止。

2.如权利要求1所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述非平面区域包括多个斜面区域。

3.如权利要求2所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述多个斜面包括上斜面区域和下斜面区域；

当所述凸轮转动到所述上斜面区域，且所述凸轮与所述凸轮随动器的接触面由所述上斜面区域向所述平面区域移动时，推进所述第一导轨与所述第二导轨相对滑动，以使得所述滑动平台相对所述底座移动，所述复位弹簧在所述滑动平台相对所述底座移动时收缩，当所述凸轮转动到所述下斜面区域，且所述凸轮与所述凸轮随动器的接触面由所述平面区域向所述下斜面区域移动时，推进所述第一导轨与所述第二导轨相对滑动，以使得所述滑动平台相对所述底座移动，所述复位弹簧在所述滑动平台相对所述底座移动时复位。

4.如权利要求3所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述上斜面区域的倾斜角度对应预设的第一运动曲线，所述下斜面区域的倾斜角度对应预设的第二运动曲线，所述第一运动曲线和第二运动曲线不同，所述第一运动曲线和第二运动曲线与所述滑动平台上放置的物品相关联。

5.如权利要求3所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述平面区域包括第一平面区域和第二平面区域，所述第一平面区域两侧分别和所述上斜面区域和所述下斜面区域相邻，所述第二平面区域两侧也分别和所述上斜面区域和所述下斜面区域相邻，所述上斜面区域沿平行所述滑动平台移动方向的顶点与所述第一平面区域在同一竖直平面，所述下斜面区域沿平行所述滑动平台移动方向的最低点与所述第二平面区域在同一竖直平面；

所述第一平面区域和所述上斜面区域面积之和，等于所述第二平面区域与所述下斜面区域面积之和。

6.如权利要求3所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述上斜面区域沿平行所述滑动平台移动方向的顶点和最低点的距离差为1-3mm；

所述下斜面区域沿平行所述滑动平台移动方向的顶点和最低点的距离差为1-3mm。

7.如权利要求1所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述凸轮为空心圆柱。

8.如权利要求1所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述第一导轨和所述第二导轨为交叉滚子导轨。

9.如权利要求7所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述凸轮随动器为圆柱形，所述凸轮随动器的高度与所述凸轮的厚度相同。

10.如权利要求1所述的应用于芯片测试设备的平台移动装置，其特征在于，所述滑动平台背离所述底座的一侧设置有用于固定物品的若干凹槽。

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