CN114177824A - 监测反馈系统以及监测反馈方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种监测反馈系统以及监测反馈方法，监测反馈系统包括：第一容置装置以及第二容置装置，分别用于储存第一溶液以及第二溶液；混合装置，用于存储混合溶液，混合溶液由第一溶液以及第二溶液组成；第一浓度检测装置，用于检测混合溶液的当前浓度；浓度补偿模块，用于基于当前浓度与预设浓度的差异，获取向混合装置补偿第一溶液的第一补偿量或者第二溶液的第二补偿量，并基于第一补偿量或者第二补偿量对混合溶液进行补偿，以使补偿后的溶液的浓度为预设浓度。本发明实施例提供的监测反馈系统以及监测反馈方法，提高浓度检测效率，优化了溶液混合流程，进一步提高了配液成功率。

Description

监测反馈系统以及监测反馈方法

技术领域

本发明实施例涉及半导体领域，特别涉及一种监测反馈系统以及监测反馈方法。

背景技术

目前，在传统的溶液混合过程中，对混合后的溶液即混合溶液浓度进行检测，若混合溶液浓度为预设浓度，将混合溶液存储起来，若混合溶液浓度不是预设浓度，将混合溶液当作废液处理掉，再重新对溶液进行混合。

传统的溶液混合，往往不会出现一次性就配比好所需浓度，需要进行反复几次的溶液配比，在这个过程中，不但需要额外增加处理废液的所需要的化学品，还要承担溶液混合操作带来的安全隐患。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种监测反馈系统以及监测反馈方法，有利于提高溶液混合的成功率。

为解决上述问题，本发明实施例提供一种监测反馈系统，包括：第一容置装置以及第二容置装置，分别用于储存第一溶液以及第二溶液；混合装置，用于存储混合溶液，所述混合溶液由所述第一溶液以及所述第二溶液组成；第一浓度检测装置，用于检测所述混合溶液的当前浓度；浓度补偿模块，用于基于所述当前浓度与预设浓度的差异，获取向所述混合装置补偿所述第一溶液的第一补偿量或者所述第二溶液的第二补偿量，并基于所述第一补偿量或者所述第二补偿量对所述混合溶液进行补偿，以使补偿后的所述溶液的浓度为所述预设浓度。

另外，所述浓度补偿模块包括：第一称重单元，与所述第一容置装置连接，用于对所述第一溶液进行称重，以使补偿的所述第一溶液的量为所述第一补偿量；第二称重单元，与所述第二容置装置连接，用于对所述第二溶液进行称重，以使补偿的所述第二溶液的量为所述第二补偿量。

另外，还包括：两个稀释管道，所述稀释管道分别连接在所述第一容置装置与所述混合装置之间、所述第二容置装置与所述混合装置之间。

另外，还包括：第一补偿管道，所述第一补偿管道连接在所述第一容置装置与所述混合装置之间；第二补偿管道，所述第二补偿管道连接在所述第二容置装置与所述混合装置之间；其中，所述第一称重单元与所述第一补偿管道连接，所述第二称重单元与所述第二补偿管道连接。

另外，还包括：第二浓度检测装置，用于检测所述第一容置装置内的所述第一溶液的浓度，或者，用于检测所述第二容置装置内的所述第二溶液的浓度。

另外，还包括：供气装置，所述供气装置通过供气管道为所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者提供N₂或者惰性气体。

另外，还包括：抽气装置，所述抽气装置与所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者连通。

另外，还包括：循环装置，用于使位于所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者内的液体进行液体循环；所述循环装置包括：循环管道，所述循环管道的两端分别连接所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者；驱动单元，用于驱动所述液体经由所述循环管道循环流动；所述循环装置还包括：液位传感器，用于检测所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者的所述液体的液位信息；所述驱动单元基于所述液位信息控制所述液体循环的流速以及所需时长。

相应的，本发明实施例还提供一种监测反馈方法，包括：获取混合溶液的当前浓度，所述混合溶液由第一溶液以及第二溶液组成；基于所述当前浓度与预设浓度的差异，获取向所述混合溶液补偿所述第一溶液的第一补偿量或者所述第二溶液的第二补偿量，并基于所述第一补偿量所述第二补偿量对所述混合溶液进行补偿，以使补偿后的所述溶液的浓度为所述预设浓度。

另外，还包括：对进行补偿的所述第一溶液进行称重，以获取具有所述第一补偿量的所述第一溶液；对进行补偿的所述第二溶液进行称重，以获取具有所述第二补偿量的所述第二溶液。

与现有技术相比，本发明实施例提供的技术方案具有以下优点：

本发明实施例提供的一种监测反馈系统以及监测反馈方法，包括：第一容置装置以及第二容置装置，分别用于储存第一溶液以及第二溶液；混合装置，用于存储混合溶液，所述混合溶液由所述第一溶液以及所述第二溶液组成；第一浓度检测装置，用于检测所述混合溶液的当前浓度；浓度补偿模块，用于基于所述当前浓度与预设浓度的差异，获取向所述混合装置补偿所述第一溶液的第一补偿量或者所述第二溶液的第二补偿量，并基于所述第一补偿量或者所述第二补偿量对所述混合溶液进行补偿，以使补偿后的所述溶液的浓度为所述预设浓度。本发明实施例提供的监测反馈系统以及监测反馈方法，利用实时浓度监测装置代替现有技术中的人工检测，提高浓度检测效率，同时减少人工操作以及人工操作带来的安全隐患，优化了溶液混合流程，减少因混合溶液的浓度不等于预设浓度时，对浓度不合格的混合溶液处理所需的成本，进一步提高了配液成功率。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1～图2为本发明第一实施例提供的监测反馈系统的结构示意图；

图3～图4为本发明第二实施例提供的监测反馈系统的结构示意图；

图5为本发明第三实施例提供的监测反馈方法的步骤图。

具体实施方式

由背景技术可知，现有技术的溶液混合方法有待提高。现有技术中，为了得到混合溶液，需要将两种溶液进行混合，检测混合溶液的当前浓度，若混合溶液的当前浓度为预设浓度，则将混合溶液存储起来，供下一步使用；若混合溶液的当前浓度不是预设浓度，则需要将混合溶液以废液的形式处理掉。而在处理废液时又会产生新的化学品消耗，产生新的成本以及操作带来的安全隐患。

为解决上问题，本发明实施提供一种监测反馈系统，包括：第一容置装置以及第二容置装置，分别用于储存第一溶液以及第二溶液；混合装置，用于存储混合溶液，混合溶液由第一溶液以及第二溶液组成；第一浓度检测装置，用于检测混合溶液的当前浓度；浓度补偿模块，用于基于当前浓度与预设浓度的差异，获取向混合装置补偿第一溶液的第一补偿量或者第二溶液的第二补偿量，并基于第一补偿量或者第二补偿量对混合溶液进行补偿，以使补偿后的溶液的浓度为预设浓度。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。

本发明第一实施例提供一种监测反馈系统，以下将结合附图对本实施例提供的监测反馈系统进行详细说明。图1～图2为本发明第一实施例提供的监测反馈系统的结构示意图。

参考图1，本实施例中，监测反馈系统包括：第一容置装置101以及第二容置装置102，分别用于储存第一溶液以及第二溶液；混合装置103，用于存储混合溶液，混合溶液由第一溶液以及第二溶液组成；第一浓度检测装置121，用于检测混合溶液的当前浓度；浓度补偿模块111，用于基于当前浓度与预设浓度的差异，获取向混合装置103补偿第一溶液的第一补偿量或者第二溶液的第二补偿量，并基于第一补偿量或者第二补偿量对混合溶液进行补偿，以使补偿后的溶液的浓度为预设浓度。

具体的，第一浓度检测装置121检测混合溶液的当前浓度，这里的当前浓度可以是混合溶液中第一溶液的浓度，也可以是混合溶液中第二溶液的浓度。

可以理解的是，若检测的是混合溶液中第一溶液的当前浓度，当前浓度大于预设浓度时，根据当前浓度和预设浓度的差异计算出需要补偿的第二溶液的第二补偿量，以使当前浓度等于预设浓度；当前浓度小于预设浓度时，根据当前浓度和预设浓度的差异计算出需要补偿的第一溶液的第一补偿量，以使当前浓度等于预设浓度。若检测的是混合溶液中第二溶液的当前浓度，当前浓度大于预设浓度时，根据当前浓度和预设浓度的差异计算出需要补偿的第一溶液的第一补偿量，以使当前浓度等于预设浓度；当前浓度小于预设浓度时，根据当前浓度和预设浓度的差异计算出需要补偿的第二溶液的第二补偿量，以使当前浓度等于预设浓度。同时，也能够根据实际需要，计算出分别需要补偿的第一溶液的第一补偿量以及第二溶液的第二补偿量，以使当前浓度等于预设浓度。

需要说明的是，在本实施例中，通过浓度补偿模块111，使补偿之后的浓度等于预设浓度。在其他实施例中，也可以根据需要选择将补偿之后的浓度接近预设浓度即可。在一个例子中，以使混合溶液的第一溶液的浓度达到预设浓度的值的±5％以内；例如±4％以内、±3％以内、±2％以内或±1％以内。

参考图2，本实施例中，监测反馈系统还包括：两个稀释管道141，稀释管道141分别连接在第一容置装置101与混合装置103之间、第二容置装置102与混合装置103之间。

可以理解的是，在起初对第一溶液以及第二溶液进行混合形成混合溶液时，第一溶液与第二溶液分别通过稀释管道141通入混合装置103中，形成混合溶液。

本实施例中，还包括：第一阀门151，第一阀门151位于稀释管道141上，用于控制稀释管道141的导通与截止。

第一阀门151用于控制稀释管道141的导通与截止，即第一阀门151用于控制第一溶液或者第二溶液是否通入混合装置103。

需要说明的是，在本实施例中，第一溶液为去离子水(DIW)，第二溶液为化学品，混合装置103中形成的混合溶液为稀释的化学品。在其他实施例中，第一溶液和第二溶液可以是任何液体，即混合装置中的混合溶液为任意第一溶液与第二溶液构成的混合溶液。

在第一浓度检测装置121检测化学品浓度时，由于化学品的挥发性，往往检测到的浓度不是很准确，因此，第一浓度检测装置121需要保持密封状态。

检测化学品浓度可以通过预先加入已知浓度已知体积的酸溶液，使酸溶液与化学品发生完全的中和反应，直至化学品反应完全，再对溶液中剩余酸溶液的浓度进行检测，即可通过计算得到化学品的浓度。

本实施例中，酸溶液为盐酸，需要制备1N的盐酸溶液用于化学品浓度的检测。首先烘干碳酸钠用于1N的盐酸溶液的浓度标定，烘干时间为2小时，温度为100℃～105℃；使用1L的容量瓶，加入浓度为36％的盐酸溶液90～95ml，再加入超纯水至1L，进行充分混合；使用烘干的碳酸钠对盐酸溶液进行标定，重复6次，记录平均值为盐酸溶液的浓度。

将50～60ml的超纯水加入至第一浓度检测装置121的反应容器中，再加入20ml的盐酸溶液，提取0.5g的化学品，使其在反应容器中充分反应，最后利用已知浓度的氢氧化钠溶液检测反应容器中剩余的盐酸溶液浓度，计算出化学品的浓度。

需要说明的是，上述具体数据为对本实施例的补充注入的原理进行具体数量的举例说明，便于本领域技术人员理解本方案，并不构成对本实施例的限定。

本实施例中，浓度补偿模块111还包括：第一称重单元131，与第一容置装置101连接，用于对第一溶液进行称重，以使补偿的第一溶液的量为第一补偿量；第二称重单元132，与第二容置装置102连接，用于对第二溶液进行称重，以使补偿的第二溶液的量为第二补偿量。

其中，通过第一称重单元131对第一溶液进行称重，以得到第一补偿量，或者，通过第二称重单元132对第二溶液进行称重，以得到第二补偿量。

需要注意的是，第一称重单元131以及第二称重单元132为精度较高的称重设备，以达到能够准确称量需要补偿的第一补偿量或者第二补偿量。

本实施例中，还包括：第一补偿管道142，第一补偿管道142连接在第一容置装置101与混合装置103之间；第二补偿管道143，第二补偿管道143连接在第二容置装置102与混合装置103之间；其中，第一称重单元131与第一补偿管道142连接，第二称重单元132与第二补偿管道143连接。

可以理解的是，当需要对混合溶液进行补偿时，补偿的第一溶液通过第一补偿管道142经过第一称重单元131，对第一溶液进行称量，得到需要补偿的第一补偿量；补偿的第二溶液通过第二补偿管道143经过第二称重单元132，对第二溶液进行称量，得到需要补偿的第二补偿量。

本实施例中，还包括：汇合管道144，汇合管道连接第一补偿管道142与混合装置103，且还连接第二补偿管道143与混合装置103。

第一补偿量从第一补偿管道142到汇合管道144通入混合装置103，第二补偿量从第二补偿管道143到汇合管道144通入混合装置103。

其他实施例中，混合管道也可以分开设置。

可以理解的是，还包括：第二阀门152，第二阀门152设置在第一容置装置101与第一称重单元131之间的第一补偿管道142上；第三阀门153，第三阀门153设置在第二容置装置102与第二称重单元132之间的第二补偿管道143上。

相应的，第一容置装置101与第一称重单元131之间的第一补偿管道142上设置有第二阀门152，用于控制通入第一称重单元131的第一溶液的量，以达到第一补偿量，当通入第一称重单元131的第一溶液的量达到第一补偿量时，通过第二阀门152使第一补偿管道142截止；第二容置装置102与第二称重单元132之间的第二补偿管道143上设置有第三阀门153，用于控制通入第二称重单元132的第二溶液的量，以达到第二补偿量，当通入第二称重单元132的第二溶液的量达到第二补偿量时，通过第三阀门153使第二补偿管道143截止。

本实施例中，还包括：第二浓度检测装置122，用于检测第一容置装置101内的第一溶液的浓度，或者，用于检测第二容置装置102内的第二溶液的浓度。

可以理解的是，第二浓度检测装置122能够实时检测第一溶液的浓度，或者第二溶液的浓度。浓度补偿模块111根据第一溶液的实时浓度或者第二溶液的实时浓度计算出更加准确的需要补偿的第一补偿量或者第二补偿量。在混合第一溶液与第二溶液形成混合溶液时，也能够根据第一溶液与第二溶液的浓度更加精准的计算出合适的配比。

本发明实施例提供的监测反馈系统以及监测反馈方法，通过实时浓度检测装置代替现有技术中的人工检测，提高浓度检测效率，同时减少人工操作以及人工操作带来的安全隐患，通过浓度补偿模块，优化了溶液混合流程，减少因混合溶液的浓度不等于预设浓度时，对浓度不合格的混合溶液处理所需的成本，进一步提高了配液成功率。

本发明第二实施例还提供一种监测反馈系统。以下将结合附图对本发明第二实施例提供的配对方法进行详细说明，与前一实施例相同或者相应部分，可参考前述实施例的说明，以下将不做赘述。图3～图4为本发明第二实施例提供的监测反馈系统的结构示意图。

参考图3，本实施例中，监测反馈系统包括：第一容置装置201以及第二容置装置202，混合装置203，两个稀释管道241以及位于稀释管道241上的两个第一阀门251，第一称重单元231以及第二称重单元232，第一补偿管道242，第二补偿管道243，汇合管道244，位于第一补偿管道上的第二阀门252，位于第二补偿管道上的第三阀门253，第一浓度检测装置221，第二浓度检测装置222；还包括：供气装置261，供气装置261通过供气管道为第一容置装置201、第二容置装置202或者混合装置203中的至少一者提供N₂或者惰性气体。

具体的，由于第一容置装置201、第二容置装置202、混合装置203以及稀释管道241、第一补偿管道242、第二补偿管道243、汇合管道244中的液体并不是完全充满的，第一溶液、第二溶液以及混合溶液处于与空气接触的环境中。对于有的化学品来说，在与空气接触的情况下，空气中的二氧化碳会逐渐与化学品发生化学反应，造成化学品污染以及浓度发生变化。

本实施例中，通过供气装置261为监测反馈系统中提供N₂或者惰性气体，可以避免系统中的溶液与空气中的二氧化碳发生反应。

在另一个例子中，参考图4，监测反馈系统还包括：抽气装置262，抽气装置262与第一容置装置201、第二容置装置202或者混合装置203中的至少一者连通。

为了避免溶液与空气接触而发生反应，造成溶液污染，也可以采用抽气装置使监测反馈系统中保持真空。

本实施例中，还包括：循环装置271，用于使位于第一容置装置201、第二容置装置202或者混合装置203中的至少一者内的液体进行液体循环。

可以理解的是，溶液经过长时间放置会存在浓度不均匀的情况，直接在这种情况下检测到的浓度可能存在不准确的问题。在第一容置装置201、第二容置装置202或者混合装置203上设置循环装置271，用于对其内的液体进行循环，能够得到更为准确的浓度数据。

其中，循环装置271包括：循环管道245，循环管道245的两端分别连接第一容置装置201、第二容置装置202或者混合装置203中的至少一者；驱动单元272，用于驱动液体经由循环管道245循环流动；液位传感器273，用于检测第一容置装置201、第二容置装置202或者混合装置203中的至少一者的液体的液位信息；驱动单元272基于液位信息控制液体循环的流速以及所需时长。

液位传感器273可以实时检测到第一容置装置201、第二容置装置202或者混合装置203中的液体的液位信息，驱动单元272根据液位信息控制循环装置的流速以及循环时长，避免了循环时间不足没有达到均匀混合的效果，或者循环时间过长造成不必要的时间浪费。

本发明实施例提供的监测反馈系统，提高浓度检测效率，优化了溶液混合流程，进一步提高了配液成功率，增加供气装置或者抽气装置、循环装置对监测反馈系统进行优化，避免了溶液与空气接触发生反应，同时也可避免因溶液内部浓度不均匀而造成的浓度检测误差。

本发明第三实施例还提供一种监测反馈方法。以下将结合附图对本发明第二实施例提供的配对方法进行详细说明，与前一实施例相同或者相应部分，可参考前述实施例的说明，以下将不做赘述。图5为本发明第三实施例提供的监测反馈方法步骤图。

参考图5，步骤S1，获取混合溶液的当前浓度，混合溶液由第一溶液以及第二溶液组成。

具体的，获取的混合溶液浓度可以是混合溶液中第一溶液的浓度，也可以是混合溶液中第二溶液的浓度。

混合溶液的配比通过第一溶液以及第二溶液的浓度得到，由于溶液经过长时间放置会存在浓度不均匀的情况，因此在配置混合溶液时，应当对第一溶液以及第二溶液的液体进行充分循环，使其内部浓度均匀，得到准确的浓度数据。再根据第一溶液以及第二溶液的浓度计算混合溶液的配比，尽可能的使混合溶液的浓度等于预设浓度，减少后续的补偿工作。

对液体进行循环之前，根据液体的液位信息计算出液体循环的流速以及需要循环的时长，避免循环时间不足未能达到液体浓度均匀的目的，或者，循环时间过长。

混合溶液也会存在浓度不均匀的情况，在这种情况下检测到的浓度往往是不准确的。因此在获取混合溶液的当前浓度之前，还应当对混合溶液的液体进行充分循环。

继续参考图5，步骤S2，基于当前浓度与预设浓度的差异，获取向混合溶液补偿第一溶液的第一补偿量或者第二溶液的第二补偿量，并基于第一补偿量第二补偿量对混合溶液进行补偿，以使补偿后的溶液的浓度为预设浓度。

根据当前浓度与预设浓度的差异，计算出需要补偿的第一溶液的量，或者需要补偿的第二溶液的量。

可以理解的是，若获取的是混合溶液中第一溶液的当前浓度，当前浓度大于预设浓度时，根据当前浓度和预设浓度的差异计算出需要补偿的第二溶液的第二补偿量，以使当前浓度等于预设浓度；当前浓度小于预设浓度时，根据当前浓度和预设浓度的差异计算出需要补偿的第一溶液的第一补偿量，以使当前浓度等于预设浓度。若获取的是混合溶液中第二溶液的当前浓度，当前浓度大于预设浓度时，根据当前浓度和预设浓度的差异计算出需要补偿的第一溶液的第一补偿量，以使当前浓度等于预设浓度；当前浓度小于预设浓度时，根据当前浓度和预设浓度的差异计算出需要补偿的第二溶液的第二补偿量，以使当前浓度等于预设浓度。同时，也可以根据实际需要，计算出分别需要补偿的第一溶液的第一补偿量以及第二溶液的第二补偿量，以使当前浓度等于预设浓度。

需要说明的是，在本实施例中，通过浓度补偿，使补偿之后的浓度等于预设浓度。在其他实施例中，也可以根据需要选择将补偿之后的浓度接近预设浓度即可。在一个例子中，以使混合溶液的第一溶液的浓度达到预设浓度的值的±5％以内；例如±4％以内、±3％以内、±2％以内或±1％以内。

对进行补偿的第一溶液进行称重，以获取具有第一补偿量的第一溶液；对进行补偿的第二溶液进行称重，以获取具有第二补偿量的第二溶液。

具体的，需要补偿的量根据第一溶液或者第二溶液的实时浓度进行计算的，这样得出的补偿参数才能够更加准确。

本实施例中，还需要根据第一溶液的浓度以及第二溶液的浓度计算出第一补偿量以及第二补偿量，这里为了获取到的浓度值准确，在获取浓度之前也应当对第一溶液以及第二溶液进行充分循环，以使其内部浓度均匀。

需要说明的是，在本实施例中，第一溶液为去离子水(DIW)，第二溶液为化学品，形成的混合溶液为稀释的化学品。在其他实施例中，第一溶液和第二溶液可以是任何液体，即混合溶液为任意第一溶液与第二溶液构成的混合溶液。

在获取化学品浓度过程中，由于化学品的挥发性，往往获取的浓度不是很准确，因此，获取溶液浓度时需处于密封环境中。

预先加入已知浓度已知体积的酸溶液，使酸溶液与化学品发生完全的中和反应，直至化学品反应完全，再对剩余酸溶液的浓度进行检测，即可通过计算得到化学品的浓度。

本实施例中，酸溶液为盐酸，提供1N的盐酸溶液用于化学品浓度的检测。首先提供烘干的碳酸钠用于1N的盐酸溶液的浓度标定，烘干时间为2小时，温度为100℃～105℃；在1L的容量瓶中加入浓度为36％的盐酸溶液90～95ml，再加入超纯水至1L，进行充分混合；使用烘干的碳酸钠对盐酸溶液进行标定，重复6次，记录平均值为盐酸溶液的浓度。

将50～60ml的超纯水加入至浓度检测装置的反应容器中，再加入20ml的盐酸溶液，提取0.5g的化学品，使其再反应容器中充分反应，最后利用已知浓度的氢氧化钠溶液检测反应容器中剩余的盐酸溶液浓度，计算出化学品的浓度。

需要说明的是，上述具体数据为对本实施例的补充注入的原理进行具体数量的举例说明，便于本领域技术人员理解本方案，并不构成对本实施例的限定。

由于装置第一溶液、第二溶液以及混合溶液的装置中的溶液并不是完全充满，溶液处于一个长时间与空气接触的环境中。对有的化学品来说，在长期与空气接触的情况下，空气中的二氧化碳会逐渐与化学品发生化学反应，造成化学品污染以及浓度发生变化。本实施例中，为装置中提供N₂或者惰性气体可以避免溶液与空气中的二氧化碳发生反应，或者，将溶液

可以理解的是，为了避免溶液长时间与空气接触而发生反应，造成溶液污染，也可以采用抽气装置使溶液装置保持真空。

本发明实施例提供的监测反馈方法，能够实时检测溶液浓度，并且根据溶液的当前浓度与预设浓度的差异计算出需要补偿的溶液补偿量，提高浓度检测效率，同时减少人工操作以及人工操作带来的安全隐患，优化了溶液混合流程，进一步提高了配液成功率。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各自更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种监测反馈系统，其特征在于，包括：

第一容置装置以及第二容置装置，分别用于储存第一溶液以及第二溶液；

混合装置，用于存储混合溶液，所述混合溶液由所述第一溶液以及所述第二溶液组成；

第一浓度检测装置，用于检测所述混合溶液的当前浓度；

浓度补偿模块，用于基于所述当前浓度与预设浓度的差异，获取向所述混合装置补偿所述第一溶液的第一补偿量或者所述第二溶液的第二补偿量，并基于所述第一补偿量或者所述第二补偿量对所述混合溶液进行补偿，以使补偿后的所述溶液的浓度为所述预设浓度。

2.根据权利要求1所述的监测反馈系统，其特征在于，所述浓度补偿模块包括：第一称重单元，与所述第一容置装置连接，用于对所述第一溶液进行称重，以使补偿的所述第一溶液的量为所述第一补偿量；第二称重单元，与所述第二容置装置连接，用于对所述第二溶液进行称重，以使补偿的所述第二溶液的量为所述第二补偿量。

3.根据权利要求2所述的监测反馈系统，其特征在于，还包括：两个稀释管道，所述稀释管道分别连接在所述第一容置装置与所述混合装置之间、所述第二容置装置与所述混合装置之间。

4.根据权利要求3所述的监测反馈系统，其特征在于，还包括：第一补偿管道，所述第一补偿管道连接在所述第一容置装置与所述混合装置之间；第二补偿管道，所述第二补偿管道连接在所述第二容置装置与所述混合装置之间；其中，所述第一称重单元与所述第一补偿管道连接，所述第二称重单元与所述第二补偿管道连接。

5.根据权利要求1所述的监测反馈系统，其特征在于，还包括：第二浓度检测装置，用于检测所述第一容置装置内的所述第一溶液的浓度，或者，用于检测所述第二容置装置内的所述第二溶液的浓度。

6.根据权利要求1所述的监测反馈系统，其特征在于，还包括：供气装置，所述供气装置通过供气管道为所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者提供N₂或者惰性气体。

7.根据权利要求1所述的监测反馈系统，其特征在于，还包括：抽气装置，所述抽气装置与所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者连通。

8.根据权利要求1所述的监测反馈系统，其特征在于，还包括：循环装置，用于使位于所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者内的液体进行液体循环；所述循环装置包括：循环管道，所述循环管道的两端分别连接所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者；驱动单元，用于驱动所述液体经由所述循环管道循环流动；液位传感器，用于检测所述第一容置装置、所述第二容置装置或者所述混合装置中的至少一者的所述液体的液位信息；所述驱动单元基于所述液位信息控制所述液体循环的流速以及所需时长。

9.一种监测反馈方法，其特征在于，包括：

获取混合溶液的当前浓度，所述混合溶液由第一溶液以及第二溶液组成；

基于所述当前浓度与预设浓度的差异，获取向所述混合溶液补偿所述第一溶液的第一补偿量或者所述第二溶液的第二补偿量，并基于所述第一补偿量所述第二补偿量对所述混合溶液进行补偿，以使补偿后的所述溶液的浓度为所述预设浓度。

10.根据权利要求9所述的监测反馈方法，其特征在于，还包括：对进行补偿的所述第一溶液进行称重，以获取具有所述第一补偿量的所述第一溶液；对进行补偿的所述第二溶液进行称重，以获取具有所述第二补偿量的所述第二溶液。

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