CN114227169A - 离子注入机专用高压绝缘法兰及加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明给出了一种离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法，包括以下步骤：先采用常规方法对法兰毛坯件正常粗加工得到法兰半成品；在法兰半成品正面加工出环槽，得到法兰工件；法兰工件静置消除应力并且进行退火处理；最后进行精加工，得到离子注入机专用高压绝缘法兰。法兰工件正面的环槽与法兰工件背面的阶梯槽口之间形成对称加工，使得整个法兰加工区域内应力平衡，并利用加工后静置和退火处理，进一步消除法兰工件的自身应力。本发明还给出了一种离子注入机专用高压绝缘法兰，采用上述加工方法得到离子注入机专用高压绝缘法兰。本离子注入机专用高压绝缘法兰安装后的双面的受力情况可抵消部分应力，受力点对称，不易形变，可以反复多次使用。
Description
技术领域
本发明涉及一种离子注入机专用的连接法兰，特别涉及一种连接离子注入机的电磁聚焦系统与离子注入腔体的专用法兰。
本发明还涉及一种离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法。
背景技术
半导体行业芯片加工过程中，加工晶圆需使用到离子注入机，离子注入中按温度区分为正常温度离子注入与超低温离子注入。
在超低温离子注入过程中，电磁聚焦系统与离子注入工艺腔体之间需使用高压绝缘法兰连接，离子注入工艺腔体中有等离子喷洒源(将等离子均匀注入到晶圆中)，在注入过程中，晶圆的温度状态为超低温。
连接电磁聚焦系统与离子注入工艺腔体内为高真空状态。
连接电磁聚焦系统与离子注入工艺腔体之间法兰的使用UHMW-PE(高分子量聚乙烯)加工而成，传统工艺加工该法兰是通过将备好的毛坯料上锯床开中心方孔，开孔后将材料上数控铣床铣削成型，最后上钻床打孔，不双面对称加工，不退火，不静置消除因加工而带来的应力，造成工件形变，在使用时由于没有对称加工，该法兰受挤压后，两面受力点不均，不能完成有效密封，造成有漏点，空气泄露进真空腔体中，在晶圆超低温离子注入时，晶圆表面因泄露进的空气中的水分子凝聚于晶圆表面，产生冰霜并结冰，无法完成离子注入。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种消除法兰应力的离子注入机专用高压绝缘法兰。
本发明所要解决的技术问题是还提供一种离子注入机专用高压绝缘法兰。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法，包括以下步骤：
a)先采用常规方法对法兰毛坯件正常粗加工得到法兰半成品，法兰半成品背面具有与离子注入工艺腔体配合的阶梯槽口；
b)在步骤a)中得到的法兰半成品正面加工出环槽，得到法兰工件，环槽的深度与法兰半成品背面的阶梯槽口深度相同；
c)将步骤b)中得到的法兰工件静置消除应力；
d)将步骤c)中得到的法兰工件进行退火处理；
e)最后采用常规方法对步骤d)退火后得到的法兰工件进行精加工，得到离子注入机专用高压绝缘法兰。
作为本方法的优选，所述步骤d)中退火处理具体为：将步骤c)中得到的法兰工件放入烘箱中加热4-8小时，温度为40℃-100℃，随炉冷却4-24小时。
作为本方法的优选，所述步骤c)中将步骤b)中得到的法兰工件静置1周消除应力。
采用这样的方法后，限定环槽的深度与法兰半成品背面的阶梯槽口深度相同，使得法兰工件正面的环槽与法兰工件背面的阶梯槽口之间形成对称加工，进而使整个法兰加工区域内应力平衡，并利用加工后静置和退火处理，进一步消除法兰工件的自身应力。
为解决上述技术问题，本发明还提供了一种离子注入机专用高压绝缘法兰，采用上述的离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法得到离子注入机专用高压绝缘法兰。
作为本离子注入机专用高压绝缘法兰的优选，本离子注入机专用高压绝缘法兰采用UHMW-PE材质。
采用这样的结构后，本离子注入机专用高压绝缘法兰安装后的双面的受力情况可抵消部分应力，受力点对称，不易形变，可以反复多次使用，在使用寿命内不会因为应力变化造成在高真空状态下使用中出现漏点现象，从而避免造成空气进入真空腔体，离子注入晶圆时不再因水分子凝结再晶圆表面而产生冰霜并结冰，能顺利完成离子注入。
附图说明
图1是本离子注入机专用高压绝缘法兰实施例一的结构示意图。
图2是图1沿A-A向剖视图。
具体实施方式
实施例一
本离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法，包括以下步骤：
a)先采用常规方法对法兰毛坯件正常粗加工得到法兰半成品，法兰半成品背面12具有与离子注入工艺腔体配合的阶梯槽口12a，法兰毛坯件为UHMW-PE材质；
b)在步骤a)中得到的法兰半成品正面11加工出环槽11a，得到法兰工件；
环槽11a的深度与法兰半成品背面12的阶梯槽口12a深度相同，法兰工件正面11的环槽11a与法兰工件背面12的阶梯槽口12a之间形成对称加工，使得整个法兰加工区域内应力平衡；
c)将步骤b)中得到的法兰工件静置1周消除应力；
d)将步骤c)中得到的法兰工件进行退火处理，具体为：将步骤c)中得到的法兰工件放入烘箱中加热6小时，温度为80℃，随炉冷却14小时；
e)最后采用常规方法对步骤d)退火后得到的法兰工件进行精加工，得到离子注入机专用高压绝缘法兰。
如图1至2所示,本离子注入机专用高压绝缘法兰正面11具有环槽11a，正面11还开有多个与电磁聚焦系统连接的通孔，背面12具有阶梯槽口12a，本离子注入机专用高压绝缘法兰的中心区域具有注入孔13，靠近电磁聚焦系统一侧的注入孔13内壁设有截面形状为连续方波状的凹槽13a，凹槽13a可以减轻爬电现象。
经测试，该离子注入机专用高压绝缘法兰可以反复多次使用，在使用寿命内不会因为应力变化造成在高真空状态下使用中出现漏点现象，从而避免造成空气进入真空腔体，漏点靠近等离子喷洒源的事故。
实施例二
本离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法，包括以下步骤：
a)先采用常规方法对法兰毛坯件正常粗加工得到法兰半成品，法兰半成品背面具有与离子注入工艺腔体配合的阶梯槽口，法兰毛坯件为UHMW-PE材质；
b)在步骤a)中得到的法兰半成品正面加工出环槽，得到法兰工件；
环槽的深度与法兰半成品背面的阶梯槽口深度相同，法兰工件正面的环槽与法兰工件背面的阶梯槽口之间形成对称加工，使得整个法兰加工区域内应力平衡；
c)将步骤b)中得到的法兰工件静置1周消除应力；
d)将步骤c)中得到的法兰工件进行退火处理，具体为：将步骤c)中得到的法兰工件放入烘箱中加热4小时，温度为100℃，随炉冷却24小时；
e)最后采用常规方法对步骤d)退火后得到的法兰工件进行精加工，得到离子注入机专用高压绝缘法兰。
本离子注入机专用高压绝缘法兰正面具有环槽，正面还开有多个与电磁聚焦系统连接的通孔，背面具有阶梯槽口，本离子注入机专用高压绝缘法兰的中心区域具有注入孔，靠近电磁聚焦系统一侧的注入孔内壁设有截面形状为连续方波状的凹槽，凹槽可以减轻爬电现象。
本实施例中的离子注入机专用高压绝缘法兰所能达到技术参数与实施例一中的一致。
实施例三
本离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法，包括以下步骤：
a)先采用常规方法对法兰毛坯件正常粗加工得到法兰半成品，法兰半成品背面具有与离子注入工艺腔体配合的阶梯槽口，法兰毛坯件为UHMW-PE材质；
b)在步骤a)中得到的法兰半成品正面加工出环槽，得到法兰工件；
环槽的深度与法兰半成品背面的阶梯槽口深度相同，法兰工件正面的环槽与法兰工件背面的阶梯槽口之间形成对称加工，使得整个法兰加工区域内应力平衡；
c)将步骤b)中得到的法兰工件静置1周消除应力；
d)将步骤c)中得到的法兰工件进行退火处理，具体为：将步骤c)中得到的法兰工件放入烘箱中加热8小时，温度为40℃，随炉冷却4小时；
e)最后采用常规方法对步骤d)退火后得到的法兰工件进行精加工，得到离子注入机专用高压绝缘法兰。
本离子注入机专用高压绝缘法兰正面具有环槽，正面还开有多个与电磁聚焦系统连接的通孔，背面具有阶梯槽口，本离子注入机专用高压绝缘法兰的中心区域具有注入孔，靠近电磁聚焦系统一侧的注入孔内壁设有截面形状为连续方波状的凹槽，凹槽可以减轻爬电现象。
本实施例中的离子注入机专用高压绝缘法兰所能达到技术参数与实施例一中的一致。
以上所述的仅是本发明的三种实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法，包括以下步骤：
a)先采用常规方法对法兰毛坯件正常粗加工得到法兰半成品，法兰半成品背面具有与离子注入工艺腔体配合的阶梯槽口；
b)在步骤a)中得到的法兰半成品正面加工出环槽，得到法兰工件，环槽的深度与法兰半成品背面的阶梯槽口深度相同；
c)将步骤b)中得到的法兰工件静置消除应力；
d)将步骤c)中得到的法兰工件进行退火处理；
e)最后采用常规方法对步骤d)退火后得到的法兰工件进行精加工，得到离子注入机专用高压绝缘法兰。
2.根据权利要求1所述的离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法，其特征是：
所述步骤d)中退火处理具体为：将步骤c)中得到的法兰工件放入烘箱中加热4-8小时，温度为40℃-100℃，随炉冷却4-24小时。
3.根据权利要求1所述的离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法，其特征是：
所述步骤c)中将步骤b)中得到的法兰工件静置1周消除应力。
4.一种离子注入机专用高压绝缘法兰，其特征是：采用根据权利要求1至3中任一项中所述的离子注入机专用高压绝缘法兰的加工方法得到离子注入机专用高压绝缘法兰。
5.根据权利要求4所述的离子注入机专用高压绝缘法兰，其特征是：
本离子注入机专用高压绝缘法兰采用UHMW-PE材质。
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Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996011784A1 (en) * | 1994-10-14 | 1996-04-25 | Biomet, Inc. | Method and apparatus for processing thermoplastics, thermosets and elastomers |
| CN101270502A (zh) * | 2008-05-12 | 2008-09-24 | 北京同益中特种纤维技术开发有限公司 | 一种在线松弛定型的超高分子量聚乙烯纤维生产方法 |
| CN102242847A (zh) * | 2010-05-13 | 2011-11-16 | 泰州申视塑料有限公司 | 超高分子量聚乙烯复合管材连接用护口法兰管接头 |
| CN103727144A (zh) * | 2013-07-31 | 2014-04-16 | 东方电气集团东风电机有限公司 | 一种电动大巴电机的联轴器及其制造工艺 |
| CN107283122A (zh) * | 2017-06-23 | 2017-10-24 | 大永精机（福州）有限公司 | 一种汽车空心半轴的制造工艺 |
| CN206856058U (zh) * | 2017-06-19 | 2018-01-09 | 北京安通塑料制品有限公司 | 一种防止超高分子量聚乙烯棒材退火变形的外套 |
| CN110102988A (zh) * | 2019-06-20 | 2019-08-09 | 苏州市航宝科技技术有限公司 | 一种大直径薄壁件的加工工艺 |
| US20190249928A1 (en) * | 2018-02-13 | 2019-08-15 | Asia Vital Components Co., Ltd. | Vapor chamber water-filling section sealing structure |
| CN111037218A (zh) * | 2019-12-09 | 2020-04-21 | 东台市润丰法兰制造有限公司 | 一种高颈法兰加工工艺 |
| CN112847904A (zh) * | 2020-12-17 | 2021-05-28 | 深圳市嘉畅美电子有限公司 | 一种工程塑料绝缘板材加工工艺、加工治具和定型治具 |
| CN213321837U (zh) * | 2020-09-12 | 2021-06-01 | 宁波哲能精密塑料有限公司 | 一种特种工程塑料板在线应力消除装置 |
| CN113579642A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-11-02 | 江苏升源锻造有限公司 | 特大法兰的制备方法 |
-
2021
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Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996011784A1 (en) * | 1994-10-14 | 1996-04-25 | Biomet, Inc. | Method and apparatus for processing thermoplastics, thermosets and elastomers |
| CN101270502A (zh) * | 2008-05-12 | 2008-09-24 | 北京同益中特种纤维技术开发有限公司 | 一种在线松弛定型的超高分子量聚乙烯纤维生产方法 |
| CN102242847A (zh) * | 2010-05-13 | 2011-11-16 | 泰州申视塑料有限公司 | 超高分子量聚乙烯复合管材连接用护口法兰管接头 |
| CN103727144A (zh) * | 2013-07-31 | 2014-04-16 | 东方电气集团东风电机有限公司 | 一种电动大巴电机的联轴器及其制造工艺 |
| CN206856058U (zh) * | 2017-06-19 | 2018-01-09 | 北京安通塑料制品有限公司 | 一种防止超高分子量聚乙烯棒材退火变形的外套 |
| CN107283122A (zh) * | 2017-06-23 | 2017-10-24 | 大永精机（福州）有限公司 | 一种汽车空心半轴的制造工艺 |
| US20190249928A1 (en) * | 2018-02-13 | 2019-08-15 | Asia Vital Components Co., Ltd. | Vapor chamber water-filling section sealing structure |
| CN110102988A (zh) * | 2019-06-20 | 2019-08-09 | 苏州市航宝科技技术有限公司 | 一种大直径薄壁件的加工工艺 |
| CN111037218A (zh) * | 2019-12-09 | 2020-04-21 | 东台市润丰法兰制造有限公司 | 一种高颈法兰加工工艺 |
| CN213321837U (zh) * | 2020-09-12 | 2021-06-01 | 宁波哲能精密塑料有限公司 | 一种特种工程塑料板在线应力消除装置 |
| CN112847904A (zh) * | 2020-12-17 | 2021-05-28 | 深圳市嘉畅美电子有限公司 | 一种工程塑料绝缘板材加工工艺、加工治具和定型治具 |
| CN113579642A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-11-02 | 江苏升源锻造有限公司 | 特大法兰的制备方法 |
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