CN114130750A - 半导体封装产品的除胶浸泡料盒 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000002791 soaking Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims abstract description 36
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 36
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 4
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 claims description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 claims description 2
- 238000004100 electronic packaging Methods 0.000 abstract description 19
- 239000003814 drug Substances 0.000 abstract description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 33
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 2
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
Images
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/045—Cleaning involving contact with liquid using perforated containers, e.g. baskets, or racks immersed and agitated in a liquid bath
- B08B3/047—Containers specially adapted therefor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
本发明提供了一种半导体封装产品的除胶浸泡料盒,包括由上侧板、下侧板、左侧板、右侧板和底板合围而成的、总体形状为正方体或长方体的料盒本体,还包括盖板,盖板的一侧与右侧板铰连接,转动盖板,可使盖板打开或盖合在料盒本体上;上侧板、下侧板、左侧板、右侧板、盖板和底板上均设置有透水结构;底板上还设有半导体封装产品的分隔定位装置。本发明不仅适用于传统电子封装产品的除胶处理,而且适用于QFN、DFN等新型电子封装产品的除胶处理,不仅有效解决了新型封装体在除胶工序中其表面容易擦花或者产生药水印的问题,而且显著提高了除胶效率,并节省了药水。
Description
技术领域
本发明属于半导体电子器件封装外观除胶设备制造技术领域,具体涉及一种半导体封装产品的除胶浸泡料盒。
背景技术
申请号为201620540169.0的实用新型专利所公开的半导体电子器件封装外观除胶设备包括飞耙进料架、装料盒(除胶浸泡料盒)、煮药槽和位于煮药槽开口上方的两扇煮药槽盖,所述飞耙进料架内设有用于安放所述装料盒的空格,所述空格的数量为2到6个,所述装料盒的数量、形状和大小与所述空格的数量、形状和大小相匹配。目前,该实用新型专利仍然在生产实践中使用,并且在总体上具有较好的技术效果。然而,该实用新型专利也存在一定的缺陷,主要是该实用新型专利中的装料盒的结构设计存在一定的缺陷,难以满足QFN、DFN等新型电子封装产品的外观除胶。具体理由如下:
如图1所示,201620540169.0号实用新型专利中的装料盒2的形状为长方体,其外部尺寸为30.5CM长、21CM宽、24CM高;装料盒2的底部和侧壁均设置有小孔201(透水结构),其作用是便于走水(便于除胶用药水以及清水流动);在所述装料盒一端的顶部设置固定手柄202,在所述装料盒的另一端(与装有固定手柄的一端相对的一端)设置活动手柄203,所述活动手柄203向上升起时,其高度可与所述固定手柄202齐平。
传统的电子封装产品,虽然总体上呈片状,但因其封装有芯片等电子元器件的部位明显高于周边部位,故即使多件电子封装产品叠加在一起,也会在电子封装产品之间留下缝隙,因此,可以将多件电子封装产品装载于201620540169.0号实用新型专利中的装料盒中,然后置于煮药槽中进行除胶处理(先用药水处理,再用清水处理),并到达理想的除胶效果。
与传统的电子封装产品不同,QFN、DFN等新型电子封装产品表面非常平整、且厚度很薄,例如,作为本发明工作对象的一种QFN或DFN电子封装产品的长为250~270mm、宽为70~100mm、厚度为0.3~1.0mm,将此类新型电子封装产品叠加后置于201620540169.0号实用新型专利中的装料盒中进行除胶处理,因产品之间几乎没有缝隙,不仅除胶及清洗效果差,而且消耗的药水多。此外,将上述新型电子封装产品叠加在一起清洗,容易导致塑封体表面擦花,并产生药水印,从而影响产品锡化时的技术效果(传统的电子封装产品,因其表面没有QFN、DFN等新型电子封装产品表面精细,故叠加清洗时通常不用担心封装体表面擦花的问题)。此外,201620540169.0号实用新型专利中的装料盒在一定程度上还存在药水残留的问题。
发明内容
本发明的目的旨在克服上述现有技术的缺陷,该目的是通过下述技术方案实现的:
一种半导体封装产品的除胶浸泡料盒,包括由上侧板、下侧板、左侧板、右侧板和底板合围而成的、总体形状为正方体或长方体的料盒本体,还包括盖板,盖板的一侧与右侧板铰连接,转动盖板,可使盖板打开或盖合在料盒本体上;上侧板、下侧板、左侧板、右侧板、盖板和底板上均设置有透水结构;底板上还设有半导体封装产品的分隔定位装置。
在上述技术方案的基础上,本发明可采用下述技术手段,以便更好地实现本发明的目的:
所述透水结构包括设置在上侧板、下侧板、左侧板、右侧板上的多个圆孔,设置在盖板上的大矩形孔和多个圆孔,以及在底板与盖板相对应的位置上所设置的大矩形孔和多个圆孔。
进一步地,在所述盖板和底板上分别设置三个相互平行的大矩形孔。
进一步地,所述透水结构还包括分别设置在盖板与下侧板、底板与下侧板、左侧板与下侧板、右侧板与下侧板连接处的四个渗水槽,每个渗水槽的槽面与水平面之间的夹角均为45度。
进一步地,所述上侧板、下侧板、左侧板、右侧板、底板和盖板的材质为不锈钢。
进一步地,所述除胶浸泡料盒内部的长(指上侧板内侧面与下侧板内侧面之间的距离)、宽(指左侧板内侧面与右侧板内侧面之间的距离)、高(指盖板内侧面与底板内侧面之间的距离)分别为280mm、100~250mm、110mm,大矩形孔108的长度为144mm,宽度为48mm,圆孔107的直径为16mm。
进一步地,所述分隔定位装置为两排平行、且垂直固定在所述底板上的不锈钢耙齿;两排不锈钢耙齿的数量相等、尺寸相同,且对称分布在所述底板的中心线的两侧,两者之间的距离为所述除胶浸泡料盒的内部长度的三分之一;两排不锈钢耙齿的底座的宽度相同且与所述除胶浸泡料盒的内部宽度相匹配,同一排相邻的两条不锈钢耙齿之间的距离与半导体封装产品的厚度相匹配,不锈钢耙齿的长度与半导体封装产品的宽度相匹配,不锈钢耙齿的前端为圆锥状,锥顶为半球形,并对不锈钢耙齿的表面作磨光处理。
进一步地,所述盖板盖合在料盒本体上之后,通过卡扣、搭扣或尼龙粘扣与左侧板固定连接。
进一步地,所述上侧板、下侧板、左侧板、右侧板、底板和盖板均为由不锈钢钢丝纵横交错、组合而成的网版,网版的网孔构成所述透水结构。
本发明的主要有益效果如下:
1、由于设置了分隔定位装置,特别是对不锈钢耙齿的表面作磨光处理,并将不锈钢耙齿的前端设置为圆锥状,将锥顶设置为半球形,本发明可以将QFN、DFN等新型电子封装产品平行装载于料盒本体中,且所新型电子封装产品彼此间不会叠加在一起,而不锈钢耙齿本身也因其表面作了磨光处理且前端作了磨圆处理,故不仅提高了除胶和清洗的效果,而且不会使封装体表面擦花或者产生药水印的问题。
2、本发明中的透水结构,包括设置在上、下、左、右四个侧板上的圆孔,设置在盖板上的大矩形孔和多个圆孔,在底板与盖板相对应的位置上所设置的大矩形孔和多个圆孔,以及分别设置在盖板与下侧板、底板与下侧板、左侧板与下侧板、右侧板与下侧板连接处的渗水槽,或者网板上的网眼,这种结构设计,进一步改善了煮药槽中的药水和清水在除胶浸泡料盒中的流动性。
3、经对比实验,与使用201620540169.0号实用新型专利中的装料盒的技术方案相比,使用本发明除胶浸泡料盒的技术方案,不仅有效解决了新型封装体在除胶工序中其表面容易擦花或者产生药水印的问题,而且显著提高了除胶效率,并节省了药水。
附图说明
图1是201620540169.0号实用新型专利所公开的一种装料盒的结构示意图;
图2是本发明实施例1的立体结构示意图;
图3是本发明实施例1中的右侧板内侧面的平面结构示意图;
图4是本发明实施例1中的底板内侧面的平面结构示意图;
图5是本发明实施例1的纵切面结构示意图;
图6是本发明实施例1中的不锈钢耙齿的结构示意图;
图7是本发明实施例2的立体结构示意图。
图中:
1——本发明实施例1中的除胶浸泡料盒;
101——上侧板; 102——下侧板; 103——左侧板;
104——右侧板; 105——盖板; 106——底板;
107——圆孔; 108——大矩形孔; 109——固定连接件;
1010——铰接件; 1011——提手; 1012——不锈钢耙齿;
1013——渗水槽。
2——201620540169.0号实用新型专利中的装料盒;
201——小孔; 202——固定手柄; 203——活动手柄。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,以下结合附图介绍本发明的两个实施例。
实施例1
如图2并结合图3、图4、图5所示,一种半导体封装产品的除胶浸泡料盒1,包括由上侧板101、下侧板102、左侧板103、右侧板104和底板106合围而成的、总体形状为正方体或长方体的料盒本体,还包括盖板105,盖板105的一侧与右侧板104通过铰接件1010铰连接,转动盖板105,可使盖板105打开或盖合在料盒本体上,上侧板101、下侧板102、左侧板103、右侧板104、盖板105和底板106上均设置有透水结构;底板106上还设有半导体封装产品的分隔定位装置,上侧板101的中部还设有提手1011。
另需说明的是,本说明书之所以将下侧板102称为“下侧板”,是因为将装有半导体封装体的除胶浸泡料盒1置于煮药槽中使用时,是以下侧板102接触煮药槽的底部表面,此时盖板105是盖合在料盒本体上的,且上侧板101朝向上方。而装放或取出半导体封装体时,则是以底板106接触工作台的表面,此时盖板105是打开的,且上、下侧板均位于除胶浸泡料盒的侧面。另外,为了使盖板105牢固地盖合在料盒本体上,本实施例通过在盖板105的一侧以及左侧板103一侧的对应位置上设置固定连接件109(例如卡扣、搭扣或尼龙粘扣等),可以使盖板105与左侧板103连接固定。
本实施例中的透水结构包括分别设置在上侧板101、下侧板102、左侧板103、右侧板104上的多个圆孔107,设置在盖板105上的三个平行的大矩形孔108和多个圆孔107(圆孔107的具体数量可根据实际需要调整,例如,本实施例在右侧板103上设置了12个圆孔),在底板106与盖板105相对应的位置上所设置的三个平行的大矩形孔108和多个圆孔107,以及分别设置在盖板105与下侧板102、底板106与下侧板102、左侧板103与下侧板102、右侧板104与下侧板102连接处的四个渗水槽1013,每个渗水槽1013的槽面与水平面之间的夹角均为45度(参见图5)。
在本实施例中,所述除胶浸泡料盒1内部的长(指上侧板内侧面与下侧板内侧面之间的距离)、宽(指左侧板内侧面与右侧板内侧面之间的距离)、高(指盖板内侧面与底板内侧面之间的距离)分别为280mm、100~250mm、110mm,大矩形孔108的长度为144mm,宽度为48mm,圆孔107的直径为16mm,左侧板103与下侧板102以及右侧板104与下侧板102连接处的渗水槽1013的长度为80mm,盖板105与下侧板102以及底板106与下侧板102连接处的渗水槽1013的长度为70~200mm。
如图6并结合图4、图5所示,本实施例中的分隔定位装置为两排平行、且垂直固定在底板106上的不锈钢耙齿1012;两排不锈钢耙齿1012的数量相等、尺寸相同、对称分布在底板106的中心线(沿宽度方向的中心线)的两侧,两排不锈钢耙齿1012的之间距离为除胶浸泡料盒1的长度的三之一;两排不锈钢耙齿1012的底座的宽度相同且与所述底板106的宽度相匹配;同一排相邻的两条不锈钢耙齿1012之间的距离与半导体封装产品的厚度相匹配;不锈钢耙齿1012的长度与半导体封装产品的宽度相匹配,不锈钢耙齿1012的前端为圆锥状,锥顶为半球形。为了防止因不锈钢耙齿1012与半导体封装产品之间的摩擦导致半导体封装产品的表面产生刮痕(俗称“擦花”),本发明需要对不锈钢耙齿的表面作磨光处理。
实施例2
本实施例的基本形状、结构与实施例1相同,所不同的是,如图7所示,在本实施例中,组成所述除胶浸泡料盒的上侧板、下侧板(图中未示出)、左侧板、右侧板(图中未示出)、底板(图中未示出)和盖板均为由不锈钢钢丝纵横交错、组合而成的网版,网版的网孔构成所述透水结构。另外,无论是本实施例,还是实施例1,均可在底板上设置平行的隔挡片来分隔定位待除胶处理的半导体封装产品,当然,就产品的加工和使用而言,采用两排不锈钢耙齿1012作分隔定位装置的技术方案更优。
以上,结合附图介绍了本发明的两个实施例的形状和结构特征,以下以实施例1的技术方案为例,通过表1,进一步介绍本发明相对于201620540169.0号实用新型专利中的装料盒所具有的技术效果:
表1 技术效果对照表
由表1可知,使用本发明给QFN、DFN等新型电子封装产品外观除胶,不仅除胶效果好,而且生产效率显著提高。此外,本发明的结构设计,减小了除胶料盒与除胶药水之间的接触面积,减少了除胶药水在除胶料盒表面的残留,从而节省了除胶药水的用量,降低了生产成本。
Claims (9)
1.一种半导体封装产品的除胶浸泡料盒,包括由上侧板、下侧板、左侧板、右侧板和底板合围而成的、总体形状为正方体或长方体的料盒本体,上侧板、下侧板、左侧板、右侧板和底板上均设置有透水结构,其特征在于:还包括盖板,盖板的一侧与右侧板铰连接,转动盖板,可使盖板打开或盖合在料盒本体上,在盖板上设有透水结构,在底板上还设有半导体封装产品的分隔定位装置。
2.如权利要求1所述的半导体封装产品的除胶浸泡料盒,其特征在于:所述透水结构包括设置在上侧板、下侧板、左侧板、右侧板上的多个圆孔,设置在盖板上的大矩形孔和多个圆孔,以及在底板与盖板相对应的位置上所设置的大矩形孔和多个圆孔。
3.如权利要求2所述的半导体封装产品的除胶浸泡料盒,其特征在于:在所述盖板和底板上分别设置三个相互平行的大矩形孔。
4.如权利要求2所述的半导体封装产品的除胶浸泡料盒,其特征在于:所述透水结构还包括分别设置在盖板与下侧板、底板与下侧板、左侧板与下侧板、右侧板与下侧板连接处的四个渗水槽,每个渗水槽的槽面与水平面之间的夹角均为45度。
5.如权利要求2所述的半导体封装产品的除胶浸泡料盒,其特征在于:所述上侧板、下侧板、左侧板、右侧板、底板和盖板的材质为不锈钢。
6.如权利要求2所述的半导体封装产品的除胶浸泡料盒,其特征在于:所述除胶浸泡料盒内部的长、宽、高分别为280mm、100~250mm、110mm,所述大矩形孔的长度为144mm,宽度为48mm,所述圆孔的直径为16mm。
7.如权利要求1至6任一项所述的半导体封装产品的除胶浸泡料盒,其特征在于:所述分隔定位装置为两排平行、且垂直固定在所述底板上的不锈钢耙齿;两排不锈钢耙齿的数量相等、尺寸相同,且对称分布在所述底板的中心线的两侧,两者之间的距离为所述除胶浸泡料盒的内部长度的三分之一;两排不锈钢耙齿的底座的宽度相同且与所述除胶浸泡料盒的内部宽度相匹配,同一排相邻的两条不锈钢耙齿之间的距离与半导体封装产品的厚度相匹配,不锈钢耙齿的长度与半导体封装产品的宽度相匹配,不锈钢耙齿的前端为圆锥状,锥顶为半球形,并对不锈钢耙齿的表面作磨光处理。
8.如权利要求1至6任一项所述的半导体封装产品的除胶浸泡料盒,其特征在于:所述盖板盖合在料盒本体上之后,通过卡扣、搭扣或尼龙粘扣与左侧板连接固定。
9.如权利要求1至6任一项所述的半导体封装产品的除胶浸泡料盒,其特征在于:所述上侧板、下侧板、左侧板、右侧板、底板和盖板均为由不锈钢钢丝纵横交错、组合而成的网版,网版的网孔构成所述透水结构。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111540923.2A CN114130750A (zh) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 半导体封装产品的除胶浸泡料盒 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111540923.2A CN114130750A (zh) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 半导体封装产品的除胶浸泡料盒 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114130750A true CN114130750A (zh) | 2022-03-04 |
Family
ID=80382632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111540923.2A Pending CN114130750A (zh) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 半导体封装产品的除胶浸泡料盒 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114130750A (zh) |
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