CN114235301B - 气密性检测系统及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气密性检测系统及其方法，该系统包括主管路、多个增压泵、多个中间储气罐、进口气囊、出口储气罐、多级回收管路以及回收泵。多个增压泵沿主管路进口至出口方向顺次连接且增压能力顺次增大，对检测气体逐级增压。相邻的两个增压泵之间连接有至少一个中间储气罐。进口气囊与位于主管路的进口处的增压泵的进口相连且外接气源。出口储气罐与位于主管路的出口处的增压泵的出口相连。各回收管路相并联且连有开关阀，至少两条回收管路连至进口气囊，至少一个回收管路连至中间储气罐。与进口气囊相连的一条回收管路中连接有回收泵。本发明的气密性检测系统占地面积小、制造成本低并且不易损坏，气体回收也更为简便。

Description

气密性检测系统及其方法

技术领域

本发明涉及密封技术领域，特别涉及一种气密性检测系统及其方法。

背景技术

现有的很多工件，在使用中需要是气密封要求高，为保证其气密性需要对其气密性进行检测，且不同的工件用途不同，其使用中承受的压力也不同，在气密性检测时需要模拟使用压力，检测在该压力下气密性情况，因此对通入检测的氦气的压力要求较高。如汽车燃油轨而言，由于其工作中将承受较大的压力，高压达到300bar，在对其气密性进行检查时对通入的检测气体氦气进行增压至300bar。但现有技术是通过一个增压泵直接将氦气增压到需要的高压，而该种方式采用的设备体积庞大、造价昂贵，并且在使用中都是将氦气直接有常压升到高压增压泵也易损坏。且回收也通过一个气囊回收，由于要讲高压气体回收，需要另外对回收的氦气进行降压，回收繁琐。

发明内容

本发明的目的在于提供一种气密性检测系统及其方法，使得该气密性检测系统占地面积小、制造成本低并且不易损坏，气体回收也更为简便。

为解决上述技术问题，本发明的实施方式提供了一种气密性检测系统，包括：

主管路；

多个增压泵，多个所述增压泵沿所述主管路的进口至所述主管路的出口的方向顺次连接在所述主管路上；且所述多个增压泵中后一个所述增压泵的增压能力大于前一个所述增压泵的增压能力，沿所述主管路的进口至所述主管路的出口的方向对通过所述主管路的检测气体逐级增压；

多个中间储气罐，相邻的两个所述增压泵之间连接有至少一个所述中间储气罐；

进口气囊，与位于所述主管路的进口处的增压泵的进口相连，且外接气源；

出口储气罐，与位于所述主管路的出口处的增压泵的出口相连，用于对待检测工件供气；

多级回收管路，各所述回收管路相并联，各所述回收管路上还连接有开关阀；其中至少两条所述回收管路连接至所述进口气囊，至少一个所述回收管路连接至所述中间储气罐；所述多级回收管路用于将所述待检测工件内的检测气体排出至对应的所述中间储气罐或所述进口气囊中；

回收泵，与所述进口气囊相连的一条所述回收管路中连接有所述回收泵。

本发明实施方式相对于现有技术而言，气密性检测系统通过设置多级增压的方式，使用多个增压泵以及多个中间储气罐，相比现有技术中单个增压泵以及气囊对气体进行增压，该实施例的每个增压泵增压跨度要求较低，则设备的制造难度以及成本较低，另外占地面积也减少，而且每个增压泵的增压跨度小，不易损坏，增压泵寿命更长。而设置多级回收管路，将不同压力等级的气体分级回收，通过中间储气罐储存大部分需要回收的气体，通过第二回收管路回收稍大于常压的气体，通过第三回收管路以及回收泵回收低于常压的气体，实现气体压力的递减以及简易回收。

在一个实施例中，各所述增压泵的进口和出口处分别连接有进口开关阀和出口开关阀。

在一个实施例中，相邻的两个所述增压阀中一个所述增压泵的出口开关阀和另一个所述增压泵的进口开关阀之间连接有所述中间储气罐。

在一个实施例中，所述增压泵具有四个；所述回收管路具有至少三条且构造成多级检测气体回收线路。

在一个实施例中，四个所述增压泵沿所述主管路的进口至所述主管路的出口的方向依次为一级增压泵、二级增压泵、三级增压泵、四级增压泵；

所述二级增压泵和所述三级增压泵之间的中间储气罐上连接有一条所述回收管路。

在一个实施例中，所述出口储气罐为高压罐，所述进口气囊为低压罐；连接在所述二级增压泵和所述三级增压泵之间的中间储气罐为中压罐。

在一个实施例中，各所述增压泵上均连接有压缩空气源和与所述压缩空气源相连的先导阀。

本发明的实施方式还提供一种多级增压输送和多级回收的气密性检测方法，采用如上述中任意一项所述的气密性检测系统，包括如下步骤：

将检测气体从所述进口气囊输送入主管路中，并通过各中间增压泵将检测气体增压至预设检测压力；

将增压到预设压力的检测气体通过所述出口储气罐输送至待检测工件中；

待所述检测气体进入所述待检测工件预设时长后，打开与所述中间储气罐相连的回收管路上的开关阀，让待检测工件内的气体降压至第一回收压力；

当待检测工件内的气体降压至第一回收压力后，打开与所述进口气囊相连的一条回收管路上的开关阀，让待检测工件内的气体降压至常压；

当待检测工件内的气体降压至常压后，打开所述回收泵和所述回收泵所在回收管路上的开关阀，将所述待检测工件内的气体抽回所述进口气囊中。

在一个实施例中，步骤打开所述回收泵和所述回收泵所在回收管路上的开关阀，将所述待检测工件内的气体抽回所述进口气囊中之后还包括如下步骤，

检测所述待检测工件内的检测气体是否有残余；

若有残余，所述回收泵抽取残余检测气体。

本发明的实施方式还提供一种多级增压输送和多级回收的气密性检测方法，采用如上述所述的气密性检测系统，包括如下步骤：

将检测气体从所述进口气囊输送入主管路中；

打开所述一级增压泵的进口处的进口开关阀和所述一级增压泵的出口处的出口开关阀，通过一级增压泵对所述检测气体增压至第一压力值；

当所述一级增压泵将所述检测气体增压至所述第一压力值后，打开与所述二级增压泵的出口相连的出口开关阀、打开与所述二级增压泵的进口相连的进口开关阀，通过二级增压泵对所述检测气体增压至第二压力值；

当所述二级增压泵将所述检测气体增压至所述第二压力值后，打开与所述三级增压泵的出口相连的出口开关阀、打开与所述三级增压泵的进口相连的进口开关阀，通过三级增压泵对所述检测气体增压至第三压力值；

当所述三级增压泵将所述检测气体增压至所述第三压力值后，打开与所述四级增压泵的出口相连的出口开关阀、打开与所述四级增压泵的进口相连的进口开关阀，通过四级增压泵对所述检测气体增压至第四压力值；

当所述检测气体增压至第四压力值后，打开与出口储气罐相连的开关阀，让所述检测气体进入工件；

待所述检测气体进入所述待检测工件预设时长后，打开与所述中间储气罐相连的回收管路上的开关阀，让所述待检测工件内的气体降压至第一回收压力；

当所述待检测工件内的气体降压至第一回收压力后，打开与所述进口气囊相连的一条回收管路上的开关阀，让所述待检测工件内的气体降压至常压；

当所述待检测工件内的气体降压至常压后，打开所述回收泵和所述回收泵所在回收管路上的开关阀。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是本发明一个实施例的气密性检测系统的结构示意图；

图2是图1中A的局部放大图；

图3是本发明一个实施例的多级增压输送和多级回收的气密性检测方法的步骤流程图；

图4是本发明另一个实施例的多级增压输送和多级回收的气密性检测方法的步骤流程图。

附图标记：

100、气密性检测系统；

1、主管路；

21、一级增压泵；22、二级增压泵；23、三级增压泵；24、四级增压泵；25、压缩空气源；26、先导阀；

31、第一储气罐；32、第二储气罐；33、第三储气罐；

4、进口气囊；

5、出口储气罐；

61、第一回收管路；62、第二回收管路；63、第三回收管路；

7、回收泵；

81、第一开关阀；82、第二开关阀；83、第三开关阀；84、进口开关阀；85、出口开关阀；

9、待检测工件。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。

在下文的描述中，出于说明各种公开的实施例的目的阐述了某些具体细节以提供对各种公开实施例的透彻理解。但是，相关领域技术人员将认识到可在无这些具体细节中的一个或多个细节的情况来实践实施例。在其它情形下，与本申请相关联的熟知的装置、结构和技术可能并未详细地示出或描述从而避免不必要地混淆实施例的描述。

除非语境有其它需要，在整个说明书和权利要求中，词语“包括”和其变型，诸如“包含”和“具有”应被理解为开放的、包含的含义，即应解释为“包括，但不限于”。

以下将结合附图对本发明的各实施例进行详细说明，以便更清楚理解本发明的目的、特点和优点。应理解的是，附图所示的实施例并不是对本发明范围的限制，而只是为了说明本发明技术方案的实质精神。

在整个说明书中对“一个实施例”或“一实施例”的提及表示结合实施例所描述的特定特点、结构或特征包括于至少一个实施例中。因此，在整个说明书的各个位置“在一个实施例中”或“在一实施例”中的出现无需全都指相同实施例。另外，特定特点、结构或特征可在一个或多个实施例中以任何方式组合。

如该说明书和所附权利要求中所用的单数形式“一”和“所述”包括复数指代物，除非文中清楚地另外规定。应当指出的是术语“或”通常以其包括“和/或”的含义使用，除非文中清楚地另外规定。

在以下描述中，为了清楚展示本发明的结构及工作方式，将借助诸多方向性词语进行描述，但是应当将“前”、“后”、“左”、“右”、“外”、“内”、“向外”、“向内”、“上”、“下”等词语理解为方便用语，而不应当理解为限定性词语。

下文参照附图描述本发明的实施例。

如图1所示，本发明一实施例提供的一种气密性检测系统气密性检测系统100，包括：主管路1、四个增压泵、三个中间储气罐、进口气囊4、出口储气罐5、三级回收管路以及回收泵7。四个增压泵包括一级增压泵21、二级增压泵22、三级增压泵23以及四级增压泵24，一级增压泵21、二级增压泵22、三级增压泵23以及四级增压泵24沿主管路1的进口至主管路1的出口的方向顺次连接在主管路1上，且四个增压泵中后一个增压泵的增压能力大于前一个增压泵的增压能力，沿主管路1的进口至主管路1的出口的方向对通过主管路1的检测气体逐级增压。三个中间储气罐包括第一储气罐31、第二储气罐32以及第三储气罐33，相邻的两个增压泵之间连接有一个中间储气罐。进口气囊4与位于主管路1的进口处的增压泵的进口相连，且外接氦气源。出口储气罐5与位于主管路1的出口处的增压泵的出口相连，用于对待检测工件9供气。三级回收管路分别为第一回收管路61、第二回收管路62以及第三回收管路63，各回收管路相并联，并且其上还连接有开关阀，其中第二回收管路62以及第三回收管路63连接至进口气囊4，第二回收管路62上连接有第二开关阀82，第三回收管路63上连接有第三开关阀83，第一回收管路61连接至中间储气罐，第一回收管路61上连接有第一开关阀81，连接至进口气囊4的第二回收管路62以及第三回收管路63用于将待检测工件9内的检测气体排出至进口气囊4中，连接至中间储气罐的第一回收管路61用于将待检测工件9内的检测气体排出至其对应的中间储气罐。与进口气囊4相连的其中第三回收管路63中连接有回收泵7。

当需要对待检测工件9进行检测时，氦气源对该气密性检测系统气密性检测系统100供气，气体进入进口气囊4并经由一级增压泵21增压后进入第一储气罐31，而后经由二级增压泵22增压后进入第二储气罐32，接着经由三级增压泵23增压后进入第三储气罐33、经由四级增压泵24增压后进入出口储气罐5，完成增压后气体进入工件进行测试。而测试了工件的气体可以经由回收管路被回收，具体流程：当工件被检测完毕后，停止对该气密性检测系统气密性检测系统100供气以及对氦气源提供的气体进行增压，同时打开第一开关阀81，则气体沿着第一回收管路61流回第二储气罐32中，并沿着主管路1流回到进口气囊4中，当气压降低到设定压力时，关闭第一开关阀81并打开第二开关阀82，工件内剩余的气体沿着第二回收管路62流回到进口气囊4中，当气压降低到常压时，关闭第二开关阀82打开第三开关阀83并打开回收泵7，则工件内的剩余气体抽出沿着第三管路全部被收集到进口气囊4中，并完成了检测气体的回收。

在具体的实施例中，假设测试工件的测试压力为300bar。氦气源对该气密性检测系统气密性检测系统100供气，气体进入进口气囊4并经由一级增压泵21增压后进入第一储气罐31，此时第一储气罐31内的气体压力达到30bar，而后经由二级增压泵22增压后进入第二储气罐32，使得第二储气罐32内的气体能够增压到60bar，接着经由三级增压泵23增压后进入第三储气罐33，气体增压到150bar，经由四级增压泵24增压后进入出口储气罐5，此时出口储气罐5内气体压力到达300bar，完成增压后气体进入工件进行测试。而测试了工件的气体可以经由回收管路被回收，具体流程：当工件被检测完毕后，停止对该气密性检测系统气密性检测系统100供气以及对氦气源提供的气体进行增压，同时打开第一开关阀81，则气体沿着第一回收管路61流回第二储气罐32中，并沿着主管路1流回到进口气囊4中，当气体压力降低至60bar时，关闭第一开关阀81并打开第二开关阀82，工件内剩余的气体沿着第二回收管路62流回到进口气囊4中，当气压降低到常压时，关闭第二开关阀82打开第三开关阀83并打开回收泵7，则工件内的剩余气体沿着第三管路全部被收集到进口气囊4中，并完成了检测气体的回收。

本实施例提供的气密性检测系统气密性检测系统100通过设置多级增压的方式，使用多个增压泵以及多个中间储气罐，相比现有技术中单个增压泵以及气囊对气体进行增压，该实施例的每个增压泵增压跨度要求较低，则设备的制造难度以及成本较低，另外占地面积也减少，而且每个增压泵的增压跨度小，增压泵寿命更长。而设置多级回收管路，将不同压力等级的气体分级回收，通过中间储气罐储存大部分需要回收的气体，通过第二回收管路62回收稍大于常压的气体，通过第三回收管路63以及回收泵7回收低于常压的气体，实现气体压力的递减以及简易回收。

应理解，增压泵不限于设置四个，且回收管路并不限于三条，优选地，回收管路具有至少三条且构造成多级检测气体回收管路。中间储气罐并不限于设置三个，相邻的两个增压泵之间也不限于设置一个中间储气罐，连接至出口气囊的回收管路也不限于设置两条，连接至中间储气罐的回收管路不限于设置一条，本领域技术人员可以根据实际需要增压的跨度要求以及气体容量来进行设置。而气源也并不限于氦气源，还可选用其他气体，本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

另外的实施例中，可以在二级增压泵22和三级增压泵23之间的中间储气罐上连接有一条回收管路。本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

进一步地，如图1所示，各增压泵的进口和出口处分别连接有进口开关阀84和出口开关阀85。通过在各增压泵的进口和出口处分别连接有进口开关阀84和出口开关阀85，根据实际需要开启进口开关阀84和出口开关阀85，本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

优选地，如图1所示，在相邻的两个增压阀中一个增压泵的出口开关阀85和另一个增压泵的进口开关阀84之间连接有中间储气罐。即在气体增压的流动方向上，上一个增压泵的出口开关阀85与下一个增压泵的进口开关阀84之间设有中间储气罐，设置当中间储气罐内储存的气体压力增加到预设压力时，再开启下一增压泵的进口开关阀84，能够更精确的调控气体的压力，本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

更优地，出口储气罐5为高压罐，进口气囊4为低压罐，连接在二级增压泵22和三级增压泵23之间的中间储气罐为中压罐。因该气密性检测系统气密性检测系统100的检测气体的流动方向上增压泵逐级增压，而在对汽车燃油轨的氦气检测的场景中，需要将检测气体增压到高压，最高40兆帕，故在实际应用中，设置进口气囊4为低压罐，出口储气罐5为高压罐，连接在二级增压泵22和三级增压泵23之间的中间储气罐为中压罐，可满足实际应用，本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

在另外的实施例中，如图2所示，各增压泵上均连接有压缩空气源25和与压缩空气源25相连的先导阀26。本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

本发明另一实施例还提供一种多级增压输送和多级回收的气密性检测方法，如图1所示，采用如上述实施例所述的气密性检测系统气密性检测系统100，该气密性检测系统气密性检测系统100包括：主管路1、四个增压泵、三个中间储气罐、进口气囊4、出口储气罐5、三级回收管路以及回收泵7。四个增压泵包括一级增压泵21、二级增压泵22、三级增压泵23以及四级增压泵24，一级增压泵21、二级增压泵22、三级增压泵23以及四级增压泵24沿主管路1的进口至主管路1的出口的方向顺次连接在主管路1上，且四个增压泵中后一个增压泵的增压能力大于前一个增压泵的增压能力，沿主管路1的进口至主管路1的出口的方向对通过主管路1的检测气体逐级增压。三个中间储气罐包括第一储气罐31、第二储气罐32以及第三储气罐33，相邻的两个增压泵之间连接有一个中间储气罐。进口气囊4与位于主管路1的进口处的增压泵的进口相连，且外接氦气源。出口储气罐5与位于主管路1的出口处的增压泵的出口相连，用于对待检测工件9供气。三级回收管路分别为第一回收管路61、第二回收管路62以及第三回收管路63，各回收管路相并联，并且其上还连接有开关阀，其中第二回收管路62以及第三回收管路63连接至进口气囊4，第二回收管路62上连接有第二开关阀82，第三回收管路63上连接有第三开关阀83，第一回收管路61连接至中间储气罐，第一回收管路61上连接有第一开关阀81，连接至进口气囊4的第二回收管路62以及第三回收管路63用于将待检测工件9内的检测气体排出至进口气囊4中，连接至中间储气罐的第一回收管路61用于将待检测工件9内的检测气体排出至其对应的中间储气罐。与进口气囊4相连的其中第三回收管路63中连接有回收泵7。

如图3所示，多级增压输送和多级回收的气密性检测方法包括如下步骤：

步骤100，将检测气体从进口气囊4输送入主管路1中，并通过各中间增压泵将检测气体增压至预设检测压力。

步骤200，将增压到预设压力的检测气体通过出口储气罐5输送至待检测工件9中。

步骤300，待检测气体进入待检测工件9预设时长后，打开与中间储气罐相连的回收管路上的开关阀，让待检测工件9内的气体降压至第一回收压力。

步骤400，当待检测工件9内的气体降压至第一回收压力后，打开与进口气囊4相连的一条回收管路上的开关阀，让待检测工件9内的气体降压至常压。

步骤500，当待检测工件9内的气体降压至常压后，打开回收泵7和回收泵7所在回收管路上的开关阀，将待检测工件9内的气体抽回进口气囊4中。

通过这种多级增压的方式，使得每个增压泵增压跨度要求较低，则设备的制造难度以及成本较低，另外占地面积也减少，而且每个增压泵的增压跨度小，增压泵寿命更长。而设置多级回收管路，将不同压力等级的气体分级回收，实现气体压力的递减以及简易回收。

应理解，增压泵不限于设置四个，且回收管路并不限于三条，优选地，回收管路具有至少三条且构造成多级检测气体回收管路。中间储气罐并不限于设置三个，相邻的两个增压泵之间也不限于设置一个中间储气罐，连接至出口气囊的回收管路也不限于设置两条，连接至中间储气罐的回收管路不限于设置一条，本领域技术人员可以根据实际需要增压的跨度要求以及气体容量来进行设置。而气源也并不限于氦气源，还可选用其他气体，本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

进一步地，打开回收泵7和回收泵7所在回收管路上的开关阀，将待检测工件9内的气体抽回进口气囊4中之后还包括步骤501：检测待检测工件9内的检测气体是否有残余，若有残余，回收泵7抽取残余检测气体，直至将待检测工件9内没有残余的检测气体。

可理解的，也可不执行步骤501，可以通过设定回收时长，使得回收时长内可使得待检测工件9内没有残余的检测气体。本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

本发明再一实施例还提供一种多级增压输送和多级回收的气密性检测方法，如图1所示，采用如上所述的气密性检测系统气密性检测系统100，该气密性检测系统气密性检测系统100包括：主管路1、四个增压泵、三个中间储气罐、进口气囊4、出口储气罐5、三级回收管路以及回收泵7。四个增压泵包括一级增压泵21、二级增压泵22、三级增压泵23以及四级增压泵24，一级增压泵21、二级增压泵22、三级增压泵23以及四级增压泵24沿主管路1的进口至主管路1的出口的方向顺次连接在主管路1上，且四个增压泵中后一个增压泵的增压能力大于前一个增压泵的增压能力，沿主管路1的进口至主管路1的出口的方向对通过主管路1的检测气体逐级增压。各增压泵的进口和出口处分别连接有进口开关阀84和出口开关阀85。相邻的两个增压阀中一个增压泵的出口开关阀85和另一个增压泵的进口开关阀84之间连接有中间储气罐。二级增压泵22和三级增压泵23之间的中间储气罐上连接有一条回收管路。三个中间储气罐包括第一储气罐31、第二储气罐32以及第三储气罐33，相邻的两个增压泵之间连接有一个中间储气罐。进口气囊4与位于主管路1的进口处的增压泵的进口相连，且外接氦气源。出口储气罐5与位于主管路1的出口处的增压泵的出口相连，用于对待检测工件9供气。三级回收管路分别为第一回收管路61、第二回收管路62以及第三回收管路63，各回收管路相并联，并且其上还连接有开关阀，其中第二回收管路62以及第三回收管路63连接至进口气囊4，第二回收管路62上连接有第二开关阀82，第三回收管路63上连接有第三开关阀83，第一回收管路61连接至中间储气罐，第一回收管路61上连接有第一开关阀81，连接至进口气囊4的第二回收管路62以及第三回收管路63用于将待检测工件9内的检测气体排出至进口气囊4中，连接至中间储气罐的第一回收管路61用于将待检测工件9内的检测气体排出至其对应的中间储气罐。与进口气囊4相连的其中第三回收管路63中连接有回收泵7。

如图4所示，多级增压输送和多级回收的气密性检测方法，包括如下步骤：

步骤100’，将检测气体从进口气囊4输送入主管路1中。

步骤200’，打开一级增压泵21的进口处的进口开关阀84和一级增压泵21的出口处的出口开关阀85，通过一级增压泵21对检测气体增压至第一压力值。

步骤300’，当一级增压泵21将检测气体增压至第一压力值后，打开与二级增压泵22的出口相连的出口开关阀85、打开与二级增压泵22的进口相连的进口开关阀84，通过二级增压泵22对检测气体增压至第二压力值。

步骤400’，当二级增压泵22将检测气体增压至第二压力值后，打开与三级增压泵23的出口相连的出口开关阀85、打开与三级增压泵23的进口相连的进口开关阀84，通过三级增压泵23对检测气体增压至第三压力值。

步骤500’，当三级增压泵23将检测气体增压至第三压力值后，打开与四级增压泵24的出口相连的出口开关阀85、打开与四级增压泵24的进口相连的进口开关阀84，通过四级增压泵24对检测气体增压至第四压力值。

步骤600’，当检测气体增压至第四压力值后，打开与出口储气罐5相连的开关阀，让检测气体进入工件。

步骤700’，待检测气体进入待检测工件9预设时长后，打开与中间储气罐相连的回收管路上的开关阀，让待检测工件9内的气体降压至第一回收压力。

步骤800’，当待检测工件9内的气体降压至第一回收压力后，打开与进口气囊4相连的一条回收管路上的开关阀，让待检测工件9内的气体降压至常压。

步骤900’，当待检测工件9内的气体降压至常压后，打开回收泵7和回收泵7所在回收管路上的开关阀。

应理解，回收管路具有至少三条且构造成多级检测气体回收管路。中间储气罐并不限于设置三个，连接至出口气囊的回收管路也不限于设置两条，连接至中间储气罐的回收管路不限于设置一条，本领域技术人员可以根据实际需要增压的跨度要求以及气体容量来进行设置。而气源也并不限于氦气源，还可选用其他气体，本领域技术人员可以根据实际需要来进行设置。

以上已详细描述了本发明的较佳实施例，但应理解到，若需要，能修改实施例的方面来采用各种专利、申请和出版物的方面、特征和构思来提供另外的实施例。

考虑到上文的详细描述，能对实施例做出这些和其它变化。一般而言，在权利要求中，所用的术语不应被认为限制在说明书和权利要求中公开的具体实施例，而是应被理解为包括所有可能的实施例连同这些权利要求所享有的全部等同范围。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (3)

1.一种气密性检测系统，其特征在于，包括：

主管路；

多个增压泵，多个所述增压泵沿所述主管路的进口至所述主管路的出口的方向顺次连接在所述主管路上；且所述多个增压泵中后一个所述增压泵的增压能力大于前一个所述增压泵的增压能力，沿所述主管路的进口至所述主管路的出口的方向对通过所述主管路的检测气体逐级增压；

多个中间储气罐，相邻的两个所述增压泵之间连接有至少一个所述中间储气罐；

进口气囊，与位于所述主管路的进口处的增压泵的进口相连，且外接气源；

出口储气罐，与位于所述主管路的出口处的增压泵的出口相连，用于对待检测工件供气；

多级回收管路，各所述回收管路相并联，各所述回收管路上还连接有开关阀；其中至少两条所述回收管路连接至所述进口气囊，至少一个所述回收管路连接至所述中间储气罐；所述多级回收管路用于将所述待检测工件内的检测气体排出至对应的所述中间储气罐或所述进口气囊中；

回收泵，与所述进口气囊相连的一条所述回收管路中连接有所述回收泵；

各所述增压泵的进口和出口处分别连接有进口开关阀和出口开关阀；

相邻的两个所述增压泵中一个所述增压泵的出口开关阀和另一个所述增压泵的进口开关阀之间连接有所述中间储气罐；

所述增压泵具有四个；所述回收管路具有至少三条且构造成多级检测气体回收线路；

四个所述增压泵沿所述主管路的进口至所述主管路的出口的方向依次为一级增压泵、二级增压泵、三级增压泵、四级增压泵；

所述二级增压泵和所述三级增压泵之间的中间储气罐上连接有一条所述回收管路；

所述出口储气罐为高压罐，所述进口气囊为低压罐；连接在所述二级增压泵和所述三级增压泵之间的中间储气罐为中压罐；

待所述检测气体进入所述待检测工件预设时长后，打开与所述中间储气罐相连的回收管路上的开关阀，让所述待检测工件内的气体降压至第一回收压力；

当所述待检测工件内的气体降压至第一回收压力后，打开与所述进口气囊相连的一条回收管路上的开关阀，让所述待检测工件内的气体降压至常压；

当所述待检测工件内的气体降压至常压后，打开所述回收泵和所述回收泵所在回收管路上的开关阀。

2.根据权利要求1所述的气密性检测系统，其特征在于，各所述增压泵上均连接有压缩空气源和与所述压缩空气源相连的先导阀。

3.一种多级增压输送和多级回收的气密性检测方法，其特征在于，采用如权利要求1中所述的气密性检测系统，包括如下步骤：

将检测气体从所述进口气囊输送入主管路中；

打开所述一级增压泵的进口处的进口开关阀和所述一级增压泵的出口处的出口开关阀，通过一级增压泵对所述检测气体增压至第一压力值；

当所述一级增压泵将所述检测气体增压至所述第一压力值后，打开与所述二级增压泵的出口相连的出口开关阀、打开与所述二级增压泵的进口相连的进口开关阀，通过二级增压泵对所述检测气体增压至第二压力值；

当所述二级增压泵将所述检测气体增压至所述第二压力值后，打开与所述三级增压泵的出口相连的出口开关阀、打开与所述三级增压泵的进口相连的进口开关阀，通过三级增压泵对所述检测气体增压至第三压力值；

当所述三级增压泵将所述检测气体增压至所述第三压力值后，打开与所述四级增压泵的出口相连的出口开关阀、打开与所述四级增压泵的进口相连的进口开关阀，通过四级增压泵对所述检测气体增压至第四压力值；

当所述检测气体增压至第四压力值后，打开与出口储气罐相连的开关阀，让所述检测气体进入工件；

待所述检测气体进入所述待检测工件预设时长后，打开与所述中间储气罐相连的回收管路上的开关阀，让所述待检测工件内的气体降压至第一回收压力；

当所述待检测工件内的气体降压至第一回收压力后，打开与所述进口气囊相连的一条回收管路上的开关阀，让所述待检测工件内的气体降压至常压；

当所述待检测工件内的气体降压至常压后，打开所述回收泵和所述回收泵所在回收管路上的开关阀。