CN114136058A - 烘干设备及加工系统 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种烘干设备及加工系统，其中，该烘干设备包括：壳体组件，壳体组件内部设有烘干腔；加热组件，设置于壳体组件的内壁，用于加热烘干腔；真空组件，与烘干腔相连通，用于调节烘干腔的真空度；其中，壳体组件内部设置有多个装载位置。本发明提供的烘干设备可以实现对加工件的批量烘干，大幅提升了烘干效率。并且，该烘干设备能够降低烘干腔内部的氧气含量，避免烘干过程中加工件在有氧条件下发生反应，降低加工件损坏或变质的可能性，并能够降低附着于加工件上的水分的沸点，使水分能够在相对较低的温度下蒸发，有利于降低加热组件在烘干过程中的能耗，提升烘干设备的经济性，实现对加工件可靠且有效的烘干。

Description

烘干设备及加工系统

技术领域

本发明涉及太阳能电池加工技术领域，尤其涉及一种烘干设备及加工系统。

背景技术

相关技术中，相比于现有的硅太阳能电池，钙钛矿太阳能电池中的吸光层、空穴传输层及电子传输层等材料对水氧敏感，长期暴露下会导致电池组件效率的快速衰减。因此，对于钙钛矿/硅叠层太阳能电池而言，在封装前进行可靠且有效的水氧去除是十分必要的。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的第一方面提供了一种烘干设备。

本发明的第二方面提供了一种加工系统。

有鉴于此，根据本申请实施例的第一方面提出了一种烘干设备，包括：

壳体组件，壳体组件内部设有烘干腔；

加热组件，设置于壳体组件的内部，用于加热烘干腔；

真空组件，与烘干腔相连通，用于调节烘干腔的真空度；

其中，壳体组件内部设置有多个装载位置。

在一种可行的实施方式中，壳体组件包括：

壳体本体，烘干腔设置于壳体本体内；

进腔口，设置于壳体本体的第一侧壁；

出腔口，设置于壳体本体的第二侧壁，并与进腔口相对设置，进腔口与出腔口高度一致；

第一腔门装置，设置于进腔口；

第二腔门装置，设置于出腔口。

在一种可行的实施方式中，真空组件包括：

真空管道，真空管道设置于壳体本体，且真空管道的一端于烘干腔相连通；

真空泵，真空泵与真空管道的另一端相连接；

电动阀门，设置于真空管道。

在一种可行的实施方式中，烘干设备还包括：

控制组件，控制组件用于：

在检测到装载位置装载有加工件的情况下，控制第一腔门装置关闭进腔口，并控制第二腔门装置关闭出腔口；

控制电动阀门开启，并控制真空泵抽出烘干腔内的气体；

控制加热组件对烘干腔进行加热。

在一种可行的实施方式中，烘干设备还包括：

第一传送组件，设置于进腔口和出腔口之间，用于将加工件向烘干腔的内部或外部传输；

其中，第一传送组件上设置有交接位置；

第二传送组件，沿壳体本体的高度方向设置于壳体本体内部，用于在交接位置和装载位置之间传输加工件；

其中，多个装载位置沿壳体本体的高度方向顺序布置。

在一种可行的实施方式中，第二传送组件包括：

第一传送部，靠近于第一侧壁设置；

第一传送部包括第一传送件和多个第一支撑件，多个第一支撑件沿壳体本体的高度方向间隔设置于第一传送件；

第一传送件用于带动第一支撑件在交接位置和装载位置之间运动；

第二传送部，靠近于第二侧壁设置，且与第一传送部相对布置；

第二传送部包括第二传送件和多个第二支撑件，多个第二支撑件对应于多个第一支撑件间隔设置于第二传送件；

第二传送件用于带动第二支撑件在交接位置和装载位置之间运动；

第一传送件和第二传送件同步运动；

其中，第一支撑件和第二支撑件用于支撑加工件沿厚度方向上的一侧的部分表面。

在一种可行的实施方式中，烘干设备还包括：

第三传送组件，设置于进腔口并位于壳体本体的外部，第三传送组件的输出端与第一传送组件相连接；

第四传送组件，设置于出腔口并位于壳体本体的外部，第四传送组件的输入端与第一传送组件相连接。

在一种可行的实施方式中，壳体本体的每个内壁上设置有至少一个加热组件。

在一种可行的实施方式中，烘干设备还包括：

补压组件，补压组件包括：

储气装置，用于提供补偿烘干腔的压力所需的气体；

补压管路，补压管路的一端连通烘干腔，且另一端与储气装置的出气口相连接；

控制阀，设置于补压管路，用于导通或切断补压管路。

为了实现上述目的，根据本发明的第二方面，提供了一种加工系统，包括：

如上述第一方面中任一项提出的烘干设备。

相比现有技术，本发明至少包括以下有益效果：本发明提供的烘干设备，包括：壳体组件，壳体组件内部设有烘干腔；加热组件，设置于壳体组件的内壁，用于加热烘干腔；真空组件，与烘干腔相连通，用于调节烘干腔的真空度；其中，壳体组件内部设置有多个装载位置。本发明提供的烘干设备通过在壳体组件内部设置烘干腔，并设置多个装载位置，可以利用多个装置位置装载多个加工件，从而实现对加工件的批量烘干，大幅提升了烘干效率。并且，通过设置与烘干腔相连通的真空组件，烘干设备可以利用真空组件对烘干腔的真空度进行调节，使烘干腔内部处于压力较低并近于真空的状态，一方面能够在烘干过程中烘干腔内部温度较高的情况下，降低烘干腔内部的氧气含量，能够极大程度上避免加工件在有氧条件下发生反应，降低加工件在烘干过程中发生损坏或变质的可能性；另一方面，烘干设备能够通过调节烘干腔内的真空度，降低附着于加工件上的水分的沸点，使水分能够在相对较低的温度下蒸发，有利于降低加热组件在烘干过程中的能耗，提升烘干设备的经济性。

附图说明

通过阅读下文示例性实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出示例性实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1为本申请提供的一种实施例的烘干设备的示意性结构图；

图2为本申请提供的一种实施例的加工系统的示意性结构图。

其中，图1和图2中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10加工系统；

100烘干设备；200封装输送设备；300第一烘干输送设备；400第二烘干输送设备；500加工件；

110壳体组件；120加热组件；130第一传送组件；140第二传送组件；

111烘干腔；112装载位置；113壳体本体；114进腔口；115出腔口；116第一腔门装置；117第二腔门装置；141第一传送部；142第二传送部；

1411第一传送件；1412第一支撑件；1421第二传送件；1422第二支撑件。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本申请的示例性实施例。虽然附图中显示了本申请的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请的范围完整的传达给本领域的技术人员。

如图1和图2所示，根据本申请实施例的第一方面提出了一种烘干设备100，包括：壳体组件110，壳体组件110内部设有烘干腔111；加热组件120，设置于壳体组件110的内部，用于加热烘干腔111；真空组件，与烘干腔111相连通，用于调节烘干腔111的真空度；其中，壳体组件110内部设置有多个装载位置112。

如图1所示，本发明提供的烘干设备100通过在壳体组件110内部设置烘干腔111，并设置多个装载位置112，可以利用多个装置位置装载多个加工件500，从而实现对加工件500的批量烘干，大幅提升了烘干效率。

并且，通过设置与烘干腔111相连通的真空组件，烘干设备100可以利用真空组件对烘干腔111的真空度进行调节，使烘干腔111内部处于压力较低并近于真空的状态，一方面能够在烘干过程中烘干腔111内部温度较高的情况下，降低烘干腔111内部的氧气含量，能够极大程度上避免加工件500在有氧条件下发生反应，降低加工件500在烘干过程中发生损坏或变质的可能性。

比如，在加工件500为钙钛矿/硅叠层太阳能电池板时，该电池板的表面在高温环境下既有可能与氧气产生反应，从而影响该电池板的表面质量，进而对该电池板的性能产生严重的负面影响，通过真空组件调节烘干腔111内的真空度，可以极大程度上降低烘干腔111内的氧气含量，保证了电池板在烘干后不会发生表面破坏，为电池板的性能提供了可靠保障。

另一方面，烘干设备100能够通过调节烘干腔111内的真空度，降低附着于加工件500上的水分的沸点，使水分能够在相对较低的温度下蒸发，有利于降低加热组件120在烘干过程中的能耗，提升烘干设备100的经济性。需要说明的是，图1示出的烘干设备100的示意性结构中，并对真空组件进行示出。

进而，在加工件500为钙钛矿/硅叠层太阳能电池板时，烘干设备100能够有效且可靠的去除电池板的表面水分，并保证电池板的表面质量不会被破坏，封装形成的钙钛矿/硅叠层太阳能电池内部携带的水氧量会大幅降低，有利于提升电池效率，为电池在长期使用下的性能维持提供良好的基础保障。

如图1所示，在一些示例中，壳体组件110包括：壳体本体113，烘干腔111设置于壳体本体113内；进腔口114，设置于壳体本体113的第一侧壁；出腔口115，设置于壳体本体113的第二侧壁，并与进腔口114相对设置，进腔口114与出腔口115高度一致；第一腔门装置116，设置于进腔口114；第二腔门装置117，设置于出腔口115。

如图1所示，壳体组件110包括有壳体本体113、进腔口114、出腔口115、第一腔门装置116和第二腔门装置117，烘干腔111设置在壳体本体113内，进腔口114和出腔口115相对并分别设置于壳体本体113的第一侧壁和第二侧壁上，且进腔口114和出腔口115的高度一致，便于加工件500输入或输出烘干腔111。第一腔门装置116和第二腔门装置117分别设置于进腔口114和出腔口115，并分别用于开闭进腔口114和出腔口115，从而利用壳体本体113、第一腔门装置116和第二腔门装置117，将烘干腔111与壳体本体113的外部隔离，一方面有利于在烘干过程中避免烘干腔111的真空度和温度受外界环境影响，为维持烘干腔111的环境稳定提供可靠保障；另一方面也能有效隔绝外部环境中的物质进入到烘干腔111中，进而能够极大程度上避免外部物质进入烘干腔111后，在高温环境影响下发生异常反应或干扰壳体本体113内的各个组件的正常运行，提升了烘干设备100的安全性和可靠性。

在一些示例中，真空组件包括：真空管道，真空管道设置于壳体本体113，且真空管道的一端于烘干腔111相连通；真空泵，真空泵与真空管道的另一端相连接；电动阀门，设置于真空管道。

真空组件包括有真空管道、真空泵和电动阀门。其中，真空管道设置于壳体本体113，且真空管道的一端与烘干腔111相连通，另一端与真空泵相连通，从而可以利用真空泵抽除烘干腔111内部的气体，以在烘干过程中降低烘干腔111内的氧气含量，并能够将蒸发的水分抽出烘干腔111，进一步降低烘干腔111内的水分含量，提升对加工件500的烘干效果。电动阀门设置于真空管道上，用于控制真空管道的开度，从而配合真空泵实现对烘干腔111内部真空度的调节。

在一些可行的示例中，真空管道的数量为多个，多个真空管道与烘干腔111相连通的一端均匀分布在壳体本体113的内壁，从而可以利用真空泵实现对烘干腔111多角度、多方位的气体抽除，极大程度上去除烘干腔111内部氧气以及烘干产生的水蒸气，进一步提升对加工件500的烘干效果。

在一些示例中，烘干设备100还包括：控制组件，控制组件用于：在检测到装载位置112装载有加工件500的情况下，控制第一腔门装置116关闭进腔口114，并控制第二腔门装置117关闭出腔口115；控制电动阀门开启，并控制真空泵抽出烘干腔111内的气体；控制加热组件120对烘干腔111进行加热。

烘干设备100还包括有控制组件，在检测到装载位置112装载有加工件500的情况下，控制组件用于控制第一腔门装置116和第二腔门装置117分别关闭进腔口114和出腔口115，保证烘干腔111与壳体本体113外部相对隔绝，进而控制真空组件的电动阀门开启，以导通真空管道，并控制真空泵抽出烘干腔111内的气体，对烘干腔111内的真空度进行调节，降低烘干腔111内的氧气含量，避免加工件500在烘干过程中与氧气发生反应，进一步控制加热组件120对烘干腔111进行加热，使加工件500上附着的水分蒸发形成水蒸气，水蒸气会在真空泵的作用下被抽出烘干腔111，实现对加工件500的烘干。

在一些可行的示例中，真空组件按预设真空度调节烘干腔111的真空度，预设真空度大于或等于0.1mbar且小于或等于50mbar。

在一些可行的示例中，加热组件120按预设温度和预设时长加热烘干腔111，预设温度大于或等于50℃且小于或等于200℃，预设时长大于或等于0.1小时且小于或等于10小时。

需要说明的是，预设真空度范围可根据真空泵的性能参数和壳体组件110的密封程度设定，在利用真空组件调节烘干腔111的真空度时，可维持烘干腔111的实际真空度处于预设真空度范围，以保证烘干产生的绝大多数水蒸汽能从烘干腔111中抽出。在加工件500为钙钛矿/硅叠层太阳能电池板时，加热组件120对烘干腔111的加热温度应小于或等于200℃，以避免温度过高导致电池板的结构发生变化；预设加热时长可根据电池板的性能和进行设定，避免加热时间过长影响电池板的质量。

如图1所示，在一些示例中，烘干设备100还包括：第一传送组件130，设置于进腔口114和出腔口115之间，用于将加工件500向烘干腔111的内部或外部传输；其中，第一传送组件130上设置有交接位置；第二传送组件140，沿壳体本体113的高度方向设置于壳体本体113内部，用于在交接位置和装载位置112之间传输加工件500；其中，多个装载位置112沿壳体本体113的高度方向顺序布置。

如图1所示，烘干设备100还包括有第一传送组件130和第二传送组件140。其中，第一传动组件设置于进腔口114和出腔口115之间，可将加工件500向烘干腔111的外部或内部传送，从而待烘干的加工件500可通过第一传送组件130输入至烘干腔111，且完成烘干的组件可通过第一传送组件130输出烘干腔111第二传送组件140设置于壳体本体113内部，并沿壳体本体113的高度方向布置，第一传送组件130上设置有交接位置，且多个装载位置112沿壳体本体113的高度方向布置，第二传送组件140可以将输入至交接位置的待烘干的加工件500依次传输至各个装载位置112，并在完成烘干后将加工件500由各个装载位置112传输至交接位置，以备第一传输组件向外输出，从而实现加工件500烘干的批量流水作业。

在一些可行的示例中，在烘干设备100包括有控制装置的情况下，控制组件还用于控制第一传送组件130和第二传送组件140的运行。

示例性地说明一种烘干设备100可行的烘干作业流程，如图1所示，烘干设备100中沿壳体组件110的高度方向在壳体组件110的内部设置有N个装载位置112，N为大于1的整数，由壳体组件110内顶壁至壳体组件110内底壁的方向，N个装载位置112分别为第一装载位置112至第N装载位置112。

在加工件500经壳体组件110外部的流水线传送至烘干设备100的进腔口114前，进行烘干腔111的泄压，使烘干腔111的压力恢复至标准大气压，控制第一腔门装置116打开进腔口114，并控制第一传送组件130将加工件500输入烘干腔111内并位于交接位置，控制第二传送组件140将加工件500传输至第一装载位置112；随即控制第一传送组件130将下一个待烘干的工件由壳体组件110外部输至交接位置，并由第二传送组件140将该加工件500传输至第二装载位置112，如此往复，直至第一装载位置112至第N装载位置112均装载有加工件500为止。

进而，控制第一腔门装置116关闭进腔口114，控制真空组件按预设真空度调节烘干腔111的真空度，并控制加热组件120按预设温度对烘干腔111进行加热。在按预设时长完成加热后，关闭加热组件120，令烘干腔111泄压，控制第二腔门装置117打开出腔口115，并控制第二传送组件140将加工件500由第N装载位置112传输至交接位置，控制第一传送组件130将交接位置上的加工件500输出烘干腔111；随即控制第二传送组件140将第N-1装载位置112上的加工件500传输至交接位置，并控制第一传送组件130将该加工件500输出烘干腔111，如此往复，直至第一装载位置112的加工件500被输出烘干腔111，完成加工件500的批量烘干作业。

如图1所示，在一些示例中，第二传送组件140包括：第一传送部141，靠近于第一侧壁设置；第一传送部141包括第一传送件1411和多个第一支撑件1412，多个第一支撑件1412沿壳体本体113的高度方向间隔设置于第一传送件1411；第一传送件1411用于带动第一支撑件1412在交接位置和装载位置112之间运动；第二传送部142，靠近于第二侧壁设置，且与第一传送部141相对布置；第二传送部142包括第二传送件1421和多个第二支撑件1422，多个第二支撑件1422对应于多个第一支撑件1412间隔设置于第二传送件1421；第二传送件1421用于带动第二支撑件1422在交接位置和装载位置112之间运动；第一传送件1411和第二传送件1421同步运动；其中，第一支撑件1412和第二支撑件1422用于支撑加工件500沿厚度方向上的一侧的部分表面。

如图1所示，第二传送组件140包括第一传送部141和第二传送部142。其中，第一传送部141包括第一传送件1411和多个第一支撑件1412，第二传送部142包括第二传送件1421和多个第二支撑件1422，多个第一支撑件1412沿壳体本体113的高度方向间隔设置在第一传送件1411上，多个第二支撑件1422对应于第一支撑件1412间隔设置在第二支撑件1422上，第一传送件1411和第二传送件1421分别用于带动第一支撑件1412和第二支撑件1422在交接位置和装载位置112之间运动，且第一传送件1411和第二传送件1421同步运动。第一支撑件1412和第二支撑件1422用于支撑加工件500沿厚度方向上的一侧的部分表面，从而在第一传送件1411和第二传送件1421的带动下，加工件500可随第一支撑件1412和第二支撑件1422往返于装载位置112和交接位置之间，并且在烘干过程中，加工件500被支撑的一侧不会被第一支撑件1412和第二支撑件1422完全覆盖，能够保证被支撑的一侧得到烘干。

可以理解的是，加工件500通常为太阳能电池板，第一支撑件1412和第二支撑件1422支撑加工件500沿厚度方向的一侧，可以保证加工件500在装载位置112的安置稳定性。

在一些可行的示例中，第一支撑件1412的数量和装载位置112的数量相等，可以理解的是，由于第二支撑件1422对应于第一支撑件1412设置，因此第二支撑件1422的数量等于第一支撑件1412的数量且也等于装载位置112的数量。

在一些示例中，烘干设备100还包括：第三传送组件，设置于进腔口114并位于壳体本体113的外部，第三传送组件的输出端与第一传送组件130相连接；第四传送组件，设置于出腔口115并位于壳体本体113的外部，第四传送组件的输入端与第一传送组件130相连接。

烘干设备100还包括有第三传送组件和第四传送组件。其中，第三传送组件和第四传送组件分别设置于进腔口114和出腔口115，并且均位于壳体本体113的外部，第三传送组件的输出端与第一传送组件130相连接，用于将待烘干的加工件500输送给第一传送组件130，第四传送组件的输入端与第一传送组件130相连接，用于从第一传送组件130接收完成烘干的加工件500，从而进一步提升加工件500在烘干过程中的传输便利性，提高烘干作业的效率。

在一些示例中，壳体本体113的每个内壁上设置有至少一个加热组件120。通过在壳体本体113的每个内壁上均设置有至少一个加热组件120，可以保证加热组件120对烘干腔111的加热均匀性，提升烘干组件的烘干效果。

在一些可行的示例中，加热组件120为红外线加热管或电热丝。

在一些示例中，烘干设备100还包括：补压组件，补压组件包括：储气装置，用于提供补偿烘干腔111的压力所需的气体；补压管路，补压管路的一端连通烘干腔111，且另一端与储气装置的出气口相连接；控制阀，设置于补压管路，用于导通或切断补压管路。

烘干设备100还包括有补压组件，补压组件包括有储气装置、补压管路和控制阀。其中，储气装置内存储有气体，气体可用于补偿烘干腔111内部压力，补压管路的一端连通于烘干腔111，且另一端与储气装置的出气口相连接，从而气体可通过补压管路通入烘干腔111，实现对烘干腔111的压力补偿。控制阀设置在补压管路上，用于导通或切断补压管路，从而在烘干腔111存在补压需求时，可以通过控制阀将气体通入烘干腔111，在烘干腔111内部进行烘干作业时，可通过控制阀切断补压管路，保证烘干腔111的真空度。

在一些可行的示例中，储气装置存储的气体为氮气或惰性气体。

可以理解的是，对烘干腔111进行压力补偿，通常是在烘干作业完成后进行，以通过压力补偿将烘干腔111的压力由接近真空向接近标准大气压的方向调节。由于烘干作业完成初期，烘干腔111内的温度较高，如直接将烘干腔111连通大气，容易导致加工件500在高温条件下与氧气发生直接接触并产生反应，影响加工件500质量，因此利用稳定性好的氮气或惰性气体进行烘干腔111的压力补偿，可以在实现烘干腔111泄压的同时，保证完成烘干后的加工件500质量。

如图2所示，根据本申请实施例的第二方面提出了一种加工系统10，包括：如上述第一方面中任一项所提出的烘干设备100。

在一些可行的示例中，如图2所示，加工系统10还包括有封装输送设备200、第一烘干输送设备300和第二烘干输送设备400。

其中，封装输送设备200为加工件500的封装工艺流水线的主输送设备，用于输送加工件500；第一烘干输送设备300的入口端与封装输送设备200相连接，第二烘干输送设备400的出口端与封装输送设备200相连接，且第一烘干输送设备300和第二烘干输送设备400沿封装输送设备200的长度方向间隔设置；烘干设备100的数量为多个，多个烘干设备100沿第一烘干输送设备300的长度方向依次布置于第一烘干输送设备300和第二烘干输送设备400之间；每个烘干设备100的进腔口114的一侧与第一输送设备相连接，每个烘干设备100的出腔口115的一侧与第二烘干输送设备400相连接。

图2中箭头符号表示封装输送设备200、第一烘干输送设备300和第二烘干输送设备400相应位置处可行的输送方向，如图2所示，封装输送设备200上与第一烘干输送设备300相连接的区域，输送方向可以为封装输送设备200的长度方向或第一烘干输送设备300的长度方向；封装输送设备200与第二烘干输送设备400相连接的区域，输送方向可以为封装输送设备200的长度方向或第二烘干输送设备400的长度方向；第一封装输送设备200上与每个烘干设备100相连接的区域，输送方向可以为第一烘干输送设备300的长度方向或相应烘干设备100的进腔口114指向出腔口115的方向；第二封装输送设备200上与每个烘干设备100相连接的区域，输送方向可以为第二烘干输送设备400的长度方向或相应烘干设备100的进腔口114指向出腔口115的方向。

从而，封装输送线输送的加工件500，如存在烘干需求，可以通过第一输送设备输送至各个烘干设备100，并在烘干完成后由第二烘干输送设备400输送至封装输送设备200，实现了烘干作业与封装作业的流水化，保证了烘干后的加工件500能够高效且迅速地被封装输送设备200输送至下一工艺执行区域，降低了加工件500在烘干后再次沾染水分的可能性。

在烘干设备100包括第三传送组件和第四传送组件的情况下，第一烘干输送设备300可与每个第三传送组件的输入端相连接，第二烘干输送设备400可与每个第四传送组件的输出端相连接。

此外，由于该加工系统10包括如上述第一方面中任一项提供的烘干设备100，因此可以实现上述烘干设备100的一切有益效果，这里不再赘述。

需要说明的是，图2中沿第一烘干输送设备300的长度方向，存在无箭头符号的空白区域，且沿第二烘干输送设备400的长度方向，同样存在无箭头符号的空白区域，两个空白区域仅是为了便于图2描述第一烘干输送设备300和第二烘干输送设备400而做出的省略，两个空白区域之间可以设置任意多个烘干设备100，且两个空白区域之间如设置有烘干设备100，相应空白区域可行的输送方向与前述说明相同。

在本发明中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本发明的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种烘干设备，其特征在于，包括：

壳体组件，所述壳体组件内部设有烘干腔；

加热组件，设置于所述壳体组件的内部，用于加热所述烘干腔；

真空组件，与所述烘干腔相连通，用于调节所述烘干腔的真空度；

其中，所述壳体组件内部设置有多个装载位置。

2.根据权利要求1所述的烘干设备，其特征在于，所述壳体组件包括：

壳体本体，所述烘干腔设置于所述壳体本体内；

进腔口，设置于所述壳体本体的第一侧壁；

出腔口，设置于所述壳体本体的第二侧壁，并与所述进腔口相对设置，所述进腔口与所述出腔口高度一致；

第一腔门装置，设置于所述进腔口；

第二腔门装置，设置于所述出腔口。

3.根据权利要求2所述的烘干设备，其特征在于，所述真空组件包括：

真空管道，所述真空管道设置于所述壳体本体，且所述真空管道的一端于所述烘干腔相连通；

真空泵，所述真空泵与所述真空管道的另一端相连接；

电动阀门，设置于所述真空管道。

4.根据权利要求3所述的烘干设备，其特征在于，还包括：

控制组件，所述控制组件用于：

在检测到所述装载位置装载有加工件的情况下，控制所述第一腔门装置关闭所述进腔口，并控制所述第二腔门装置关闭所述出腔口；

控制所述电动阀门开启，并控制所述真空泵抽出所述烘干腔内的气体；

控制所述加热组件对所述烘干腔进行加热。

5.根据权利要求2所述的烘干设备，其特征在于，还包括：

第一传送组件，设置于所述进腔口和所述出腔口之间，用于将所述加工件向所述烘干腔的内部或外部传输；

其中，所述第一传送组件上设置有交接位置；

第二传送组件，沿所述壳体本体的高度方向设置于所述壳体本体内部，用于在所述交接位置和所述装载位置之间传输所述加工件；

其中，多个所述装载位置沿所述壳体本体的高度方向顺序布置。

6.根据权利要求5所述的烘干设备，其特征在于，所述第二传送组件包括：

第一传送部，靠近于所述第一侧壁设置；

所述第一传送部包括第一传送件和多个第一支撑件，多个所述第一支撑件沿所述壳体本体的高度方向间隔设置于所述第一传送件；

所述第一传送件用于带动所述第一支撑件在所述交接位置和所述装载位置之间运动；

第二传送部，靠近于所述第二侧壁设置，且与所述第一传送部相对布置；

所述第二传送部包括第二传送件和多个第二支撑件，多个所述第二支撑件对应于多个所述第一支撑件间隔设置于所述第二传送件；

所述第二传送件用于带动所述第二支撑件在所述交接位置和所述装载位置之间运动；

所述第一传送件和所述第二传送件同步运动；

其中，所述第一支撑件和所述第二支撑件用于支撑所述加工件沿厚度方向上的一侧的部分表面。

7.根据权利要求5所述的烘干设备，其特征在于，还包括：

第三传送组件，设置于所述进腔口并位于所述壳体本体的外部，所述第三传送组件的输出端与所述第一传送组件相连接；

第四传送组件，设置于所述出腔口并位于所述壳体本体的外部，所述第四传送组件的输入端与所述第一传送组件相连接。

8.根据权利要求2至权利要求7中任一项所述的烘干设备，其特征在于，

所述壳体本体的每个内壁上设置有至少一个所述加热组件。

9.根据权利要求1至权利要求7中任一项所述的烘干设备，其特征在于，还包括：

补压组件，所述补压组件包括：

储气装置，用于提供补偿所述烘干腔的压力所需的气体；

补压管路，所述补压管路的一端连通所述烘干腔，且另一端与所述储气装置的出气口相连接；

控制阀，设置于所述补压管路，用于导通或切断所述补压管路。

10.一种加工系统，其特征在于，包括：

如权利要求1至权利要求9中任一项所述的烘干设备。

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