CN113877228A - 一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统，包括精馏提纯单元和尾气处理单元，尾气处理单元用于将从精馏提纯单元中排出的尾气中的六氟化硫气体回收，包括六氟化硫循环回收气路和废气排出管路；六氟化硫循环回收气路上串设有膜分离器和六氟化硫回收罐，膜分离器具有供尾气进入的膜分离器进气口、供六氟化硫气体通过的膜分离器第一出口、供废气通过的膜分离器第二出口，六氟化硫回收罐具有与膜分离器进气口连接的回收罐第一出口和与气体入口连接的回收罐第二出口，以实现将回收的六氟化硫返回至气体入口并进行再次精馏提纯。本发明通过对从精馏提纯单元中排出的尾气进行循环处理，将回收的六氟化硫重新精馏提纯，进而提高六氟化硫回收利用率。

Description

一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统

技术领域

本发明涉及一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统，属于六氟化硫气体回收技术领域。

背景技术

我国高度重视节能减排，并制定了节能减排目标，承诺到2060年前实现碳中和的目标，其中SF₆的泄露和排放也是关注的重点之一。SF₆气体的回收及净化处理，推动了SF₆气体的循环再利用，能够有效减少SF₆气体的排放，抑制全球温度上升，对于解决当下全球环境危机具有重大意义。目前，现有的气体净化系统所获得的SF₆气体质量仅能达到GB/T12022-2006《工业六氟化硫》要求，对于回收气体（即从电力设备中回收过来的六氟化硫混合气体）中C₂F₆或C₃F₈气体组分无法净化去除，不能满足GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》的气体质量要求。

为了提高气体净化纯度，公布号为CN109224758A的发明专利申请就公开了一种六氟化硫气体回收净化设备，该净化设备利用两级精馏塔来对六氟化硫气体进行提纯，以满足GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》的气体质量要求。

上述六氟化硫气体回收净化设备，由于精馏塔并无法完全回收六氟化硫气体，从精馏塔中排出的气体中仍含有一定量的六氟化硫气体，将这部分气体直接从尾气处理器排出后，会造成部分六氟化硫气体浪费，六氟化硫气体回收利用率低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统，用以解决现有技术中六氟化硫气体回收利用率低的问题。

本发明采用如下技术方案：

一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统，包括：

气体入口，供原料气体进入；

精馏提纯单元，用于从原料气体中分离出六氟化硫，具有用于向外排出尾气的尾气出口；

尾气处理单元，用于将从精馏提纯单元中排出的尾气中的六氟化硫气体回收，包括与尾气出口连接的六氟化硫循环回收气路和用于排出废气的废气排出管路；六氟化硫循环回收气路上串设有膜分离器和六氟化硫回收罐，膜分离器包括过滤废气并供六氟化硫气体通过的渗透膜，膜分离器具有供尾气进入的膜分离器进气口、供六氟化硫气体通过的膜分离器第一出口、供废气通过的膜分离器第二出口，膜分离器第一出口与六氟化硫回收罐的进气口连接，膜分离器第二出口与废气排出管路连接；六氟化硫回收罐具有回收罐第一出口和回收罐第二出口，回收罐第一出口与膜分离器进气口连接，以实现对六氟化硫回收罐内的气体进行循环过滤，回收罐第二出口与气体入口连接，以实现将回收的六氟化硫返回至气体入口并进行再次精馏提纯。

有益效果是：本发明中的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，通过在精馏提纯单元的尾气出口连接尾气处理单元，尾气处理单元对从精馏提纯单元中排出的尾气进行循环回收处理，进而将从精馏提纯单元排出的尾气中的六氟化硫气体分离并回收至六氟化硫回收罐内，然后再从六氟化硫回收罐内返回至气体入口进行再次精馏提纯，进而提高六氟化硫气体的利用率。

进一步地，为了提高回收效率，只有在六氟化硫回收罐内回收的六氟化硫浓度达到一定值时才会将六氟化硫回收罐与气体入口连通。六氟化硫回收罐的进气口和回收罐第二出口位于六氟化硫回收罐的底部或者靠近底部的位置处，回收罐第一出口位于六氟化硫回收罐的顶部或者靠近顶部的位置处，六氟化硫回收罐上设有用于检测六氟化硫回收罐内液位高度的液位传感器，回收罐第二出口与气体入口之间设有回收罐排液阀，所述回收罐排液阀在六氟化硫回收罐内的液位高度超过回收罐第二出口高度且达到设定高度阈值时打开，以将六氟化硫回收罐内回收的六氟化硫排放至气体入口。

进一步地，为了防止六氟化硫循环回收气路中的气体压力达到上限值时发生漏气，废气排出管路包括精馏提纯单元连接支路和膜分离器连接支路，精馏提纯单元连接支路上设有尾气排放阀，膜分离器连接支路上设有膜分离器单向阀。

进一步地，为了保证通过膜分离器的气体压力和温度满足膜分离器的所需条件，六氟化硫循环回收气路的靠近膜分离器进气口的位置依次串接有减压器和加热器，六氟化硫循环回收气路的靠近膜分离器第一出口的位置串接有膜分离器背压阀。

进一步地，为了保证六氟化硫循环回收气路中的气体快速循环流动，六氟化硫循环回收气路于膜分离器与六氟化硫回收罐之间连接有尾气回收压缩机和尾气回收压缩机单向阀。

进一步地，为了保证精馏提纯的精度，所述精馏提纯单元包括至少两级精馏塔，前一级的精馏塔的塔底通过塔间连通管路与下一级的精馏塔的中部连通，塔间连通管路上设有塔间截止阀，各级精馏塔顶部的出口构成尾气出口。

进一步地，为了方便储存六氟化硫和方便将六氟化硫灌瓶，六氟化硫回收气体精馏提纯系统包括储液单元，储液单元包括储液罐和与储液罐连接的灌瓶管路，储液罐与最后一级精馏塔通过进液管路连接，进液管路上连接有进液阀。

进一步地，为了提高灌瓶效率，灌瓶管路上设有储液罐压力传感器、注液泵、注液泵前端电磁阀、注液泵排液单向阀。

进一步地，为了向原料气体提供动力，并去除进入精馏提纯单元中的原料气体中的杂质，六氟化硫回收气体精馏提纯系统包括位于精馏提纯单元与气体入口之间的气化加压单元和分解产物和水分处理单元，所述气化加压单元包括气化罐、压缩机、压缩机缓冲罐、增压泵，分解产物和水分处理单元包括吸附塔组件和吸附单元缓冲罐。

进一步地， 为了避免六氟化硫回收气体精馏提纯系统的管路中残留的气体污染，六氟化硫回收气体精馏提纯系统包括抽真空单元，抽真空单元分别与气体入口、尾气处理单元连接，六氟化硫回收罐的回收罐第二出口通过抽真空单元的管路与气体入口连接。

附图说明

图1是本发明一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统实施例1的原理图；

图中：1、气体入口；2、第一粉尘过滤器；3、回流气阀；4、加压单元进气阀；5、气化罐压力传感器；6、气化罐；7、气化罐安全阀；8、增压泵进气阀；9、压缩机减压器；10、增压泵；11、质量流量控制器；12、增压泵排气阀；13、压缩机缓冲罐安全阀；14、压缩机缓冲罐；15、加压单元压缩机；16、压缩机后端安全阀；17、压缩机排气压力传感器；18、压缩机排气阀；19、吸附塔进气阀；20、第一吸附塔；21、第二吸附塔；22、第三吸附塔；23、第四吸附塔；24、第二粉尘过滤器；25、吸附单元背压阀；26、吸附单元缓冲罐；27、吸附单元缓冲罐压力传感器；28、吸附单元缓冲罐安全阀；29、第三抽真空截止阀；30、提纯单元减压器；31、提纯单元进气阀；32、精馏塔压力传感器；33、精馏塔加热机组；34、一级精馏塔；35、一级精馏塔背压阀；36、塔间截止阀；37、二级精馏塔；38、二级精馏塔背压阀；39、精馏塔制冷机组；40、储液罐安全阀；41、储液罐；42、进液阀；43、储液罐液位传感器；44、储液罐压力传感器；45、注液泵前端电磁阀；46、注液泵；47、注液泵后端安全阀；48、脉冲阻尼器；49、注液泵后端背压阀；50、注液泵后端压力传感器；51、注液泵排液电磁阀；52、注液泵排液单向阀；53、灌瓶口；54、精馏塔尾气排气阀；55、尾气减压器；56、尾气加热器；57、膜分离器；58、尾气排放阀；59、膜分离器单向阀；60、膜分离器背压阀；61、六氟化硫回收罐针阀；62、尾气回收压缩机；63、尾气回收压缩机单向阀；64、六氟化硫回收罐；65、六氟化硫回收罐压力传感器；66、尾气排放阀；69、第一抽真空截止阀；67、碱液箱；68、排气口；70、抽真空口；71、电阻真空计；72、真空泵阀；73、真空阀；74、真空泵；75、第二抽真空截止阀。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明了，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明，即所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，可能出现的术语如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何实际的关系或者顺序。而且，术语如“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”等限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以下结合实施例对本发明的特征和性能作进一步的详细描述。

本发明一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统的具体实施例1：如图1所示，该六氟化硫气体精馏提纯系统包括顺次布置的气化加压单元、分解产物和水分处理单元、精馏提纯单元和储液单元，还包括与精馏提纯单元的尾气出口连接的尾气处理单元，以及分别与气化加压单元、分节产物和水分处理单元、尾气处理单元连接的抽真空单元，另外，六氟化硫回收气体精馏提纯系统还包括供原料气体进入的气体入口1、用于在六氟化硫回收气体精馏提纯系统工作前进行抽真空的抽真空口70，以及将回收到的六氟化硫装瓶的灌瓶口53，接下来，按照原料气体的流动路线分别来介绍整个系统的各个单元。

关于气化加压单元，原料气体从气体入口1进入后，首先进入到气化加压单元内，气化加压单元用于对原料气体加压，进而保证原料气体在系统内流动的动力。气化加压单元包括依次连接的第一粉尘过滤器2、气化罐6、压缩机减压器9、质量流量控制器11、压缩机缓冲罐14和压缩机，还包括与压缩机减压器9、质量流量控制器11并联设置的增压泵10，增压泵10的进气端通过增压泵10进气管连接在气化罐6与压缩机减压器9之间，出气端通过增压泵10出气管连接在质量流量控制器11与压缩机缓冲罐14之间，增压泵10进气管上设有增压泵进气阀8，增压泵10出气管上设有增压泵排气阀12。

第一粉尘过滤器2与气化罐6之间设有加压单元进气阀4和气化罐压力传感器5，气化罐压力传感器5气化罐压力传感器5用于检测气化罐6内的气体压力，并与控制器连接以将检测到的压力信号传递给控制器，当气体压力达到设定值时，控制器控制加压单元进气阀4关闭。另外，为了保证气化罐6的安全，气化罐6的顶部连接有气化罐安全阀7。

为了保障气路安全，气化加压单元还包括压力采集装置和安全防护装置，具体地，压力采集装置和安全防护装置分别为压缩机后端安全阀16和压缩机排气压力传感器17，压缩机排气压力传感器17与控制器连接，当检测到的压力信号达到设定阈值时，控制器控制压缩机停机，以保证气路安全。

关于分解产物和水分处理单元，包括依次设置的吸附塔组件、第二粉尘过滤器24和吸附单元缓冲罐26，分解产物和水分处理单元用于吸附原料气体中的水分以及在气化加压单元中产生的分解产物，吸附塔组件与气化加压单元之间设置有吸附单元进气阀。本实施例中，吸附塔组件包括两组吸附塔，每组中设置有两个吸附塔，同一组内的两个吸附塔的顶部通过气管连接，两组中相互靠近的两个吸附塔的中部通过气管连接，吸附塔内设有吸附剂。

吸附单元缓冲罐26与第二粉尘过滤器24设有吸附单元背压阀25，为了保障气路安全，分解产物和水分处理单元还包括吸附单元缓冲罐压力传感器27和吸附单元缓冲罐安全阀28，吸附单元缓冲罐压力传感器27与控制器连接，当吸附单元缓冲罐26内压力达到设定阈值时，控制器控制所述吸附单元进气阀关闭。

关于精馏提纯单元，连接在分解产物和水分处理单元的下游，精馏提纯单元用于将原料气体中的不同组分进行分离。所述精馏提纯单元包括精馏塔，精馏塔包括位于底部的塔釜和位于上方的塔顶，塔釜连接精馏塔加热机组33，塔顶连接精馏塔制冷机组39，精馏塔的中部设有填料，精馏塔还设有精馏塔压力传感器32，精馏塔的具体结构以及精馏提纯技术属于现有成熟技术，这里不再详细说明。

本实施例中，精馏塔有两级，分别为一级精馏塔34和二级精馏塔37，两级精馏塔并排布置且串联连接，其中，一级精馏塔34的进气口通过提纯单元进气阀31、提纯单元减压器30与分解产物和水分处理单元连接，一级精馏塔34的底部通过塔间连通管路与二级精馏塔37的中部连通，塔间连通管路上设有塔间截止阀36。一级精馏塔34和二级精馏塔37的顶端分别通过一级精馏塔背压阀35、二级精馏塔背压阀38与尾气处理单元连接，一级精馏塔34和二级精馏塔37顶端的出口构成用于向外排出尾气的尾气出口。

精馏提纯单元的工作过程是：当原料气体进入一级精馏塔34，在一级精馏塔34间歇精馏，轻组分AIR、C₂F₆、CF₄在塔顶富集，AIR、C₂F₆、CF₄、SF₆进入一级精馏塔34的冷凝器后，大部分SF₆冷凝为液体回流到一级精馏塔34的塔釜， AIR、C₂F₆、CF₄以及少量的SF₆在一级精馏塔34顶部富集后背压排空进入尾气处理单元。重组分C₃F₈、SF₆在一级精馏塔34的塔釜富集后进入二级精馏塔37，在二级精馏塔37间歇精馏。在二级精馏塔37的塔底部富集得到C₃F₈，在二级精馏塔37的塔顶进一步富集SF₆，SF₆气体进入二级精馏塔37的冷凝器后，大部分的SF₆会在冷凝器的底部形成SF₆液体，并通过储液管道进入储液单元的储液罐41中，而还有一部分SF₆富集在冷凝器顶部，这部分SF₆气体背压排空进入尾气处理单元中。

关于尾气处理单元，由于两级精馏塔顶部排出的尾气中仍然会含有一部分SF₆气体，所述的尾气处理单元会对这部分气体循环回收处理，进而将回收的SF₆重新返回到气体入口1，然后进行循环精馏提纯处理，以此来提高SF₆的回收利用率。所述的尾气处理单元包括与尾气出口连接的六氟化硫循环回收气路和用于排出废气的废气排出管路，六氟化硫循环回收气路与精馏提纯单元之间设有精馏塔尾气排气阀54，精馏塔尾气排气阀54为单向电磁阀。

六氟化硫循环回收气路上依次串设有尾气减压器55、尾气加热器56、膜分离器57、膜分离器背压阀60、尾气回收压缩机62、尾气回收压缩机单向阀63、六氟化硫回收罐64、六氟化硫回收罐64截止阀、六氟化硫回收罐针阀61。其中，膜分离器57包括过滤废气并供六氟化硫气体通过的渗透膜，膜分离器57具有供尾气进入的膜分离器57进气口、供六氟化硫气体通过的膜分离器第一出口、供废气通过的膜分离器第二出口，膜分离器第一出口与六氟化硫回收罐64的进气口连接，膜分离器第二出口与废气排出管路连接，膜分离器第二出口与废气排出管路之间设有膜分离器单向阀59。

六氟化硫回收罐64具有回收罐第一出口和回收罐第二出口，回收罐第一出口与膜分离器57进气口连接，以实现对六氟化硫回收罐64内的气体返回至膜分离器57进行循环分离过滤，回收罐第二出口与气体入口1连接，以实现将回收的六氟化硫返回至气体入口1并进行再次精馏提纯。本实施例中，回收罐第二出口与抽真空单元的管路连接，利用抽真空单元与气体入口1实现连接。回收罐的进气口和回收罐第二出口位于六氟化硫回收罐64的底部，回收罐第一出口位于六氟化硫回收罐64的顶部，回收罐第二出口处设置六氟化硫回收罐压力传感器65和回收罐排液阀，六氟化硫回收罐64的顶部设置有回收罐安全阀。同时，六氟化硫回收罐64还设有液位传感器，液位传感器用于检测六氟化硫回收罐64内的液位高度，当液位高度超过回收罐第二出口的高度且达到设定高度阈值后，控制器控制回收罐排液阀打开，以将六氟化硫回收罐64内回收的六氟化硫排放至气体入口1。本发明通过设置六氟化硫回收罐64，使得回收分离出的六氟化硫达到一定浓度后才会被送入气体入口1进行二次精馏提纯，减少因回收的六氟化硫浓度低而降低后续原料气体精馏提纯的效率。

废气排出管路包括精馏提纯单元连接支路和膜分离器57连接支路，精馏提纯单元连接支路上设有尾气排放阀66，膜分离器单向阀59设置在膜分离器57连接支路上。当六氟化硫回收罐64内的气压达到一定程度时，控制器打开尾气排放阀66，从精馏塔中排出的尾气可以直接通过废气排放管路排出，为了避免继续向六氟化硫循环回收气路中继续排气，防止回收罐安全阀向外泄压。废气排出管路上设有碱液箱67，废气排出管路的末端即为供废气排出的排气口68。

关于储液单元，包括储液罐41以及与储液罐41连接的灌瓶管路，储液罐41与二级精馏塔37通过进液管路连接，进液管路上连接有进液阀42，储液罐41顶部设置有储液罐安全阀40。灌瓶管路上依次设有储液罐压力传感器44、注液泵前端电磁阀45、注液泵46、注液泵后端安全阀47、脉冲阻尼器48、注液泵后端背压阀49、注液泵后端压力传感器50、注液泵排液电磁阀51、注液泵排液单向阀52，灌瓶管路的末端即为用于将储液罐41中的六氟化硫进行装瓶的灌瓶口53。

所述的抽真空单元包括与抽真空口70连接的抽真空外围管路和真空泵74管路，抽真空外围管路与系统的各单元连接，抽真空外围管路上设有回流气阀3、第一抽真空截止阀69和第二抽真空截止阀75，尾气处理单元通过抽真空外围管路与气体入口1连接。真空泵74管路上依次设有电阻真空计71、真空泵阀72、真空阀73和真空泵74。抽真空单元在整个系统使用前先进行抽真空。

本发明六氟化硫回收气体精馏提纯系统在使用时，包括以下步骤：

步骤1：将回收后SF6气瓶通过软管与气体入口1连接，气瓶中的原料气体从气体入口1进入六氟化硫回收气体精馏提纯系统。

步骤2：开启进气阀4、吸附塔进气阀19、提纯单元进气阀31、精馏塔尾气排气阀54、塔间截止阀36、进液阀42，同时开启质量流量控制器11、加压单元压缩机15、尾气回收压缩机62，精馏塔制冷机组39、精馏塔加热机组33，对原料气体进行加压、吸附、精馏和尾气处理，精馏合格后的SF₆储存在储液罐41中。当储液罐41液位超过设定液位时，储液罐液位传感器43将信号传给控制器，控制器控制精馏停止，并发出进行灌瓶注液信号。

步骤3：将处理合格SF₆气瓶通过软管与灌瓶口53连接。

步骤4：开启注液泵前端电磁阀45、注液泵排液电磁阀51、注液泵46，进行灌瓶，当气瓶的气体压力大于设定的气体最大值时，罐瓶停止。

作为本发明的另一种实施例，与实施例1不同的是：实施例1中，设置尾气减压器55和尾气加热器56来调节尾气的压力和温度，使得尾气在最佳压力的压力和温度条件下进入膜分离器57进行分离，达到最佳分离效率。本实施例中，可以不设置尾气减压器55和尾气加热器56。

作为本发明的另一种实施例，与实施例1不同的是：精馏提纯单元中精馏塔的级数可以根据实际需要进行选择，如设置为一级或者三级以上。

作为本发明的另一种实施例，与实施例1不同的是：可以不设置储液单元，将提纯后的六氟化硫直接输送至电气设备中进行使用。

作为本发明的另一种实施例，与实施例1不同的是：可以不设置抽真空单元。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，本发明的专利保护范围以权利要求书为准，凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种六氟化硫回收气体精馏提纯系统，包括： 气体入口（1），供原料气体进入；

精馏提纯单元，用于从原料气体中分离出六氟化硫，具有用于向外排出尾气的尾气出口；

其特征在于，包括：尾气处理单元，用于将从精馏提纯单元中排出的尾气中的六氟化硫气体回收，包括与尾气出口连接的六氟化硫循环回收气路和用于排出废气的废气排出管路；六氟化硫循环回收气路上串设有膜分离器（57）和六氟化硫回收罐（64），膜分离器（57）包括过滤废气并供六氟化硫气体通过的渗透膜，膜分离器（57）具有供尾气进入的膜分离器进气口、供六氟化硫气体通过的膜分离器第一出口、供废气通过的膜分离器第二出口，膜分离器第一出口与六氟化硫回收罐（64）的进气口连接，膜分离器第二出口与废气排出管路连接；六氟化硫回收罐（64）具有回收罐第一出口和回收罐第二出口，回收罐第一出口与膜分离器进气口连接，以实现对六氟化硫回收罐（64）内的气体进行循环过滤，回收罐第二出口与气体入口（1）连接，以实现将回收的六氟化硫返回至气体入口（1）并进行再次精馏提纯。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，六氟化硫回收罐（64）的进气口和回收罐第二出口位于六氟化硫回收罐（64）的底部或者靠近底部的位置处，回收罐第一出口位于六氟化硫回收罐（64）的顶部或者靠近顶部的位置处，六氟化硫回收罐（64）上设有用于检测六氟化硫回收罐（64）内液位高度的液位传感器，回收罐第二出口与气体入口（1）之间设有回收罐排液阀，所述回收罐排液阀在六氟化硫回收罐（64）内的液位高度超过回收罐第二出口高度且达到设定高度阈值时打开，以将六氟化硫回收罐（64）内回收的六氟化硫排放至气体入口（1）。

3.根据权利要求2所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，废气排出管路包括精馏提纯单元连接支路和膜分离器（57）连接支路，精馏提纯单元连接支路上设有精馏提纯单元连接支路尾气排放阀（66），膜分离器（57）连接支路上设有膜分离器单向阀（59）。

4.根据权利要求1所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，六氟化硫循环回收气路的靠近膜分离器进气口的位置依次串接有减压器和加热器，六氟化硫循环回收气路的靠近膜分离器第一出口的位置串接有膜分离器背压阀（60）。

5.根据权利要求4所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，六氟化硫循环回收气路于膜分离器（57）与六氟化硫回收罐（64）之间连接有尾气回收压缩机（62）和尾气回收压缩机单向阀（63）。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，所述精馏提纯单元包括至少两级精馏塔，前一级的精馏塔的塔底通过塔间连通管路与下一级的精馏塔的中部连通，塔间连通管路上设有塔间截止阀（36），各级精馏塔顶部的出口构成尾气出口。

7.根据权利要求6所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，包括储液单元，储液单元包括储液罐（41）和与储液罐（41）连接的灌瓶管路，储液罐（41）与最后一级精馏塔（34）通过进液管路连接，进液管路上连接有进液阀（42）。

8.根据权利要求7所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，灌瓶管路上设有储液罐压力传感器（44）、注液泵（46）、注液泵前端电磁阀、注液泵排液单向阀（52）。

9.根据权利要求1-5任意一项所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，包括位于精馏提纯单元与气体入口（1）之间的气化加压单元和分解产物和水分处理单元，所述气化加压单元包括气化罐（6）、压缩机、压缩机缓冲罐（14）、增压泵（10），分解产物和水分处理单元包括吸附塔组件和吸附单元缓冲罐（26）。

10.根据权利要求1-5任意一项所述的六氟化硫回收气体精馏提纯系统，其特征在于，包括抽真空单元，抽真空单元分别与气体入口（1）、尾气处理单元连接，六氟化硫回收罐（64）的回收罐第二出口通过抽真空单元的管路与气体入口（1）连接。

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