CN114110003A - 磁性吸盘 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种磁性吸盘。磁性吸盘(10)具备：缸筒(12)，该缸筒具有吸附工件(W)的工件吸附面(12c)；活塞组件(14)，该活塞组件包含永磁体(42)，并且能够在缸筒的内部空间(25)内移动，将缸筒的内部空间分隔为第一压力室(112)和第二压力室(114)；第一给排口(26)，该第一给排口形成于缸筒，且与第一压力室连通；第二给排口(76)，该第二给排口形成于缸筒，且与第二压力室连通；以及连通路(71)，该连通路使第一压力室与第二压力室连通。

Description

磁性吸盘

技术领域

本发明涉及磁性吸盘。

背景技术

公知有如下的磁性吸盘：将永磁体与缸体内部的活塞连结，使永磁体与活塞一同位移(参照日本实开昭51-102174号公报)。在这样的磁性吸盘中，追随着受到流体压力的活塞的位移，永磁体接近工件。伴随着永磁体接近工件，工件被吸引保持。另外，若活塞向远离工件的方向位移，则工件被释放。

发明内容

在吸附保持高温的工件的情况下，考虑在磁性吸盘内具备的部件受到损伤。优选在吸附保持高温的工件的情况下，也抑制对磁性吸盘所具备的部件施加的损伤。

本发明的目的在于，提供耐热性良好的磁性吸盘。

本发明的一个方式的磁性吸盘具备：缸筒，该缸筒具有吸附工件的工件吸附面；活塞组件，该活塞组件包含永磁体，并且能够在所述缸筒的内部空间内移动，将所述缸筒的所述内部空间分隔为第一压力室和第二压力室；第一给排口，该第一给排口形成于所述缸筒，且与所述第一压力室连通；第二给排口，该第二给排口形成于所述缸筒，且与所述第二压力室连通；以及连通路，该连通路使所述第一压力室与所述第二压力室连通。

根据本发明，能够提供耐热性良好的磁性吸盘。

根据参照附图而说明的以下的实施方式的说明，容易了解上述的目的、特征和优点。

附图说明

图1是表示第一实施方式的磁性吸盘的主视图。

图2是表示第一实施方式的磁性吸盘的剖视图。

图3是表示第一实施方式的磁性吸盘的剖视图。

图4是表示第一实施方式的磁性吸盘的分解立体图。

图5是表示第二实施方式的磁性吸盘的剖视图。

图6是表示第二实施方式的磁性吸盘的剖视图。

图7是表示第三实施方式的磁性吸盘的剖视图。

图8是表示第三实施方式的磁性吸盘的剖视图。

图9是表示第四实施方式的磁性吸盘的后视图。

图10是表示第四实施方式的磁性吸盘的剖视图。

图11是表示第四实施方式的磁性吸盘的剖视图。

图12是表示第四实施方式的变形例的磁性吸盘的一部分的剖视图。

图13是表示第四实施方式的变形例的磁性吸盘的框图。

具体实施方式

关于本发明的磁性吸盘，列举优选的实施方式，参照附图，以下详细地说明。

[第一实施方式]

使用图1～图4对第一实施方式的磁性吸盘进行说明。图1是表示本实施方式的磁性吸盘的主视图。图2和图3是表示本实施方式的磁性吸盘的剖视图。在图2中表示活塞组件14位于上止点的状态。在图3中表示活塞组件14位于下止点的状态。另外，在图3中表示工件W被吸附于磁性吸盘10的状态。图4是表示本实施方式的磁性吸盘的分解立体图。此外，在本申请说明书中，将磁性吸盘10中的图1的纸面上侧的面称为上表面，将磁性吸盘10中的图1的纸面下侧的面称为下表面。工件W被吸附于磁性吸盘10的下表面侧。

如图2和图3所示，在本实施方式的磁性吸盘10中，具备缸筒12、活塞组件14、底罩18以及闩锁磁轭20。磁性吸盘10例如安装于未图示的机器人的顶端臂等。

在缸筒12中形成有缸孔24。缸孔24贯通缸筒12。缸孔24的横截面的形状例如为圆形。即，与缸筒12的中心轴线C垂直的方向上的缸孔24的截面的形状例如为圆形。缸孔24的中心轴线与缸筒12的中心轴线C一致。作为缸筒12的材料，例如使用铝合金等顺磁性体金属，但不限于此。

如图1所示，缸筒12包含第一端部12d和第二端部12e。第一端部12d与第二端部12e彼此位于相反位置。第一端部12d包含吸附工件W的工件吸附面12c。如图2和图3所示，在缸筒12的第一端部12d形成有与后述的外壳86嵌合的嵌合部22。缸筒12中的除了嵌合部22以外的部分的横截面的外形例如为矩形状。缸筒12中的嵌合部22的横截面的外形例如为圆形。

在缸筒12中的嵌合部22的顶端形成有供后述的第二密封件96安装的台阶部23。另外，在缸孔24的上部侧形成有台阶部32，该台阶部32与形成于闩锁磁轭20的后述的凸缘20a卡合。

在活塞组件14中，具备密封件保持架38、磁心轭40、永磁体42、罩磁轭44以及环形板45。

密封件保持架38形成为圆盘状。作为密封件保持架38的材料，例如使用铝合金等顺磁性体金属，但不限于此。在密封件保持架38的外周形成有凹槽39。凹槽39朝向密封件保持架38的周向的外侧开口。在凹槽39中安装有活塞密封件46。作为活塞密封件46的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。活塞密封件46与缸孔24的壁面滑动接触。在密封件保持架38的中央形成有贯通孔48。在贯通孔48形成有朝向该贯通孔48的中心突出的向内凸缘50。在密封件保持架38的上表面形成有环状凹部51。环状凹部51朝向磁性吸盘10的上表面侧开口。在贯通孔48与环状凹部51之间存在的部分为凸缘41。凸缘41朝向磁性吸盘10的上表面侧突出。

磁心轭40整体上形成为圆柱状。作为磁心轭40的材料，例如使用作为强磁性体的钢铁等，但不限于此。在磁心轭40的上端部的中央形成有筒状突出部52。筒状突出部52朝向磁性吸盘10的上表面侧突出。在磁心轭40形成有有底的螺纹孔54。螺纹孔54在筒状突出部52的顶端开口。在磁心轭40中的下部侧形成有凹部56。凹部56朝向磁性吸盘10的下表面侧开口。凹部56的横截面的形状例如为圆形。

在形成于密封件保持架38的贯通孔48中，插入磁心轭40中的筒状突出部52。筒状突出部52被插入贯通孔48中的下部侧的部位。筒状突出部52与贯通孔48嵌合。筒状突出部52与密封件保持架38中的向内凸缘50抵接。在贯通孔48中插入固定螺钉60。固定螺钉60被从贯通孔48中的上部侧插入。固定螺钉60进一步插入到形成于磁心轭40的螺纹孔54。固定螺钉60与该螺纹孔54螺合。这样，密封件保持架38与磁心轭40一体地连结。

在筒状突出部52的根部安装有第一密封件62。第一密封件62将密封件保持架38与磁心轭40之间密封。作为第一密封件62的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。

永磁体42例如形成为圆筒状。永磁体42位于磁心轭40的外周。作为永磁体42，例如使用钐钴磁铁，但不限于此。永磁体42由密封件保持架38、磁心轭40、罩磁轭44和环形板45包围。永磁体42例如在径向上被磁化。永磁体42的内周侧例如为N极，永磁体42的外周侧例如为S极。此外，也可以是，永磁体42的内周侧为S极，永磁体42的外周侧为N极。永磁体42例如在周向上被分割。即，通过将多个扇形状的未图示的磁铁片组合，而构成圆筒状的永磁体42。此外，也可以通过单一的部件构成永磁体42。永磁体42不限于圆筒状。例如，永磁体42也可以形成为方筒状。即，也可以通过将多个平板状的磁铁片组合而构成方筒状的永磁体42。

罩磁轭44形成为筒状。罩磁轭44位于永磁体42的外周。作为罩磁轭44的材料，例如使用作为强磁性体的钢铁等，但不限于此。罩磁轭44的外周的上部侧为大径，下部侧为小径。即，罩磁轭44包含大径部64和小径部66。在大径部64与小径部66之间存在台阶部65。在大径部64形成有两个环状槽68a、68b。环状槽68a、68b朝向罩磁轭44的径向的外侧开口。环状槽68a、68b在沿着缸筒12的中心轴线C的方向上相互分离。在环状槽68a、68b分别安装有磨损环70a、70b。活塞组件14经由磨损环70a、70b被引导支承于缸孔24。作为磨损环70a、70b的材料，例如使用聚四氟乙烯(PTFE：Poly Tetra Fluoro Ethylene)等。此外，磨损环70a、70b的材料不限于这样的材料。

在底罩18，具备底部磁轭80、外磁轭82和外壳86。

作为底部磁轭80的材料，例如使用作为强磁性体的钢铁等，但不限于此。底部磁轭80的形状例如为圆柱状。在活塞组件14下降时，底部磁轭80进入磁心轭40的凹部56(参照图3)。在底部磁轭80的下部形成有下部凸缘80a。下部凸缘80a向底部磁轭80的径向的外侧突出。

在底部磁轭80的外侧具备外磁轭82。作为外磁轭82的材料，例如使用作为强磁性体的钢铁等，但不限于此。外磁轭82例如形成为圆筒状。在外磁轭82的上部侧形成有上部凸缘82a。上部凸缘82a向外磁轭82的径向的外侧突出。在外磁轭82的下部侧的外周面形成有外周凹部82b。外周凹部82b向外磁轭82的径向的内侧凹陷。在外磁轭82的下部侧的内周面形成有台阶部82c。

在底部磁轭80中的下部凸缘80a与外磁轭82中的台阶部82c之间具备环状的连结板84。通过连结板84将外磁轭82固定于底部磁轭80。作为连结板84的材料，例如使用铝合金等顺磁性体金属，但不限于此。

外壳86例如形成为筒状。作为外壳86的材料，例如使用铝合金等顺磁性体金属等，但不限于此。在外壳86形成有在上下方向上贯通的贯通孔88。贯通孔88的横截面为圆形。在贯通孔88中的下部侧形成有下部凸缘90。下部凸缘90向贯通孔88的径向的内侧突出。缸筒12的嵌合部22与外壳86的贯通孔88嵌合。

如图4所示，四根贯穿螺栓94插通于在外壳86形成的插通孔35。各个贯穿螺栓94的顶端部与形成于缸筒12的未图示的螺纹孔螺合。这样，缸筒12与外壳86相互连结固定。外磁轭82的上部凸缘82a被夹持在缸筒12的嵌合部22的端面与外壳86的下部凸缘90之间。这样，外磁轭82被连结固定于缸筒12等。

如上所述，在缸筒12的嵌合部22的顶端形成有台阶部23。在台阶部23与外磁轭82的上表面的间隙安装有第二密封件96。第二密封件96将缸筒12与外磁轭82之间密封。作为第二密封件96的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。

在缸筒12的下端与外磁轭82的上表面之间安装有减震器(下部减震器98)。下部减震器98形成为环状。作为下部减震器98的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。下部减震器98的上表面与形成于缸筒12的环状凹部30相对。在活塞组件14下降到下止点时，如图3所示，罩磁轭44的台阶部65与下部减震器98抵接。下部减震器98起到对使活塞组件14在内部空间25内移动时产生的冲击进行缓和的作用。即，下部减震器98起到对活塞组件14下降到下止点时的冲击进行缓和的作用。如图4所示，在下部减震器98的上表面形成有从该下部减震器98的内周端到达该下部减震器98的外周端的多个槽98a(多个凹槽)。多个槽98a在下部减震器98的周向上例如以等间隔形成。槽98a承担使后述的第一流体给排孔28与缸孔24连通的作用。即，槽98a承担使后述的第一给排口26与后述的第一压力室112连通的作用。在活塞组件14位于下止点的状态下，第一流体给排孔28也经由槽98a而与缸孔24连通。槽98a还承担使后述的第二连通孔74b与缸孔24连通的作用。即，槽98a还承担使后述的第一连通路71A与第一压力室112连通的作用。

工件W被吸附于磁性吸盘10的下表面。作为工件W，例如列举铁制的板等，但不限于此。

闩锁磁轭20形成为圆盘状。作为闩锁磁轭20的材料，例如使用作为强磁性体的钢铁等，但不限于此。在闩锁磁轭20的上部侧形成有凸缘20a。凸缘20a向闩锁磁轭20的径向的外侧突出。凸缘20a与在缸孔24的上部侧形成的台阶部32卡合。在闩锁磁轭20的中央形成有凹部102。凹部102朝向磁性吸盘10的下表面侧开口。凹部102的横截面例如为圆形。凹部102包含小径部102a和大径部102b。小径部102a位于凹部102中的上侧。大径部102b位于凹部102中的下侧。在活塞组件14上升的情况下，固定螺钉60的头部60a被容纳在小径部102a内(参照图2)。在大径部102b安装有上部减震器104。上部减震器104形成为环状。在活塞组件14上升时，如图2所示，密封件保持架38中的凸缘41与上部减震器104抵接。上部减震器104起到对活塞组件14上升时的冲击进行缓和的作用。作为上部减震器104的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。在大径部102b的下端形成有环状突出部106。环状突出部106的内径朝向下方呈锥状变大。在活塞组件14上升时，环状突出部106进入到在密封件保持架38形成的环状凹部51。在闩锁磁轭20的外周形成有凹槽21。凹槽21向闩锁磁轭20的径向的外侧开口。在凹槽21安装有闩锁磁轭密封件27。作为闩锁磁轭密封件27的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。在闩锁磁轭20的下部侧形成有小径部20b。在闩锁磁轭20中的小径部20b的外周面与缸孔24的壁面之间存在间隙114a。间隙114a为后述的第二压力室114的一部分。

在缸筒12的上部侧形成有凹槽12b。凹槽12b朝向缸筒12的中心轴线C开口。在凹槽12b中嵌合有卡环16。卡环16是用于防止闩锁磁轭20在缸筒12的轴向上脱落的环状的挡圈。缸筒12的轴向为沿着中心轴线C的方向。作为卡环16的材料，例如使用弹簧用钢，但不限于此。

缸筒12的内部空间25被活塞组件14分隔为第一压力室112和第二压力室114。第一压力室112是相比于密封件保持架38的活塞密封件46位于下方的压力室。第二压力室114是相比于密封件保持架38的活塞密封件46位于上方的压力室。第一压力室112位于第二压力室114与工件吸附面12c之间。

在缸筒12中形成有用于对于第一压力室112进行流体的给排的第一给排口26。缸筒12包含第一侧部12f和第二侧部12g。第一侧部12f与第二侧部12g以缸筒12的中心轴线C为基准彼此位于相反位置。第一给排口26设置于缸筒12的第一侧部12f。缸筒12具有第一侧面13A和第二侧面13B。第一侧面13A与第二侧面13B彼此位于相反位置。第一给排口26在缸筒12的第一侧面13A开口。作为流体，例如使用空气等气体(气体)，但不限于此。也可以使用水、油等液体作为流体。流体的温度例如为室温(25℃左右)，但不限于此。但是，为了对磁性吸盘10内进行充分地冷却，优选流体的温度相对于工件W的温度充分低。

在缸筒12的壁12a的内部形成有第一流体给排孔28。第一给排口26与第一流体给排孔28的上端连接。第一流体给排孔28在缸筒12的壁12a的内部沿着缸筒12的轴向延伸。在嵌合部22的内周侧形成有朝向磁性吸盘10的下表面侧开口的环状凹部30。第一流体给排孔28的下端到达环状凹部30。第一给排口26经由第一流体给排孔28与第一压力室112连通。第一流体给排孔28具有与第一压力室112连通的开口81b。与第一压力室112连通的开口81b设置于缸筒12的第一侧部12f。

在缸筒12，具备用于对于第二压力室114进行流体的给排的第二给排口76。与第一给排口26同样，第二给排口76设置于缸筒12的第一侧部12f。第二给排口76在缸筒12的第一侧面13A开口。第二给排口76位于第一给排口26的上方。

在缸筒12的壁12a的内部形成有第二流体给排孔110。第二流体给排孔110的一端与第二给排口76连接。第二流体给排孔110在缸筒12的壁12a的内部朝向缸孔24延伸。在闩锁磁轭20中的小径部20b的外周面与缸孔24的壁面之间形成的间隙114a与第二流体给排孔110的另一端连通。如上所述，该间隙114a为第二压力室114的一部分。第二给排口76经由第二流体给排孔110与第二压力室114连通。第二流体给排孔110具有与第二压力室114连通的开口81a。与第二压力室114连通的开口81a设置于缸筒12的第一侧部12f。

在缸筒12形成有使第一压力室112与第二压力室114连通的连通路71。连通路71包含第一连通路71A。第一连通路71A形成在缸筒12的壁12a的内部。第一连通路71A与缸筒12的内部空间25独立地形成。第一连通路71A设置于缸筒12的第二侧部12g。如上所述，第一侧部12f与第二侧部12g以缸筒12的中心轴线C为基准彼此位于相反位置。在缸筒12的第一侧部12f具备第一给排口26和第二给排口76，在缸筒12的第二侧部12g具备第一连通路71A。将第一给排口26和第二给排口76配设于缸筒12的第一侧部12f、将连通路71配设于缸筒12的第二侧部12g是出于以下的理由。即，这是为了抑制流体在第一压力室112内和第二压力室114内的滞留，通过流体而有效地冷却磁性吸盘10的各部分。

在第一连通路71A中，具备用于调整在该第一连通路71A中流动的流体的流量的流量调整阀72、更具体而言为针阀。如上所述，缸筒12的第二端部12e位于与包含工件吸附面12c的第一端部12d相反的位置。在第二端部12e具备流量调整阀72。流量调整阀72安装于在缸筒12形成的凹部73。凹部73朝向缸筒12的径向的外侧开口。凹部73在缸筒12的第二侧面13B开口。凹部73的深度方向为缸筒12的径向。缸筒12的轴向上的凹部73的截面例如为圆形。在凹部73形成有供后述的密封件75安装的台阶部73a。在台阶部73a与流量调整阀72的间隙安装有密封件75。密封件75将缸筒12与流量调整阀72之间密封。作为密封件75的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。

第一连通路71A包含第一连通孔74a和第二连通孔74b。在闩锁磁轭20中的小径部20b的外周面与缸孔24的壁面之间形成的间隙114a与第一连通孔74a的一端连通。第一连通孔74a、即连通孔具有与第二压力室114连通的开口79a。与第二压力室114连通的开口79a设置于缸筒12的第二侧部12g。第一连通孔74a的另一端在凹部73的底面开口。第一连通孔74a的中心轴线与流量调整阀72的中心轴线一致。第二连通孔74b的上端在凹部73的侧面开口。第二连通孔74b在缸筒12的壁12a的内部朝向缸筒12的下方延伸。第二连通孔74b的下端到达形成于缸筒12的环状凹部30。第一连通路71A经由形成于下部减震器98的槽98a与第一压力室112连通。即，第二连通孔74b具有与第一压力室112连通的开口79b。与第一压力室112连通的开口79b设置于缸筒12的第二侧部12g。

流量调整阀72具备主体部72a和芯棒72b。主体部72a整体上形成为圆筒状。芯棒72b整体上形成为圆柱状。芯棒72b由主体部72a包围。芯棒72b具备大径部72b1和小径部72b2。小径部72b2位于芯棒72b的顶端。芯棒72b的小径部72b2、即芯棒72b的顶端被插入第一连通孔74a内。若使芯棒72b转动，则该芯棒72b在芯棒72b的长度方向上位移。若使该芯棒72b在芯棒72b的长度方向上位移，则第一连通路71A与芯棒72b的间隙的尺寸发生变化，调整第一连通路71A中的流体的流量。为了能够在驱动活塞组件14时在第一压力室112与第二压力室114之间产生充分的差压，而将第一连通路71A与芯棒72b的间隙的尺寸设定得充分小。在芯棒72b形成有环状槽72b3。环状槽72b3朝向芯棒72b的径向的外侧开口。在环状槽72b3安装有密封件77。密封件77将主体部72a与芯棒72b之间密封。作为密封件77的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。

第一给排口26与第一连通路71A经由第一压力室112而连通。在活塞组件14位于下止点的状态下，如图3所示，也维持第一给排口26与第一连通路71A经由第一压力室112而连通的状态。

第二给排口76与第一连通路71A经由第二压力室114而连通。在活塞组件14位于上止点的状态下，如图2所示，也维持第二给排口76与第一连通路71A经由第二压力室114而连通的状态。

这样，构成本实施方式的磁性吸盘10。

接下来，使用图2和图3对本实施方式的磁性吸盘10的动作进行说明。将图2所示的状态、即活塞组件14位于上止点(上升端)的状态设为初始状态。

在活塞组件14位于上止点的状态下，包含永磁体42的活塞组件14以规定的磁吸引力被闩锁磁轭20吸引。

在磁性吸盘10用于使用之前的阶段，例如在输送时等，即使不向磁性吸盘10供给流体，也能够通过闩锁磁轭20的作用将活塞组件14保持在上止点的位置。由此，避免磁性吸盘10吸附周围的铁材料等这样的意外的情况，实现安全。

接下来，一边将磁性吸盘10维持在初始状态，一边例如对未图示的机器人进行驱动，而使该磁性吸盘10与工件W抵接。更具体而言，使磁性吸盘10的下表面侧与工件W抵接。

接下来，通过对未图示的切换阀进行操作，而开始向第二压力室114内供给流体，并且开始从第一压力室112排出流体。向第二压力室114内供给流体是经由第二给排口76进行的。从第一压力室112排出流体是经由第一给排口26进行的。

若开始向第二压力室114内供给流体，并且开始从第一压力室112排出流体，则在第一压力室112与第二压力室114之间产生差压。因此，要使活塞组件14向下方驱动的力与第一压力室112与第二压力室114的差压对应地作用于活塞组件14。在要使活塞组件14向下方驱动的力不超过在闩锁磁轭20与活塞组件14之间作用的磁吸引力的阶段中，活塞组件14被保持在上止点。如上所述，由于流量调整阀72的芯棒72b与第一连通路71A的间隙的尺寸被设定得充分小，因此第二压力室114内的压力相对于第一压力室112内的压力充分高。若要使活塞组件14向下方驱动的力超过在闩锁磁轭20与活塞组件14之间作用的磁吸引力，则活塞组件14开始下降。

伴随着活塞组件14下降，在闩锁磁轭20与活塞组件14之间作用的磁吸引力逐渐变小。另一方面，在底部磁轭80与活塞组件14之间作用的磁吸引力以及在外磁轭82与活塞组件14之间作用的磁吸引力逐渐变大。

若活塞组件14进一步下降，则底部磁轭80进入磁心轭40的凹部56。然后，罩磁轭44的台阶部65与下部减震器98抵接，活塞组件14到达下止点(下降端)。在活塞组件14位于下止点的状态下，穿过工件W的磁通密度最大，工件W以最大的磁吸引力被吸引保持于磁性吸盘10。

工件W有时处于室温左右，但也有时处于高温。在工件W被吸引保持于磁性吸盘10时，工件W的热被传递给磁性吸盘10。作为第一密封件62、第二密封件96、活塞密封件46、下部减震器98等的材料而使用的例如氟橡胶等未必能够耐受明显高的温度。在第一密封件62、第二密封件96、活塞密封件46、下部减震器98等为明显高的温度的情况下，有可能对第一密封件62、第二密封件96、活塞密封件46、下部减震器98等施加损伤。与此相对，在本实施方式中，由于第一压力室112与第二压力室114经由连通路71(第一连通路71A)而连通，因此在活塞组件14位于下止点的状态下，流体也在第一压力室112内持续流动。因此，根据本实施方式，能够通过流体对磁性吸盘10进行冷却，能够抑制对第一密封件62、第二密封件96、活塞密封件46、下部减震器98等施加损伤。

在活塞组件14位于下止点的状态下，工件W被输送到规定位置。即，在磁性吸盘10吸引保持工件W的状态下，工件W被输送到规定位置。然后，进行用于使工件W从磁性吸盘10释放的操作。用于使工件W从磁性吸盘10释放的操作是通过对未图示的切换阀进行操作而进行的。具体而言，开始向第一压力室112内供给流体，并且开始从第二压力室114排出流体。在向第一压力室112内供给流体并且从第二压力室114排出流体的状态下，流体也在第一压力室112内持续流动。因此，在向第一压力室112内供给流体并且从第二压力室114排出流体的状态下，也通过流体对磁性吸盘10进行冷却。

若开始向第一压力室112内供给流体，并且开始从第二压力室114排出流体，则要使活塞组件14向上方驱动的力因第一压力室112与第二压力室114的差压而作用于活塞组件14。活塞组件14位于下止点，直到要使活塞组件14向上方驱动的力超过在底部磁轭80与活塞组件14之间以及在外磁轭82与活塞组件14之间作用的磁吸引力为止。若要使活塞组件14向上方驱动的力超过在底部磁轭80与活塞组件14之间以及在外磁轭82与活塞组件14之间作用的磁吸引力，则活塞组件14开始上升。

作用于工件W的磁吸引力伴随着活塞组件14的上升而逐渐变小，工件W被从磁性吸盘10的吸附中释放。若密封件保持架38的凸缘41与上部减震器104抵接，则活塞组件14的上升结束。即，活塞组件14到达上止点。对于活塞组件14，除了在闩锁磁轭20与活塞组件14之间作用的磁吸引力之外，第一压力室112与第二压力室114的差压继续施加给活塞组件14，因此活塞组件14被可靠地保持在上止点。因此，活塞组件14不会意外地下降而吸附工件W。在活塞组件14被保持在上止点的状态下，流体也在第一压力室112内持续流动。因此，在活塞组件14被保持在上止点的状态下，也通过流体对磁性吸盘10进行冷却。

这样，根据本实施方式，第一压力室112与第二压力室114经由连通路71(第一连通路71A)而连通。因此，根据本实施方式，通过在缸筒12的内部空间25持续流动的流体，而对磁性吸盘10的各部分进行冷却。在活塞组件14位于下止点的状态下，流体也在第一压力室112内和第二压力室114内持续流动。因此，根据本实施方式，在高温的工件W被磁性吸盘10吸附的情况下，也能够抑制对第一密封件62、第二密封件96、活塞密封件46、下部减震器98等施加损伤。因此，根据本实施方式，能够提供耐热性良好的磁性吸盘10。

[第二实施方式]

接下来，使用图5和图6对第二实施方式的磁性吸盘进行说明。对与图1～图4所示的第一实施方式的磁性吸盘相同的结构要素标注相同的符号而省略或者简化说明。图5和图6是表示本实施方式的磁性吸盘的剖视图。在图5中表示活塞组件14位于上止点的状态。在图6中表示活塞组件14位于下止点的状态。

如图5和图6所示，在缸筒12的内部空间25的壁面形成有槽116。在本实施方式中，将第一压力室112和第二压力室114连通的连通路71(第二连通路71B)由槽116构成。为了能够在驱动活塞组件14时在第一压力室112与第二压力室114之间产生充分的差压，而将构成第二连通路71B的槽116的深度和宽度设定得充分小。与第一实施方式的第一连通路71A同样，第二连通路71B形成于缸筒12的第二侧部12g。如上所述，第一侧部12f与第二侧部12g以缸筒12的中心轴线C为基准彼此位于相反位置。在缸筒12的第一侧部12f具备第一给排口26和第二给排口76，在缸筒12的第二侧部12g具备第二连通路71B。

构成第二连通路71B的槽116的下端到达形成有槽98a的下部减震器98。第一给排口26与第二连通路71B经由第一压力室112而连通。在活塞组件14位于下止点的状态下，如图6所示，也维持第一给排口26与第二连通路71B经由第一压力室112而连通的状态。

槽116的上端与闩锁磁轭20中的小径部20b的外周面相对。如上所述，在小径部20b的外周面与缸孔24的壁面之间形成有间隙114a。如上所述，间隙114a为第二压力室114的一部分。第二给排口76与第二连通路71B经由第二压力室114而连通。在活塞组件14位于上止点的状态下，如图5所示，也维持第二给排口76与第二连通路71B经由第二压力室114而连通的状态。

此外，在上述中，以通过一个槽116构成第二连通路71B的情况为例进行了说明，但不限于此。也可以通过多个槽116构成第二连通路71B。例如，也可以在缸孔24的周向上以规定间隔配设多个槽116。

这样，也可以通过在缸筒12的内部空间25的壁面形成的槽116构成连通路71(第二连通路71B)。在本实施方式中也是，通过在缸筒12的内部空间25中持续流动的流体对磁性吸盘10的各部分进行冷却。即，在活塞组件14位于下止点的状态下，流体也在第一压力室112内和第二压力室114内持续流动。因此，在高温的工件W被磁性吸盘10吸附的情况下，也能够抑制对第一密封件62、第二密封件96、活塞密封件46、下部减震器98等施加损伤。因此，在本实施方式中，也能够提供耐热性良好的磁性吸盘10。

[第三实施方式]

接下来，使用图7和图8对第三实施方式的磁性吸盘进行说明。对与图1～图6所示的第一或者第二实施方式的磁性吸盘相同的结构要素标注相同的符号而省略或者简化说明。图7和图8是表示本实施方式的磁性吸盘的剖视图。在图7中表示活塞组件14位于上止点的状态。在图8中表示活塞组件14位于下止点的状态。

如图7和图8所示，在密封件保持架38形成有朝向磁性吸盘10的上表面侧开口的圆孔状凹部85。圆孔状凹部85在环状凹部51的底面开口。圆孔状凹部85的中心轴线与后述的贯通孔87a的中心轴线一致。在图7和图8中表示沿着活塞组件14的周向形成多个圆孔状凹部85的情况的例子。

在活塞组件14还形成有将第一压力室112和第二压力室114连通的连通路71(第三连通路71C)。第三连通路71C是通过将贯穿密封件保持架38的贯通孔87a、贯穿永磁体42的贯通孔87b和贯穿环形板45的贯通孔87c相互连接而构成的，但不限于此。第三连通路71C具有与第二压力室114连通的开口83a和与第一压力室112连通的开口83b。为了能够在驱动活塞组件14时在第一压力室112与第二压力室114之间产生充分的差压，将第三连通路71C的直径设定得充分小。这里，为了能够在驱动活塞组件14时在第一压力室112与第二压力室114之间产生充分的差压，将贯通孔87a的直径设定得充分小。第三连通路71C至少形成在缸筒12的中心轴线C与第二侧部12g之间。如上所述，第一侧部12f与第二侧部12g以缸筒12的中心轴线C为基准彼此位于相反位置。在缸筒12的第一侧部12f具备第一给排口26和第二给排口76，第三连通路71C至少配设在缸筒12的中心轴线C与第二侧部12g之间。此外，在图7和图8中表示沿着活塞组件14的周向形成多个第三连通路71C的情况的例子。

第一给排口26与第三连通路71C经由第一压力室112而连通。在活塞组件14位于下止点的状态下，如图8所示，也维持第一给排口26与第三连通路71C经由第一压力室112而连通的状态。

第二给排口76与第三连通路71C经由第二压力室114而连通。在活塞组件14位于上止点的状态下，如图7所示，也维持第二给排口76与第三连通路71C经由第二压力室114而连通的状态。

这样，将第一压力室112和第二压力室114连通的连通路71(第三连通路71C)也可以形成于活塞组件14。在本实施方式中也是，通过在缸筒12的内部空间25中持续流动的流体对磁性吸盘10的各部分进行冷却。即，在活塞组件14位于下止点的状态下，流体也在第一压力室112内和第二压力室114内持续流动。因此，在高温的工件W被磁性吸盘10吸附的情况下，也能够抑制对第一密封件62、第二密封件96、活塞密封件46、下部减震器98等施加损伤。因此，在本实施方式中，也能够提供耐热性良好的磁性吸盘10。

[第四实施方式]

接下来，使用图9～图11对第四实施方式的磁性吸盘进行说明。图9是表示本实施方式的磁性吸盘的后视图。图10和图11是表示本实施方式的磁性吸盘的剖视图。在图10中表示活塞组件14位于上止点的状态。在图11中表示活塞组件14位于下止点的状态。对与图1～图8所示的第一～第三实施方式的磁性吸盘相同的结构要素标注相同的符号而省略或者简化说明。

在本实施方式的磁性吸盘10中，在第一连通路71Aa具备方向控制阀134。

与第一～第三实施方式中上述的缸筒12同样，在缸筒12中形成有使第一压力室112与第二压力室114连通的连通路71。连通路71包含第一连通路71Aa。第一连通路71Aa的一部分形成在缸筒12的壁12a的内部。第一连通路71Aa与缸筒12的内部空间25独立地形成。与第一实施方式中上述的第一连通路71A同样，第一连通路71Aa设置于缸筒12的第二侧部12g。

第一连通路71Aa包含第一连通孔74a。本实施方式的第一连通孔74a与第一实施方式中上述的第一连通孔74a相同。

第一连通路71Aa还包含第三连通孔74c。在缸筒12的壁12a的内部形成有孔118。孔118在缸筒12的壁12a的内部朝向缸筒12的下方延伸。孔118贯穿凹部73。孔118中的位于凹部73的下方的部分构成第三连通孔74c。孔118中的上部被封闭部件120封闭。第三连通孔74c的上端在凹部73的侧面开口。第三连通孔74c在缸筒12的壁12a的内部朝向缸筒12的下方延伸。

第一连通路71Aa还包含第四连通孔74d。第三连通孔74c的下端与第四连通孔74d的一端连接。第四连通孔74d的另一端在缸筒12的第二侧面13B开口。

第一连通路71Aa还包含第五连通孔74e。第五连通孔74e的上端与后述的螺纹孔130连通。第五连通孔74e的下端到达形成于缸筒12的环状凹部30。与第一实施方式中上述的第一连通路71A同样，第一连通路71Aa经由形成于下部减震器98的槽98a而与第一压力室112连通。即，第五连通孔74e具有与第一压力室112连通的开口79b。与第一压力室112连通的开口79b设置于缸筒12的第二侧部12g。

在缸筒12的壁12a安装有流路块122。流路块122安装于缸筒12的第二侧部12g。换言之，流路块122安装于磁性吸盘10的背面。流路块122具有侧面123A和侧面123B。侧面123A与侧面123B彼此位于相反位置。流路块122的侧面123A与缸筒12的第二侧面13B接触。

在流路块122的内部形成有块内流路124。第一连通路71Aa还包含块内流路124。块内流路124包含第六连通孔74f。在流路块122的侧面123A形成有供密封件142安装的台阶部144。第六连通孔74f的一端在台阶部144开口。第六连通孔74f的中心轴线与第四连通孔74d的中心轴线一致。第六连通孔74f的一端与第四连通孔74d连通。第六连通孔74f的另一端在后述的凹部132的底面开口。在台阶部144安装有密封件142。密封件142将缸筒12的第二侧面13B与流路块122的侧面123A之间密封。作为密封件142的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。

块内流路124还包含第七连通孔74g。在流路块122的内部形成有孔126。孔126在流路块122的内部朝向上方延伸。孔126贯穿后述的贯通孔146。孔126到达凹部132的侧面。孔126中的位于贯通孔146与凹部132之间的部分构成第七连通孔74g。孔126中的下部被封闭部件128封闭。第七连通孔74g的上端在凹部132的侧面开口。第七连通孔74g的下端在贯通孔146的侧面开口。

在缸筒12的壁12a的内部形成有螺纹孔130。在螺纹孔130中拧入后述的中空螺栓154的顶端部。螺纹孔130的一端与第五连通孔74e连通。螺纹孔130的另一端在缸筒12的第二侧面13B开口。通过螺纹孔130构成第一连通路71Aa的一部分。

在流路块122形成有凹部132。凹部132在流路块122的侧面123B开口。凹部132的深度方向为从侧面123B朝向侧面123A的方向。凹部132的底面构成供后述的阀芯134c抵接的阀座132a。

在凹部132安装有对流体流动的方向进行控制的方向控制阀134。作为方向控制阀134，使用单向阀134A。单向阀134A具有支承部134a、弹簧134b以及阀芯134c。阀芯134c能够相对于支承部134a进行动作。阀芯134c动作的方向为沿着支承部134a的中心轴线的方向。即，阀芯134c动作的方向为凹部132的深度方向。弹簧134b朝向阀座132a对阀芯134c弹性地施力。在第六连通孔74f内的压力比第七连通孔74g内的压力高的情况下，对阀芯134c施加以下的第一力和第二力。第一力为与第七连通孔74g和第六连通孔74f的差压对应地施加给阀芯134c的力。第二力为弹簧134b施加给阀芯134c的力。第一力的方向与第二力的方向为相互相反的方向。在第一力比第二力大的情况下，单向阀134A打开。即，在第六连通孔74f内的压力相对于第七连通孔74g内的压力充分高的情况下，单向阀134A打开。在第一力比第二力小的情况下，单向阀134A关闭。另外，在第六连通孔74f内的压力比第七连通孔74g内的压力低的情况下，单向阀134A关闭。单向阀134A允许流体从第二压力室114经由第一连通路71Aa朝向第一压力室112流动。单向阀134A阻止流体从第一压力室112经由第一连通路71Aa朝向第二压力室114流动。

在凹部132形成有供卡环(C形挡圈)138安装的台阶部136。在台阶部136安装有卡环138。通过卡环138将方向控制阀134固定在凹部132内。

在方向控制阀134安装有密封件140。密封件140将方向控制阀134与凹部132之间密封。作为密封件140的材料，例如使用氟橡胶等，但不限于此。

在流路块122形成有贯通孔146。贯通孔146的中心轴线与螺纹孔130的中心轴线一致。在流路块122的侧面123A形成有供密封件150安装的台阶部148。贯通孔146的一端在台阶部148开口。贯通孔146的一端与螺纹孔130连通。在流路块122的侧面123B形成有对中空螺栓154的头部154a进行收纳的凹部152。贯通孔146的另一端在凹部152的底面开口。

使用中空螺栓154将流路块122安装于缸筒12的壁12a。中空螺栓154具备空洞154b。空洞154b的中心轴线与中空螺栓154的中心轴线一致。在中空螺栓154形成有到达空洞154b的孔154c。孔154c的中心轴线相对于空洞154b的中心轴线交叉。空洞154b的一端经由孔154c和贯通孔146而与第七连通孔74g连通。空洞154b的另一端与螺纹孔130连通。通过空洞154b构成块内流路124的一部分。

在凹部152安装有垫圈156。垫圈156将中空螺栓154与流路块122之间密封。

流路块122的上部122a的厚度比该流路块122的上部122a以外的部分的厚度薄。在流路块122的上部122a形成有贯通孔158。贯通孔158的中心轴线与凹部73的中心轴线一致。凹部73为螺纹孔。在凹部73中拧入流量调整阀72的顶端部。使用流量调整阀72将流路块122的上部122a安装于缸筒12的壁12a。

若开始向第二压力室114内供给流体，并且开始从第一压力室112排出流体，则在第一压力室112与第二压力室114之间产生差压。即，要在从第二压力室114朝向第一压力室112的方向上驱动活塞组件14的力与第一压力室112和第二压力室114之间的差压对应地作用于该活塞组件14。第一压力室112与第七连通孔74g连通，第二压力室114与第六连通孔74f连通。因此，在要驱动活塞组件14的力在从第二压力室114朝向第一压力室112的方向上作用时，要打开单向阀134A的力作用于单向阀134A。即，要打开单向阀134A的力与第一压力室112和第二压力室114的差压对应地作用于单向阀134A。在第二压力室114内的压力相对于第一压力室112内的压力充分高的情况下，单向阀134A打开。即，在第六连通孔74f内的压力相对于第七连通孔74g内的压力充分高的情况下，单向阀134A打开。

若开始向第一压力室112内供给流体，并且开始从第二压力室114排出流体，则在第一压力室112与第二压力室114之间产生差压。即，要在从第一压力室112朝向第二压力室114的方向上驱动活塞组件14的力与第一压力室112和第二压力室114之间的差压对应地作用于该活塞组件14。如上所述，第一压力室112与第七连通孔74g连通，第二压力室114与第六连通孔74f连通。因此，第六连通孔74f内的压力比第七连通孔74g内的压力低。因此，在要驱动活塞组件14的力在从第一压力室112朝向第二压力室114的方向上作用时，单向阀134A关闭。此外，若方向控制阀134关闭，则在活塞组件14到达上止点之后(参照图10)，流体不流入第一压力室112内。在该阶段中，工件W被从磁性吸盘10释放，因此磁性吸盘10不会被工件W加热。即，在该阶段中，不需要通过流体对磁性吸盘10进行冷却。因此，即使流体不流入第一压力室112内，也没有特别的问题。

这样，在本实施方式中，在要驱动活塞组件14的力在从第一压力室112朝向第二压力室114的方向上作用时，方向控制阀134关闭。根据本实施方式，由于方向控制阀134关闭，因此能够防止流体的浪费。

(变形例)

接下来，使用图12和图13对本实施方式的变形例的磁性吸盘进行说明。图12是表示本实施方式的磁性吸盘的一部分的剖视图。在图12中表示活塞组件14位于上止点的状态。图13是表示本实施方式的磁性吸盘的框图。

在本变形例的磁性吸盘10中，作为方向控制阀134，使用电磁式方向控制阀134B。

与第一～第三实施方式中上述的缸筒12同样，在缸筒12中形成有使第一压力室112与第二压力室114连通的连通路71。连通路71包含第一连通路71Ab。第一连通路71Ab的一部分形成在缸筒12的壁12a的内部。第一连通路71Ab与缸筒12的内部空间25独立地形成。与第一实施方式中上述的第一连通路71A同样，第一连通路71Ab设置于缸筒12的第二侧部12g。

第一连通路71Ab包含第一连通孔74a。本实施方式的第一连通孔74a与第一实施方式中上述的第一连通孔74a相同。

第一连通路71Ab还包含第三连通孔74c。在缸筒12的壁12a的内部形成有孔118。孔118在缸筒12的壁12a的内部朝向缸筒12的下方延伸。孔118贯穿凹部73。孔118中的位于凹部73的下方的部分构成第三连通孔74c。孔118中的上部被封闭部件120封闭。第三连通孔74c的上端在凹部73的侧面开口。第三连通孔74c在缸筒12的壁12a的内部朝向缸筒12的下方延伸。第三连通孔74c的下端在后述的端口160A的侧面开口。

在缸筒12的壁12a形成有端口160A。端口160A在缸筒12的第二侧面13B开口。端口160A与第三连通孔74c连通。

在缸筒12的壁12a形成有端口160B。端口160B位于端口160A的下方。端口160B在缸筒12的第二侧面13B开口。端口160B与第五连通孔74e连通。

如图13所示，在电磁式方向控制阀134B具备端口164A、164B。端口164A经由流路166A与端口160A连通。端口164B经由流路166B与端口160B连通。

在电磁式方向控制阀168具备端口170A、170B、170C。经由流路172向端口170A供给流体。端口170B经由流路174A与第二给排口76连通。端口170C经由流路174B与第一给排口26连通。

控制装置176控制磁性吸盘10。在控制装置176中，例如具备未图示的运算部(处理部)和未图示的存储部。运算部例如由CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)等处理器(processor)构成。即，运算部由处理电路(processing circuitry)构成。存储于存储部的程序由运算部执行，由此进行针对磁性吸盘10的控制。

根据从控制装置176供给的信号对电磁式方向控制阀134B、168进行切换。控制装置176切换电磁式方向控制阀168，经由第二给排口76向第二压力室114内供给流体。在经由第二给排口76向第二压力室114内供给流体的情况下，控制装置176切换电磁式方向控制阀134B，允许第一连通路71Ab中的流体的流动。即，在该情况下，控制装置176打开电磁式方向控制阀134B，允许第一连通路71Ab中的流体的流动。由此，流体经由第一连通路71Ab被导入第一压力室112。

另外，控制装置176切换电磁式方向控制阀168，经由第一给排口26向第一压力室112内供给流体。在经由第一给排口26向第一压力室112内供给流体的情况下，控制装置176切换电磁式方向控制阀134B，阻止第一连通路71Ab中的流体的流动。即，在该情况下，控制装置176关闭电磁式方向控制阀134B，阻止第一连通路71Ab中的流体的流动。由此，阻止流体经由第一连通路71Ab从第一压力室112向第二压力室114流动。

在本变形例中也是，在要驱动活塞组件14的力在从第一压力室112朝向第二压力室114的方向上作用时，关闭方向控制阀134。因此，在本变形例中，也能够防止流体的浪费。

[变形实施方式]

上述说明了本发明的优选的实施方式，但本发明不限于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围中，能够进行各种改变。

例如，也可以将第一实施方式和第二实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71A和第二连通路71B。

另外，也可以将第一实施方式和第三实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71A和第三连通路71C。

另外，也可以将第二实施方式和第三实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第二连通路71B和第三连通路71C。

另外，也可以将第一实施方式、第二实施方式和第三实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71A、第二连通路71B和第三连通路71C。

另外，也可以将第四实施方式和第二实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71Aa和第二连通路71B。另外，也可以将第四实施方式的变形例和第二实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71Ab和第二连通路71B。

另外，也可以将第四实施方式和第三实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71Aa和第三连通路71C。另外，也可以将第四实施方式的变形例和第三实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71Ab和第三连通路71C。

另外，也可以将第四实施方式、第二实施方式和第三实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71Aa、第二连通路71B和第三连通路71C。另外，也可以将第四实施方式的变形例、第二实施方式和第三实施方式组合。即，也可以在磁性吸盘10具备第一连通路71Ab、第二连通路71B和第三连通路71C。

若总结上述实施方式则如下。

磁性吸盘(10)具备：缸筒(12)，该缸筒具有吸附工件(W)的工件吸附面(12c)；活塞组件(14)，该活塞组件包含永磁体(42)，并且能够在所述缸筒的内部空间(25)内移动，将所述缸筒的所述内部空间分隔为第一压力室(112)和第二压力室(114)；第一给排口(26)，该第一给排口形成于所述缸筒，且与所述第一压力室连通；第二给排口(76)，该第二给排口形成于所述缸筒，且与所述第二压力室连通；以及连通路(71)，该连通路使所述第一压力室与所述第二压力室连通。根据这样的结构，形成有使第一压力室与第二压力室连通的连通路，因此流体在第一压力室内和第二压力室内持续流动。在活塞组件位于下止点的状态下，流体也在第一压力室内和第二压力室内持续流动。因此，在高温的工件被磁性吸盘吸附的情况下，也能够抑制对磁性吸盘的结构要素施加损伤。因此，根据这样的结构，能够提供耐热性良好的磁性吸盘。

也可以是，所述连通路包含第一连通路(71A、71Aa、71Ab)，所述第一连通路的至少一部分形成于所述缸筒的壁(12a)的内部，所述第一连通路与所述缸筒的所述内部空间独立地形成，所述第一连通路具有：与所述第一压力室连通的开口(79b)以及与所述第二压力室连通的开口(79a)。

也可以是，该磁性吸盘还具备减震器(98)，该减震器对使所述活塞组件在所述内部空间内移动时产生的冲击进行缓和，所述第一连通路经由形成于所述减震器的槽(98a)而与所述第一压力室连通。

也可以是，所述第一给排口经由形成于所述减震器的其他的槽(98a)而与所述第一压力室连通。

也可以是，该磁性吸盘还具备流量调整阀(72)，该流量调整阀用于调整在所述第一连通路中流动的流体的流量。根据这样的结构，能够适当地调整在第一连通路中流动的流体的流量。

也可以是，所述缸筒包含：包含所述工件吸附面的第一端部(12d)以及与所述第一端部相反的第二端部(12e)，在所述第二端部具备所述流量调整阀。根据这样的结构，能够充分地确保工件与流量调整阀之间的距离，因此能够充分地抑制对流量调整阀所具备的密封件等施加损伤。

也可以是，所述第一连通路包含连通孔(74a)，该连通孔具有与所述第二压力室连通的所述开口，所述连通孔的中心轴线与所述流量调整阀的中心轴线一致。

也可以是，在所述第一连通路(71Aa、71Ab)还具备方向控制阀(134)，该方向控制阀对流体流动的方向进行控制，所述第一压力室位于所述第二压力室与所述工件吸附面之间，在要驱动所述活塞组件的力在从所述第二压力室朝向所述第一压力室的方向上作用时，所述方向控制阀打开，在要驱动所述活塞组件的力在从所述第一压力室朝向所述第二压力室的方向上作用时，所述方向控制阀关闭。根据这样的结构，能够防止流体的浪费。

也可以是，所述方向控制阀为单向阀(134A)，所述单向阀允许所述流体从所述第二压力室经由所述第一连通路而朝向所述第一压力室流动，并且阻止所述流体从所述第一压力室经由所述第一连通路而朝向所述第二压力室流动。

也可以是，该磁性吸盘还具备流路块(122)，该流路块安装于所述缸筒的所述壁，所述第一连通路具有形成于所述流路块的内部的块内流路(124)，所述单向阀设置于所述流路块。

也可以是，使用中空螺栓(154)而将所述流路块安装于所述缸筒的所述壁，通过所述中空螺栓所具备的空洞(154b)而构成所述块内流路的一部分。根据这样的结构，能够有助于磁性吸盘的小型化等。

也可以是，所述方向控制阀为根据从控制装置供给的信号而进行切换的电磁式方向控制阀(134B)，在经由所述第二给排口向所述第二压力室内供给流体时，切换所述电磁式方向控制阀，以允许所述第一连通路中的所述流体的流动，在经由所述第一给排口向所述第一压力室内供给所述流体时，切换所述电磁式方向控制阀，以阻止所述第一连通路中的所述流体的流动。

也可以是，所述连通路包含第二连通路(71B)，该第二连通路由在所述缸筒的所述内部空间的壁面形成的槽(116)构成。

也可以是，所述连通路包含形成于所述活塞组件的第三连通路(71C)，所述第三连通路具有：与所述第一压力室连通的开口(83b)以及与所述第二压力室连通的开口(83a)。

也可以是，所述缸筒包含以所述缸筒的中心轴线(C)为基准彼此位于相反位置的第一侧部(12f)和第二侧部(12g)，所述第一给排口和所述第二给排口设置于所述第一侧部，所述连通路至少设置在所述第二侧部或者所述第二侧部与所述中心轴线之间。根据这样的结构，能够更有效地冷却磁性吸盘的结构要素，因此能够提供耐热性更良好的磁性吸盘。

Claims (15)

1.一种磁性吸盘(10)，其特征在于，具备：

缸筒(12)，该缸筒具有吸附工件(W)的工件吸附面(12c)；

活塞组件(14)，该活塞组件包含永磁体(42)，并且能够在所述缸筒的内部空间(25)内移动，将所述缸筒的所述内部空间分隔为第一压力室(112)和第二压力室(114)；

第一给排口(26)，该第一给排口形成于所述缸筒，且与所述第一压力室连通；

第二给排口(76)，该第二给排口形成于所述缸筒，且与所述第二压力室连通；以及

连通路(71)，该连通路使所述第一压力室与所述第二压力室连通。

2.根据权利要求1所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述连通路包含第一连通路(71A、71Aa、71Ab)，

所述第一连通路的至少一部分形成于所述缸筒的壁(12a)的内部，

所述第一连通路与所述缸筒的所述内部空间独立地形成，

所述第一连通路具有：与所述第一压力室连通的开口(79b)以及与所述第二压力室连通的开口(79a)。

3.根据权利要求2所述的磁性吸盘，其特征在于，

该磁性吸盘还具备减震器(98)，该减震器对使所述活塞组件在所述内部空间内移动时产生的冲击进行缓和，

所述第一连通路经由形成于所述减震器的槽(98a)而与所述第一压力室连通。

4.根据权利要求3所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述第一给排口经由形成于所述减震器的其他的槽(98a)而与所述第一压力室连通。

5.根据权利要求2所述的磁性吸盘，其特征在于，

该磁性吸盘还具备流量调整阀(72)，该流量调整阀用于调整在所述第一连通路中流动的流体的流量。

6.根据权利要求5所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述缸筒包含：包含所述工件吸附面的第一端部(12d)以及与所述第一端部相反的第二端部(12e)，

在所述第二端部具备所述流量调整阀。

7.根据权利要求6所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述第一连通路包含连通孔(74a)，该连通孔具有与所述第二压力室连通的所述开口，

所述连通孔的中心轴线与所述流量调整阀的中心轴线一致。

8.根据权利要求2所述的磁性吸盘，其特征在于，

在所述第一连通路(71Aa、71Ab)还具备方向控制阀(134)，该方向控制阀对流体流动的方向进行控制，

所述第一压力室位于所述第二压力室与所述工件吸附面之间，

在要驱动所述活塞组件的力在从所述第二压力室朝向所述第一压力室的方向上作用时，所述方向控制阀打开，

在要驱动所述活塞组件的力在从所述第一压力室朝向所述第二压力室的方向上作用时，所述方向控制阀关闭。

9.根据权利要求8所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述方向控制阀为单向阀(134A)，

所述单向阀允许所述流体从所述第二压力室经由所述第一连通路而朝向所述第一压力室流动，并且阻止所述流体从所述第一压力室经由所述第一连通路而朝向所述第二压力室流动。

10.根据权利要求9所述的磁性吸盘，其特征在于，

该磁性吸盘还具备流路块(122)，该流路块安装于所述缸筒的所述壁，

所述第一连通路具有形成于所述流路块的内部的块内流路(124)，

所述单向阀设置于所述流路块。

11.根据权利要求10所述的磁性吸盘，其特征在于，

使用中空螺栓(154)而将所述流路块安装于所述缸筒的所述壁，

通过所述中空螺栓所具备的空洞(154b)而构成所述块内流路的一部分。

12.根据权利要求8所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述方向控制阀为根据从控制装置供给的信号而进行切换的电磁式方向控制阀(134B)，

在经由所述第二给排口向所述第二压力室内供给流体时，切换所述电磁式方向控制阀，以允许所述第一连通路中的所述流体的流动，在经由所述第一给排口向所述第一压力室内供给所述流体时，切换所述电磁式方向控制阀，以阻止所述第一连通路中的所述流体的流动。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述连通路包含第二连通路(71B)，该第二连通路由在所述缸筒的所述内部空间的壁面形成的槽(116)构成。

14.根据权利要求1至12中任一项所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述连通路包含形成于所述活塞组件的第三连通路(71C)，

所述第三连通路具有：与所述第一压力室连通的开口(83b)以及与所述第二压力室连通的开口(83a)。

15.根据权利要求1至12中任一项所述的磁性吸盘，其特征在于，

所述缸筒包含以所述缸筒的中心轴线(C)为基准彼此位于相反位置的第一侧部(12f)和第二侧部(12g)，

所述第一给排口和所述第二给排口设置于所述第一侧部，

所述连通路至少设置在所述第二侧部或者所述第二侧部与所述中心轴线之间。

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