CN114248248A - 一种用于晶圆缺陷检测的工作台 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于晶圆缺陷检测的工作台，涉及晶圆检测领域，包括主台面，所述主台面的底面垂直向下焊接有支撑套杆，所述支撑套杆的底端竖直向插接有延伸立杆，所述支撑套杆的侧边竖直向开设有侧通接槽，所述延伸立杆的底端螺栓连接有移动轮，所述移动轮的侧边插接有刹停板，所述延伸立杆之间侧边水平焊接有固定横板，所述固定横板之间侧边水平焊接有连接底板，所述固定横板的顶面对接有底套杆，所述底套杆的顶端固定设置有固定顶板。本发明装置设计结构简单操作简便，在采用了多工位的结构下使得检测台在进行检测时效率可以大大提高，同时在多向的调节结构下使得可以满足不同身材的人员更加舒适的进行检测工作，减少工作的疲劳感。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，具体是一种用于晶圆缺陷检测的工作台。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
对于现在的晶圆在生产时需要对其检测作用，传统的检测台就是一个桌体结构，工作人员均坐在检测台的边缘位置，对于运行过来的晶圆要是移动到另一侧边位置就会出现拿取不便的情况，且不具有调节的结构使得工作人员保持着一种不舒适的姿势进行检测操作，时间长了会有疲劳感，大大的影响到了工作效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于晶圆缺陷检测的工作台，以解决上述背景技术中提出的传统的检测台就是一个桌体结构，工作人员均坐在检测台的边缘位置，对于运行过来的晶圆要是移动到另一侧边位置就会出现拿取不便的情况，且不具有调节的结构使得工作人员保持着一种不舒适的姿势进行检测操作，时间长了会有疲劳感，大大的影响到了工作效率的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种用于晶圆缺陷检测的工作台，包括主台面，所述主台面的底面垂直向下焊接有支撑套杆，所述支撑套杆的底端竖直向插接有延伸立杆，所述支撑套杆的侧边竖直向开设有侧通接槽，所述延伸立杆的底端螺栓连接有移动轮，所述移动轮的侧边插接有刹停板，所述延伸立杆之间侧边水平焊接有固定横板，所述固定横板之间侧边水平焊接有连接底板，所述固定横板的顶面对接有底套杆，所述底套杆的顶端固定设置有固定顶板，所述连接底板的一侧边水平均匀焊接有脚踏板，所述脚踏板的顶面卡接有控制键，所述主台面的顶面均匀开设有操作槽孔，所述主台面的顶面均匀开设有开启槽道，所述开启槽道的内侧边水平卡接有密封板，所述开启槽道的内侧边对称开设有侧限位槽，所述密封板的一侧边对称焊接有翻转卡板，所述密封板的一侧边对称焊接有限位卡板，所述翻转卡板的一端插接有插接轴杆，所述限位卡板的顶面和底面均匀开设有限位孔，所述密封板的底面水平开设有拨动槽，所述侧限位槽的内侧边对称开设有限位内槽，所述侧限位槽的内侧顶面和底面开设有隐藏凹槽，所述隐藏凹槽的内侧边固定卡接有顶接球，所述隐藏凹槽的内侧边固定卡接有支撑弹簧，所述支撑套杆的内侧边水平卡接有限位内板，所述延伸立杆的内侧边竖直向固定卡接设置有顶起气缸，所述底套杆的顶端竖直向插接有延伸立杆一，所述底套杆的内侧边水平卡接有内卡接板，所述底套杆的内侧边螺栓连接有推压气缸，所述延伸立杆一的底端开设有顶套接槽，所述底套杆的底端垂直向下焊接有连接螺杆，所述连接螺杆的底端固定插接有插接杆，所述固定顶板的顶面水平固定粘接有海绵垫，所述固定顶板的底面垂直向下焊接有卡接底块，所述连接底板的顶面均匀开设有连接螺孔，所述连接螺孔的内侧底面开设有插接孔，所述连接底板的内侧边水平卡接有电源主板，所述电源主板的侧边插接有导线，所述连接底板的一端插接有主电源线。
作为本发明的一种优选实施方式：所述支撑套杆的个数为四根，且四根支撑套杆相互之间平行设置，四根支撑套杆的顶端垂直向上焊接设置在主台面的底面四边角位置，侧通接槽竖直向开设在支撑套杆之间靠近固定横板的一侧边位置，且侧通接槽的宽度与固定横板的宽度保持一致设置。
作为本发明的一种优选实施方式：所述移动轮的个数与延伸立杆的个数保持一致设置，且刹停板的一端斜延伸至移动轮的内侧边位置，延伸端侧边对接在滚轮外侧边位置，固定横板的个数为两根，且两根固定横板相互之间平行设置，两根固定横板的两端垂直固定设置在延伸立杆之间侧边靠近底端位置。
作为本发明的一种优选实施方式：所述连接底板的两端垂直固定设置在固定横板的之间侧边中心位置，且连接底板与主台面相互之间叠加式平行设置，底套杆的底端垂直向下对接在连接螺孔的顶开口端位置，固定顶板水平设置在延伸立杆一的顶端位置，脚踏板的个数与底套杆的个数保持一致设置，且相互之间一一对应设置，操作槽孔的个数为多个，且多个操作槽孔均竖直向贯穿式开设在主台面的顶面水平中线位置。
作为本发明的一种优选实施方式：所述开启槽道的个数与操作槽孔的个数保持一致设置，且开启槽道的一端水平贯穿主台面的一侧边延伸至外侧边位置，开启槽道的内侧边与操作槽孔的内部均一一对应保持通接设置，翻转卡板分别一一对应水平卡接设置在侧限位槽的内侧边位置，限位卡板水平卡接设置在侧限位槽的内侧边位置。
作为本发明的一种优选实施方式：所述插接轴杆固定插接设置在翻转卡板远离侧限位槽的开口端位置，且插接轴杆的两端插接在限位内槽的内侧边位置，限位孔均一字形排布在限位卡板的顶面和底面位置，限位内槽分别两两叠加式平行对称设置在靠近主台面侧边的侧限位槽内侧边位置。
作为本发明的一种优选实施方式：所述隐藏凹槽竖直向对称开设在侧限位槽的内侧靠近开口端位置，顶接球均卡接设置在限位孔的内侧边位置，支撑弹簧的一端对接在顶接球体的外侧边位置，限位内板水平固定设置在延伸立杆的插接顶端位置，顶起气缸竖直向固定设置在延伸立杆的内侧中轴线位置，且顶起气缸的输出端垂直向上贯穿限位内板26延伸至支撑套杆的内侧边位置，延伸端垂直向上焊接在支撑套杆的内侧顶面位置。
作为本发明的一种优选实施方式：所述延伸立杆一的底端垂直向下焊接在内卡接板的顶面中心位置，推压气缸竖直向固定设置在底套杆的内侧边底面中心位置，且推压气缸的输出端垂直向上焊接在内卡接板的底面中心位置，连接螺杆固定设置在底套杆的底端中心位置，且连接螺杆竖直向插接在连接螺孔的内侧边通过螺纹固定连接设置。
作为本发明的一种优选实施方式：所述插接杆竖直向对应插接在插接孔的内侧边位置，且插接杆与电源主板相互之间保持电性连接设置，卡接底块卡接设置在顶套接槽的内侧边位置，多个电源主板相互之间通过导线保持电性连接设置，主电源线的一端延伸至连接底板的内部与电源主板相互之间电性连接设置。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明通过设计移动结构使得便于搬运和移动操作，对主台面进行推动使得在移动轮的滚动下移动到指定位置，在刹停板的作用下使得移动轮刹停固定住，对密封板推动使得从开启槽道的开口端平移运动，当翻转卡板和限位卡板从侧限位槽的内部滑出后延伸到指定的长度，插接轴杆在限位内槽的内侧边移动到一端位置，对密封板翻转后使得开启槽道打开状态，人员可以从开启槽道进入到操作槽孔的内部，再对密封板翻转后使得重新卡接设置开启槽道的内部密封住，在顶接球卡接到限位孔的内部后使得密封板卡接稳定住；
2、本发明在人员进入后坐到固定顶板的顶面海绵垫上，脚放置到脚踏板的顶面位置，在主电源线的供电下使得电源主板通电效果，然后在脚踩踏控制键可以使得推压气缸收缩或延伸作用，让固定顶板拖着工作人员可以调节到舒适的高度，再对控制键踩踏时使得控制着顶起气缸的收缩或延伸作用，让支撑套杆在延伸立杆的外侧边向下或向上运动作用，从而使得主台面可以进行调节到指定的高度来满足检测操作，装置设计结构简单操作简便，在采用了多工位的结构下使得检测台在进行检测时效率可以大大提高，同时在多向的调节结构下使得可以满足不同身材的人员更加舒适的进行检测工作，减少工作的疲劳感。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为一种用于晶圆缺陷检测的工作台的立体结构示意图；
图2为一种用于晶圆缺陷检测的工作台的主台面俯视剖面连接细节的结构示意图；
图3为一种用于晶圆缺陷检测的工作台的主台面正视剖面连接细节的结构示意图；
图4为一种用于晶圆缺陷检测的工作台的支撑套杆正视剖面连接细节的结构示意图；
图5为一种用于晶圆缺陷检测的工作台的底套杆正视剖面连接细节的结构示意图；
图6为一种用于晶圆缺陷检测的工作台的固定顶板正视连接细节的结构示意图；
图7为一种用于晶圆缺陷检测的工作台的连接底板正视剖面连接细节的结构示意图。
图中：1、主台面；2、支撑套杆；3、延伸立杆；4、侧通接槽；5、移动轮；6、刹停板；7、固定横板；8、连接底板；9、底套杆；10、固定顶板；11、脚踏板；12、控制键；13、操作槽孔；14、开启槽道；15、密封板；16、侧限位槽；17、翻转卡板；18、限位卡板；19、插接轴杆；20、限位孔；21、拨动槽；22、限位内槽；23、隐藏凹槽；24、顶接球；25、支撑弹簧；26、限位内板；27、顶起气缸；28、延伸立杆一；29、内卡接板；30、推压气缸；31、顶套接槽；32、连接螺杆；33、插接杆；34、海绵垫；35、卡接底块；36、连接螺孔；37、插接孔；38、电源主板；39、导线；40、主电源线。
具体实施方式
请参阅图1-2，本发明实施例中，一种用于晶圆缺陷检测的工作台，包括主台面1，主台面1的底面垂直向下焊接有支撑套杆2，支撑套杆2的底端竖直向插接有延伸立杆3，支撑套杆2的侧边竖直向开设有侧通接槽4，支撑套杆2的个数为四根，且四根支撑套杆2相互之间平行设置，四根支撑套杆2的顶端垂直向上焊接设置在主台面1的底面四边角位置，侧通接槽4竖直向开设在支撑套杆2之间靠近固定横板7的一侧边位置，且侧通接槽4的宽度与固定横板7的宽度保持一致设置，延伸立杆3的底端螺栓连接有移动轮5，移动轮5的侧边插接有刹停板6，延伸立杆3之间侧边水平焊接有固定横板7，移动轮5的个数与延伸立杆3的个数保持一致设置，且刹停板6的一端斜延伸至移动轮5的内侧边位置，延伸端侧边对接在滚轮外侧边位置，固定横板7的个数为两根，且两根固定横板7相互之间平行设置，两根固定横板7的两端垂直固定设置在延伸立杆3之间侧边靠近底端位置，固定横板7之间侧边水平焊接有连接底板8，固定横板7的顶面对接有底套杆9，底套杆9的顶端固定设置有固定顶板10，连接底板8的一侧边水平均匀焊接有脚踏板11，脚踏板11的顶面卡接有控制键12，主台面1的顶面均匀开设有操作槽孔13，连接底板8的两端垂直固定设置在固定横板7的之间侧边中心位置，且连接底板8与主台面1相互之间叠加式平行设置，底套杆9的底端垂直向下对接在连接螺孔36的顶开口端位置，固定顶板10水平设置在延伸立杆一28的顶端位置，脚踏板11的个数与底套杆9的个数保持一致设置，且相互之间一一对应设置，操作槽孔13的个数为多个，且多个操作槽孔13均竖直向贯穿式开设在主台面1的顶面水平中线位置，主台面1的顶面均匀开设有开启槽道14，开启槽道14的内侧边水平卡接有密封板15，开启槽道14的内侧边对称开设有侧限位槽16，密封板15的一侧边对称焊接有翻转卡板17，密封板15的一侧边对称焊接有限位卡板18，开启槽道14的个数与操作槽孔13的个数保持一致设置，且开启槽道14的一端水平贯穿主台面1的一侧边延伸至外侧边位置，开启槽道14的内侧边与操作槽孔13的内部均一一对应保持通接设置，翻转卡板17分别一一对应水平卡接设置在侧限位槽16的内侧边位置，限位卡板18水平卡接设置在侧限位槽16的内侧边位置，翻转卡板17的一端插接有插接轴杆19，限位卡板18的顶面和底面均匀开设有限位孔20，插接轴杆19固定插接设置在翻转卡板17远离侧限位槽16的开口端位置，且插接轴杆19的两端插接在限位内槽22的内侧边位置，限位孔20均一字形排布在限位卡板18的顶面和底面位置；
请参阅图3-5，本发明实施例中，一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其中密封板15的底面水平开设有拨动槽21，侧限位槽16的内侧边对称开设有限位内槽22，限位内槽22分别两两叠加式平行对称设置在靠近主台面1侧边的侧限位槽16内侧边位置，侧限位槽16的内侧顶面和底面开设有隐藏凹槽23，隐藏凹槽23的内侧边固定卡接有顶接球24，隐藏凹槽23的内侧边固定卡接有支撑弹簧25，支撑套杆2的内侧边水平卡接有限位内板26，延伸立杆3的内侧边竖直向固定卡接设置有顶起气缸27，隐藏凹槽23竖直向对称开设在侧限位槽16的内侧靠近开口端位置，顶接球24均卡接设置在限位孔20的内侧边位置，支撑弹簧25的一端对接在顶接球体24的外侧边位置，限位内板26水平固定设置在延伸立杆3的插接顶端位置，顶起气缸27竖直向固定设置在延伸立杆3的内侧中轴线位置，且顶起气缸27的输出端垂直向上贯穿限位内板26延伸至支撑套杆2的内侧边位置，延伸端垂直向上焊接在支撑套杆2的内侧顶面位置，底套杆9的顶端竖直向插接有延伸立杆一28，底套杆9的内侧边水平卡接有内卡接板29，底套杆9的内侧边螺栓连接有推压气缸30，延伸立杆一28的底端开设有顶套接槽31，底套杆9的底端垂直向下焊接有连接螺杆32，延伸立杆一28的底端垂直向下焊接在内卡接板29的顶面中心位置，推压气缸30竖直向固定设置在底套杆9的内侧边底面中心位置，且推压气缸30的输出端垂直向上焊接在内卡接板29的底面中心位置，连接螺杆32固定设置在底套杆9的底端中心位置，且连接螺杆32竖直向插接在连接螺孔36的内侧边通过螺纹固定连接设置，连接螺杆32的底端固定插接有插接杆33，插接杆33竖直向对应插接在插接孔37的内侧边位置，且插接杆33与电源主板38相互之间保持电性连接设置；
请参阅图6-7，本发明实施例中，一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其中固定顶板10的顶面水平固定粘接有海绵垫34，固定顶板10的底面垂直向下焊接有卡接底块35，连接底板8的顶面均匀开设有连接螺孔36，连接螺孔36的内侧底面开设有插接孔37，连接底板8的内侧边水平卡接有电源主板38，电源主板38的侧边插接有导线39，连接底板8的一端插接有主电源线40，卡接底块35卡接设置在顶套接槽31的内侧边位置，多个电源主板38相互之间通过导线39保持电性连接设置，主电源线40的一端延伸至连接底板8的内部与电源主板38相互之间电性连接设置。
部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
本发明的工作原理是：
对主台面1进行推动使得在移动轮5的滚动下移动到指定位置，在刹停板6的作用下使得移动轮5刹停固定住，对密封板15推动使得从开启槽道14的开口端平移运动，当翻转卡板17和限位卡板18从侧限位槽16的内部滑出后延伸到指定的长度，插接轴杆19在限位内槽22的内侧边移动到一端位置，对密封板15翻转后使得开启槽道14打开状态，人员可以从开启槽道14进入到操作槽孔13的内部，再对密封板15翻转后使得重新卡接设置开启槽道14的内部密封住，在顶接球24卡接到限位孔20的内部后使得密封板15卡接稳定住，进入后坐到固定顶板10的顶面海绵垫34上，脚放置到脚踏板11的顶面位置，在主电源线40的供电下使得电源主板38通电效果，然后在脚踩踏控制键12可以使得推压气缸30收缩或延伸作用，让固定顶板10拖着工作人员可以调节到舒适的高度，再对控制键12踩踏时使得控制着顶起气缸27的收缩或延伸作用，让支撑套杆2在延伸立杆3的外侧边向下或向上运动作用，从而使得主台面1可以进行调节到指定的高度来满足检测操作。
以上所述的，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种用于晶圆缺陷检测的工作台，包括主台面(1)，其特征在于，所述主台面(1)的底面垂直向下焊接有支撑套杆(2)，所述支撑套杆(2)的底端竖直向插接有延伸立杆(3)，所述支撑套杆(2)的侧边竖直向开设有侧通接槽(4)，所述延伸立杆(3)的底端螺栓连接有移动轮(5)，所述移动轮(5)的侧边插接有刹停板(6)，所述延伸立杆(3)之间侧边水平焊接有固定横板(7)，所述固定横板(7)之间侧边水平焊接有连接底板(8)，所述固定横板(7)的顶面对接有底套杆(9)，所述底套杆(9)的顶端固定设置有固定顶板(10)，所述连接底板(8)的一侧边水平均匀焊接有脚踏板(11)，所述脚踏板(11)的顶面卡接有控制键(12)，所述主台面(1)的顶面均匀开设有操作槽孔(13)，所述主台面(1)的顶面均匀开设有开启槽道(14)，所述开启槽道(14)的内侧边水平卡接有密封板(15)，所述开启槽道(14)的内侧边对称开设有侧限位槽(16)，所述密封板(15)的一侧边对称焊接有翻转卡板(17)，所述密封板(15)的一侧边对称焊接有限位卡板(18)，所述翻转卡板(17)的一端插接有插接轴杆(19)，所述限位卡板(18)的顶面和底面均匀开设有限位孔(20)，所述密封板(15)的底面水平开设有拨动槽(21)，所述侧限位槽(16)的内侧边对称开设有限位内槽(22)，所述侧限位槽(16)的内侧顶面和底面开设有隐藏凹槽(23)，所述隐藏凹槽(23)的内侧边固定卡接有顶接球(24)，所述隐藏凹槽(23)的内侧边固定卡接有支撑弹簧(25)，所述支撑套杆(2)的内侧边水平卡接有限位内板(26)，所述延伸立杆(3)的内侧边竖直向固定卡接设置有顶起气缸(27)，所述底套杆(9)的顶端竖直向插接有延伸立杆一(28)，所述底套杆(9)的内侧边水平卡接有内卡接板(29)，所述底套杆(9)的内侧边螺栓连接有推压气缸(30)，所述延伸立杆一(28)的底端开设有顶套接槽(31)，所述底套杆(9)的底端垂直向下焊接有连接螺杆(32)，所述连接螺杆(32)的底端固定插接有插接杆(33)，所述固定顶板(10)的顶面水平固定粘接有海绵垫(34)，所述固定顶板(10)的底面垂直向下焊接有卡接底块(35)，所述连接底板(8)的顶面均匀开设有连接螺孔(36)，所述连接螺孔(36)的内侧底面开设有插接孔(37)，所述连接底板(8)的内侧边水平卡接有电源主板(38)，所述电源主板(38)的侧边插接有导线(39)，所述连接底板(8)的一端插接有主电源线(40)。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其特征在于，所述支撑套杆(2)的个数为四根，且四根支撑套杆(2)相互之间平行设置，四根支撑套杆(2)的顶端垂直向上焊接设置在主台面(1)的底面四边角位置，侧通接槽(4)竖直向开设在支撑套杆(2)之间靠近固定横板(7)的一侧边位置，且侧通接槽(4)的宽度与固定横板(7)的宽度保持一致设置。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其特征在于，所述移动轮(5)的个数与延伸立杆(3)的个数保持一致设置，且刹停板(6)的一端斜延伸至移动轮(5)的内侧边位置，延伸端侧边对接在滚轮外侧边位置，固定横板(7)的个数为两根，且两根固定横板(7)相互之间平行设置，两根固定横板(7)的两端垂直固定设置在延伸立杆(3)之间侧边靠近底端位置。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其特征在于，所述连接底板(8)的两端垂直固定设置在固定横板(7)的之间侧边中心位置，且连接底板(8)与主台面(1)相互之间叠加式平行设置，底套杆(9)的底端垂直向下对接在连接螺孔(36)的顶开口端位置，固定顶板(10)水平设置在延伸立杆一(28)的顶端位置，脚踏板(11)的个数与底套杆(9)的个数保持一致设置，且相互之间一一对应设置，操作槽孔(13)的个数为多个，且多个操作槽孔(13)均竖直向贯穿式开设在主台面(1)的顶面水平中线位置。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其特征在于，所述开启槽道(14)的个数与操作槽孔(13)的个数保持一致设置，且开启槽道(14)的一端水平贯穿主台面(1)的一侧边延伸至外侧边位置，开启槽道(14)的内侧边与操作槽孔(13)的内部均一一对应保持通接设置，翻转卡板(17)分别一一对应水平卡接设置在侧限位槽(16)的内侧边位置，限位卡板(18)水平卡接设置在侧限位槽(16)的内侧边位置。
6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其特征在于，所述插接轴杆(19)固定插接设置在翻转卡板(17)远离侧限位槽(16)的开口端位置，且插接轴杆(19)的两端插接在限位内槽(22)的内侧边位置，限位孔(20)均一字形排布在限位卡板(18)的顶面和底面位置，限位内槽(22)分别两两叠加式平行对称设置在靠近主台面(1)侧边的侧限位槽(16)内侧边位置。
7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其特征在于，所述隐藏凹槽(23)竖直向对称开设在侧限位槽(16)的内侧靠近开口端位置，顶接球(24)均卡接设置在限位孔(20)的内侧边位置，支撑弹簧(25)的一端对接在顶接球体(24)的外侧边位置，限位内板(26)水平固定设置在延伸立杆(3)的插接顶端位置，顶起气缸(27)竖直向固定设置在延伸立杆(3)的内侧中轴线位置，且顶起气缸(27)的输出端垂直向上贯穿限位内板26延伸至支撑套杆(2)的内侧边位置，延伸端垂直向上焊接在支撑套杆(2)的内侧顶面位置。
8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其特征在于，所述延伸立杆一(28)的底端垂直向下焊接在内卡接板(29)的顶面中心位置，推压气缸(30)竖直向固定设置在底套杆(9)的内侧边底面中心位置，且推压气缸(30)的输出端垂直向上焊接在内卡接板(29)的底面中心位置，连接螺杆(32)固定设置在底套杆(9)的底端中心位置，且连接螺杆(32)竖直向插接在连接螺孔(36)的内侧边通过螺纹固定连接设置。
9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆缺陷检测的工作台，其特征在于，所述插接杆(33)竖直向对应插接在插接孔(37)的内侧边位置，且插接杆(33)与电源主板(38)相互之间保持电性连接设置，卡接底块(35)卡接设置在顶套接槽(31)的内侧边位置，多个电源主板(38)相互之间通过导线(39)保持电性连接设置，主电源线(40)的一端延伸至连接底板(8)的内部与电源主板(38)相互之间电性连接设置。
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- 2021-12-20 CN CN202111563104.XA patent/CN114248248A/zh active Pending
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