CN113870291A - 表面检查方法、装置和计算机可读存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供表面检查方法、表面检查装置和计算机可读存储介质。根据本发明实施例的表面检查方法包括:获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
Description
技术领域
本申请涉及缺陷检测领域,尤其涉及一种表面检查方法、表面检查装置和计算机可读存储介质。
背景技术
在工业生产中,产品表面的缺陷检测是确保产品质量的重要步骤之一。在传统生产线上,往往需要由经验丰富的工人来负责人工产品表面检查和质量控制,然而,这种做法容易导致产品质量检测效率低下、费时以及标准不一致。
在此前提下,进一步发展出了自动化的产品表面检查和质量控制的方案,例如,用户可以利用三维传感器作为工具,对产品表面进行图像采集和缺陷检测。然而,这种表面缺陷检测方式通常受到传感器视野、图像采集速度以及检测精度的限制。例如,高精度的三维传感器往往视野很小,从而无法快速获取大面积的精确表面数据,因此通过扫描整个产品表面区域进行检测的方式将非常耗时。此外,由于无法对缺陷位置进行准确定位,从而使得在进行图像拟合时会导致较大的误差,也因此无法获得较高的检测精度。
由此可见,需要一种能够快速且有效地定位表面缺陷,且能够进一步提高缺陷检测精度的方法和装置。
发明内容
为解决上述技术问题,根据本发明的一个方面,提供了一种表面检查方法,包括:获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
根据本发明的另一个方面,提供了一种表面检查装置,包括:获取单元,配置为获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;确定单元,配置为根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;检测单元,配置为当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
根据本发明的另一个方面,提供一种表面检查装置,包括:处理器;和存储器,在所述存储器中存储有计算机程序指令,其中,在所述计算机程序指令被所述处理器运行时,使得所述处理器执行以下步骤:获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
根据本发明的另一个方面,提供一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序指令,其中,所述计算机程序指令被处理器执行时实现以下步骤:获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
根据本发明的上述表面检查方法、装置和计算机可读存储介质,能够首先对表面边缘进行边缘检测,从而得到表面的侧视轮廓,然后根据所得到的至少两个非平行方向的表面的侧视轮廓对缺陷候选区域进行定位,并在此基础上进行精确的表面缺陷检测。本发明的表面检查方法、装置和计算机可读存储介质能够对表面缺陷进行精确定位,从而有效提高缺陷检测精度,节省缺陷检测的时间。
附图说明
通过结合附图对本发明的实施例进行详细描述,本发明的上述和其它目的、特征、优点将会变得更加清楚。
图1示出根据本发明一个实施例的表面检查方法的流程图:
图2示出根据本发明一个实施例的待检测表面的示意图及表面边缘的检测方向的示例;
图3示出根据本发明一个实施例的示例的表面检查方法的示意图;
图4示出根据本发明一个实施例的示例的第一和第二表面轮廓示意图以及相应的缺陷候选区域示意图;
图5示出根据本发明一个实施例的示例的基于缺陷候选区域的表面图像获取示意图;
图6示出根据本发明一个实施例的表面检查装置的框图;
图7示出根据本发明一个实施例的表面检查装置的框图。
具体实施方式
下面将参照附图来描述根据本发明实施例的表面检查方法、装置和计算机可读存储介质。在附图中,相同的参考标号自始至终表示相同的元件。应当理解:这里描述的实施例仅仅是说明性的,而不应被解释为限制本发明的范围。
本发明实施例的表面检查方法和装置可以应用于多种表面的多个应用领域。例如,本发明实施例的表面检查方法和装置可以应用于产品表面质量检测领域,如针对贴花浮标、产品零部件表面、家具或电器表面等各种产品的表面质量检测和缺陷定位,并可以适用于各种规则或不规则的表面形状。
下面将参照图1描述根据本发明实施例的表面检查方法。图1示出该表面检查方法100的流程图。
如图1所示,在步骤S101中,获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行。
在本发明一个实施例中,针对所述表面,可以获取分别对至少两个非平行的边缘的检测方向检测得到的边缘检测数据。在一个示例中,所获取的边缘检测数据可以至少包括对第一检测方向的第一边缘检测数据和对第二检测方向的第二边缘检测数据。可选地,第一检测方向与第二检测方向之间可以相互正交。此外,可选地,第一检测方向或第二检测方向可以是一直沿所述表面某边缘的检测方向,也可以是非严格沿所述表面某边缘的检测方向。图2示出了根据本发明一个实施例的待检测表面的示意图及表面边缘的检测方向的示例。在图2中,针对所示的表面A,用于获取第一边缘检测数据的第一边缘检测方向可以是沿表面A的某个边缘的方向a,也可以是沿表面A的边缘的某一点的切线方向b。此外,用于获取第二边缘检测数据的第二边缘检测方向也同样可以是方向c或者方向d,只要保证第一检测方向和第二检测方向之间非平行,在第一检测方向上检测得到的第一表面轮廓和在第二检测方向上检测得到的第二表面轮廓的内容不完全一致即可,其余不做限制。可选地,还可以预先获取待检测表面的表面形状,以采用几何先验等方式对所获取的第一或第二边缘检测数据适用在相应表面边缘的情况进行更加精确的计算和分析,从而进一步提高表面检查的精度,扩大缺陷检测的适用范围。
在本发明一个实施例中,第一边缘检测数据和第二边缘检测数据可以为从所述表面的边缘分别对相应检测方向检测得到的侧视的表面轮廓(即第一表面轮廓和第二表面轮廓)。可选地,本发明实施例中所得到的侧视的表面轮廓可以为沿相应检测方向的表面轮廓曲线,其用于指示沿该检测方向的表面形变程度,也即表面起伏状况。例如,当所得到的表面轮廓曲线起伏较大,则指示表面相应区域形变程度较大,表面较为不平整,其通常指示该表面上存在缺陷;而当所得到的表面轮廓曲线起伏较小,则指示表面形变程度较小,表面较为平整,其通常指示该表面上不存在缺陷。此外,表面轮廓曲线也能够具体指示在相应检测方向上,表面产生形变的具体位置和范围,从而能够对表面缺陷进行精确的定位。
在步骤S102中,根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域。
根据本发明一个实施例,可以判断所述第一表面轮廓是否存在第一非平面区域,所述第二表面轮廓是否存在第二非平面区域;当所述第一表面轮廓存在第一非平面区域且第二表面轮廓存在第二非平面区域时,分别获取所述第一表面轮廓的至少一个第一非平面区域和所述第二表面轮廓的至少一个第二非平面区域;将至少一个所述第一非平面区域和至少一个所述第二非平面区域在所述表面指示的一个或多个相交区域,作为所述缺陷候选区域。
可选地,可以根据沿第一检测方向的第一表面轮廓的一个或多个第一非平面区域的位置,确定所述表面的相应边缘上对应的非平面区域的位置。在一个示例中,可以根据该一个或多个第一非平面区域的位置,确定所述表面与第一检测方向对应的边缘上非平面区域在预设坐标系上的一个或多个坐标取值范围。同理,还可以根据沿第二检测方向的第二表面轮廓的一个或多个第二非平面区域的位置,确定所述表面的相应边缘上对应的非平面区域的位置。在一个示例中,也即可以确定所述表面与第二检测方向对应的边缘上非平面区域在预设坐标系上的一个或多个坐标取值范围。随后,在获取了分别与第一检测方向和第二检测方向对应的所述表面的边缘上,各自非平面区域的坐标取值范围之后,可以获取这两个非平行方向对应边缘上各非平面区域之间一个或多个相交区域的坐标取值范围,以确定所述相交区域在所述表面上的具体位置,也即缺陷候选区域在所述表面上的具体位置。
此外,可选地,当仅满足第一表面轮廓存在第一非平面区域,但第二表面轮廓不存在第二非平面区域时,可以获取所述第一表面轮廓的至少一个第一非平面区域,并将至少一个第一非平面区域在所述表面指示的区域均作为缺陷候选区域。同理,当仅满足第二表面轮廓存在第二非平面区域,但第一表面轮廓不存在第一非平面区域时,可以获取所述第二表面轮廓的至少一个第二非平面区域,并将至少一个第二非平面区域在所述表面指示的区域均作为缺陷候选区域。在一个示例中,当仅第一表面轮廓存在第一非平面区域,而第二表面轮廓不存在第二非平面区域时,可以获取所述表面与第一检测方向对应的边缘上非平面区域在预设坐标系上的一个或多个坐标取值范围,从而将所述表面上所有在该坐标取值范围之内的区域均作为缺陷候选区域,而无需进一步确定相交区域。例如,当所述表面为长方形,第一检测方向为长方形的长边,而第二检测方向为长方形的短边时,如果仅在长方形的长边处检测到一个第一非平面区域,可以将缺陷候选区域确定为该表面上的一个长方形区域,其由长方形的长边对应第一非平面区域的坐标取值范围与整个长方形的短边所限定。可选地,当第一表面轮廓不存在第一非平面区域,且第二表面轮廓也不存在第二非平面区域时,可以认为所述表面不存在缺陷候选区域。在本发明实施例的实际应用过程中,还可以仅针对第一表面轮廓进行第一非平面区域的判断,而无需判断第二表面轮廓的第二非平面区域;或者,可以仅针对第二表面轮廓进行第二非平面区域的判断,而无需判断第一表面轮廓的第一非平面区域,并确定表面上相应的缺陷候选区域,判断方式与前述类似,在此不做赘述。
可选地,判断所述第一表面轮廓是否存在第一非平面区域,所述第二表面轮廓是否存在第二非平面区域可以包括:分别判断所述第一表面轮廓和所述第二表面轮廓的形变程度;当所述第一表面轮廓中的区域的形变程度超过第一阈值时,可以将超过第一阈值的区域作为所述第一非平面区域,以及当所述第二表面轮廓中的区域的形变程度超过第二阈值时,可以将超过第二阈值的区域作为所述第二非平面区域。在一个示例中,可以通过所得到的表面轮廓曲线的一阶导数获知该表面轮廓曲线的起伏规律(如曲线上升还是下降),而通过二阶导数获知该表面轮廓曲线的起伏程度,从而可以据此得到表面轮廓曲线的峰顶、峰谷及从峰顶到峰谷的变化趋势等,以判断表面轮廓的形变程度。此外,可选地,用于判断形变程度的第一阈值和第二阈值可以相同或不同,其确定方式可以根据实际的应用场景而自由选择。在一个示例中,在第一或第二非平面区域的确定过程中,可以将包含表面轮廓曲线的峰顶/峰谷及其周围一定范围内的区域作为相应的非平面区域,例如,包含表面轮廓曲线的峰顶的区域可以表示表面出现凸起、气泡、杂质等缺陷的区域,包含表面轮廓曲线的峰谷的区域则可以表示表面出现凹陷、划痕、裂纹等缺陷的区域。
在另一个示例中,还可以考虑至少一个第一非平面区域和/或至少一个第二非平面区域相对于表面至少一个边缘的距离,从而对一个或多个相交区域是否成为缺陷候选区域进行进一步的限制。例如,可以限制缺陷候选区域距离表面相应边缘在前述得到的相应距离的范围内,从而在所有相交区域中排除与表面相应边缘的距离不同于前述得到的相应距离范围内的那些相交区域,并将剩余的相交区域作为最终得到的缺陷候选区域。在此示例中,可以使用多种方法探测第一非平面区域和/或第二非平面区域相对于表面边缘的距离。例如,可以使用深度相机获取相应非平面区域距离相机的深度,从而得到该非平面区域相对于表面某个边缘的距离;再例如,还可以利用激光、超声波等多种探测手段来得到非平面区域相对于表面某个边缘的距离,在此不做限制。当然,可选地,还可以在表面周围近似平行的两个边缘均进行表面的边缘检测,从而得到某个非平面区域分别距表面近似平行的两个边缘的距离,以更加精确地定位该非平面区域,并进一步限定所选定的缺陷候选区域的位置。
在步骤S103中,当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
可选地,当在表面上获取到粗定位的所述缺陷候选区域后,可以从第三检测方向针对表面进行精细检测,以获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,并得到基于所述缺陷候选区域的表面图像中各个点相对于例如与表面垂直的方向,如所述第三检测方向的深度值。其中所述第三检测方向与所述第一检测方向、所述第二检测方向均不相同。随后,还可以根据所述各个点相对于所述第三检测方向的深度值,确定与所述缺陷候选区域相对应的缺陷位置。例如,第三检测方向可以与第一检测方向、第二检测方向均相互正交。在本实施例中,所获取的基于缺陷候选区域的表面图像可以为从表面上方垂直照射而得到的表面图像,其可以为缺陷候选区域本身的表面图像,也可以为包括所述缺陷候选区域的表面图像(例如可以为以缺陷候选区域为中心向外部扩散一定范围的表面图像)。表面图像具体范围的确定可以参照下述平面区域的确定和平面拟合的效果来调整。当然,如果之后的平面拟合效果不好,导致缺陷位置不够精确,则可以随时调整这里的表面图像的位置和覆盖范围。可选地,可以利用光线、超声波等传感器,或利用深度相机对基于缺陷候选区域的一部分表面范围内的各个点进行距离检测,从而得到基于缺陷候选区域的表面图像中各个点相对于第三检测方向的深度值。在得到表面图像的各个点的深度值之后,可以根据这些深度值确定基于缺陷候选区域的表面图像中的平面区域,并对所确定的平面区域进行平面拟合,以根据平面拟合的结果最终确定缺陷的位置。
在一个示例中,可以将基于缺陷候选区域的表面图像中深度值在某个范围内的点划分为平面区域。在另一个示例中,还可以通过排除基于缺陷候选区域的表面图像中的某些点来确定平面区域。例如,可以在表面图像的覆盖范围大于缺陷候选区域时,通过在表面图像中排除缺陷候选区域中的点,或排除包括缺陷候选区域的某一范围内的点(如以缺陷候选区域为中心划定的一定范围内的点),来得到用于进行平面拟合的平面区域。针对所确定的平面区域,可以利用如最小二乘法的方式对平面区域进行平面拟合。在获取平面拟合的结果之后,可以将该表面图像中各个点的深度值与拟合得到的平面的点的深度值进行比较,并把与该平面的点的深度值的距离超过某特定阈值的表面图像中的点作为缺陷点。可选地,当这些缺陷点相互之间的距离在一定范围内时,可以将这些缺陷点作为一个整体的缺陷,并确定缺陷的位置;此外,当某些缺陷点之间的距离较远,不能认为是一个整体的缺陷时,还可以对这些缺陷点进行进一步的处理,例如将离散的缺陷点进行聚类,并得到多个缺陷且进一步确定每个缺陷的相应位置。
可选地,当在第三检测方向对表面进行检测时,无法获取某基于缺陷候选区域的表面图像的全部时,还可以通过调整用于探测的传感器或深度相机的探测高度,来尽量获取基于缺陷候选区域的表面图像的全部,以使得表面检查的结果更加精确,提高表面检查效率。
根据本发明实施例的表面检查方法,能够首先对表面边缘进行边缘检测,从而得到表面的侧视轮廓,然后根据所得到的至少两个非平行方向的表面的侧视轮廓对缺陷候选区域进行定位,并在此基础上进行精确的表面缺陷检测。本发明实施例的表面检查方法能够对表面缺陷进行精确定位,从而有效提高缺陷检测精度,节省缺陷检测的时间。
以下详细描述了根据本发明实施例的一个示例的表面检查方法的具体示例。图3示出了根据本发明实施例一个示例的表面检查方法的示意图。在图3所示的示例中,1为待检测的物体表面,2为物体表面1上的一个或多个缺陷的示例,两两正交的x、y、z分别为第一检测方向、第二检测方向和第三检测方向。
如图3所示,首先对表面边缘的x和y方向分别获取第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,其分别指示沿x方向的第一表面轮廓和沿y方向的第二表面轮廓。在得到第一边缘检测数据和第二边缘检测数据之后,可以根据相应的第一表面轮廓和第二表面轮廓所确定的第一非平面区域和第二非平面区域,进一步确定缺陷候选区域。图4示出了根据本发明实施例的一个示例的第一和第二表面轮廓示意图以及相应的缺陷候选区域示意图。具体地,图4中的distx可以指示对x方向检测得到的第一边缘检测数据,其表示物体表面1沿x方向的第一表面轮廓;而disty可以指示对y方向检测得到的第二边缘检测数据,其表示物体表面1沿y方向的第二表面轮廓。如图4所示,可以得知,对物体表面1的x方向检测时,相应的第一表面轮廓的表面轮廓曲线可以具有两个峰顶,通过与相应的第一阈值比较,可以获得distx的两个峰顶周围由“×”表示的两个第一非平面区域,其指示物体表面1上由细虚线指示的两个横向区域范围,并且可以获得这两个横向区域范围在xyz坐标系中的具体坐标值。相应地,对物体表面1的y方向检测所获取的第二表面轮廓的表面轮廓曲线也可以具有两个峰顶,通过与第二阈值比较,也可以获得disty的两个峰顶周围由“×”表示的两个第二非平面区域,其指示物体表面1上由细虚线指示的两个纵向区域范围,并且也同样可以获得这两个纵向区域范围在xyz坐标系中的具体坐标值。通过将两个第一非平面区域和两个第二非平面区域指示的横向和纵向区域范围进行交叉,可以得到图4中由灰色所示的4个缺陷候选区域,分别由①、②、③和④进行表示,其分别在xyz坐标系中的具体坐标取值范围也可以通过计算得知。
在初步得到由两个第一非平面区域和两个第二非平面区域在物体表面1指示的4个缺陷候选区域之后,在本示例中,还可以借助例如深度相机来对缺陷候选区域距离物体表面1某个边缘的距离进行进一步检测和限制。例如,如图4所示,在从右侧获取第一表面轮廓的表面轮廓曲线distx时,可以经由深度相机对非平面区域的深度检测,在4个缺陷候选区域①、②、③和④中选择缺陷候选区域。例如,针对对应于表面轮廓曲线distx中同一第一非平面区域的缺陷候选区域①和②,可以通过深度检测,而获知前述确定的缺陷候选区域②距离物体表面1右侧边缘的距离,不在表面轮廓曲线distx的相应非平面区域限定的深度范围内,从而可以对缺陷候选区域②进行排除,仅保留缺陷候选区域①。此外,可以经由同样的方式检测对应于表面轮廓曲线distx中另一第一非平面区域的另两个缺陷候选区域③和④。当从右侧获取第一表面轮廓的表面轮廓曲线distx时,可以获知前述确定的缺陷候选区域④距离物体表面1右侧边缘的距离,在表面轮廓曲线distx的相应非平面区域限定的深度范围内,从而可以保留缺陷候选区域④。进一步地,由于从右侧检测非平面区域深度的当前示例无法排除缺陷候选区域③,因此,对于4个缺陷候选区域①、②、③和④,可以从中选择缺陷候选区域①、③和④作为最终确定的缺陷候选区域。当然,在另一示例中,可选地,还可以通过从左侧x方向进一步检测表面轮廓曲线及对应的深度,来获知是否可以排除前述的缺陷候选区域③,以进一步精确限定物体表面1的缺陷候选区域的范围。
随后,在确定上述缺陷候选区域①、③和④之后,可以自图3中的z方向获取其中的一个或多个基于缺陷候选区域的表面图像。图5示出了根据本发明实施例的一个示例的基于缺陷候选区域的表面图像获取示意图。如图5所示,光线、超声波等传感器或深度相机基于物体表面1的缺陷候选区域进行图像获取和点的深度的采集。其中,浅灰色的FOV指示传感器或者深度相机的视野(Field of View),指示所获取的基于缺陷候选区域的表面图像在表面上的覆盖范围。在FOV的范围内,前面所确定的缺陷候选区域在黑色所示的CL(Coarse Location)粗定位范围内。通过对表面图像FOV范围内各个点的采集,可以获取表面图像中各个点的深度值。随后,通过对缺陷候选区域CL进行相应的扩充(如以CL为中心扩充一定的坐标值范围),可以得到包括CL的排除区域CA(Cropped Area),其包括黑色CL区域及其周围的深灰色区域范围。在从FOV中排除CA之后,可以将FOV中剩余的所有点作为平面区域的点,并进行平面拟合。最后,在获取平面拟合的结果之后,则可以将FOV中各个点的深度值与拟合得到的平面中的点的深度值进行比较,并把与该平面中的点的深度值的距离超过某特定阈值的点作为缺陷点,还可以进一步把这些缺陷点聚类为一个或多个缺陷,以精确定位物体表面1上各个缺陷的具体位置及相关参数(如该缺陷在物体表面1上的坐标取值范围、各个点平均深度值、各个点分别对应的深度值等等)。
本发明实施例中的这一示例的表面检查方法能够对表面缺陷进行精确定位,从而有效提高缺陷检测精度,节省缺陷检测的时间。
下面,参照图6来描述根据本发明实施例的表面检查装置。图6示出了根据本发明实施例的表面检查装置600的框图。如图6所示,表面检查装置600包括获取单元610、确定单元620和检测单元630。除了这些单元以外,表面检查装置600还可以包括其他部件,然而,由于这些部件与本发明实施例的内容无关,因此在这里省略其图示和描述。此外,由于根据本发明实施例的表面检查装置600执行的下述操作的具体细节与在上文中参照图1-图5描述的细节相同,因此在这里为了避免重复而省略对相同细节的重复描述。
图6中的表面检查装置600的获取单元610获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行。
在本发明一个实施例中,针对所述表面,获取单元610可以获取分别对至少两个非平行的边缘的检测方向检测得到的边缘检测数据。在一个示例中,获取单元610所获取的边缘检测数据可以至少包括对第一检测方向的第一边缘检测数据和对第二检测方向的第二边缘检测数据。可选地,第一检测方向与第二检测方向之间可以相互正交。此外,可选地,第一检测方向或第二检测方向可以是一直沿所述表面某边缘的检测方向,也可以是非严格沿所述表面某边缘的检测方向。图2示出了根据本发明一个实施例的待检测表面的示意图及表面边缘的检测方向的示例。在图2中,针对所示的表面A,获取单元610用于获取第一边缘检测数据的第一边缘检测方向可以是沿表面A的某个边缘的方向a,也可以是沿表面A的边缘的某一点的切线方向b。此外,获取单元610用于获取第二边缘检测数据的第二边缘检测方向也同样可以是方向c或者方向d,只要保证第一检测方向和第二检测方向之间非平行,在第一检测方向上检测得到的第一表面轮廓和在第二检测方向上检测得到的第二表面轮廓的内容不完全一致即可,其余不做限制。可选地,获取单元610还可以预先获取待检测表面的表面形状,以采用几何先验等方式对所获取的第一或第二边缘检测数据适用在相应表面边缘的情况进行更加精确的计算和分析,从而进一步提高表面检查的精度,扩大缺陷检测的适用范围。
在本发明一个实施例中,第一边缘检测数据和第二边缘检测数据可以为从所述表面的边缘分别对相应检测方向检测得到的侧视的表面轮廓(即第一表面轮廓和第二表面轮廓)。可选地,本发明实施例中所得到的侧视的表面轮廓可以为沿相应检测方向的表面轮廓曲线,其用于指示沿该检测方向的表面形变程度,也即表面起伏状况。例如,当所得到的表面轮廓曲线起伏较大,则指示表面相应区域形变程度较大,表面较为不平整,其通常指示该表面上存在缺陷;而当所得到的表面轮廓曲线起伏较小,则指示表面形变程度较小,表面较为平整,其通常指示该表面上不存在缺陷。此外,表面轮廓曲线也能够具体指示在相应检测方向上,表面产生形变的具体位置和范围,从而能够对表面缺陷进行精确的定位。
确定单元620根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域。
根据本发明一个实施例,确定单元620可以判断所述第一表面轮廓是否存在第一非平面区域,所述第二表面轮廓是否存在第二非平面区域;当所述第一表面轮廓存在第一非平面区域且第二表面轮廓存在第二非平面区域时,分别获取所述第一表面轮廓的至少一个第一非平面区域和所述第二表面轮廓的至少一个第二非平面区域;将至少一个所述第一非平面区域和至少一个所述第二非平面区域在所述表面指示的一个或多个相交区域,作为所述缺陷候选区域。
可选地,确定单元620可以根据沿第一检测方向的第一表面轮廓的一个或多个第一非平面区域的位置,确定所述表面的相应边缘上对应的非平面区域的位置。在一个示例中,确定单元620可以根据该一个或多个第一非平面区域的位置,确定所述表面与第一检测方向对应的边缘上非平面区域在预设坐标系上的一个或多个坐标取值范围。同理,确定单元620还可以根据沿第二检测方向的第二表面轮廓的一个或多个第二非平面区域的位置,确定所述表面的相应边缘上对应的非平面区域的位置。在一个示例中,也即确定单元620可以确定所述表面与第二检测方向对应的边缘上非平面区域在预设坐标系上的一个或多个坐标取值范围。随后,在确定单元620获取了分别与第一检测方向和第二检测方向对应的所述表面的边缘上,各自非平面区域的坐标取值范围之后,可以获取这两个非平行方向对应边缘上各非平面区域之间一个或多个相交区域的坐标取值范围,以确定所述相交区域在所述表面上的具体位置,也即缺陷候选区域在所述表面上的具体位置。
此外,可选地,当仅满足第一表面轮廓存在第一非平面区域,但第二表面轮廓不存在第二非平面区域时,确定单元620可以获取所述第一表面轮廓的至少一个第一非平面区域,并将至少一个第一非平面区域在所述表面指示的区域均作为缺陷候选区域。同理,当仅满足第二表面轮廓存在第二非平面区域,但第一表面轮廓不存在第一非平面区域时,确定单元620可以获取所述第二表面轮廓的至少一个第二非平面区域,并将至少一个第二非平面区域在所述表面指示的区域均作为缺陷候选区域。在一个示例中,当仅第一表面轮廓存在第一非平面区域,而第二表面轮廓不存在第二非平面区域时,确定单元620可以获取所述表面与第一检测方向对应的边缘上非平面区域在预设坐标系上的一个或多个坐标取值范围,从而将所述表面上所有在该坐标取值范围之内的区域均作为缺陷候选区域,而无需进一步确定相交区域。例如,当所述表面为长方形,第一检测方向为长方形的长边,而第二检测方向为长方形的短边时,如果仅在长方形的长边处检测到一个第一非平面区域,确定单元620可以将缺陷候选区域确定为该表面上的一个长方形区域,其由长方形的长边对应第一非平面区域的坐标取值范围与整个长方形的短边所限定。可选地,当第一表面轮廓不存在第一非平面区域,且第二表面轮廓也不存在第二非平面区域时,确定单元620可以认为所述表面不存在缺陷候选区域。在本发明实施例的实际应用过程中,确定单元620还可以仅针对第一表面轮廓进行第一非平面区域的判断,而无需判断第二表面轮廓的第二非平面区域;或者,可以仅针对第二表面轮廓进行第二非平面区域的判断,而无需判断第一表面轮廓的第一非平面区域,并确定表面上相应的缺陷候选区域,判断方式与前述类似,在此不做赘述。
可选地,确定单元620可以分别判断所述第一表面轮廓和所述第二表面轮廓的形变程度;当所述第一表面轮廓中的区域的形变程度超过第一阈值时,可以将超过第一阈值的区域作为所述第一非平面区域,以及当所述第二表面轮廓中的区域的形变程度超过第二阈值时,可以将超过第二阈值的区域作为所述第二非平面区域。在一个示例中,确定单元620可以通过所得到的表面轮廓曲线的一阶导数获知该表面轮廓曲线的起伏规律(如曲线上升还是下降),而通过二阶导数获知该表面轮廓曲线的起伏程度,从而可以据此得到表面轮廓曲线的峰顶、峰谷及从峰顶到峰谷的变化趋势等,以判断表面轮廓的形变程度。此外,可选地,用于判断形变程度的第一阈值和第二阈值可以相同或不同,其确定方式可以根据实际的应用场景而自由选择。在一个示例中,确定单元620在第一或第二非平面区域的确定过程中,可以将包含表面轮廓曲线的峰顶/峰谷及其周围一定范围内的区域作为相应的非平面区域,例如,包含表面轮廓曲线的峰顶的区域可以表示表面出现凸起、气泡、杂质等缺陷的区域,包含表面轮廓曲线的峰谷的区域则可以表示表面出现凹陷、划痕、裂纹等缺陷的区域。
在另一个示例中,确定单元620还可以考虑至少一个第一非平面区域和/或至少一个第二非平面区域相对于表面至少一个边缘的距离,从而对一个或多个相交区域是否成为缺陷候选区域进行进一步的限制。例如,确定单元620可以限制缺陷候选区域距离表面相应边缘在前述得到的相应距离的范围内,从而在所有相交区域中排除与表面相应边缘的距离不同于前述得到的相应距离范围内的那些相交区域,并将剩余的相交区域作为最终得到的缺陷候选区域。在此示例中,确定单元620可以使用多种方法探测第一非平面区域和/或第二非平面区域相对于表面边缘的距离。例如,确定单元620可以使用深度相机获取相应非平面区域距离相机的深度,从而得到该非平面区域相对于表面某个边缘的距离;再例如,确定单元620还可以利用激光、超声波等多种探测手段来得到非平面区域相对于表面某个边缘的距离,在此不做限制。当然,可选地,确定单元620还可以在表面周围近似平行的两个边缘均进行表面的边缘检测,从而得到某个非平面区域分别距表面近似平行的两个边缘的距离,以更加精确地定位该非平面区域,并进一步限定所选定的缺陷候选区域的位置。
检测单元630当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
可选地,检测单元630当在表面上获取到粗定位的所述缺陷候选区域后,可以从第三检测方向针对表面进行精细检测,以获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,并得到基于所述缺陷候选区域的表面图像中各个点相对于例如与表面垂直的方向,如所述第三检测方向的深度值。其中所述第三检测方向与所述第一检测方向、所述第二检测方向均不相同。随后,检测单元630还可以根据所述各个点相对于所述第三检测方向的深度值,确定与所述缺陷候选区域相对应的缺陷位置。例如,第三检测方向可以与第一检测方向、第二检测方向均相互正交。在本实施例中,检测单元630所获取的基于缺陷候选区域的表面图像可以为从表面上方垂直照射而得到的表面图像,其可以为缺陷候选区域本身的表面图像,也可以为包括所述缺陷候选区域的表面图像(例如可以为以缺陷候选区域为中心向外部扩散一定范围的表面图像)。表面图像具体范围的确定可以参照下述平面区域的确定和平面拟合的效果来调整。当然,如果之后的平面拟合效果不好,导致缺陷位置不够精确,则可以随时调整这里的表面图像的位置和覆盖范围。可选地,检测单元630可以利用光线、超声波等传感器,或利用深度相机对基于缺陷候选区域的一部分表面范围内的各个点进行距离检测,从而得到基于缺陷候选区域的表面图像中各个点相对于第三检测方向的深度值。在得到表面图像的各个点的深度值之后,检测单元630可以根据这些深度值确定基于缺陷候选区域的表面图像中的平面区域,并对所确定的平面区域进行平面拟合,以根据平面拟合的结果最终确定缺陷的位置。
在一个示例中,检测单元630可以将基于缺陷候选区域的表面图像中深度值在某个范围内的点划分为平面区域。在另一个示例中,还可以通过排除基于缺陷候选区域的表面图像中的某些点来确定平面区域。例如,可以在表面图像的覆盖范围大于缺陷候选区域时,通过在表面图像中排除缺陷候选区域中的点,或排除包括缺陷候选区域的某一范围内的点(如以缺陷候选区域为中心划定的一定范围内的点),来得到用于进行平面拟合的平面区域。针对所确定的平面区域,可以利用如最小二乘法的方式对平面区域进行平面拟合。在获取平面拟合的结果之后,检测单元630可以将该表面图像中各个点的深度值与拟合得到的平面的点的深度值进行比较,并把与该平面的点的深度值的距离超过某特定阈值的表面图像中的点作为缺陷点。可选地,当这些缺陷点相互之间的距离在一定范围内时,检测单元630可以将这些缺陷点作为一个整体的缺陷,并确定缺陷的位置;此外,当某些缺陷点之间的距离较远,不能认为是一个整体的缺陷时,检测单元630还可以对这些缺陷点进行进一步的处理,例如将离散的缺陷点进行聚类,并得到多个缺陷且进一步确定每个缺陷的相应位置。
可选地,检测单元630当在第三检测方向对表面进行检测时,无法获取某基于缺陷候选区域的表面图像的全部时,还可以通过调整用于探测的传感器或深度相机的探测高度,来尽量获取基于缺陷候选区域的表面图像的全部,以使得表面检查的结果更加精确,提高表面检查效率。
根据本发明实施例的表面检查装置,能够首先对表面边缘进行边缘检测,从而得到表面的侧视轮廓,然后根据所得到的至少两个非平行方向的表面的侧视轮廓对缺陷候选区域进行定位,并在此基础上进行精确的表面缺陷检测。本发明实施例的表面检查方法能够对表面缺陷进行精确定位,从而有效提高缺陷检测精度,节省缺陷检测的时间。
下面,参照图7来描述根据本发明实施例的表面检查装置。图7示出了根据本发明实施例的表面检查装置700的框图。如图7所示,该装置700可以是计算机或服务器。
如图7所示,表面检查装置700包括一个或多个处理器710以及存储器720,当然,除此之外,表面检查装置700还可能包括输入装置、输出装置(未示出)等,这些组件可以通过总线系统和/或其它形式的连接机构互连。应当注意,图7所示的表面检查装置700的组件和结构只是示例性的,而非限制性的,根据需要,表面检查装置700也可以具有其他组件和结构。
处理器710可以是中央处理单元(CPU)或者具有数据处理能力和/或指令执行能力的其它形式的处理单元,并且可以利用存储器720中所存储的计算机程序指令以执行期望的功能,可以包括:获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
存储器720可以包括一个或多个计算机程序产品,所述计算机程序产品可以包括各种形式的计算机可读存储介质,例如易失性存储器和/或非易失性存储器。在所述计算机可读存储介质上可以存储一个或多个计算机程序指令,处理器710可以运行所述程序指令,以实现上文所述的本发明的实施例的表面检查装置的功能以及/或者其它期望的功能,并且/或者可以执行根据本发明实施例的表面检查方法。在所述计算机可读存储介质中还可以存储各种应用程序和各种数据。
下面,描述根据本发明实施例的计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序指令,其中,所述计算机程序指令被处理器执行时实现以下步骤:获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
当然,上述的具体实施例仅是例子而非限制,且本领域技术人员可以根据本发明的构思从上述分开描述的各个实施例中合并和组合一些步骤和装置来实现本发明的效果,这种合并和组合而成的实施例也被包括在本发明中,在此不一一描述这种合并和组合。
注意,在本发明中提及的优点、优势、效果等仅是示例而非限制,不能认为这些优点、优势、效果等是本发明的各个实施例必须具备的。另外,上述发明的具体细节仅是为了示例的作用和便于理解的作用,而非限制,上述细节并不限制本发明为必须采用上述具体的细节来实现。
本发明中涉及的器件、装置、设备、系统的方框图仅作为例示性的例子并且不意图要求或暗示必须按照方框图示出的方式进行连接、布置、配置。如本领域技术人员将认识到的,可以按任意方式连接、布置、配置这些器件、装置、设备、系统。诸如“包括”、“包含”、“具有”等等的词语是开放性词汇,指“包括但不限于”,且可与其互换使用。这里所使用的词汇“或”和“和”指词汇“和/或”,且可与其互换使用,除非上下文明确指示不是如此。这里所使用的词汇“诸如”指词组“诸如但不限于”,且可与其互换使用。
本发明中的步骤流程图以及以上方法描述仅作为例示性的例子并且不意图要求或暗示必须按照给出的顺序进行各个实施例的步骤。如本领域技术人员将认识到的,可以按任意顺序进行以上实施例中的步骤的顺序。诸如“其后”、“然后”、“接下来”等等的词语不意图限制步骤的顺序;这些词语仅用于引导读者通读这些方法的描述。此外,例如使用“一个”、“一”或者“该”对于单数的要素的任何引用不被解释为将该要素限制为单数。
另外,本文中的各个实施例中的步骤和装置并非仅限定于某个实施例中实行,事实上,可以根据本发明的概念来结合本文中的各个实施例中相关的部分步骤和部分装置以构思新的实施例,而这些新的实施例也包括在本发明的范围内。
以上所述的方法的各个操作可以通过能够进行相应的功能的任何适当的手段而进行。该手段可以包括各种硬件和/或软件组件和/或模块,包括但不限于电路、专用集成电路(ASIC)或处理器。
可以利用被设计用于进行在此所述的功能的通用处理器、数字信号处理器(DSP)、ASIC、现场可编程门阵列信号(FPGA)或其他可编程逻辑器件(PLD)、离散门或晶体管逻辑、离散的硬件组件或者其任意组合而实现或进行所述的各个例示的逻辑块、模块和电路。通用处理器可以是微处理器,但是作为替换,该处理器可以是任何商业上可获得的处理器、控制器、微控制器或状态机。处理器还可以实现为计算设备的组合,例如DSP和微处理器的组合,多个微处理器、与DSP核协作的一个或多个微处理器或任何其他这样的配置。
结合本发明描述的方法或算法的步骤可以直接嵌入在硬件中、处理器执行的软件模块中或者这两种的组合中。软件模块可以存在于任何形式的有形存储介质中。可以使用的存储介质的一些例子包括随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、快闪存储器、EPROM存储器、EEPROM存储器、寄存器、硬盘、可移动盘、CD-ROM等。存储介质可以耦接到处理器以便该处理器可以从该存储介质读取信息以及向该存储介质写信息。在替换方式中,存储介质可以与处理器是整体的。软件模块可以是单个指令或者许多指令,并且可以分布在几个不同的代码段上、不同的程序之间以及跨过多个存储介质。
在此发明的方法包括用于实现所述的方法的一个或多个动作。方法和/或动作可以彼此互换而不脱离权利要求的范围。换句话说,除非指定了动作的具体顺序,否则可以修改具体动作的顺序和/或使用而不脱离权利要求的范围。
所述的功能可以按硬件、软件、固件或其任意组合而实现。如果以软件实现,功能可以作为一个或多个指令存储在切实的计算机可读介质上。存储介质可以是可以由计算机访问的任何可用的切实介质。通过例子而不是限制,这样的计算机可读介质可以包括RAM、ROM、EEPROM、CD-ROM或其他光盘存储、磁盘存储或其他磁存储器件或者可以用于携带或存储指令或数据结构形式的期望的程序代码并且可以由计算机访问的任何其他切实介质。如在此使用的,盘(disc)包括紧凑盘(CD)、激光盘、光盘、数字通用盘(DVD)、软盘和蓝光盘。
因此,计算机程序产品可以进行在此给出的操作。例如,这样的计算机程序产品可以是具有有形存储(和/或编码)在其上的指令的计算机可读的有形介质,该指令可由一个或多个处理器执行以进行在此所述的操作。计算机程序产品可以包括包装的材料。
软件或指令也可以通过传输介质而传输。例如,可以使用诸如同轴电缆、光纤光缆、双绞线、数字订户线(DSL)或诸如红外、无线电或微波的无线技术的传输介质从网站、服务器或者其他远程源传输软件。
此外,用于进行在此所述的方法和技术的模块和/或其他适当的手段可以在适当时由用户终端和/或基站下载和/或其他方式获得。例如,这样的设备可以耦接到服务器以促进用于进行在此所述的方法的手段的传送。或者,在此所述的各种方法可以经由存储部件(例如RAM、ROM、诸如CD或软盘等的物理存储介质)提供,以便用户终端和/或基站可以在耦接到该设备或者向该设备提供存储部件时获得各种方法。此外,可以利用用于将在此所述的方法和技术提供给设备的任何其他适当的技术。
其他例子和实现方式在本发明和所附权利要求的范围和精神内。例如,由于软件的本质,以上所述的功能可以使用由处理器、硬件、固件、硬连线或这些的任意的组合执行的软件实现。实现功能的特征也可以物理地位于各个位置,包括被分发以便功能的部分在不同的物理位置处实现。而且,如在此使用的,包括在权利要求中使用的,在以“至少一个”开始的项的列举中使用的“或”指示分离的列举,以便例如“A、B或C的至少一个”的列举意味着A或B或C,或AB或AC或BC,或ABC(即A和B和C)。此外,措辞“示例的”不意味着描述的例子是优选的或者比其他例子更好。
可以不脱离由所附权利要求定义的教导的技术而进行对在此所述的技术的各种改变、替换和更改。此外,本发明的权利要求的范围不限于以上所述的处理、机器、制造、事件的组成、手段、方法和动作的具体方面。可以利用与在此所述的相应方面进行基本相同的功能或者实现基本相同的结果的当前存在的或者稍后要开发的处理、机器、制造、事件的组成、手段、方法或动作。因而,所附权利要求包括在其范围内的这样的处理、机器、制造、事件的组成、手段、方法或动作。
提供所发明的方面的以上描述以使本领域的任何技术人员能够做出或者使用本发明。对这些方面的各种修改对于本领域技术人员而言是非常显而易见的,并且在此定义的一般原理可以应用于其他方面而不脱离本发明的范围。因此,本发明不希望被限制到在此示出的方面,而是按照与在此发明的原理和新颖的特征一致的最宽范围。
为了例示和描述的目的已经给出了以上描述。此外,此描述不希望将本发明的实施例限制到在此发明的形式。尽管以上已经讨论了多个示例方面和实施例,但是本领域技术人员将认识到其某些变型、修改、改变、添加和子组合。
Claims (10)
1.一种表面检查方法,包括:
获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;
根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;
当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
2.如权利要求1所述的方法,其中,
所述第一检测方向与所述第二检测方向之间相互正交。
3.如权利要求1所述的方法,其中,根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定是否存在缺陷候选区域包括:
判断所述第一表面轮廓是否存在第一非平面区域,所述第二表面轮廓是否存在第二非平面区域;
当所述第一表面轮廓存在第一非平面区域且第二表面轮廓存在第二非平面区域时,分别获取所述第一表面轮廓的至少一个第一非平面区域和所述第二表面轮廓的至少一个第二非平面区域;
将至少一个所述第一非平面区域和至少一个所述第二非平面区域在所述表面指示的一个或多个相交区域,作为所述缺陷候选区域。
4.如权利要求3所述的方法,其中,判断所述第一表面轮廓是否存在第一非平面区域,所述第二表面轮廓是否存在第二非平面区域包括:
分别判断所述第一表面轮廓和所述第二表面轮廓的形变程度;
当所述第一表面轮廓中的区域的形变程度超过第一阈值时,将超过第一阈值的区域作为所述第一非平面区域,以及
当所述第二表面轮廓中的区域的形变程度超过第二阈值时,将超过第二阈值的区域作为所述第二非平面区域。
5.如权利要求3所述的方法,其中,将至少一个所述第一非平面区域和至少一个所述第二非平面区域在所述表面指示的相交区域,作为所述缺陷候选区域包括:
获取至少一个所述第一非平面区域和/或至少一个所述第二非平面区域相对于所述表面至少一个边缘的距离;
根据所获取的距离,在至少一个所述第一非平面区域和至少一个所述第二非平面区域在所述表面指示的一个或多个相交区域中进行选择,得到所述缺陷候选区域。
6.如权利要求1所述的方法,其中,当存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测包括:
从第三检测方向获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,得到基于所述缺陷候选区域的表面图像中各个点相对于所述第三检测方向的深度值,其中所述第三检测方向与所述第一检测方向、所述第二检测方向均不相同;
根据所述各个点相对于所述第三检测方向的深度值,确定所述缺陷候选区域相应缺陷的位置。
7.如权利要求6所述的方法,其中,根据所述各个点相对于所述第三检测方向的深度值,确定所述缺陷候选区域相应缺陷的位置包括:
根据所述各个点相对于所述第三检测方向的深度值,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像中的平面区域;
对所述平面区域进行平面拟合,根据所述平面拟合的结果确定一个或多个缺陷的位置。
8.一种表面检查装置,包括:
获取单元,配置为获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;
确定单元,配置为根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;
检测单元,配置为当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
9.一种表面检查装置,包括:
处理器;
和存储器,在所述存储器中存储有计算机程序指令,
其中,在所述计算机程序指令被所述处理器运行时,使得所述处理器执行以下步骤:
获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;
根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;
当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
10.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序指令,其中,所述计算机程序指令被处理器执行时实现以下步骤:
获取至少第一边缘检测数据和第二边缘检测数据,所述第一边缘检测数据是对所述表面的边缘的第一检测方向检测得到的第一表面轮廓,所述第二边缘检测数据是对所述表面的边缘的第二检测方向检测得到的第二表面轮廓,所述第一检测方向与所述第二检测方向之间非平行;
根据至少所述第一边缘检测数据和所述第二边缘检测数据确定在所述表面上是否存在缺陷候选区域;
当确定在所述表面上存在所述缺陷候选区域时,获取基于所述缺陷候选区域的表面图像,根据基于所述缺陷候选区域的表面图像进行缺陷检测。
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