CN113984687B - 一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置及其分析方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于气体分析检测领域，尤其是一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置及其分析方法，针对现有的光谱分析检测装置在连续使用时，容易因装置内还残留有杂质，导致分析检测的机构不够准确，且光谱分析检测装置上的进气管在不使用时如不进行收纳则容易受到损毁的问题，现提出如下方案，其包括主壳体，所述主壳体的正面设置有显示屏，主壳体内设置有光谱分析仪主体，主壳体内开设有第一空腔和第二空腔，本发明中的进气管可以便捷的进行伸缩收纳，有效的达到对进气管进行防护的目的，且在进气管伸出的过程中可以将装置内的残留气体杂质等排出提升分析检测的准确性，且可以有效的避免高纯磷烷的浪费。
Description
技术领域
本发明涉及气体分析检测技术领域，尤其涉及一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置及其分析方法。
背景技术
在高纯特种电子气体家族中，砷烷和磷烷是技术门槛和开发难度最高的两个品种，也是IC、LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料，几十年来一直被海外技术封锁，国家从第六个“五年计划”就开始推进高纯磷烷和砷烷的国产化，但从合成到提纯各种环节难度较大，一般高纯磷烷和砷烷中的杂质需要通过光谱分析检测装置才能检测出来；
光谱分析检测装置在连续使用时，容易因装置内还残留有杂质，导致分析检测的机构不够准确，且光谱分析检测装置上的进气管在不使用时如不进行收纳则容易受到损毁。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中光谱分析检测装置在连续使用时，容易因装置内还残留有杂质，导致分析检测的机构不够准确，且光谱分析检测装置上的进气管在不使用时如不进行收纳则容易受到损毁的缺点，而提出的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，包括主壳体，所述主壳体的正面设置有显示屏，主壳体内设置有光谱分析仪主体，主壳体内开设有第一空腔和第二空腔，第一空腔内设置有伸缩进气管机构，第二空腔内设置有负压清洁机构，且第二空腔的底部内壁上固定安装有电机，电机与伸缩进气管机构和负压清洁机构相配合，第一空腔的顶部内壁上设置有阀门机构，阀门机构与伸缩进气管机构和负压清洁机构相配合，主壳体的一侧开设有通口，通口的两侧内壁上均设置有防护挡板，防护挡板与伸缩进气管机构相配合。
优选的，所述伸缩进气管机构包括固定安装于第一空腔内的限位滑杆，限位滑杆的外侧滑动套设有限位板，限位板上设置有连接管，连接管的一端连接有进气管，连接管的另一端连接有三通管，三通管的一端与光谱分析仪主体连接，三通管的另一端与阀门机构连接，通过限位滑杆可以对限位板水平移动的轨迹进行限定。
优选的，所述进气管内开设有两个滑杆槽，两个滑杆槽内均滑动安装有第一滑动杆，两个第一滑动杆的一端固定连接有同一个密封挡板，两个滑杆槽的一侧内壁上均连接有第一弹簧，两个第一弹簧的一端分别与两个第一滑动杆的另一端固定连接，限位板内开设有螺纹孔，螺纹孔内螺纹安装有螺纹杆，螺纹杆螺纹安装于第一空腔内，螺纹杆可以通过螺纹孔带动限位板位移。
优选的，所述电机的输出轴上焊接有旋转轴，旋转轴的一端固定连接有第一齿轮，第一空腔与第二空腔相互靠近的一侧开设有同一个旋转孔，旋转孔内转动安装有旋转杆，旋转杆的一端固定连接有第二齿轮，第二齿轮与第一齿轮相啮合，旋转杆的另一端固定连接有蜗杆，螺纹杆的外侧固定套设有蜗轮，蜗轮与蜗杆相啮合，蜗杆可以带动蜗轮转动并降低速率。
优选的，所述负压清洁机构包括安装于第二空腔内的负压壳体，负压壳体的一端连接有第一负压管，第一负压管的一端延伸至第一空腔内并与阀门机构连接，负压壳体的另一端连接有第二负压管，第二负压管的一端延伸至主壳体的外侧并连接有单向排气阀，负压壳体内转动安装有扇叶轴，扇叶轴的外侧固定套设有扇叶，扇叶轴可以带动扇叶转动。
优选的，所述扇叶轴的一端延伸至负压壳体的外侧并连接有小齿轮，小齿轮与第一齿轮相啮合，小齿轮上开设有旋转槽，旋转槽内转动安装有旋转轮，扇叶轴的一端与旋转轮固定连接，旋转槽的内壁上设置有棘齿圈，旋转轮的外侧对称设置有棘爪，棘爪与棘齿圈相配合，棘爪可以与棘齿圈嵌合或错位。
优选的，所述阀门机构包括阀门元件，阀门元件上开设有通孔，三通管的一端与通孔的一端接通，第一负压管与通孔的另一端接通，阀门元件上开设有与通孔相接通的滑板槽，滑板槽内滑动安装有密封分隔板，密封分隔板的一侧固定连接有第二滑动杆，第二滑动杆的一端延伸至阀门元件的外侧并固定连接有连接板，密封分隔板可以将通孔密封堵塞。
优选的，所述第二滑动杆的外侧套设有第二弹簧，第二弹簧的一端与阀门元件连接，第二弹簧的另一端与连接板连接，连接板上连接有两个钢丝绳，两个钢丝绳的一端均贯穿阀门元件并与限位板连接，第二弹簧可以带动第二滑动杆复位。
本发明还提出了一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的分析方法，包括以下步骤：
S1：首先启动电机，电机的输出轴带动旋转轴转动，旋转轴带动第一齿轮转动，第一齿轮此时可以同时带动第二齿轮和小齿轮转动，第二齿轮带动旋转杆转动，旋转杆带动蜗杆转动，蜗杆带动蜗轮转动并降低速率，蜗轮带动螺纹杆转动，螺纹杆通过螺纹孔带动限位板位移，限位板位移时可以通过连接管带动进气管位移，直至进气管抵开防护挡板并贯穿通口，使得进气管延伸至主壳体的外侧；
S2：在此过程中，第一齿轮还带动小齿轮转动并提升速率，小齿轮带动扇叶轴转动，扇叶轴带动扇叶转动，扇叶转动使得负压壳体内形成真空，从而使得三通管内残留的气体和杂质可以通过第一负压管、负压壳体、第二负压管和单向排气阀排出，避免其影响后续分析检测的数据；
S3：当限位板在位移的过程中会逐步的使得两个钢丝绳紧绷，直至钢丝绳拉动连接板，使得连接板通过第二滑动杆带动密封分隔板位移并使得第二弹簧形变，直至密封分隔板将阀门元件上的通孔堵塞起来，从而使得在三通管通入高纯磷烷气体时，不会使得气体进入到负压壳体内，导致高纯磷烷的浪费；
S4：最后将高纯磷烷的输入管延伸到进气管内，并使得输入管挤压密封挡板并使得密封挡板位移，密封挡板位移时可以带动第一滑动杆位移并使得第一弹簧形变，此时可以通过光谱分析仪主体对高纯磷烷中的杂质进行分析检测。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本方案通过第一齿轮与第二齿轮相配合，蜗杆与蜗轮相配合，螺纹杆通过螺纹孔与限位板相配合，使得进气管可以便捷的进行伸缩收纳，有效的达到对进气管进行防护的目的；
2、本方案通过第一齿轮与小齿轮相配合，棘爪与棘齿圈相配合，扇叶轴与扇叶相配合，使得小齿轮只能单向带动扇叶轴转动，且在进气管进行伸出时，此时扇叶转动使得负压壳体内形成真空，从而将三通管内的残留气体和杂质等通过单向排气阀排出，有效的提升装置分析检测的准确性；
3、本方案通过限位板和钢丝绳与连接板相配合，密封分隔板与通孔相配合，使得进气管完全伸出后，此时阀门元件被堵塞，有效的避免装置在使用时导致高纯磷烷的浪费；
本发明中的进气管可以便捷的进行伸缩收纳，有效的达到对进气管进行防护的目的，且在进气管伸出的过程中可以将装置内的残留气体杂质等排出提升分析检测的准确性，且可以有效的避免高纯磷烷的浪费。
附图说明
图1为本发明提出的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的立体结构示意图；
图2为本发明提出的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的剖面结构示意图；
图3为本发明提出的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的阀门元件结构示意图；
图4为本发明提出的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的图2中A处放大结构示意图；
图5为本发明提出的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的图2中B处放大结构示意图；
图6为本发明提出的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的图2中C处放大结构示意图；
图7为本发明提出的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的小齿轮结构示意图。
图中：1主壳体、2显示屏、3光谱分析仪主体、4第一空腔、5第二空腔、6电机、7通口、8防护挡板、9限位滑杆、10限位板、11连接管、12进气管、13三通管、14第一滑动杆、15密封挡板、16第一弹簧、17螺纹杆、18旋转轴、19第一齿轮、20旋转杆、21第二齿轮、22蜗杆、23蜗轮、24负压壳体、25第一负压管、26第二负压管、27单向排气阀、28扇叶轴、29扇叶、30小齿轮、31旋转轮、32棘齿圈、33棘爪、34阀门元件、35通孔、36密封分隔板、37第二滑动杆、38连接板、39第二弹簧、40钢丝绳。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
参照图1-7，一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，包括主壳体1，主壳体1的正面设置有显示屏2，主壳体1内设置有光谱分析仪主体3，主壳体1内开设有第一空腔4和第二空腔5，第一空腔4内设置有伸缩进气管机构，第二空腔5内设置有负压清洁机构，且第二空腔5的底部内壁上通过螺栓固定安装有电机6，电机6与伸缩进气管机构和负压清洁机构相配合，第一空腔4的顶部内壁上设置有阀门机构，阀门机构与伸缩进气管机构和负压清洁机构相配合，主壳体1的一侧开设有通口7，通口7的两侧内壁上均设置有防护挡板8，防护挡板8与伸缩进气管机构相配合。
本实施例中，伸缩进气管机构包括固定安装于第一空腔4内的限位滑杆9，限位滑杆9的外侧滑动套设有限位板10，限位板10上设置有连接管11，连接管11的一端连接有进气管12，连接管11的另一端连接有三通管13，三通管13的一端与光谱分析仪主体3连接，三通管13的另一端与阀门机构连接，通过限位滑杆9可以对限位板10水平移动的轨迹进行限定。
本实施例中，进气管12内开设有两个滑杆槽，两个滑杆槽内均滑动安装有第一滑动杆14，两个第一滑动杆14的一端通过焊接固定连接有同一个密封挡板15，两个滑杆槽的一侧内壁上均连接有第一弹簧16，两个第一弹簧16的一端分别与两个第一滑动杆14的另一端通过焊接固定连接，限位板10内开设有螺纹孔，螺纹孔内螺纹安装有螺纹杆17，螺纹杆17螺纹安装于第一空腔4内，螺纹杆17可以通过螺纹孔带动限位板10位移。
本实施例中，电机6的输出轴上焊接有旋转轴18，旋转轴18的一端通过焊接固定连接有第一齿轮19，第一空腔4与第二空腔5相互靠近的一侧开设有同一个旋转孔，旋转孔内转动安装有旋转杆20，旋转杆20的一端通过焊接固定连接有第二齿轮21，第二齿轮21与第一齿轮19相啮合，旋转杆20的另一端固定连接有蜗杆22，螺纹杆17的外侧通过焊接固定套设有蜗轮23，蜗轮23与蜗杆22相啮合，蜗杆22可以带动蜗轮23转动并降低速率。
本实施例中，负压清洁机构包括安装于第二空腔5内的负压壳体24，负压壳体24的一端连接有第一负压管25，第一负压管25的一端延伸至第一空腔4内并与阀门机构连接，负压壳体24的另一端连接有第二负压管26，第二负压管26的一端延伸至主壳体1的外侧并连接有单向排气阀27，负压壳体24内转动安装有扇叶轴28，扇叶轴28的外侧通过焊接固定套设有扇叶29，扇叶轴28可以带动扇叶29转动。
本实施例中，扇叶轴28的一端延伸至负压壳体24的外侧并连接有小齿轮30，小齿轮30与第一齿轮19相啮合，小齿轮30上开设有旋转槽，旋转槽内转动安装有旋转轮31，扇叶轴28的一端与旋转轮31通过焊接固定连接，旋转槽的内壁上设置有棘齿圈32，旋转轮31的外侧对称设置有棘爪33，棘爪33与棘齿圈32相配合，棘爪33可以与棘齿圈32嵌合或错位。
本实施例中，阀门机构包括阀门元件34，阀门元件34上开设有通孔35，三通管13的一端与通孔35的一端接通，第一负压管25与通孔35的另一端接通，阀门元件34上开设有与通孔35相接通的滑板槽，滑板槽内滑动安装有密封分隔板36，密封分隔板36的一侧通过焊接固定连接有第二滑动杆37，第二滑动杆37的一端延伸至阀门元件34的外侧并通过焊接固定连接有连接板38，密封分隔板36可以将通孔35密封堵塞。
本实施例中，第二滑动杆37的外侧套设有第二弹簧39，第二弹簧39的一端与阀门元件34连接，第二弹簧39的另一端与连接板38连接，连接板38上连接有两个钢丝绳40，两个钢丝绳40的一端均贯穿阀门元件34并与限位板10连接，第二弹簧39可以带动第二滑动杆37复位。
本实施例还提出了一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的分析方法，包括以下步骤：
S1：首先启动电机6，电机6的输出轴带动旋转轴18转动，旋转轴18带动第一齿轮19转动，第一齿轮19此时可以同时带动第二齿轮21和小齿轮30转动，第二齿轮21带动旋转杆20转动，旋转杆20带动蜗杆22转动，蜗杆22带动蜗轮23转动并降低速率，蜗轮23带动螺纹杆17转动，螺纹杆17通过螺纹孔带动限位板10位移，限位板10位移时可以通过连接管11带动进气管12位移，直至进气管12抵开防护挡板8并贯穿通口7，使得进气管12延伸至主壳体1的外侧；
S2：在此过程中，第一齿轮19还带动小齿轮30转动并提升速率，小齿轮30带动扇叶轴28转动，扇叶轴28带动扇叶29转动，扇叶29转动使得负压壳体24内形成真空，从而使得三通管13内残留的气体和杂质等可以通过第一负压管25、负压壳体24、第二负压管26和单向排气阀27排出，避免其影响后续分析检测的数据；
S3：当限位板10在位移的过程中会逐步的使得两个钢丝绳40紧绷，直至钢丝绳40拉动连接板38，使得连接板38通过第二滑动杆37带动密封分隔板36位移并使得第二弹簧39形变，直至密封分隔板36将阀门元件34上的通孔35堵塞起来，从而使得在三通管13通入高纯磷烷气体时，不会使得气体进入到负压壳体24内，导致高纯磷烷的浪费；
S4：最后将高纯磷烷的输入管延伸到进气管12内，并使得输入管挤压密封挡板15并使得密封挡板15位移，密封挡板15位移时可以带动第一滑动杆14位移并使得第一弹簧16形变，此时可以通过光谱分析仪主体3对高纯磷烷中的杂质进行分析检测。
实施例二
与实施例一的区别在于：旋转杆20的另一端固定连接有小锥齿轮，螺纹杆17的外侧固定套设有大锥齿轮，小锥齿轮与大锥齿轮相啮合。
本实施例还提出了一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的分析方法，包括以下步骤：
S1：首先启动电机6，电机6的输出轴带动旋转轴18转动，旋转轴18带动第一齿轮19转动，第一齿轮19此时可以同时带动第二齿轮21和小齿轮30转动，第二齿轮21带动旋转杆20转动，旋转杆20带动小锥齿轮转动，小锥齿轮带动大锥齿轮转动并降低速率，大锥齿轮带动螺纹杆17转动，螺纹杆17通过螺纹孔带动限位板10位移，限位板10位移时可以通过连接管11带动进气管12位移，直至进气管12抵开防护挡板8并贯穿通口7，使得进气管12延伸至主壳体1的外侧；
S2：在此过程中，第一齿轮19还带动小齿轮30转动并提升速率，小齿轮30带动扇叶轴28转动，扇叶轴28带动扇叶29转动，扇叶29转动使得负压壳体24内形成真空，从而使得三通管13内残留的气体和杂质等可以通过第一负压管25、负压壳体24、第二负压管26和单向排气阀27排出，避免其影响后续分析检测的数据；
S3：当限位板10在位移的过程中会逐步的使得两个钢丝绳40紧绷，直至钢丝绳40拉动连接板38，使得连接板38通过第二滑动杆37带动密封分隔板36位移并使得第二弹簧39形变，直至密封分隔板36将阀门元件34上的通孔35堵塞起来，从而使得在三通管13通入高纯磷烷气体时，不会使得气体进入到负压壳体24内，导致高纯磷烷的浪费；
S4：最后将高纯磷烷的输入管延伸到进气管12内，并使得输入管挤压密封挡板15并使得密封挡板15位移，密封挡板15位移时可以带动第一滑动杆14位移并使得第一弹簧16形变，此时可以通过光谱分析仪主体3对高纯磷烷中的杂质进行分析检测。
其余与实施例一相同。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，包括主壳体(1)，其特征在于，所述主壳体(1)的正面设置有显示屏(2)，主壳体(1)内设置有光谱分析仪主体(3)，主壳体(1)内开设有第一空腔(4)和第二空腔(5)，第一空腔(4)内设置有伸缩进气管机构，第二空腔(5)内设置有负压清洁机构，且第二空腔(5)的底部内壁上固定安装有电机(6)，电机(6)与伸缩进气管机构和负压清洁机构相配合，第一空腔(4)的顶部内壁上设置有阀门机构，阀门机构与伸缩进气管机构和负压清洁机构相配合，主壳体(1)的一侧开设有通口(7)，通口(7)的两侧内壁上均设置有防护挡板(8)，防护挡板(8)与伸缩进气管机构相配合。
2.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，其特征在于，所述伸缩进气管机构包括固定安装于第一空腔(4)内的限位滑杆(9)，限位滑杆(9)的外侧滑动套设有限位板(10)，限位板(10)上设置有连接管(11)，连接管(11)的一端连接有进气管(12)，连接管(11)的另一端连接有三通管(13)，三通管(13)的一端与光谱分析仪主体(3)连接，三通管(13)的另一端与阀门机构连接。
3.根据权利要求2所述的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，其特征在于，所述进气管(12)内开设有两个滑杆槽，两个滑杆槽内均滑动安装有第一滑动杆(14)，两个第一滑动杆(14)的一端固定连接有同一个密封挡板(15)，两个滑杆槽的一侧内壁上均连接有第一弹簧(16)，两个第一弹簧(16)的一端分别与两个第一滑动杆(14)的另一端固定连接，限位板(10)内开设有螺纹孔，螺纹孔内螺纹安装有螺纹杆(17)，螺纹杆(17)螺纹安装于第一空腔(4)内。
4.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，其特征在于，所述电机(6)的输出轴上焊接有旋转轴(18)，旋转轴(18)的一端固定连接有第一齿轮(19)，第一空腔(4)与第二空腔(5)相互靠近的一侧开设有同一个旋转孔，旋转孔内转动安装有旋转杆(20)，旋转杆(20)的一端固定连接有第二齿轮(21)，第二齿轮(21)与第一齿轮(19)相啮合。
5.根据权利要求4所述的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，其特征在于，所述旋转杆(20)的另一端固定连接有蜗杆(22)，螺纹杆(17)的外侧固定套设有蜗轮(23)，蜗轮(23)与蜗杆(22)相啮合。
6.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，其特征在于，所述负压清洁机构包括安装于第二空腔(5)内的负压壳体(24)，负压壳体(24)的一端连接有第一负压管(25)，第一负压管(25)的一端延伸至第一空腔(4)内并与阀门机构连接，负压壳体(24)的另一端连接有第二负压管(26)，第二负压管(26)的一端延伸至主壳体(1)的外侧并连接有单向排气阀(27)，负压壳体(24)内转动安装有扇叶轴(28)，扇叶轴(28)的外侧固定套设有扇叶(29)。
7.根据权利要求6所述的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，其特征在于，所述扇叶轴(28)的一端延伸至负压壳体(24)的外侧并连接有小齿轮(30)，小齿轮(30)与第一齿轮(19)相啮合，小齿轮(30)上开设有旋转槽，旋转槽内转动安装有旋转轮(31)，扇叶轴(28)的一端与旋转轮(31)固定连接，旋转槽的内壁上设置有棘齿圈(32)，旋转轮(31)的外侧对称设置有棘爪(33)，棘爪(33)与棘齿圈(32)相配合。
8.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，其特征在于，所述阀门机构包括阀门元件(34)，阀门元件(34)上开设有通孔(35)，三通管(13)的一端与通孔(35)的一端接通，第一负压管(25)与通孔(35)的另一端接通，阀门元件(34)上开设有与通孔(35)相接通的滑板槽，滑板槽内滑动安装有密封分隔板(36)，密封分隔板(36)的一侧固定连接有第二滑动杆(37)，第二滑动杆(37)的一端延伸至阀门元件(34)的外侧并固定连接有连接板(38)。
9.根据权利要求8所述的一种高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置，其特征在于，所述第二滑动杆(37)的外侧套设有第二弹簧(39)，第二弹簧(39)的一端与阀门元件(34)连接，第二弹簧(39)的另一端与连接板(38)连接，连接板(38)上连接有两个钢丝绳(40)，两个钢丝绳(40)的一端均贯穿阀门元件(34)并与限位板(10)连接。
10.一种基于权利要求1-9任一项所述的高纯磷烷中杂质的光谱分析检测装置的分析方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：首先启动电机(6)，电机(6)的输出轴带动旋转轴(18)转动，旋转轴(18)带动第一齿轮(19)转动，第一齿轮(19)此时可以同时带动第二齿轮(21)和小齿轮(30)转动，第二齿轮(21)带动旋转杆(20)转动，旋转杆(20)带动蜗杆(22)转动，蜗杆(22)带动蜗轮(23)转动并降低速率，蜗轮(23)带动螺纹杆(17)转动，螺纹杆(17)通过螺纹孔带动限位板(10)位移，限位板(10)位移时可以通过连接管(11)带动进气管(12)位移，直至进气管(12)抵开防护挡板(8)并贯穿通口(7)，使得进气管(12)延伸至主壳体(1)的外侧；
S2：在此过程中，第一齿轮(19)还带动小齿轮(30)转动并提升速率，小齿轮(30)带动扇叶轴(28)转动，扇叶轴(28)带动扇叶(29)转动，扇叶(29)转动使得负压壳体(24)内形成真空，从而使得三通管(13)内残留的气体和杂质可以通过第一负压管(25)、负压壳体(24)、第二负压管(26)和单向排气阀(27)排出，避免其影响后续分析检测的数据；
S3：当限位板(10)在位移的过程中会逐步的使得两个钢丝绳(40)紧绷，直至钢丝绳(40)拉动连接板(38)，使得连接板(38)通过第二滑动杆(37)带动密封分隔板(36)位移并使得第二弹簧(39)形变，直至密封分隔板(36)将阀门元件(34)上的通孔(35)堵塞起来，从而使得在三通管(13)通入高纯磷烷气体时，不会使得气体进入到负压壳体(24)内，导致高纯磷烷的浪费；
S4：最后将高纯磷烷的输入管延伸到进气管(12)内，并使得输入管挤压密封挡板(15)并使得密封挡板(15)位移，密封挡板(15)位移时可以带动第一滑动杆(14)位移并使得第一弹簧(16)形变，此时可以通过光谱分析仪主体(3)对高纯磷烷中的杂质进行分析检测。
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2021
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