CN114279693A - 一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，涉及入射角扫描的技术领域，其包括以下步骤：S1：将样品放置在样品台上；S2：测量，寻找样品的快慢轴；S3：将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，将起偏臂和检偏臂设置在同一条直线上，对样品做透射测量；S4：调整起偏臂和检偏臂之间的夹角，对样品做反射测量；S5：对样品进行旋转，改变入射角，测量透射或反射。本申请具有该系统对不同厚度的样品既可做入射角扫描的透射也可做入射角扫描的反射的效果。

Description

一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法

技术领域

本申请涉及入射角扫描的技术领域，尤其是涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法。

背景技术

相位延迟是由于光的相位在透过具有二相性或多向性的物质时发生偏转所产生的相位的延后作用。

相位延迟测量系统主要是对样品进行相位延迟测量，相位延迟测量系统包括起偏臂、检偏臂和样品台，样品台位于起偏臂和检偏臂之间，用于放置样品，起偏臂发射光束到样品上，检偏臂用于检测光束的偏振状态。传统的，起偏臂和检偏臂位于同一条直线上，因此只能对样品做透射测量，但是，当样品具有一定的厚度，且样品不垂直于起偏臂发出的光线放置时，透过样品的光线则会因为折射的原因而产生光线的偏移，从而造成入射光线和出射光线不在同一条直线上。

针对上述中的相关技术，发明人认为现有的相位延迟测量系统具有不能既做透射测量又做反射测量的缺陷。

发明内容

为了改善现有的相位延迟测量系统不能既做透射测量又做反射测量的技术问题，本申请提供一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法。

本申请提供的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法采用如下技术方案：

S1：将样品放置在样品台上；

S2：测量，寻找样品的快慢轴；

S3：将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，将起偏臂和检偏臂设置在同一条直线上，对样品做透射测量；

S4：调整起偏臂和检偏臂之间的夹角，对样品做反射测量；

S5：对样品进行旋转，改变入射角，测量透射或反射。

通过采用上述技术方案，先采用Mueller矩阵或单C旋转等不同方式对样品进行测量，得到样品快轴和慢轴所在的位置，当检偏臂与起偏臂位于同一条光线时，可以对样品进行透射测量；当通过调整样品台而使检偏臂与起偏臂之间产生夹角时，可以对样品进行反射测量，通过上述所说，该系统既能做透射也能做反射测量，节省操作时间，提高测量效率，还可以使用该系统寻找样品的快轴和慢轴，提高该系统的适用性。

可选的，所述样品台下方设置有底部旋转台，所述样品台包括由下至上依次设置的中间旋转台和竖直旋转台，所述中间旋转台和底部旋转台同轴设置，将样品放置在所述竖直旋转台上。

通过采用上述技术方案，中间旋转台和底部旋转台同轴设置，且竖直旋转台设置在中间旋转台背离底部旋转台的一侧，样品放置在竖直旋转台上，使得透射测量时入射角的变化可通过旋转中间旋转台来实现，反射测量时入射角的变化可通过旋转底部旋转台来实现。

可选的，所述检偏臂固设在所述底部旋转台上，所述检偏臂与底部旋转台之间设置有平移台，所述检偏臂在所述平移台上移动。

通过采用上述技术方案，平移台的设置使得检偏臂可通过平移来补偿入射角改变而造成的光线偏移。

可选的，步骤S3实施时，旋转所述竖直旋转台使所述样品的快轴或慢轴水平，旋转中间旋转台改变起偏臂所发出的光束与样品之间的角度。

通过采用上述技术方案，对样品做入射角的扫描。

可选的，当对样品的入射角扫描时，操作检偏臂在所述平移台上移动。

通过采用上述技术方案，当样品的厚度较厚时，起偏臂所发出的光束在样品上会出现折射，折射之后从样品透出的光线会产生平移，这时操作检偏臂在平移台上平移，来补偿入射角改变而造成的光线偏移。

可选的，所述平移台的移动方向垂直于所述起偏臂所发出光束的方向。

通过采用上述技术方案，保证起偏臂发出的光束可进入到检偏臂。

可选的，步骤S4实施时，旋转底部旋转台，使起偏臂所发出的光束方向与检偏臂之间的夹角改变。

通过采用上述技术方案，使得起偏臂所发出光束的入射光束和经过样品后发出的出射光束之间的夹角产生变化，从而实现反射测量的入射角扫描。

可选的，当对样品进行扫描时，先旋转中间旋转台，再旋转底部旋转台。

通过采用上述技术方案，当样品的厚度较薄时，通过中间旋转台来改变起偏臂所发出光束与样品之间的入射角，这时只需要旋转底部旋转台就可以使检偏臂接收到透过样品的光束。

可选的，当对样品进行扫描时，先旋转中间旋转台，再旋转底部旋转台，再使检偏臂在平移台上平移。

通过采用上述技术方案，当样品厚度较厚时，旋转中间旋转台和底部旋转台后再操作检偏臂在平移台上平移来接收透过样品的光束。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.使得该系统对不同厚度的样品既可做入射角扫描的透射也可做入射角扫描的反射，节省操作时间，提高测量效率；

2.通过该系统还可以寻找样品的快轴和慢轴，提高该系统的适用性。

附图说明

图1是本申请实施例的结构示意图。

图2是本申请实施例中中间驱动装置的示意图。

图3是本申请实施例中底部驱动装置的示意图。

图4是图2中A部分的放大示意图。

附图标记说明：1、起偏臂；2、样品台；21、中间旋转台；211、中间驱动装置；2111、中间电机；2112、中间蜗轮；2113、中间蜗杆；22、竖直旋转台；221、竖直驱动装置；3、底部旋转台；31、底部驱动装置；4、检偏臂；5、对准部；6、平移台；61、滑道；611、穿孔；62、滑块；63、驱动电机。

具体实施方式

以下结合附图1-4对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法。参照图1，一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统包括起偏臂1、样品台2、底部旋转台3以及检偏臂4；检偏臂4固设在底部旋转台3上，样品台2与底部旋转台3同轴设置，且位于起偏臂1和检偏臂4之间，样品台2用于放置待测样品，起偏臂1向样品发出光束，检偏臂4用于检测透过样品后光束的偏振状态。该系统还设置有对准部5，通过对准部5可将待检测样品放到合适的位置。

参照图1，样品台2包括由下至上依次设置的中间旋转台21和竖直旋转台22；中间旋转台21与底部旋转台3同轴设置，竖直旋转台22竖直的设置在中间旋转台21上，样品放置在竖直旋转台22上。

参照图2和图3，中间旋转台21上设置有中间驱动装置211，通过中间驱动装置211驱动中间旋转台21转动。中间驱动装置211包括中间电机2111、中间蜗轮2112和中间蜗杆2113，中间蜗轮2112绕着中间旋转台21的外周面设置一周，中间蜗杆2113和中间蜗轮2112相适配，且中间蜗杆2113与中间电机2111连接，使得中间旋转台21通过中间电机2111驱动旋转。中间旋转台21上还设置有刻度，刻度绕着中间旋转台21的周向设置一周，使得中间旋转台21旋转时角度更准确。

参照图1和图2，竖直旋转台22上设置有竖直驱动装置221，通过竖直驱动装置221驱动竖直旋转台22转动，使得操作便捷。竖直驱动装置221包括竖直电机(图中不做标注)、竖直蜗轮(图中不做标注)和竖直蜗杆(图中不做标注)，竖直蜗轮绕着竖直旋转台22的外周面设置一周，竖直蜗杆和竖直蜗轮相适配，且竖直蜗杆与竖直电机连接，使得竖直旋转台22通过竖直电机驱动旋转。且竖直旋转台22上也设置有刻度。

参照图2和图4，底部旋转台3和检偏臂4之间设置有平移台6，平移台6包括固设在底部旋转台3上的滑道61和固设在检偏臂4上的滑块62，滑块62和滑道61相适配，使得滑块62可在滑道61上滑动，从而使检偏臂4在滑道61上滑动，检偏臂4的移动方向与底部旋转台3的切向方向平行。滑道61的一端开设有穿孔611，且该端还设置有驱动电机63，驱动电机63的轴穿过穿孔611后与滑块62的一端固定连接，使得滑块62可通过驱动电机63在滑道61上滑动，从而使检偏臂4在平移台6上平移时操作简单。

参照图3，底部旋转台3上设置有底部驱动装置31，底部驱动装置31包括底部电机(图中不做标注)、底部蜗轮(图中不做标注)和底部蜗杆(图中不做标注)，底部蜗轮绕着底部旋转台3的外周面设置一周，底部蜗杆和底部蜗轮相适配，且底部蜗杆与底部电机连接，使得底部旋转台3通过底部电机驱动进行旋转。同样，底部旋转台3上也设置有刻度。

本申请的使用方法包括以下步骤：

S1：参照图1，先将样品放置在竖直旋转台22上；

S2：参照图1，使样品以起偏臂1所发出的光束的方向为轴进行旋转，采用Mueller矩阵或单C旋转等不同方式对样品进行测量，得到样品快轴和慢轴所在的位置:

S3：参照图1，当对样品做透射测量时，将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，使起偏臂1和检偏臂4位于同一条光线上，旋转竖直旋转台22使样品的快轴或慢轴水平，旋转中间旋转台21改变起偏臂1所发出的光束与样品之间的角度，对样品做入射角的扫描。

参照图2和图4，当样品的厚度较厚时，当起偏臂1所发出的光束照在厚度较厚的样品上时，光束在该样品上会出现折射，使得光线透过该样品时会产生平移，这时操作检偏臂4在平移台6上平移，来补偿入射角改变而造成的光线偏移；

S4：参照图1，当对样品做反射测量时，当样品的厚度较薄时，通过旋转中间旋转台21来改变起偏臂1所发出光束与该样品之间的入射角时，这时只需要通过旋转底部旋转台3就可以使检偏臂4接收到透过该样品的光束。

参照图2和图4，当对厚度较厚的样品进行扫描时，在旋转中间旋转台21和底部旋转台3后，还需要使检偏臂4在平移台6上平移来接收透过该样品的光束。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：将样品放置在样品台(2)上；

S2：测量，寻找样品的快慢轴；

S3：将快轴或慢轴方向旋转到入射面内，将起偏臂(1)和检偏臂(4)设置在同一条直线上，对样品做透射测量；

S4：调整起偏臂(1)和检偏臂(4)之间的夹角，对样品做反射测量；

S5：对样品进行旋转，改变入射角，测量透射或反射。

2.根据权利要求1所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：所述样品台(2)下方设置有底部旋转台(3)，所述样品台(2)包括由下至上依次设置的中间旋转台(21)和竖直旋转台(22)，所述中间旋转台(21)和底部旋转台(3)同轴设置，将样品放置在所述竖直旋转台(22)上。

3.根据权利要求2所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：所述检偏臂(4)固设在所述底部旋转台(3)上，所述检偏臂(4)与底部旋转台(3)之间设置有平移台(6)，所述检偏臂(4)在所述平移台(6)上移动。

4.根据权利要求3所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：步骤S3实施时，旋转所述竖直旋转台(22)使所述样品的快轴或慢轴水平，旋转中间旋转台(21)改变起偏臂(1)所发出的光束与样品之间的角度。

5.根据权利要求4所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：当对样品的入射角扫描时，操作检偏臂(4)在所述平移台(6)上移动。

6.根据权利要求4所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：所述平移台(6)的移动方向垂直于所述起偏臂(1)所发出光束的方向。

7.根据权利要求3所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：步骤S4实施时，旋转底部旋转台(3)，使起偏臂(1)所发出的光束方向与检偏臂(4)之间的夹角改变。

8.根据权利要求7所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：当对样品进行扫描时，先旋转中间旋转台(21)，再旋转底部旋转台(3)。

9.根据权利要求7所述的一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统的使用方法，其特征在于：当对样品进行扫描时，先旋转中间旋转台(21)，再旋转底部旋转台(3)，再使检偏臂(4)在平移台(6)上平移。

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