CN114114583A - 适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，包括圆筒形的腔体，腔体的两端均设有内端面和内螺纹、侧壁设有平面凸台，两个石英窗口作为圆形平面透镜分别配合的密封粘接在腔体两端的内端面上，两个压圈分别与腔体两端的内螺纹配合从而压紧石英窗口，平面凸台上设有真空标准刀口和与腔体内壁连通的通孔，真空标准刀口通过密封圈与用于抽真空的金属阀门密封连接，金属阀门外接抽真空设备将腔体抽取超高真空后关闭。本发明采用双层真空窗口，为高低温下对光学系统波前误差进行干涉测量提供了无气流扰动、不凝露的窗口，而且加工难度低、装调时间短、适配性强。
Description
技术领域
本发明属于光学设备领域，具体涉及一种适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口。
背景技术
在高低温下对光学系统波前误差进行干涉测量时，需要将被测品放入高低温箱试验，而常规的高低温箱的窗口通常为普通单层K9玻璃，窗口透射波前误差rms较大，对干涉测量结果有较大影响，并且在低温测试时由于温箱内外温差造成的气流扰动及窗口在低温下凝露会对干涉测量造成严重影响，导致无法形成干涉图像，无法测量真实的波前误差。
发明内容
本发明的目的是提供一种适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，采用双层真空窗口，为高低温下对光学系统波前误差进行干涉测量提供了无气流扰动、不凝露的窗口，而且加工难度低、装调时间短、适配性强。
本发明所采用的技术方案是：
一种适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，包括圆筒形的腔体，腔体的两端均设有内端面和内螺纹、侧壁设有平面凸台，两个石英窗口作为圆形平面透镜分别配合的密封粘接在腔体两端的内端面上，两个压圈分别与腔体两端的内螺纹配合从而压紧石英窗口，平面凸台上设有真空标准刀口和与腔体内壁连通的通孔，真空标准刀口通过密封圈与用于抽真空的金属阀门密封连接，金属阀门外接抽真空设备将腔体抽取超高真空后关闭。
优选地，石英窗口的透射波前误差rms小于λ/50，λ为波长。
优选地，腔体两端的内端面采用铣工完成。
优选地，密封圈采用无氧铜密封圈。
优选地，腔体采用铟钢材料。
本发明的有益效果是：
本发明采用双层真空窗口，为高低温下对光学系统波前误差进行干涉测量提供了无气流扰动、不凝露的窗口，而且加工难度低、装调时间短、适配性强。
附图说明
图1是本发明实施例中适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口的立体示意图。
图2是本发明实施例中适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口的剖视图。
图中：1-腔体；2-石英窗口；3-压圈；4-金属阀门；5-密封圈。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
如图1和图2所示，一种适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，包括圆筒形的腔体1，腔体1的两端均设有内端面和内螺纹、侧壁设有平面凸台，两个石英窗口2作为圆形平面透镜分别配合的密封粘接在腔体1两端的内端面上，两个压圈3分别与腔体两端的内螺纹配合从而压紧石英窗口2，平面凸台上设有真空标准刀口和与腔体1内壁连通的通孔，真空标准刀口通过密封圈5与用于抽真空的金属阀门4密封连接，金属阀门4外接抽真空设备将腔体1抽取超高真空后关闭。本发明采用双层真空窗口，为高低温下对光学系统波前误差进行干涉测量提供了无气流扰动、不凝露的窗口，而且加工难度低、装调时间短、适配性强。
优选地，石英窗口2的透射波前误差rms小于λ/50，λ为波长(可以选λ＝632.8nm)。优选地，腔体1两端的内端面采用铣工完成。优选地，密封圈5采用无氧铜密封圈。优选地，腔体1采用铟钢材料。
应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (5)
1.一种适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，其特征在于：包括圆筒形的腔体，腔体的两端均设有内端面和内螺纹、侧壁设有平面凸台，两个石英窗口作为圆形平面透镜分别配合的密封粘接在腔体两端的内端面上，两个压圈分别与腔体两端的内螺纹配合从而压紧石英窗口，平面凸台上设有真空标准刀口和与腔体内壁连通的通孔，真空标准刀口通过密封圈与用于抽真空的金属阀门密封连接，金属阀门外接抽真空设备将腔体抽取超高真空后关闭。
2.如权利要求1所述的适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，其特征在于：石英窗口的透射波前误差rms小于λ/50，λ为波长。
3.如权利要求1所述的适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，其特征在于：腔体两端的内端面采用铣工完成。
4.如权利要求1所述的适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，其特征在于：密封圈采用无氧铜密封圈。
5.如权利要求1所述的适用于高低温光学检测的高面形精度双层真空窗口，其特征在于：腔体采用铟钢材料。
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