CN113846306B - 一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种真空锁装置，尤其是涉及一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其技术方案要点是：设置在相邻两个腔室之间；包括设置在溅镀室上并与溅镀室连通的真空法兰；真空法兰的一端设置有两个轴线平行设置的外筒，外筒具有弹性，两个外筒的周面之间存在供柔性薄膜通过的空隙；外筒靠近真空法兰的一侧设置有固定在真空法兰端面上的密封筒，密封筒周向的两端固定有与外筒周面贴合并能够相对滑动的挡片；真空锁装置还包括充气组件以及驱动机构；当两个外筒内部充满气体并发生膨胀时，柔性薄膜被压紧在两个外筒之间；达到了在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来的目的。

Description

一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置

技术领域

本申请涉及一种真空锁装置，尤其是涉及一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置。

背景技术

柔性导电薄膜沉积技术已在柔性触摸屏以及锂电池等行业广泛推广，柔性薄膜通过卷绕镀膜设备在真空环境下完成镀制；相关技术中的卷绕镀膜设备多为一个腔室，即放卷、溅镀以及收卷工艺步骤均在同一个腔室完成，对应的镀膜流程为：溅镀-破真空-更换膜卷-抽真空-溅镀，如此循环往复；而在这一过程中破真空以及抽真空往往需要耗费较长时间，进而造成镀膜生产效率低下。

为提高镀膜生产效率，即降低或免除破真空和抽真空时间，这就需要为放卷、溅镀、收卷分别单独设置一个腔室，即依次设置的放卷室、溅镀室以及收卷室；其中，放卷室和收卷室可以根据工艺要求设置为大气状态或低真空环境，溅镀室为高真空环境，且相邻两个腔室之间在可供柔性薄膜以预设的走速通过；为此，如何实现在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收/放卷室低真空环境隔离开来，成为亟需解决的问题。

发明内容

为了在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来，本申请提供一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置。

本申请提供的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置采用如下的技术方案：

一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，设置在相邻两个腔室之间；包括设置在溅镀室上并与溅镀室连通的真空法兰；真空法兰的一端设置有两个轴线平行设置的外筒，外筒具有弹性，两个外筒的周面之间存在供柔性薄膜通过的空隙；外筒靠近真空法兰的一侧设置有固定在真空法兰端面上的密封筒，密封筒套设在外筒上且密封筒的径向截面形状为圆弧形，密封筒周向的两端固定有与外筒周面贴合并能够相对滑动的挡片；真空锁装置还包括用于向外筒内部充放气的充气组件，以及用于驱动两个外筒相向等速并围绕自身轴线定轴转动的驱动机构；当两个外筒内部充满气体并发生膨胀时，柔性薄膜被压紧在两个外筒之间。

通过采用上述技术方案，挡片与密封筒的设置将真空法兰背离溅镀室的端面密封起来，防止由于空气通过真空法兰端面的缝隙对溅镀室的真空环境造成影响；当需要向溅镀室内部输入或从溅镀室内部抽出柔性薄膜时，充气组件向外筒内部充气，以使外筒发生膨胀，两个外筒相互靠近的一侧周面进而向相互靠近的方向形变并将位于二者之间的柔性薄膜压紧，两个外筒之间的间隙被消除并仅可供柔性薄膜通过，真空法兰背离溅镀室的一端进而被完全密封；驱动机构驱动两个外筒相向等速转动，进而使得被压紧在二者之间的柔性薄膜被向溅镀室内部或外部输送，实现了柔性薄膜的传输；综上，在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来。

可选的，驱动机构驱动外筒的周面切向速度等于柔性薄膜的走速；驱动机构包括动力组件以及与密封筒端面固接的端头法兰，端头法兰内部转动连接有两个中心轴,两个中心轴分别与相应的外筒端面同轴固接；每个中心轴上同轴固接有驱动齿轮，两个驱动齿轮相互啮合；动力组件用于驱动驱动齿轮围绕自身轴线定轴转动。

通过采用上述技术方案，外筒的周面切向速度等于柔性薄膜的走速，可有效可避免柔性薄膜由于速度差而被划伤；动力组件驱动其中一个驱动齿轮定轴转动，该驱动齿轮进而驱动另一驱动齿轮围绕自身轴线定轴转动，两个驱动齿轮进而同速反向转动，并带动相应的外筒同速反向转动，两个外筒进而对夹紧在二者之间的柔性薄膜进行输送，由于放卷室和收卷室对柔性薄膜的输送方向相反，因此仅需要通过调整相应动力组件的动力传输方向即可。

可选的，外筒内部同轴设置有内筒，中心轴与内筒的端面固接，内筒的周面上开设有多个充气孔，内筒的外壁与外筒的内壁之间存在空隙；充气组件包括同轴转动连接在中心轴内部的进气轴，进气轴与端头法兰之间位置固定，进气轴上开设有与内筒内部连通的中心孔，中心孔连通有气源。

通过采用上述技术方案，当需要向外筒内部充气时，气源通过中心孔向内筒内部输送气体，气体进而通过充气孔逸至外筒与内筒之间。

可选的，内筒内部设置有固定在进气轴上的永磁铁，永磁铁沿内筒的轴线方向延伸；永磁铁的两极均沿内筒的径向延伸且两极之间存在夹角；密封筒为导磁刚性材质制成的密封筒，密封筒的内壁与外筒的外壁之间存在空隙并填充有磁液，密封筒的内壁上成型有两个凸起组件，两个凸起组件分别与永磁铁的两极相对设置，凸起组件包括多个沿密封筒周向间隔分布的凸起。

通过采用上述技术方案，密封筒、两个凸起组件以及永磁铁共同形成一个闭环磁性回路，磁液在该闭环磁性回路的作用下，将集中分布在两个凸起组件所在的位置处，进一步的，磁液将填充在相邻两个凸起以及凸起与外筒之间，进而在外筒以及密封筒之间形成多个密封条，对外筒以及密封筒之间起到进一步的密封作用，进一步防止气体通过外筒与密封筒之间进入到真空法兰内部而对溅镀室的真空环境造成影响。

可选的，永磁铁的端部与进气轴靠近内筒的一端固定连接。

通过采用上述技术方案，由于进气轴与端头法兰之间位置固定，进而永磁铁将静置在内筒内部，以使形成的闭环磁性回路固定，位于外筒与密封筒之间的磁液进而能够更加稳定的处于凸起组件所在位置处，即能够使形成在外筒以及密封筒之间的密封条能够起到更稳定的密封效果。

可选的，中心轴靠近内筒的一端开设有充气腔，充气腔与内筒内部连通；进气轴上开设有贯穿进气轴周面并与中心孔连通的进气孔，进气孔与充气腔连通。

通过采用上述技术方案，气体能够依次通过中心孔、进气孔以及充气腔进入到内筒内部，为永磁铁安装在进气轴的端面上提供条件。

可选的，端头法兰背离内筒的一端固定有端头盖，驱动齿轮被罩设在端头盖内部，进气轴贯穿端头盖的端面并向端头盖外部延伸；端头盖上固定有用于夹紧进气轴的卡子。

通过采用上述技术方案，端头盖对驱动机构的内部零件起到保护作用，提高包括驱动齿轮等零件在内的使用寿命，此外实现进气轴与端头法兰之间的间接固接。

可选的，密封筒沿自身周向的两端设置有弹性片，弹性片向背离密封筒轴线的方向隆起；弹性片沿自身周向的一端与挡片固接，另一端与密封筒的外壁固接。

通过采用上述技术方案，安装弹性片时，使得弹性变存在向靠近密封筒外壁方向的弹性形变，由于弹性片的一端与密封筒的外壁固接，进而弹性片沿自身周向的一端将对挡片作用向靠近外筒方向的压力，进而使挡片更加可靠地贴合在外筒上，防止气体通过外筒与密封筒之间进入到真空法兰内部而对溅镀室的真空环境造成影响。

可选的，中心轴的周面与端头法兰的内壁之间设置有同轴套设在中心轴上的第一密封件。

通过采用上述技术方案，第一密封件起到对中心轴与端头法兰之间的密封作用，防止外界大气通过中心轴与端头法兰之间的空隙与真空法兰连通，而对溅镀室的真空环境造成影响。

可选的，中心轴与进气轴之间设置有同轴套设在进气轴上的第二密封件。

通过采用上述技术方案，第二密封件起对中心轴与进气轴之间的密封作用，防止进入到充气腔内部的气体从中心轴与进气轴之间逸出。

综上所述，本申请具有以下技术效果：

1.通过设置了真空法兰、外筒、密封筒、挡片、充气组件以及驱动机构，实现了在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来；

2.通过设置了内筒、进气轴、端头法兰、中心轴、驱动齿轮以及动力组件，在实现向外筒内部充气的同时，实现了驱动外筒转动以传输柔性薄膜；

3.通过设置了永磁铁、磁液以及凸起组件，对外筒以及密封筒之间起到进一步的密封作用，进一步防止气体通过外筒与密封筒之间进入到真空法兰内部而对溅镀室的真空环境造成影响。

附图说明

图1是本申请实施例中的真空锁装置沿垂直于外筒轴线方向的截面示意图；

图2是本申请实施例中的真空锁装置沿外筒轴向的截面示意图；

图3是本申请实施例中的驱动组件以及充气组件位置处的剖视示意图；

图4是本申请实施例中的端头盖内部的结构示意图；

图5是图2中A处的局部放大图；

图6是本申请实施例中的真空锁装置在真空法兰一侧的结构示意图。

图中，1、真空法兰；2、外筒；3、密封筒；31、凸起组件；311、凸起；4、挡片；5、充气组件；51、进气轴；511、中心孔；512、进气孔；52、接头；6、驱动机构；61、端头法兰；611、驱动腔室；62、中心轴；621、充气腔；63、驱动齿轮；64、同步带轮；7、内筒；71、充气孔；8、弹性片；9、永磁铁；10、磁液；11、端头盖；12、卡子；13、第一密封件；14、第二密封件；15、柔性薄膜。

具体实施方式

以下结合附图对本申请作进一步详细说明。

参照图1和图2，本申请提供了一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，设置在相邻两个腔室之间，即设置在放卷室与溅镀室之间以及溅镀室与收卷室之间，包括固定在溅镀室上并与溅镀室内部连通的真空法兰1，真空法兰1沿水平方向延伸为矩形；真空法兰1背离溅镀室的一侧设置有两个轴线水平且轴线相互平行的外筒2，外筒2的轴线沿真空法兰1的延伸方向延伸，外筒2具有弹性，具体的，外筒2的材质可以是弹性或高弹性非金属材质，包括但不限于高弹橡胶；外筒2的两端均设置有一个用于向外筒2内部充放气的充气组件5以及用于驱动外筒2围绕自身轴线定轴转动的驱动机构6，两个外筒2的同端共用同一驱动机构6，两个外筒2的同端分别配备使用各自的充气组件5，且每个外筒2的两端均配备充气组件5，即充气组件5共设置有四个；两个外筒2之间存在供柔性薄膜15通过的空隙。

当需要将放卷室或收卷室内的低真空环境与溅镀室的高真空环境隔离开来时，充气组件5向外筒2内部充气以使外筒2充气膨胀，两个外筒2之间的距离缩小直至将位于二者之间的柔性薄膜15夹紧，两个外筒2之间的空隙被消除并仅可供柔性薄膜15通过；例如，柔性薄膜15的厚度为0.5mm，在外筒2未由于充气而发生膨胀时，两个外筒2之间的间距为1.5mm，此时两个外筒2之间除去柔性薄膜15厚度的距离为1.0mm，当外筒2内部充满气体并发生膨胀时，两个外筒2将二者之间的柔性薄膜15夹紧并消除了上述1.0mm距离的空隙，进而实现真空法兰1背离溅镀室一侧的部分密封。

参照图1，但真空法兰1与外筒2之间仍存在可供空气或其他气体进入到真空法兰1内部的空隙，进而仍会对溅镀室内部的真空环境造成影响，为了克服这一技术问题，两个外筒2外部均套设有一个密封筒3，密封筒3与外筒2同轴设置并沿外筒2的轴线方向延伸，密封筒3的径向截面形状为圆弧形，密封筒3沿周向的一端向两个外筒2相互靠近的一侧延伸，密封筒3的另一端向两个外筒2相互背离的一侧延伸，两个外筒2的外壁分别与真空法兰1的上下两边抵接并通过焊接或其他方式固定连接在真空法兰1上；密封筒3沿自身周向的两端分别固定有一个长条板状的挡片4，该固定方式可以是焊接等，挡片4沿外筒2轴线的方向延伸并同时向靠近外筒2外壁的方向延伸，挡片4靠近外筒2的一侧与外筒2之间相互贴合并与外筒2之间能够发生相对滑动。

挡片4与密封筒3的设置使得真空法兰1的端面处与外筒2之间的空隙封闭起来，防止空气通过该空隙进入到真空法兰1内部并对溅镀室内的真空环境造成影响；至此，挡片4以及密封筒3配合外筒2的膨胀以实现真空法兰1背离溅镀室一端的密封，同时，驱动机构6驱动两个外筒2相向等速转动，进而使得被压紧在二者之间的柔性薄膜15被向溅镀室内部或外部输送，即在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来；进一步的，外筒2的周面切向速度等于柔性薄膜15预设的走速，进而消除外筒2与柔性薄膜15之间的速度差，以有效避免柔性薄膜15由于与外筒2周面之间的相互摩擦而被划伤。

具体的，参照图2和图3，驱动机构6包括动力组件以及端头法兰61，端头法兰61靠近外筒2的一端端面同时与密封筒3以及挡片4的端面通过焊接或其他方式实现固定密封连接，端头法兰61内部开设有两个相互分隔开来的驱动腔室611，两个驱动腔室611内部分别设置有一个中心轴62，中心轴62的周面与驱动腔室611的内壁相贴合并相互转动连接，中心轴62的周面与驱动腔室611的内壁之间设置有第一密封件13，第一密封件13同轴套设在中心轴62上；其中，第一密封件13可以是密封圈，也可以采用骨架油封或磁流体密封的方式进行密封，在本实施例中第二密封圈设置有两个，且本实施例采用两个分别靠近中心轴62两端设置的密封圈。

再结合图4和图5，两个中心轴62分别与相应的外筒2同轴设置，中心轴62靠近外筒2的一端与外筒2的端面之间通过焊接或其他方式实现固定密封连接；中心轴62向端头法兰61外部延伸并同轴固接有一个驱动齿轮63，一个驱动机构6中的两个驱动齿轮63尺寸相同且相互啮合，动力组件包括主动轮（图中未示出）以及同轴固定在其中一个驱动齿轮63上的同步带轮64，同步带轮64与主动轮之间设置有同步带，且主动轮上设置有用于为主动轮提供回转动力的驱动件，该驱动件可以是电机、液压马达或其他能够实现回转动力输送的机构；当然，动力组件也可以采用链传动机构、齿轮传动机构或连杆机构等，以能够实现为驱动齿轮63提供回转动力为准。

本实施例中的动力组件机带轮驱动机构6同时驱动两个中心轴62的同端等速相向转动,进而带动两个外筒2同速反向转动，两个外筒2进而对夹紧在二者之间的柔性薄膜15进行输送，这样，在将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来的情况下,不会对柔性薄膜15的输送造成影响；由于溅镀室两侧的柔性薄膜15分别进行收卷和放卷，即放卷室和收卷室对柔性薄膜15的输送方向相反，因此对于溅镀室两侧的柔性镀膜设备的真空锁装置，仅需要通过调整相应动力组件的动力传输方向即驱动件的启动方向即可。

进一步的，参照图1，外筒2内部同轴套设有内筒7，内筒7沿外筒2的轴线方向延伸，内筒7的直径小于外筒2的直径，进而使得外筒2的内壁与内筒7的外壁之间存在环筒状的空隙，内筒7的周面上开设有多个沿内筒7周向均布的充气孔71，进而使得内筒7与外筒2之间的空隙同内筒7内部连通；再结合图5，内筒7和与其同轴的中心轴62端面之间通过焊接或其他方式实现固定密封连接，进而内筒7与外筒2均与相应的中心轴62固定连接，中心轴62带动内筒7与外筒2同步转动，并将内筒7与外筒2之间的空隙两端封闭起来，防止气体从内筒7与外筒2之间的空隙两端外逸至大气中而起不到充气的效果。

具体的，参照图2和图3，充气组件5包括与中心轴62同轴转动连接的进气轴51，进气轴51与端头法兰61之间位置相互固定；进气轴51上同轴开设有中心孔511，进气轴51靠近内筒7的一端通过中心孔511与内筒7内部连通，进气轴51背离内筒7的一端向中心轴62外部延伸并固定有与中心孔511连通的接头52，接头52连接有气源（图中未示出）；当需要向外筒2内部充气以使外筒2发生膨胀时，启动气源并通过接头52向中心孔511内部充气，气体通过中心孔511进入到内筒7内部，接着通过充气孔71从内筒7内部扩散至外筒2内壁与内筒7外壁之间的空隙，外筒2内部气压升高进而产生膨胀形变。

参照图3，为了防止充入内筒7内部的气体从进气轴51与中心轴62之间逸至外界空气中，在进气轴51与中心轴62之间设置有第二密封件14，第二密封件14套设在中心轴62上并嵌设在进气轴51中；其中，第二密封件14可以是密封圈，也可以采用骨架油封或磁流体密封的方式进行密封，在本实施例中第一密封圈设置有两个，且本实施例采用两个分别靠近进气轴51两端设置的密封圈。

挡片4与密封筒3的设置虽然能够对真空法兰1的端面边缘部位起到一定的密封作用，但由于挡片4与外筒2之间的滑动连接关系，使得密封筒3与挡片4之间易产生空隙并影响溅镀室内部的真空环境，为此，内筒7内部设置有沿内筒7轴线方向延伸的永磁铁9，再结合图2，永磁铁9的两端分别与相应的进气轴51端部之间通过焊接或其他方式实现固定密封连接，永磁铁9的两极即N极与S极之间存在夹角；密封筒3的两端以及与挡片4的两端均与相应的端头法兰61端面通过焊接或其他方式实现固定密封连接。

参照图1，这样，端头法兰61的端面、密封筒3的内壁、挡片4以及外筒2的外壁之间共同围成了一个密闭的瓦状腔室，在该腔室之间即外筒2的外壁与密封筒3的内壁之间填充有磁液10；密封筒3为导磁刚性材质制成的密封筒3，且密封筒3的内壁上设置有两个凸起组件31，两个凸起组件31分别靠近并对准永磁铁9的两极即N极和S极设置；为了防止磁液10以及永磁铁9对内筒7的转动造成影响，内筒7采用非导磁刚性材质制成；在本实施例中，永磁铁9的两极即N极和S极之间夹角为90°并形成L形结构，进而两个凸起组件31在密封筒3上所夹弧度为π/2；具体的，凸起组件31包括多个沿密封筒3周向成型在密封筒3内壁上的凸起311，多个凸起311之间间隔分布，凸起311的宽度方向沿密封筒3的径向延伸且凸起311的长度方向沿密封筒3的轴线方向延伸。

这样，密封筒3、两个凸起组件31以及永磁铁9的两极即N极和S极共同形成一个闭环磁性回路，磁液10在该闭环磁性回路的作用下，将集中分布在两个凸起组件31所在的位置处，进一步的，磁液10将填充在相邻两个凸起311以及凸起311与外筒2之间，进而在外筒2以及密封筒3之间形成多个沿密封筒3轴向延伸的密封条，以对外筒2以及密封筒3之间起到进一步的密封作用，进一步防止气体通过外筒2与密封筒3之间进入到真空法兰1内部而对溅镀室的真空环境造成影响。

参照图1，为了防止使得挡片4能够更加可靠地贴合在外筒2表面，以防止磁液10从挡片4与外筒2之间泄漏并进一步防止气体从挡片4与外筒2之间进入到真空法兰1中，密封筒3沿自身周向的两端分别设置有一个弹性片8，弹性片8沿密封筒3的轴线方向延伸；弹性片8设置在密封筒3背离轴线的一侧并向背离密封筒3的方向隆起，弹性片8沿垂直于自身长度方向的截面形状可以是圆弧形或其他不规则形状，在本实施例中选取圆弧形；弹性片8沿自身周向的一端与密封筒3的外壁之间通过焊接或其他方式实现固定密封连接，弹性片8的另一端与挡片4背离磁液10的表面之间通过焊接或其他方式实现固定密封连接，弹性片8在固定时存在向靠近密封筒3外壁方向的弹性形变。

这样，弹性片8时刻对挡片4作用朝向外筒2外壁方向的压力，以使挡片4背离密封筒3的一侧被可靠地压在外筒2外壁上，进而防止磁液10从挡片4与外筒2之间泄漏并进一步防止气体从挡片4与外筒2之间进入到真空法兰1中。

由于永磁铁9的端部固定在进气轴51上，因此若直接通过打通中心孔511以使中心孔511与内筒7直接连通，则永磁铁9的固定将会对中心孔511与内筒7之间的连通关系造成干涉，为此，参照图2和图3，进气轴51靠近内筒7的一端沿自身径向开设有贯穿进气轴51两侧的进气孔512，进而进气孔512与中心孔511连通，进气孔512也可以其他形状延伸，以能够实现中心孔511与进气轴51周面外侧连通为准；中心轴62靠近内通的一端开设有充气腔621，充气腔621为与中心轴62同轴的圆柱形腔室，充气腔621进而与内筒7内部连通，进气孔512开设在进气轴51位于充气腔621内部的轴端上，进气孔512进而与充气腔621连通；这样，中心孔511、进气孔512、充气腔621以及内筒7内部依次连通，进而永磁铁9的固定对中心孔511和内筒7内部的间接连通不构成干涉影响。

参照图2和图6，对于前文中提及的，进气轴51与端头法兰61之间位置相互固定，进一步解释为，端头法兰61背离内筒7的一端固定有内部中空的端头盖11，二者之间可采用栓接、焊接或其他方式固定连接；驱动齿轮63被罩设在端头盖11内部，且同步带穿过端头盖11的盖壁并延伸至端头盖11外部，主动轮设置在端头盖11外部；进气轴51贯穿端头盖11的端面并向端头盖11背离内筒7的一端外部延伸，端头盖11上固定有用于夹紧进气轴51的卡子12；当然，卡子12也可采用与进气轴51螺接的螺母，螺母抵紧在端头盖11背离内筒7的一端，由于永磁铁9的两端均与一个进气轴51连通，进而当同轴的两个进气轴51均安装螺母时，螺母对进气轴51作用向背离永磁铁9方向的拉力，进气轴51相对于端头法兰61的位置间接固定。

综上所述，本申请的使用过程为：当需要向溅镀室内部输入或从溅镀室内部抽出柔性薄膜15时，充气组件5向外筒2内部充气，以使外筒2发生膨胀，两个外筒2相互靠近的一侧周面进而向相互靠近的方向形变并将位于二者之间的柔性薄膜15压紧，两个外筒2之间的间隙被消除并仅可供柔性薄膜15通过，真空法兰1背离溅镀室的一端进而被完全密封；驱动机构6驱动两个外筒2相向等速转动，进而使得被压紧在二者之间的柔性薄膜15被向溅镀室内部或外部输送，实现了柔性薄膜15的传输；这样，在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来。

本具体实施例仅仅是对本申请的解释，其并不是对本申请的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本申请的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (10)

1.一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：设置在相邻两个腔室之间；包括设置在溅镀室上并与溅镀室连通的真空法兰(1)；真空法兰(1)的一端设置有两个轴线平行设置的外筒(2)，外筒(2)具有弹性，两个外筒(2)的周面之间存在供柔性薄膜(15)通过的空隙；外筒(2)靠近真空法兰(1)的一侧设置有固定在真空法兰(1)端面上的密封筒(3)，密封筒(3)套设在外筒(2)上且密封筒(3)的径向截面形状为圆弧形，密封筒(3)周向的两端固定有与外筒(2)周面贴合并能够相对滑动的挡片(4)；真空锁装置还包括用于向外筒(2)内部充放气的充气组件(5)，以及用于驱动两个外筒(2)相向等速并围绕自身轴线定轴转动的驱动机构(6)；

当两个外筒(2)内部充满气体并发生膨胀时，柔性薄膜(15)被压紧在两个外筒(2)之间。

2.根据权利要求1所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：驱动机构(6)驱动外筒(2)的周面切向速度等于柔性薄膜(15)的走速；驱动机构(6)包括动力组件以及与密封筒(3)端面固接的端头法兰(61)，端头法兰(61)内部转动连接有两个中心轴(62),两个中心轴(62)分别与相应的外筒(2)端面同轴固接；每个中心轴(62)上同轴固接有驱动齿轮(63)，两个驱动齿轮(63)相互啮合；动力组件用于驱动驱动齿轮(63)围绕自身轴线定轴转动。

3.根据权利要求2所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：外筒(2)内部同轴设置有内筒(7)，中心轴(62)与内筒(7)的端面固接，内筒(7)的周面上开设有多个充气孔(71)，内筒(7)的外壁与外筒(2)的内壁之间存在空隙；充气组件(5)包括同轴转动连接在中心轴(62)内部的进气轴(51)，进气轴(51)与端头法兰(61)之间位置固定，进气轴(51)上开设有与内筒(7)内部连通的中心孔(511)，中心孔(511)连通有气源。

4.根据权利要求3所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：内筒(7)内部设置有固定在进气轴(51)上的永磁铁(9)，永磁铁(9)沿内筒(7)的轴线方向延伸；永磁铁(9)的两极均沿内筒(7)的径向延伸且两极之间存在夹角；密封筒(3)为导磁刚性材质制成的密封筒(3)，密封筒(3)的内壁与外筒(2)的外壁之间存在空隙并填充有磁液(10)，密封筒(3)的内壁上成型有两个凸起组件(31)，两个凸起组件(31)分别与永磁铁(9)的两极相对设置，凸起组件(31)包括多个沿密封筒(3)周向间隔分布的凸起(311)。

5.根据权利要求4所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：永磁铁(9)的端部与进气轴(51)靠近内筒(7)的一端固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：中心轴(62)靠近内筒(7)的一端开设有充气腔(621)，充气腔(621)与内筒(7)内部连通；进气轴(51)上开设有贯穿进气轴(51)周面并与中心孔(511)连通的进气孔(512)，进气孔(512)与充气腔(621)连通。

7.根据权利要求3或6所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：端头法兰(61)背离内筒(7)的一端固定有端头盖(11)，驱动齿轮(63)被罩设在端头盖(11)内部，进气轴(51)贯穿端头盖(11)的端面并向端头盖(11)外部延伸；端头盖(11)上固定有用于夹紧进气轴(51)的卡子(12)。

8.根据权利要求1所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：密封筒(3)沿自身周向的两端设置有弹性片(8)，弹性片(8)向背离密封筒(3)轴线的方向隆起；弹性片(8)沿自身周向的一端与挡片(4)固接，另一端与密封筒(3)的外壁固接。

9.根据权利要求2所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：中心轴(62)的周面与端头法兰(61)的内壁之间设置有同轴套设在中心轴(62)上的第一密封件(13)。

10.根据权利要求3或6所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：中心轴(62)与进气轴(51)之间设置有同轴套设在进气轴(51)上的第二密封件(14)。

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