CN114146959A - 一种晶圆avi自动外观检测机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆AVI自动外观检测机，本发明涉及检测机技术领域。该晶圆AVI自动外观检测机，包括主壳体，所述主壳体的上端安装有顶盖，所述主壳体的上端前侧边角安装有三色灯，所述主壳体的左端安装有进料拉门，所述主壳体的底端四角均安装有用于减震缓冲的减震轮腿，所述主壳体的前端左侧安装有显示器，通过旋转控制板，将插匙对应插入顶板前端开设的插孔中，利用控制板尾端安装的插杆，使得控制板的尾端与嵌板活动铰安装后，绕控制板尾端旋转，可有效将控制板整体收纳入压罩体的底端，避免灰尘和水渍直接浸入控制板内侧，同时防止外力直接碰撞控制板，起到防水、防污和防碰撞的作用。

Description

一种晶圆AVI自动外观检测机

技术领域

本发明涉及检测机技术领域，具体为一种晶圆AVI自动外观检测机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅；高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅；硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后形成硅晶圆片，也就是晶圆；随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点；同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。

市场上的晶圆AVI自动外观检测机无法自动检查并剔除错位脱轨的按键，并及时提醒工作人员进行维修和更换，无法实现维护组件对控制板表面灰尘和异物的全方位清理与维护，并保障按键反应的灵敏度，为此，我们提出一种晶圆AVI自动外观检测机。

发明内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆AVI自动外观检测机，解决了无法自动检查并剔除错位脱轨的按键，并及时提醒工作人员进行维修和更换，无法实现维护组件对控制板表面灰尘和异物的全方位清理与维护，并保障按键反应的灵敏度的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

一种晶圆AVI自动外观检测机，包括主壳体，所述主壳体的上端安装有顶盖，所述主壳体的上端前侧边角安装有三色灯，所述主壳体的左端安装有进料拉门，所述主壳体的底端四角均安装有用于减震缓冲的减震轮腿，所述主壳体的前端左侧安装有显示器，所述主壳体的前端中部安装有控制检测机主体的操控板组件，所述操控板组件包括嵌板，所述嵌板的前端安装有按钮，所述嵌板前端且位于按钮的下端安装有顶板，所述顶板的后侧安装有维护组件，所述嵌板的前端且位于维护组件的下端安装有控制板，所述维护组件的下端且位于控制板的后侧安装有用于收集灰尘的腔壳体；所述维护组件包括折板，所述折板的上端并排安装有若干球罩，所述折板的上端且位于球罩的下侧安装有压罩体，所述球罩的下端口与压罩体的上端口相配合；所述腔壳体包括腔体，所述腔体的内部为中空，所述腔体的整体为倒Z状，所述腔体的上端开设有接灰口，所述接灰口与维护组件相适应配合。

优选的，所述折板的整体为陡坡状，所述球罩的后端与折板相连接，所述压罩体的两侧底端与折板相连接，且压罩体的前端两侧对称安装有钩板，所述折板的底端等距离安装有若干刷腿组件，所述球罩位于两组刷腿组件之间，所述控制板的尾端安装有插杆，所述控制板通过插杆与嵌板活动铰安装。

优选的，所述刷腿组件的上端安装有卡罩，所述卡罩的尾端与压罩体的底端相适应配合，且卡罩的尾端两侧对称安装有铰杆，所述卡罩通过铰杆和钩板配合与压罩体活动铰安装，所述球罩的内侧中部安装有定杆，所述定杆的前端安装有推气塞，所述顶板的前端开设有插孔，所述控制板的底端安装有插匙，所述控制板通过插孔和插匙配合与嵌板扣合安装。

优选的，所述定杆的后端且位于球罩的后端安装有套环，所述推气塞通过定杆和套环配合与球罩嵌合安装，所述球罩大于推气塞的内直径，所述折板的内侧且对应压罩体的下端安装有引气板，所述折板的底端且与球罩的下端相对应开设有颈腔，所述颈腔用于对气流压缩引导。

优选的，所述压罩体包括短壁罩，所述短壁罩的底端连接有檐板，所述短壁罩的顶端内侧壁表面开设有穹腔，所述穹腔与推气塞相适应配合，所述短壁罩的底端安装有棱条，所述棱条用于分隔气流，所述卡罩的尾端与檐板相适应配合，可有效限制卡罩的底端与刷腿组件之间的偏转角度。

优选的，所述刷腿组件包括引腿，所述引腿的上端两侧对称开设有板槽，所述板槽与卡罩相适应配合，所述引腿的两侧对称安装有若干毛刷，所述毛刷用于刷去控制板表面的灰尘，所述毛刷的前端开设有缺口槽，所述缺口槽用于暂时存储灰尘，所述引腿的底端两侧对称安装有刮刀，所述刮刀用于刮取控制板表面的污渍。

优选的，所述嵌板的后端安装有电机，所述电机与嵌板相连接，所述电机的下端安装有伸缩杆，所述伸缩杆的底端与折板相连接，所述电机的两侧对称安装有辅杆，所述辅杆的上端与嵌板相连接，所述辅杆的底端安装有卡块，所述辅杆通过卡块与折板滑动安装，所述折板通过伸缩杆和电机配合与嵌板活动安装，所述按钮用于控制电机，方便上下调整折板与控制板之间的垂直高度。

优选的，所述腔体的前端右侧安装有用于导出灰尘的导出管，所述嵌板的后端且与卡罩相对应安装有贝壳罩，所述贝壳罩包括罩板，所述罩板的底端内壁为曲面状，所述罩板的前端右侧安装有用于导出按键的方导管，所述控制板上端按键之间留设有间隙，所述刷腿组件与间隙相适应配合，方便对按键四周的灰尘和异物进行清理。

（三）有益效果

本发明提供了一种晶圆AVI自动外观检测机。具备以下有益效果：

（一）、该晶圆AVI自动外观检测机，通过旋转控制板，将插匙对应插入顶板前端开设的插孔中，利用控制板尾端安装的插杆，使得控制板的尾端与嵌板活动铰安装后，绕控制板尾端旋转，可有效将控制板整体收纳入压罩体的底端，避免灰尘和水渍直接浸入控制板内侧，同时防止外力直接碰撞控制板，起到防水、防污和防碰撞的作用。

（二）、该晶圆AVI自动外观检测机，通过启动电机推动维护组件向下运动，在辅杆的辅助滑动配合下，使得刷腿组件对应控制板上端按键之间的间隙插入，利用维护组件与接灰口相适应配合，使得毛刷可有效将堆积在按键之间的灰尘清理至腔体中，避免灰尘或操作人员手部沾染的异物于按键之间长期堆积造成的按键失灵现象发生，保障按键反应的灵敏度。

（三）、该晶圆AVI自动外观检测机，通过刷腿组件对应按键之间的间隙插入，利用刮刀有效将紧贴控制板表面的污渍有效刮除，经由毛刷前端开设的缺口槽。可对按键边侧灰尘和异物较多的部位进行短暂存储，避免发生卡壳和脱轨现象。

（四）、该晶圆AVI自动外观检测机，通过卡罩两侧底端与板槽相对应嵌合在引腿上端，经由铰杆和钩板配合，使得卡罩的尾端与压罩体活动铰安装，利用檐板对卡罩尾端的限位配合下，一方面有效阻拦灰尘和异物进入主壳体内部其他结构内侧的同时，另一方面可在刮刀于按键边侧的竖直刮取移动下，可有效将脱离控制板表面的按键进行挑起，利用按键的弹力推动卡罩底端脱离板槽，使得按键跌入贝壳罩中，经由方导管导出，可自动检查并剔除错位脱轨的按键，及时提醒工作人员进行维修和更换。

（五）、该晶圆AVI自动外观检测机，通过折板在伸缩杆的推动下向下运动，带动球罩内侧的气流向下移动，同时连动其内侧的推气塞推动局部气流向下运动，经由压罩体和卡罩的引导，可对按键边侧的灰尘和异物进行多重气流吹动，实现对灰尘和异物的充分清理，且经由棱条有效将气流分隔引导为上、下两股，实现对按键上、下两侧的双向吹灰清理，结合上述操作，实现维护组件对控制板的全方位维护和清理。

附图说明

图1为本发明整体的结构示意图；

图2为本发明操控板组件和主壳体的局部组装结构示意图；

图3为本发明操控板组件的结构示意图；

图4为本发明腔壳体和贝壳罩的局部组装结构示意图；

图5为本发明维护组件的结构示意图；

图6为本发明维护组件的局部结构示意图；

图7为本发明压罩体的结构示意图；

图8为本发明刷腿组件的局部结构示意图。

图中：1、主壳体；2、顶盖；3、三色灯；4、进料拉门；5、减震轮腿；6、显示器；7、操控板组件；71、嵌板；72、按钮；73、顶板；74、维护组件；741、折板；742、球罩；743、压罩体；a1、短壁罩；a2、檐板；a3、穹腔；a4、棱条；744、刷腿组件；b1、引腿；b2、板槽；b3、毛刷；b4、缺口槽；b5、刮刀；745、卡罩；746、定杆；747、推气塞；748、引气板；749、颈腔；75、控制板；76、电机；77、辅杆；78、腔壳体；781、腔体；782、接灰口；783、导出管；79、贝壳罩；791、罩板；792、方导管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参阅图1-8，本发明提供一种技术方案：一种晶圆AVI自动外观检测机，包括主壳体1，主壳体1的上端安装有顶盖2，主壳体1的上端前侧边角安装有三色灯3，主壳体1的左端安装有进料拉门4，主壳体1的底端四角均安装有用于减震缓冲的减震轮腿5，主壳体1的前端左侧安装有显示器6，主壳体1的前端中部安装有控制检测机主体的操控板组件7，操控板组件7包括嵌板71，嵌板71的前端安装有按钮72，嵌板71前端且位于按钮72的下端安装有顶板73，顶板73的后侧安装有维护组件74，嵌板71的前端且位于维护组件74的下端安装有控制板75，维护组件74的下端且位于控制板75的后侧安装有用于收集灰尘的腔壳体78；维护组件74包括折板741，折板741的上端并排安装有若干球罩742，折板741的上端且位于球罩742的下侧安装有压罩体743，球罩742的下端口与压罩体743的上端口相配合；折板741的整体为陡坡状，球罩742的后端与折板741相连接，压罩体743的两侧底端与折板741相连接，且压罩体743的前端两侧对称安装有钩板，折板741的底端等距离安装有若干刷腿组件744，球罩742位于两组刷腿组件744之间，控制板75的尾端安装有插杆，控制板75通过插杆与嵌板71活动铰安装；刷腿组件744的上端安装有卡罩745，卡罩745的尾端与压罩体743的底端相适应配合，且卡罩745的尾端两侧对称安装有铰杆，卡罩745通过铰杆和钩板配合与压罩体743活动铰安装，球罩742的内侧中部安装有定杆746，定杆746的前端安装有推气塞747，顶板73的前端开设有插孔，所述控制板75的底端安装有插匙，控制板75通过插孔和插匙配合与嵌板71扣合安装；定杆746的后端且位于球罩742的后端安装有套环，推气塞747通过定杆746和套环配合与球罩742嵌合安装，球罩742大于推气塞747的内直径，折板741的内侧且对应压罩体743的下端安装有引气板748，折板741的底端且与球罩742的下端相对应开设有颈腔749，颈腔749用于对气流压缩引导。

工作时，通过旋转控制板75，将插匙对应插入顶板73前端开设的插孔中，利用控制板75尾端安装的插杆，使得控制板75的尾端与嵌板71活动铰安装后，绕控制板75尾端旋转，可有效将控制板75整体收纳入压罩体743的底端，避免灰尘和水渍直接浸入控制板75内侧，同时防止外力直接碰撞控制板75，起到防水、防污和防碰撞的作用。

如图3-6所示，腔壳体78包括腔体781，腔体781的内部为中空，腔体781的整体为倒Z状，腔体781的上端开设有接灰口782，接灰口782与维护组件74相适应配合；压罩体743包括短壁罩a1，短壁罩a1的底端连接有檐板a2，短壁罩a1的顶端内侧壁表面开设有穹腔a3，穹腔a3与推气塞747相适应配合，短壁罩a1的底端安装有棱条a4，棱条a4用于分隔气流，卡罩745的尾端与檐板a2相适应配合；刷腿组件744包括引腿b1，引腿b1的上端两侧对称开设有板槽b2，板槽b2与卡罩745相适应配合，引腿b1的两侧对称安装有若干毛刷b3，毛刷b3用于刷去控制板75表面的灰尘，毛刷b3的前端开设有缺口槽b4，缺口槽b4用于暂时存储灰尘，引腿b1的底端两侧对称安装有刮刀b5，刮刀b5用于刮取控制板75表面的污渍；嵌板71的后端安装有电机76，电机76与嵌板71相连接，电机76的下端安装有伸缩杆，伸缩杆的底端与折板741相连接，电机76的两侧对称安装有辅杆77，辅杆77的上端与嵌板71相连接，辅杆77的底端安装有卡块，辅杆77通过卡块与折板741滑动安装，折板741通过伸缩杆和电机76配合与嵌板71活动安装，按钮72用于控制电机76；腔体781的前端右侧安装有用于导出灰尘的导出管783，嵌板71的后端且与卡罩745相对应安装有贝壳罩79，贝壳罩79包括罩板791，罩板791的底端内壁为曲面状，罩板791的前端右侧安装有用于导出按键的方导管792，控制板75上端按键之间留设有间隙，刷腿组件744与间隙相适应配合。

工作时，通过启动电机76推动维护组件74向下运动，在辅杆77的辅助滑动配合下，使得刷腿组件744对应控制板75上端按键之间的间隙插入，利用维护组件74与接灰口782相适应配合，使得毛刷b3可有效将堆积在按键之间的灰尘清理至腔体781中，避免灰尘或操作人员手部沾染的异物于按键之间长期堆积造成的按键失灵现象发生，保障按键反应的灵敏度；

通过刷腿组件744对应按键之间的间隙插入，利用刮刀b5有效将紧贴控制板75表面的污渍有效刮除，经由毛刷b3前端开设的缺口槽b4。可对按键边侧灰尘和异物较多的部位进行短暂存储，避免发生卡壳和脱轨现象；

通过卡罩745两侧底端与板槽b2相对应嵌合在引腿b1上端，经由铰杆和钩板配合，使得卡罩745的尾端与压罩体743活动铰安装，利用檐板a2对卡罩745尾端的限位配合下，一方面有效阻拦灰尘和异物进入主壳体1内部其他结构内侧的同时，另一方面可在刮刀b5于按键边侧的竖直刮取移动下，可有效将脱离控制板75表面的按键进行挑起，利用按键的弹力推动卡罩745底端脱离板槽b2，使得按键跌入贝壳罩79中，经由方导管792导出，可自动检查并剔除错位脱轨的按键，及时提醒工作人员进行维修和更换；

通过折板741在伸缩杆的推动下向下运动，带动球罩742内侧的气流向下移动，同时连动其内侧的推气塞747推动局部气流向下运动，经由压罩体743和卡罩745的引导，可对按键边侧的灰尘和异物进行多重气流吹动，实现对灰尘和异物的充分清理，且经由棱条a4有效将气流分隔引导为上、下两股，实现对按键上、下两侧的双向吹灰清理，结合上述操作，实现维护组件74对控制板75的全方位维护和清理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种晶圆AVI自动外观检测机，包括主壳体（1），所述主壳体（1）的上端安装有顶盖（2），所述主壳体（1）的上端前侧边角安装有三色灯（3），所述主壳体（1）的左端安装有进料拉门（4），所述主壳体（1）的底端四角均安装有用于减震缓冲的减震轮腿（5），所述主壳体（1）的前端左侧安装有显示器（6），其特征在于：所述主壳体（1）的前端中部安装有控制检测机主体的操控板组件（7），所述操控板组件（7）包括嵌板（71），所述嵌板（71）的前端安装有按钮（72），所述嵌板（71）前端且位于按钮（72）的下端安装有顶板（73），所述顶板（73）的后侧安装有维护组件（74），所述嵌板（71）的前端且位于维护组件（74）的下端安装有控制板（75），所述维护组件（74）的下端且位于控制板（75）的后侧安装有用于收集灰尘的腔壳体（78）；所述维护组件（74）包括折板（741），所述折板（741）的上端并排安装有若干球罩（742），所述折板（741）的上端且位于球罩（742）的下侧安装有压罩体（743），所述球罩（742）的下端口与压罩体（743）的上端口相配合；所述腔壳体（78）包括腔体（781），所述腔体（781）的内部为中空，所述腔体（781）的整体为倒Z状，所述腔体（781）的上端开设有接灰口（782），所述接灰口（782）与维护组件（74）相适应配合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆AVI自动外观检测机，其特征在于：所述折板（741）的整体为陡坡状，所述球罩（742）的后端与折板（741）相连接，所述压罩体（743）的两侧底端与折板（741）相连接，且压罩体（743）的前端两侧对称安装有钩板，所述折板（741）的底端等距离安装有若干刷腿组件（744），所述球罩（742）位于两组刷腿组件（744）之间，所述控制板（75）的尾端安装有插杆，所述控制板（75）通过插杆与嵌板（71）活动铰安装。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆AVI自动外观检测机，其特征在于：所述刷腿组件（744）的上端安装有卡罩（745），所述卡罩（745）的尾端与压罩体（743）的底端相适应配合，且卡罩（745）的尾端两侧对称安装有铰杆，所述卡罩（745）通过铰杆和钩板配合与压罩体（743）活动铰安装，所述球罩（742）的内侧中部安装有定杆（746），所述定杆（746）的前端安装有推气塞（747），所述顶板（73）的前端开设有插孔，所述控制板（75）的底端安装有插匙，所述控制板（75）通过插孔和插匙配合与嵌板（71）扣合安装。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆AVI自动外观检测机，其特征在于：所述定杆（746）的后端且位于球罩（742）的后端安装有套环，所述推气塞（747）通过定杆（746）和套环配合与球罩（742）嵌合安装，所述球罩（742）大于推气塞（747）的内直径，所述折板（741）的内侧且对应压罩体（743）的下端安装有引气板（748），所述折板（741）的底端且与球罩（742）的下端相对应开设有颈腔（749），所述颈腔（749）用于对气流压缩引导。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆AVI自动外观检测机，其特征在于：所述压罩体（743）包括短壁罩（a1），所述短壁罩（a1）的底端连接有檐板（a2），所述短壁罩（a1）的顶端内侧壁表面开设有穹腔（a3），所述穹腔（a3）与推气塞（747）相适应配合，所述短壁罩（a1）的底端安装有棱条（a4），所述棱条（a4）用于分隔气流，所述卡罩（745）的尾端与檐板（a2）相适应配合。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆AVI自动外观检测机，其特征在于：所述刷腿组件（744）包括引腿（b1），所述引腿（b1）的上端两侧对称开设有板槽（b2），所述板槽（b2）与卡罩（745）相适应配合，所述引腿（b1）的两侧对称安装有若干毛刷（b3），所述毛刷（b3）用于刷去控制板（75）表面的灰尘，所述毛刷（b3）的前端开设有缺口槽（b4），所述缺口槽（b4）用于暂时存储灰尘，所述引腿（b1）的底端两侧对称安装有刮刀（b5），所述刮刀（b5）用于刮取控制板（75）表面的污渍。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆AVI自动外观检测机，其特征在于：所述嵌板（71）的后端安装有电机（76），所述电机（76）与嵌板（71）相连接，所述电机（76）的下端安装有伸缩杆，所述伸缩杆的底端与折板（741）相连接，所述电机（76）的两侧对称安装有辅杆（77），所述辅杆（77）的上端与嵌板（71）相连接，所述辅杆（77）的底端安装有卡块，所述辅杆（77）通过卡块与折板（741）滑动安装，所述折板（741）通过伸缩杆和电机（76）配合与嵌板（71）活动安装，所述按钮（72）用于控制电机（76）。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆AVI自动外观检测机，其特征在于：所述腔体（781）的前端右侧安装有用于导出灰尘的导出管（783），所述嵌板（71）的后端且与卡罩（745）相对应安装有贝壳罩（79），所述贝壳罩（79）包括罩板（791），所述罩板（791）的底端内壁为曲面状，所述罩板（791）的前端右侧安装有用于导出按键的方导管（792），所述控制板（75）上端按键之间留设有间隙，所述刷腿组件（744）与间隙相适应配合。

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