CN114217511A - 一种光刻机中近距离步进照明结构 - Google Patents
一种光刻机中近距离步进照明结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114217511A CN114217511A CN202111637031.4A CN202111637031A CN114217511A CN 114217511 A CN114217511 A CN 114217511A CN 202111637031 A CN202111637031 A CN 202111637031A CN 114217511 A CN114217511 A CN 114217511A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- guide plate
- threaded rod
- short
- stepping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 15
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 claims description 11
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 claims description 11
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 claims description 11
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 claims description 11
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 claims description 11
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 10
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70141—Illumination system adjustment, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of illumination system
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K37/00—Motors with rotor rotating step by step and without interrupter or commutator driven by the rotor, e.g. stepping motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/06—Means for converting reciprocating motion into rotary motion or vice versa
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
Abstract
本发明提供一种光刻机中近距离步进照明结构，包括步进电机，所述步进电机固定在第一支撑板一侧面，所述第一支撑板一端固定连接有导向板，所述导向板另一端固定连接有与第一支撑板平行布置的第二支撑板，所述第一支撑板与第二支撑板之间转动安装有沿导向板长度方向布置的丝杆，所述丝杆上螺纹连接有与滑块，所述滑块面向导向板的一面对称安装有可沿导向板滚动的滚轮，所述导向板面向滑块的一侧面开设有沿导向板长度方向布置的条形口，所述导向板面向滑块的一面对称开设有两个与条形口相通的阶梯槽，所述阶梯槽内滑动安插有与滚轮相接触的接触板，本发明具有如下的有益效果：实现防滚轮直接与导向板接触，延长导向板的使用寿命。
Description
技术领域
本发明是一种光刻机中近距离步进照明结构，属于光刻机技术领域。
背景技术
准直镜是光刻机中常用部件，准直镜将聚光光束变成近平行光束，常利用步进电机驱动准直镜移动调整准直镜与光源之间的间距，为降低安装准直镜的滑块与导向板之间的摩擦阻力，常在滑块与导向板之间安装滚轮，滑块在移动时滚轮在导向板表面滚动，从而降低滑块移动的阻力，但滚轮与导向板的相对位置固定，长期使用过程中滚轮因与导向板相对固定的位置接触，导致导向板与滚轮接触部位被过度磨损，影响导向板的使用寿命。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种光刻机中近距离步进照明结构，以解决上述背景技术中提出的问题，本发明实现防滚轮直接与导向板接触，延长导向板的使用寿命。
为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种光刻机中近距离步进照明结构，包括步进电机，所述步进电机固定在第一支撑板一侧面，所述第一支撑板一端固定连接有导向板，所述导向板另一端固定连接有与第一支撑板平行布置的第二支撑板，所述第一支撑板与第二支撑板之间转动安装有沿导向板长度方向布置的丝杆，所述丝杆一端与步进电机输出端固定连接，所述丝杆上螺纹连接有与滑块，所述滑块面向导向板的一面对称安装有可沿导向板滚动的滚轮，所述滑块背离滚轮的一面安装有准直镜，所述准直镜一侧设有光源，所述光源安装在第一支撑板上，所述导向板面向滑块的一侧面开设有沿导向板长度方向布置的条形口，所述导向板面向滑块的一面对称开设有两个与条形口相通的阶梯槽，所述阶梯槽内滑动安插有与滚轮相接触的接触板，所述接触板通过连接件与导向板相连接。
进一步地，所述连接件包括支板，两个所述接触板面向导向板的一面并靠近条形口的一侧边缘处均对称固定连接有两个支板，所述支板一侧面开设有圆孔，所述圆孔内安插有螺纹杆，所述螺纹杆沿着条形口的宽度方向布置，所述螺纹杆的端部与导向板相插接，所述支板的两侧均设有用于限制螺纹杆与支板相对位置的螺母，所述螺母螺纹连接在螺纹杆上。
进一步地，所述螺纹杆的两端均螺纹连接有直螺纹筒，所述直螺纹筒远离螺纹杆的一端延伸至插接孔内，所述插接孔开设在条形口侧壁上，所述直螺纹筒远离插接孔的一端外表面固定有手柄，所述手柄与直螺纹筒垂直布置。
进一步地，所述支板与接触板垂直布置，所述支板一侧面下部位置固定连接有三角板，所述三角板与接触板固定连接。
进一步地，所述滑块一侧面开设有螺纹孔，所述丝杆螺纹连接在螺纹孔内，所述丝杆远离步进电机的一端套设有轴承，所述轴承外圈与第二支撑板固定连接，所述第一支撑板安装步进电机的位置处开设有通孔，所述步进电机输出端贯穿通孔并与丝杆固定连接。
进一步地，所述滑块面向导向板的一面对称开设有两个存放槽，所述存放槽两个相平行的侧面上均开设有用于限制滚轮上轴杆位置的卡槽，所述滚轮设置在存放槽内。
进一步地，所述条形口的两侧均设有连板，所述连板与导向板固定连接，两个所述连板的相对面均开设有两个用于穿插螺栓的固定孔。
进一步地，所述第一支撑板安装光源的位置处开设有安装口，所述光源贯穿安装口。
进一步地，所述第一支撑板、第二支撑板与导向板呈90°夹角布置，所述第二支撑板的长度小于第一支撑板的长度，所述第一支撑板、第二支撑板与导向板为一体成型结构。
本发明的有益效果：
1、在导向板与滚轮之间安装接触板，步进电机驱动丝杆转动时，滑块带动滚轮沿着接触板滚动，从而防滚轮与导向板直接接触，延长导向板的使用寿命。
2、沿着螺纹杆调整支板的位置，进而支板带动接触板在阶梯槽内移动，使滚轮与接触板的相对位置发生改变，当接触板被磨损的部位错开滚轮后，拧动支板两侧的螺母，使支板两侧的螺母均与支板紧密贴合，完成支板与螺纹杆相对位置的固定，同时接触板与导向板的相对位置固定，实现便捷调整接触板与滚轮相对位置的目的，便于使接触板被磨损的部位错开接滚轮，使接触板未被磨损的部位与滚轮接触，提高对接触板的利用率。
3、将螺纹杆置于条形口内并使螺纹杆沿着条形口的宽度方向布置，利用手柄转动直螺纹筒，使直螺纹筒沿着螺纹杆的长度方向向外移动，从而直螺纹筒与螺纹杆共同形成的结构的长度增加，当螺纹杆两端的直螺纹筒均安插在相应的插接孔内后，实现将螺纹杆限制在条形口内，反向拧动直螺纹筒，使直螺纹筒脱离插接孔，从而便于拆卸螺纹杆，便于更换受磨损的接触板。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本发明一种光刻机中近距离步进照明结构的结构示意图；
图2为本发明一种光刻机中近距离步进照明结构中A处放大图；
图3为本发明一种光刻机中近距离步进照明结构中接触板、支板、螺纹杆和导向板的装配示意图；
图4为本发明一种光刻机中近距离步进照明结构中导向板的剖面图；
图5为本发明一种光刻机中近距离步进照明结构中滚轮与滑块的装配示意图；
图6为本发明一种光刻机中近距离步进照明结构中滑块的立体图；
图7为本发明一种光刻机中近距离步进照明结构中支板的立体图；
图中：1-导向板、2-条形口、3-接触板、4-连板、5-固定孔、6-步进电机、7-光源、8-第一支撑板、9-准直镜、10-滑块、11-丝杆、12-第二支撑板、13-螺纹杆、14-支板、15-螺母、16-手柄、17-直螺纹筒、18-插接孔、19-阶梯槽、20-螺纹孔、21-滚轮、22-存放槽、23-圆孔。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种光刻机中近距离步进照明结构，包括步进电机6，步进电机6固定在第一支撑板8一侧面，第一支撑板8安装步进电机6的位置处开设有通孔，步进电机6输出端贯穿通孔并与丝杆11固定连接，通孔为步进电机6与丝杆11的连接提供空间，第一支撑板8一端固定连接有导向板1，导向板1另一端固定连接有与第一支撑板8平行布置的第二支撑板12，第一支撑板8与第二支撑板12之间转动安装有沿导向板1长度方向布置的丝杆11，丝杆11一端与步进电机6输出端固定连接，丝杆11远离步进电机6的一端套设有轴承，轴承外圈与第二支撑板12固定连接，轴承起到使丝杆11与第二支撑板12转动连接的作用，第一支撑板8、第二支撑板12与导向板1呈90°夹角布置，第二支撑板12的长度小于第一支撑板8的长度，第一支撑板8、第二支撑板12与导向板1为一体成型结构。
参阅图1和图5，丝杆11上螺纹连接有与滑块10，滑块10一侧面开设有螺纹孔20，丝杆11螺纹连接在螺纹孔20内，将丝杆11拧入螺纹孔20内，完成丝杆11与滑块10的螺纹连接，滑块10面向导向板1的一面对称安装有可沿导向板1滚动的滚轮21，滑块10背离滚轮21的一面安装有准直镜9，准直镜9一侧设有光源7，光源7安装在第一支撑板8上，第一支撑板8安装光源7的位置处开设有安装口，光源7贯穿安装口，安装口为光源7提供安装空间，接通步进电机6的电路后，步进电机6驱动丝杆11转动，丝杆11驱动滑块10移动，滑块10带动准直镜9移动，从而达到调整准直镜9与光源7之间间距的目的，滑块10在移动时带动滚轮21沿着导向板1滚动，起到降低滑块10移动阻力的作用。
作为本发明的一种实施例：参阅图1、图2、图3和图5，导向板1面向滑块10的一侧面开设有沿导向板1长度方向布置的条形口2，导向板1面向滑块10的一面对称开设有两个与条形口2相通的阶梯槽19，阶梯槽19内滑动安插有与滚轮21相接触的接触板3，在导向板1与滚轮21之间安装接触板3，步进电机6驱动丝杆11转动时，滑块10带动滚轮21沿着接触板3滚动，从而防滚轮21与导向板1直接接触，延长导向板1的使用寿命。
作为本发明的一种实施例：参阅图1、图2、图3、图4、图5和图7，两个接触板3面向导向板1的一面并靠近条形口2的一侧边缘处均对称固定连接有两个支板14，支板14与接触板3垂直布置，支板14一侧面下部位置固定连接有三角板，三角板与接触板3固定连接，三角板提高支板14与接触板3连接的机械强度，支板14一侧面开设有圆孔23，圆孔23内安插有螺纹杆13，螺纹杆13沿着条形口2的宽度方向布置，螺纹杆13的端部与导向板1相插接，支板14的两侧均设有用于限制螺纹杆13与支板14相对位置的螺母15，螺母15螺纹连接在螺纹杆13上，沿着螺纹杆13调整支板14的位置，进而支板14带动接触板3在阶梯槽19内移动，使滚轮21与接触板3的相对位置发生改变，当接触板3被磨损的部位错开滚轮21后，拧动支板14两侧的螺母15，使支板14两侧的螺母15均与支板14紧密贴合，完成支板14与螺纹杆13相对位置的固定，同时接触板3与导向板1的相对位置固定，实现便捷调整接触板3与滚轮21相对位置的目的，便于使接触板3被磨损的部位错开滚轮21，使接触板3未被磨损的部位与滚轮21接触，提高对接触板3的利用率。
作为本发明的一种实施例：参阅图1-图4，螺纹杆13的两端均螺纹连接有直螺纹筒17，直螺纹筒17远离螺纹杆13的一端延伸至插接孔18内，插接孔18开设在条形口2侧壁上，直螺纹筒17远离插接孔18的一端外表面固定有手柄16，手柄16与直螺纹筒17垂直布置，将螺纹杆13置于条形口2内并使螺纹杆13沿着条形口2的宽度方向布置，利用手柄16转动直螺纹筒17，使直螺纹筒17沿着螺纹杆13的长度方向向外移动，从而直螺纹筒17与螺纹杆13共同形成的结构的长度增加，当螺纹杆13两端的直螺纹筒17均安插在相应的插接孔18内后，实现将螺纹杆13限制在条形口2内，反向拧动直螺纹筒17，使直螺纹筒17脱离插接孔18，从而便于拆卸螺纹杆13，便于更换受磨损的接触板3。
作为本发明的一种实施例：参阅图1、图5和图6，滑块10面向导向板1的一面对称开设有两个存放槽22，存放槽22两个相平行的侧面上均开设有用于限制滚轮21上轴杆位置的卡槽，滚轮21设置在存放槽22内，将滚轮21置于存放槽22内后，使滚轮21上的轴杆卡在卡槽内，实现对滚轮21位置的限制。
作为本发明的一种实施例：参阅图1，条形口2的两侧均设有连板4，连板4与导向板1固定连接，两个连板4的相对面均开设有两个用于穿插螺栓的固定孔5，将螺栓穿过固定孔5安装在所需位置处，完成连板4位置的固定，即导向板1的位置被限制。
具体实施方式：将螺栓穿过固定孔5安装在所需位置处，完成导向板1的位置的固定，利用手柄16转动直螺纹筒17，使直螺纹筒17沿着螺纹杆13的长度方向向外移动，从而直螺纹筒17与螺纹杆13共同形成的结构的长度增加，当螺纹杆13两端的直螺纹筒17均安插在相应的插接孔18内后，实现将螺纹杆13限制在条形口2内，反向拧动直螺纹筒17，使直螺纹筒17脱离插接孔18，从而便于拆卸螺纹杆13，便于更换受磨损的接触板3，沿着螺纹杆13调整支板14的位置，进而支板14带动接触板3在阶梯槽19内移动，使滚轮21与接触板3的相对位置发生改变，当接触板3被磨损的部位错开滚轮21后，拧动支板14两侧的螺母15，使支板14两侧的螺母15均与支板14紧密贴合，完成支板14与螺纹杆13相对位置的固定，同时接触板3与导向板1的相对位置固定，实现便捷调整接触板3与滚轮21相对位置的目的，便于使接触板3被磨损的部位错开滚轮21，使接触板3未被磨损的部位与滚轮21接触，提高对接触板3的利用率，接通步进电机6的电路后，步进电机6驱动丝杆11转动，丝杆11驱动滑块10移动，滑块10带动准直镜9移动，从而达到调整准直镜9与光源7之间间距的目的，滑块10在移动时带动滚轮21沿着接触板3滚动，起到降低滑块10移动阻力的作用。
虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (9)
1.一种光刻机中近距离步进照明结构，包括步进电机(6)，其特征在于：所述步进电机(6)固定在第一支撑板(8)一侧面，所述第一支撑板(8)一端固定连接有导向板(1)，所述导向板(1)另一端固定连接有与第一支撑板(8)平行布置的第二支撑板(12)，所述第一支撑板(8)与第二支撑板(12)之间转动安装有沿导向板(1)长度方向布置的丝杆(11)，所述丝杆(11)一端与步进电机(6)输出端固定连接，所述丝杆(11)上螺纹连接有与滑块(10)，所述滑块(10)面向导向板(1)的一面对称安装有可沿导向板(1)滚动的滚轮(21)，所述滑块(10)背离滚轮(21)的一面安装有准直镜(9)，所述准直镜(9)一侧设有光源(7)，所述光源(7)安装在第一支撑板(8)上，所述导向板(1)面向滑块(10)的一侧面开设有沿导向板(1)长度方向布置的条形口(2)，所述导向板(1)面向滑块(10)的一面对称开设有两个与条形口(2)相通的阶梯槽(19)，所述阶梯槽(19)内滑动安插有与滚轮(21)相接触的接触板(3)，所述接触板(3)通过连接件与导向板(1)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机中近距离步进照明结构，其特征在于：所述连接件包括支板(14)，两个所述接触板(3)面向导向板(1)的一面并靠近条形口(2)的一侧边缘处均对称固定连接有两个支板(14)，所述支板(14)一侧面开设有圆孔(23)，所述圆孔(23)内安插有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)沿着条形口(2)的宽度方向布置，所述螺纹杆(13)的端部与导向板(1)相插接，所述支板(14)的两侧均设有用于限制螺纹杆(13)与支板(14)相对位置的螺母(15)，所述螺母(15)螺纹连接在螺纹杆(13)上。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机中近距离步进照明结构，其特征在于：所述螺纹杆(13)的两端均螺纹连接有直螺纹筒(17)，所述直螺纹筒(17)远离螺纹杆(13)的一端延伸至插接孔(18)内，所述插接孔(18)开设在条形口(2)侧壁上，所述直螺纹筒(17)远离插接孔(18)的一端外表面固定有手柄(16)，所述手柄(16)与直螺纹筒(17)垂直布置。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机中近距离步进照明结构，其特征在于：所述支板(14)与接触板(3)垂直布置，所述支板(14)一侧面下部位置固定连接有三角板，所述三角板与接触板(3)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机中近距离步进照明结构，其特征在于：所述滑块(10)一侧面开设有螺纹孔(20)，所述丝杆(11)螺纹连接在螺纹孔(20)内，所述丝杆(11)远离步进电机(6)的一端套设有轴承，所述轴承外圈与第二支撑板(12)固定连接，所述第一支撑板(8)安装步进电机(6)的位置处开设有通孔，所述步进电机(6)输出端贯穿通孔并与丝杆(11)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种光刻机中近距离步进照明结构，其特征在于：所述滑块(10)面向导向板(1)的一面对称开设有两个存放槽(22)，所述存放槽(22)两个相平行的侧面上均开设有用于限制滚轮(21)上轴杆位置的卡槽，所述滚轮(21)设置在存放槽(22)内。
7.根据权利要求1所述的一种光刻机中近距离步进照明结构，其特征在于：所述条形口(2)的两侧均设有连板(4)，所述连板(4)与导向板(1)固定连接，两个所述连板(4)的相对面均开设有两个用于穿插螺栓的固定孔(5)。
8.根据权利要求1所述的一种光刻机中近距离步进照明结构，其特征在于：所述第一支撑板(8)安装光源(7)的位置处开设有安装口，所述光源(7)贯穿安装口。
9.根据权利要求1所述的一种光刻机中近距离步进照明结构，其特征在于：所述第一支撑板(8)、第二支撑板(12)与导向板(1)呈90°夹角布置，所述第二支撑板(12)的长度小于第一支撑板(8)的长度，所述第一支撑板(8)、第二支撑板(12)与导向板(1)为一体成型结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111637031.4A CN114217511B (zh) | 2021-12-29 | 2021-12-29 | 一种光刻机中近距离步进照明结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111637031.4A CN114217511B (zh) | 2021-12-29 | 2021-12-29 | 一种光刻机中近距离步进照明结构 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114217511A true CN114217511A (zh) | 2022-03-22 |
| CN114217511B CN114217511B (zh) | 2022-12-13 |
Family
ID=80706641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111637031.4A Active CN114217511B (zh) | 2021-12-29 | 2021-12-29 | 一种光刻机中近距离步进照明结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114217511B (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003109790A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Hiroshi Sakamura | 広告用蛍光灯の自動段調光装置 |
| JP2012177799A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Nsk Technology Co Ltd | 露光装置用光照射装置 |
| CN103439088A (zh) * | 2013-08-19 | 2013-12-11 | 江苏大学 | 用凸透镜产生平行光的方法与装置 |
| WO2015080538A2 (ko) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 성낙훈 | 선광원 발생장치와 이를 구비한 노광기 |
| WO2020130090A1 (ja) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置用光照射装置 |
| CN111929796A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-13 | 青岛澳瑞德电子有限公司 | 一种变光斑的光路调节结构 |
-
2021
- 2021-12-29 CN CN202111637031.4A patent/CN114217511B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003109790A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Hiroshi Sakamura | 広告用蛍光灯の自動段調光装置 |
| JP2012177799A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Nsk Technology Co Ltd | 露光装置用光照射装置 |
| CN103439088A (zh) * | 2013-08-19 | 2013-12-11 | 江苏大学 | 用凸透镜产生平行光的方法与装置 |
| WO2015080538A2 (ko) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | 성낙훈 | 선광원 발생장치와 이를 구비한 노광기 |
| WO2020130090A1 (ja) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置用光照射装置 |
| CN111929796A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-13 | 青岛澳瑞德电子有限公司 | 一种变光斑的光路调节结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114217511B (zh) | 2022-12-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114217511B (zh) | 一种光刻机中近距离步进照明结构 | |
| CN210262126U (zh) | 纺纱多辊收卷装置 | |
| CN107254772B (zh) | 一种铺布机的切布机构 | |
| CN212822352U (zh) | 一种全自动金属软管机的轧线机构 | |
| CN217536277U (zh) | 一种整经机用导纱结构 | |
| CN211112433U (zh) | 一种整经机操作台轴承调节机构 | |
| CN210682812U (zh) | 一种纺织导纱轮 | |
| CN213393164U (zh) | 一种耐磨损滚珠型滚珠滑块 | |
| CN214361955U (zh) | 一种异形涤纶低弹丝的拉伸装置 | |
| CN211005797U (zh) | 一种玻璃纤维用便于调节的高速一次性整经机 | |
| CN212075931U (zh) | 一种方便调节的纺织纱线用夹持装置 | |
| CN200940115Y (zh) | 玻璃切割机 | |
| CN206588460U (zh) | 排丝器 | |
| CN209407117U (zh) | 一种森吉米尔二十三辊拉伸矫直机 | |
| CN108908463B (zh) | 一种钢纸剪裁装置上的压轮调节结构 | |
| CN208600923U (zh) | 一种用于激光切割机交换平台的链条张紧装置 | |
| TW201704576A (zh) | 織梭 | |
| CN201538885U (zh) | 电脑多头链式绣花机h轴中间驱动装置 | |
| CN211199676U (zh) | 一种悬浮框架的前导轨支撑机构 | |
| CN102691163A (zh) | 针织输纱装置 | |
| CN2578354Y (zh) | 织带机的综框装置 | |
| CN220600363U (zh) | 一种高稳定性张紧轮 | |
| CN214349992U (zh) | 具有导液槽的锯床锯带导向头 | |
| CN217342941U (zh) | 一种圆锥滚子加工用棒料校直装置 | |
| CN220118577U (zh) | 一种链条张紧装置及链条传动机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20221124 Address after: No. 602-117, Complex Building, No. 1099, Qingxi Second Road, Hezhuang Street, Qiantang District, Hangzhou, Zhejiang, 310000 Applicant after: Hangzhou Xinweiying Semiconductor Co.,Ltd. Address before: 224000 No. 18-3, South hope Avenue, Yancheng Economic and Technological Development Zone, Jiangsu Province Applicant before: Jiangsu Weiying Semiconductor Co.,Ltd. |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |