CN113862668A - 一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具及其方法，包括千分尺、推盘、底座、底板、电极板、下层电极板、定位板、上层电极板、上盖板。从下到上依次先后摆放底板、电极板、下层电极板、定位板、电极板、上层电极板，过程中根据设计的电极尺寸及电极偏心值，通过千分尺及推盘分别推动下层电极板、定位板、上层电极板相对于电极板横竖位移，确定最终的掩膜尺寸，过程中通过磁铁吸块吸附、大帽螺丝固定，防止偏移。本发明节省了夹具定制的费用，减少研发成本，同时节约了定制夹具的等待时间，有利于推动项目的快速进行；此外，灵活可调的成膜夹具解决了一一对应夹具在穷尽尺寸上的不足问题，有利于最佳方案的设计及确定。

Description

一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具及其方法

技术领域

本发明是一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具及其方法，属于石英电子元器件制作的生产设计技术领域。

背景技术

石英晶体元器件为各类电路系统提供时钟信号，又称为电子系统的“心脏”。石英晶体元器件的主要工作原理是逆压电效应：在石英晶体两端加上电压，晶体产生形变，应变大小与场强成正比，将电能转化为机械能。常见的晶体振动模式为厚度切变模式。随着电子信息技术的飞速发展，电子元器件的运用越来越广泛，同时对频率元件的要求也变得越来越高。石英晶体频率元器件也面临着更高的稳定性、更好的DLD特性等要求。

电极尺寸及偏心值的设计直接影响到石英晶体元器件的稳定性，且影响显著，合理的电极尺寸及偏心值设计会保证石英晶体谐振器、振荡器的频率稳定，如果设计不合理，将会导致频率的跳变，影响整个系统的稳定。

在新品研发的设计过程中，电极尺寸及偏心值的设计是一项重点研究对象，传统的设计方法是设计梯度尺寸及偏心，定制一一对应电极板夹具，再进行试验验证，如果结果不合格，仍需重复的去定制夹具，这个过程耗时伤财，且很难穷尽尺寸配合。

石英晶片的电极分为主电极和副电极两部分，主电极区域为石英晶片的主振区域，决定石英晶片的频率及相关特性，副电极区域主要起到导电作用，对石英晶片的性能影响可忽略不计，因此可以在牺牲负电极尺寸一致性的基础上，在一定范围内调整主电极尺寸，达到石英晶片的最佳性能。

发明内容

本发明提出的是一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具及方法。其目的在于解决传统的尺寸、偏心固定型单层电极板定制周期长、定制成本高、尺寸局限性等问题，提出一种两层式尺寸、偏心可调的电极板，通过千分尺推盘工装推动各层夹具相对位移，实现尺寸和偏心的设计，进而提高设计研发效率、提升设计研发水平。

本发明的技术解决方案：一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其结构包括4个千分尺1、4个推盘2、底座3、可调电极板，所述4个千分尺及推盘通过螺丝固定在底座3的四个方向上，千分尺推动推盘2紧贴可调电极板，推动夹具位移；所述可调电极板由两层电极板配合组成，自下往上依次为底板A、第一电极板B1、下层电极板C、定位板D、第二电极板B2、上层电极板E、上盖板F，所述第二电极板B2和上层电极板E组成上电极板，第一电极板B1和下层电极板C组成下电极板；所述的底板A、第一电极板B1、第二电极板B2、上盖板F的长宽尺寸相同；所述第一电极板B1和第二电极板B2、下层电极板C、定位板D、上层电极板E的长宽尺寸依次增大；

所述底板A、第一电极板B1、下层电极板C、定位板D、第二电极板B2、上层电极板E都分别设有多个可拆定位销通孔、多个定位销通孔和多个螺纹孔，上盖板F设有多个螺纹孔，第一电极板B1、下层电极板C、定位板D、第二电极板B2、上层电极板E上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔同心但大于底板A上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔，使得下层电极板C与第一电极板B1、上层电极板E与第二电极板B2间相对横竖位移可调节，从而调节镀膜电极的外形尺寸，定位板D相对于固定的第一电极板B1和第二电极板B2的横竖位移可调节，从而调节镀膜电极相对于石英晶片的偏心值，调节完成后固定各板位置，开始清洗镀膜。

所述第一电极板B1和第二电极板B2上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔同心，下层电极板C上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔同心但大于底板A上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔，定位板D上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔同心但大于底板A上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔，上层电极板E上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔同心但大于底板A上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔。

所述底板A为强磁性不锈钢材质，下层电极板C、定位板D、上层电极板E、上盖板F为弱磁性不锈钢材质，电极板B为无磁性不锈钢材质；所述底板A上设有凹槽，槽内放置磁铁吸块A8，通过大帽螺丝9及磁铁吸块A8将定位后的下层电极板C、定位板D、上层电极板E固定在底板A上。

所述可拆定位销销孔的位置设计不对称，达到防错的效果。

所述的底板A上有80个规则排列的矩形通孔、19个规则排列的矩形凹槽，槽内放置磁铁吸块A8；底板A上有6个螺纹孔A2通孔、A3通孔、A4通孔、A2’通孔、A3’通孔、A4’通孔，孔径对应大帽螺丝9；2个定位销通孔A6通孔、A6’通孔与定位销6配合；4个可拆定位销通孔A1通孔、A5通孔、A1’通孔、A5’通孔与可拆定位销同心，孔径大于可拆定位销；

所述的电极板B上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；2个定位销通孔B6通孔、B6’通孔与定位销配合；6个螺纹孔与4个可拆定位销通孔B1通孔、B2通孔、B3通孔、B4通孔、B5通孔、B1’通孔、B2’通孔、B3’通孔、B4’通孔、B5’通孔分别与底板A上的对应通孔同心；

所述的下层电极板C上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；2个可拆定位销通孔C1通孔、C1’通孔与可拆定位销配合；6个螺纹孔与4个可拆定位销通孔C2通孔、C3通孔、C4通孔、C5通孔、C6通孔、C2’通孔、C3’通孔、C4’通孔、C5’通孔、C6’通孔分别与底板A上的对应通孔同心；

所述的定位板D上有80个规则排列的定位通孔，19个规则排列的双矩形通孔；2个可拆定位销通孔D7通孔、D7’通孔与可拆定位销配合，6个螺纹孔、2个定位销通孔、4个可拆定位销通孔D1通孔、D2通孔、D3通孔、D4通孔、D5通孔、D6通孔、D1’通孔、D2’通孔、D3’通孔、D4’通孔、D5’通孔、D6’通孔分别与底板A上的对应通孔同心；D2通孔、D2’通孔孔径大于大帽螺丝9帽径。

所述的上层电极板E上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；2个可拆定位销通孔E5通孔、E5’通孔与可拆定位销配合；6个螺纹孔、2个定位销通孔、4个可拆定位销通孔E1通孔、E2通孔、E3通孔、E4通孔、E6通孔、E7通孔、E1’通孔、E2’通孔、E3’通孔、E4’通孔、E6’通孔、E7’通孔分别与底板A上的对应通孔同心；E2通孔、E4通孔、E2’通孔、E4’通孔孔径大与大帽螺丝9帽径；

所述的上盖板F上2个定位销通孔F6通孔、F6’通孔与定位销8配合；6个螺纹孔F2通孔、F3通孔、F4通孔、F2’通孔、F3’通孔、F4’通孔分别与底板A上的对应通孔同心, 且孔径大于大帽螺丝9帽径。

其工作方法，其特征是包括如下步骤：底板A和电极板B通过底座定位销固定，下层电极板通过可拆定位销固定初始位置，调节千分尺使推盘紧贴下层电极板侧壁，取下可拆定位销，盖上上盖板，四方位千分尺相互配合，推动下层电极板相对电极板B横向位移改变电极宽度尺寸，推动下层电极板相对电极板B竖位移改变电极长度尺寸，尺寸调整完毕后，取下上盖板，利用大帽螺丝固定下层电极板，四方位千分尺复位；然后通过可拆定位销固定定位板初始位置，调节千分尺使推盘紧贴定位板侧壁，取下可拆定位销，盖上上盖板，根据下层电极板相对电极板B的相对位移数值及设计的电极偏心值，计算定位板相对于电极板A横竖位移，四方位千分尺相互配合推动定位板到相应位置，取下上盖板，利用大帽螺丝固定定位板，再将待镀膜石英晶片摆放在定位板槽内，四方位千分尺复位；通过底座定位销固定电极板，上层电极板重复下层电极板的操作后，直接清洗镀膜即可。

本发明的有益效果：本发明的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具及其方法代替了设计开发过程中电极尺寸与电极板一一对应的方法，通过将传统的单层电极板尺寸固定成形方式调整为两层电极板和定位板相互配合尺寸、偏心可调的灵活成形方式，一方面节省了夹具定制的费用，减少研发成本；另一方面也节约了定制夹具的等待时间，有利于推动项目的快速进行；此外，灵活可调的成膜夹具解决了一一对应夹具在穷尽尺寸上的不足问题，有利于最佳方案的设计及确定, 提高设计研发效率、提升设计研发水平。

附图说明

附图1是千分尺1、推盘2、底座3组装示意图。

附图2是底板A、电极板B、下层电极板C、定位板D、电极板A、上层电极板E的叠放次序示意图。

附图3是石英晶片电极放大示意图。

附图4是底板A及磁铁吸块A8配合示意图。

附图5是电极板B示意图。

附图6是下层电极板C示意图。

附图7是定位板D示意图。

附图8是上层电极板E示意图。

附图9是上盖板F示意图。

附图10是电极板B、下层电极板C、定位板D、上层电极板E局部工位放大示意图。

附图11是电极板B与下层电极板C位移前后对比部分工位放大示意图。

附图12是电极板B与上层电极板E位移前后对比部分工位放大示意图。

附图13是下层电极板C、定位板D、上层电极板E相对位移且固定后待镀膜夹具示意图。

图中A是底板、B是电极板、C是下层电极板、D是定位板、E是上层电极板、F是上盖板。

A1、A5、A6、A7、A1’ A5’ A6’ A7’、B1-B7、B1’-B7’、C1-C7、C1’-C7’、D1-D7、D1’-D7’、E1-E7、E1’-E7’、F2-F7、F2’-F7’都是通孔，A2-A4、A2’-A4’是螺纹孔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明技术方案进一步说明

如附图1-3所示，一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具、工装及方法，结构包括：千分尺1、推盘2、底座3、可拆定位销4、可拆定位销5、定位销6、可拆定位销8、大帽螺丝9、磁铁吸块A8、底板A、电极板B、下层电极板C、定位板D、上层电极板E、上盖板F。

所述的千分尺1、推盘2均有4个，千分尺通过螺丝固定在底座3的四个方向上。

所述的底座3上有可拆定位销4、5的销孔各两个，两个销孔的位置设计不对称，达到防错的效果；底座3上有6个沉孔7，孔径大于大帽螺丝8的直径。

如附图4所示，所述的底板A上有80个规则排列的矩形通孔、19个规则排列的矩形凹槽，槽内放置磁铁吸块A8；底板A上有6个螺纹孔A2、A3、A4，孔径对应大帽螺丝9；A6通孔与定位销6配合；A1、A5与可拆定位销4、5同心，孔径大于可拆定位销4、5。

如附图5所示，所述的电极板B上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；B6通孔与定位销6配合；B1、B2、B3、B4、B5分别与A1、A2、A3、A4、A5同心，且孔径大于A1、A2、A3、A4、A5；

如附图6所示，所述的下层电极板C上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；C1与可拆定位销4配合； C2、C3、C4、C5、C6分别与A2、A3、A4、A5、A6同心，且孔径大于A2、A3、A4、A5、A6；

如附图7所示，所述的定位板D上有80个规则排列的定位通孔，19个规则排列的双矩形通孔；D7与可拆定位销8配合，D1、D2、D3、D4、D5、D6分别与A1、A2、A3、A4、A5、A6同心，且孔径大于A1、A2、A3、A4、A5、A6；D2孔径大于大帽螺丝9帽径。

如附图8所示，所述的上层电极板E上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；E5与可拆定位销5配合；E1、E2、E3、E4、E6、E7分别与A1、A2、A3、A4、A6、A7同心, 且孔径大于A1、A2、A3、A4、A6、A7；E2、E4孔径大与大帽螺丝9帽径。

如附图9所示，所述的上盖板F上F6与定位销8配合；F2、F3、F4分别与A2、A3、A4同心, 且孔径大于大帽螺丝9帽径。

所述的底板A、电极板B、上盖板F的长宽尺寸相同；电极板B、下层电极板C、定位板D、上层电极板E的长宽尺寸依次增大；

所述的底板A为强磁性不锈钢材质，下层电极板C、定位板D、上层电极板E、上盖板F为弱磁性不锈钢材质，电极板B为无磁性不锈钢材质。

底板A和电极板B通过底座定位销固定，下层电极板通过可拆定位销固定初始位置，调节千分尺使推盘紧贴下层电极板侧壁，取下可拆定位销，盖上上盖板，四方位千分尺相互配合，推动下层电极板相对电极板B横向位移改变电极宽度尺寸，推动下层电极板相对电极板B竖位移改变电极长度尺寸，尺寸调整完毕后，取下上盖板，利用大帽螺丝固定下层电极板，四方位千分尺复位；然后通过可拆定位销固定定位板初始位置，调节千分尺使推盘紧贴定位板侧壁，取下可拆定位销，盖上上盖板，根据下层电极板相对电极板B的相对位移数值及设计的电极偏心值，计算定位板相对于电极板A横竖位移，四方位千分尺相互配合推动定位板到相应位置，取下上盖板，利用大帽螺丝固定定位板，再将待镀膜石英晶片摆放在定位板槽内，四方位千分尺复位；通过底座定位销固定电极板，上层电极板重复下层电极板的操作后，直接清洗镀膜即可。

实施例1

如图1，一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具、工装及方法，结构包括千分尺1、推盘2、底座3、可拆定位销4、可拆定位销5、定位销6、可拆定位销8、大帽螺丝9、磁铁吸块A8、底板A、电极板B、下层电极板C、定位板D、上层电极板E、上盖板F。其中，底板A、第一电极板B1、第二电极板B2、上盖板F尺寸为 75*90mm；下层电极板C尺寸为77*92mm；定位板D尺寸为79*94mm；上层电极板E尺寸为81*96mm。

A1通孔、A1’ 通孔直径为4mm；A2通孔、A3通孔、A4通孔、A2’ 通孔、A3’ 通孔、A4’通孔、A5 通孔、A5’ 通孔直径为5mm；A6通孔、A6’ 通孔直径为4mm；A7通孔、A7’ 通孔直径为5mm；

B1通孔、B1’ 通孔直径5mm；B2通孔、B3通孔、B4通孔、B2’ 通孔、B3’ 通孔、B4’ 通孔直径4mm；B5通孔、B5’ 通孔直径6mm；B6通孔、B6’ 通孔直径4mm；B7通孔、B7’ 通孔直径6mm；

C1通孔、C1’ 通孔直径4mm；C2通孔、C3通孔、C4通孔尺寸为8*7mm；C2’ 通孔、C3’通孔、C4’ 通孔尺寸为8*6mm；C5通孔、C5’ 通孔直径8mm；C6通孔、C6’ 通孔直径8mm；C7通孔、C7’ 通孔直径：7mm；

D1通孔、D1’ 通孔直径7mm；D2通孔、D2’ 通孔直径12mm ；D3通孔、D4通孔尺寸9*7mm；D3’ 通孔、D4’ 通孔尺寸为9*6mm；D5通孔、D5’ 通孔直径7mm；D6通孔、D6’ 通孔直径8mm；D7通孔、D7’ 通孔直径5mm；

E1通孔、E1’ 通孔直径7mm；E2通孔、E2’ 通孔、E4通孔、E4’ 通孔直径12mm；E3通孔、E3’ 通孔尺寸9*8mm；E5通孔、E5’ 通孔直径5mm；D6通孔、D6’ 通孔直径8mm；D7通孔、D7’通孔直径7mm；

F2通孔、F3通孔、F4通孔、F2’ 通孔、F3’ 通孔、F4’ 通孔直径12mm；F6通孔、F6’ 通孔直径：4mm。

使用时，将可拆卸定位销4、5分别插入底座3的定位销孔，然后将底板A和电极板B先后通过底座定位销6固定在底座3上，再将下层电极板通过两个可拆定位销4固定初始中心位置，如附图11-12所示，调节四个千分尺1使四个推盘2紧贴下层电极板C侧壁，取下两个可拆定位销4，盖上上盖板F，四方位千分尺1相互配合，推动下层电极板C相对电极板B向左横向位移a,使电极宽度尺寸减小a，推动下层电极板C相对电极板B向上竖向位移b, 使电极长度尺寸减小b，尺寸调整完毕后，取下上盖板F，利用两个大帽螺丝9（对应底板A2螺纹孔）固定下层电极板，四方位千分尺复位；然后通过可拆定位销8固定定位板D初始中心位置，调节四个千分尺1使四个推盘2紧贴定位板D侧壁，取下可拆定位销8，盖上上盖板F，根据下层电极板相对电极板B的相对位移数值及设计的电极偏心值s，计算定位板相对于电极板A横竖位移，四方位千分尺相互配合推动定位板向左横向位移a，向上竖向位移(b+s),取下上盖板F，利用大帽螺丝9（对应底板A4螺纹孔）固定定位板，再将待镀膜石英晶片摆放在定位板槽内，四方位千分尺复位；再通过底座定位销6固定另一块电极板B，之后再在电极板B上层利用可定位销5固定上层电极板E的初始位置，调节四个千分尺1使四个推盘2紧贴上层电极板E侧壁，取下两个可拆定位销5，盖上上盖板F，四方位千分尺1相互配合，推动上层电极板E相对电极板B向左横向位移a,使电极宽度尺寸减小a，推动上层电极板E相对电极板B向上竖向位移b, 使电极长度尺寸减小b，尺寸调整完毕后，取下上盖板F，利用两个大帽螺丝9（对应底板A3螺纹孔）固定下层电极板，四方位千分尺复位，如图13，至此新尺寸的镀膜夹具已经组装完成，后续直接清洗镀膜即可。

Claims (8)

1.一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是其结构包括4个千分尺（1）、4个推盘（2）、底座（3）、可调电极板，所述4个千分尺及推盘通过螺丝固定在底座（3）的四个方向上，千分尺（1）推动推盘（2）紧贴可调电极板，推动夹具位移；所述可调电极板由两层电极板配合组成，自下往上依次为底板（A）、第一电极板（B1）、下层电极板（C）、定位板（D）、第二电极板（B2）、上层电极板（E）、上盖板（F），所述第二电极板（B2）和上层电极板（E）组成上电极板，第一电极板（B1）和下层电极板（C）组成下电极板，第一电极板（B1）与第二电极板（B2）相同；所述的底板（A）、第一电极板（B1）、第二电极板（B2）、上盖板（F）的长宽尺寸相同；所述第一电极板（B1）和第二电极板（B2）、下层电极板（C）、定位板（D）、上层电极板（E）的长宽尺寸依次增大；

所述底板（A）、第一电极板（B1）、下层电极板（C）、定位板（D）、第二电极板（B2）、上层电极板（E）都分别设有多个可拆定位销通孔、多个定位销通孔和多个螺纹孔，底板（A）设有多个螺纹孔，第一电极板（B1）、下层电极板（C）、定位板（D）、第二电极板（B2）、上层电极板（E）上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔同心但大于底板（A）上的可拆定位销通孔、定位销通孔和螺纹孔，使得下层电极板（C）与第一电极板（B1）、上层电极板（E）与第二电极板（B2）间相对横竖位移可调节，从而调节镀膜电极的外形尺寸，定位板（D）相对于固定的第一电极板（B1）和第二电极板（B2）的横竖位移可调节，从而调节镀膜电极相对于石英晶片的偏心值，调节完成后固定各板位置，开始清洗镀膜。

2.根据权利要求1所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是所述底板（A）为强磁性不锈钢材质，下层电极板（C）、定位板（D）、上层电极板（E）、上盖板（F）为弱磁性不锈钢材质，电极板（B）为无磁性不锈钢材质；所述底板（A）上设有凹槽，槽内放置磁铁吸块（A8），通过大帽螺丝（9）及磁铁吸块（A8）将定位后的下层电极板（C）、定位板（D）、上层电极板（E）固定在底板（A）上。

3.根据权利要求1所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是所述可拆定位销销孔的位置设计不对称，达到防错的效果。

4.根据权利要求1所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是所述的底板（A）上有80个规则排列的矩形通孔、19个规则排列的矩形凹槽，槽内放置磁铁吸块（A8）；底板（A）上有6个螺纹孔A2通孔、A3通孔、A4通孔、A2’通孔、A3’通孔、A4’通孔，孔径对应大帽螺丝（9）；2个定位销通孔A6通孔、A6’通孔与1#定位销（6）、1’#定位销（6’）配合；4个可拆定位销通孔A1通孔、A5通孔、A1’通孔、A5’通孔与1#可拆定位销（4）、3#可拆定位销（5）、1’#可拆定位销（4’）、3’#可拆定位销（5’）同心，孔径大于可拆定位销；

所述的电极板（B）上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；2个定位销通孔B6通孔、B6’通孔与1#定位销（6）、1’#定位销（6’）配合； 12个普通通孔B1通孔、B2通孔、B3通孔、B4通孔、B5通孔、B7通孔、B1’通孔、B2’通孔、B3’通孔、B4’通孔、B5’通孔、B7’通孔分别与底板（A）上的对应通孔同心；

所述的下层电极板（C）上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；2个可拆定位销通孔C1通孔、C1’通孔与1#可拆定位销（4）、1’#可拆定位销（4’）配合；12个普通通孔C2通孔、C3通孔、C4通孔、C5通孔、C6通孔、C7通孔、C2’通孔、C3’通孔、C4’通孔、C5’通孔、C6’通孔、C7’通孔分别与底板（A）上的对应通孔同心；

所述的定位板（D）上有80个规则排列的定位通孔，19个规则排列的双矩形通孔；2个可拆定位销通孔D7通孔、D7’通孔与2#可拆定位销（8）、2’#可拆定位销（8’）配合；12个普通通孔D1通孔、D2通孔、D3通孔、D4通孔、D5通孔、D6通孔、D1’通孔、D2’通孔、D3’通孔、D4’通孔、D5’通孔、D6’通孔分别与底板（A）上的对应通孔同心；D2通孔、D2’通孔孔径大于大帽螺丝（9）帽径。

所述的上层电极板E上有80个规则排列的电极通孔，19个规则排列的双矩形通孔；2个可拆定位销通孔E5通孔、E5’通孔与3#可拆定位销（5）、3’#可拆定位销（5’）配合；12个普通通孔E1通孔、E2通孔、E3通孔、E4通孔、E6通孔、E7通孔、E1’通孔、E2’通孔、E3’通孔、E4’通孔、E6’通孔、E7’通孔分别与底板A上的对应通孔同心；E2通孔、E4通孔、E2’通孔、E4’通孔孔径大与大帽螺丝（9）帽径；

所述的上盖板（F）上2个定位销通孔F6通孔、F6’通孔与1#定位销（6）、1’#定位销（6’）配合；6个普通通孔F2通孔、F3通孔、F4通孔、F2’通孔、F3’通孔、F4’通孔分别与底板A上的对应通孔同心, 且孔径大于大帽螺丝9帽径。

5.根据权利要求1所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是所述底板（A）、第一电极板（B1）、第二电极板（B2）、上盖板（F）尺寸为 75*90mm；下层电极板（C）尺寸为77*92mm；定位板（D）尺寸为79*94mm；上层电极板（E）尺寸为81*96mm。

6.根据权利要求4所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具，其特征是所述A1通孔、A1’ 通孔直径为4mm；A2通孔、A3通孔、A4通孔、A2’ 通孔、A3’ 通孔、A4’ 通孔、A5 通孔、A5’通孔直径为5mm；A6通孔、A6’ 通孔直径为4mm；A7通孔、A7’ 通孔直径为5mm；

B1通孔、B1’ 通孔直径5mm；B2通孔、B3通孔、B4通孔、B2’ 通孔、B3’ 通孔、B4’ 通孔直径4mm；B5通孔、B5’ 通孔直径6mm；B6通孔、B6’ 通孔直径4mm；B7通孔、B7’ 通孔直径6mm；

C1通孔、C1’ 通孔直径4mm；C2通孔、C3通孔、C4通孔尺寸为8*7mm；C2’ 通孔、C3’ 通孔、C4’ 通孔尺寸为8*6mm；C5通孔、C5’ 通孔直径8mm；C6通孔、C6’ 通孔直径8mm；C7通孔、C7’通孔直径：7mm；

D1通孔、D1’ 通孔直径7mm；D2通孔、D2’ 通孔直径12mm ；D3通孔、D4通孔尺寸9*7mm；D3’ 通孔、D4’ 通孔尺寸为9*6mm；D5通孔、D5’ 通孔直径7mm；D6通孔、D6’ 通孔直径8mm；D7通孔、D7’ 通孔直径5mm；

E1通孔、E1’ 通孔直径7mm；E2通孔、E2’ 通孔、E4通孔、E4’ 通孔直径12mm；E3通孔、E3’通孔尺寸9*8mm；E5通孔、E5’ 通孔直径5mm；D6通孔、D6’ 通孔直径8mm；D7通孔、D7’ 通孔直径7mm；

F2通孔、F3通孔、F4通孔、F2’ 通孔、F3’ 通孔、F4’ 通孔直径12mm；F6通孔、F6’ 通孔直径：4mm。

7.如权利要求1所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具的工作方法，其特征是包括如下步骤：底板（A）和电极板（B1）通过1#定位销（6）、1’#定位销（6’）固定，下层电极板（C）通过1#可拆定位销（4）、1’#可拆定位销（4’）固定初始位置，调节千分尺使推盘紧贴下层电极板（C）侧壁，取下可拆定位销，盖上上盖板，四方位千分尺相互配合，推动下层电极板相对电极板（B1）横向位移改变电极宽度尺寸，推动下层电极板相对电极板（B1）竖位移改变电极长度尺寸，尺寸调整完毕后，取下上盖板，利用大帽螺丝固定下层电极板，四方位千分尺复位；然后通过可拆定位销固定定位板初始位置，调节千分尺使推盘紧贴定位板侧壁，取下可拆定位销，盖上上盖板，根据下层电极板相对电极板（B1）的相对位移数值及设计的电极偏心值，计算定位板相对于电极板（A）横竖位移，四方位千分尺相互配合推动定位板到相应位置，取下上盖板，利用大帽螺丝固定定位板，再将待镀膜石英晶片摆放在定位板槽内，四方位千分尺复位；通过底座定位销固定电极板，上层电极板重复下层电极板的操作后，直接清洗镀膜即可。

8.如权利要求7所述的一种电极尺寸、偏心可调的镀膜夹具的工作方法，其特征是镀膜夹具的具体尺寸和偏心调整方法为：将1#可拆卸定位销（4）、3#可拆卸定位销（5）分别插入底座（3）的定位销孔，然后将底板（A）和电极板（B）先后通过底座1#定位销（6）固定在底座（3）上，再将下层电极板通过两个可拆定位销固定初始中心位置；调节四个千分尺（1）使四个推盘（2）紧贴下层电极板（C）侧壁，取下两个可拆定位销，盖上上盖板（F），四方位的千分尺（1）相互配合，推动下层电极板（C）相对电极板（B）向左横向位移a,使电极宽度尺寸减小a，推动下层电极板（C）相对电极板（B）向上竖向位移）, 使电极长度尺寸减小b，尺寸调整完毕后，取下上盖板（F），利用两个大帽螺丝固定下层电极板，四方位的千分尺复位；然后通过2#可拆定位销（8）固定定位板（D）初始中心位置，调节四个千分尺（1）使四个推盘（2）紧贴定位板（D）侧壁，取下2#可拆定位销（8），盖上上盖板（F），根据下层电极板相对电极板（B）的相对位移数值及设计的电极偏心值s，计算定位板相对于电极板（A）横竖位移，四方位千分尺相互配合推动定位板向左横向位移a，向上竖向位移b+s，取下上盖板（F），利用大帽螺丝固定定位板，再将待镀膜石英晶片摆放在定位板槽内，四方位的千分尺复位；再通过底座定位销固定另一块电极板（B），之后再在电极板（B）上层利用可可拆定位销固定上层电极板（E）的初始位置，调节四个千分尺（1）使四个推盘（2）紧贴上层电极板（E）侧壁，取下两个可拆定位销，盖上上盖板（F），四方位千分尺（1）相互配合，推动上层电极板（E）相对电极板（B）向左横向位移a,使电极宽度尺寸减小a，推动上层电极板（E）相对电极板（B）向上竖向位移b, 使电极长度尺寸减小b，尺寸调整完毕后，取下上盖板（F），利用两个大帽螺丝固定下层电极板，四方位的千分尺复位，至此新尺寸的镀膜夹具组装完成，后续直接清洗镀膜。

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